JP2006286709A - 露光装置及び露光装置を用いたフォトレジストパターン形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】露光マスクを用いた投影露光方式による露光装置本体を収容する密閉チャンバーAと密閉チャンバーA内にクリーンルームエアーaを給気する給気管部Bと該密閉チャンバーA内を循環した循環エアーaを密閉チャンバーAの外側に排気する排気管部Cとを備え、クリーンルームエアーaを給気する前記給気管部Bの前段にクリーンルームエアーaを圧縮エアーに変換する高圧コンプレッサ1とエアーを乾燥させるドライヤ2と減圧用バルブ3とを配設し、密閉チャンバーA内に高圧ドライエアーaP を循環供給する。
【選択図】図1
Description
基板毎の面内でのパターン線幅の不均一の発生を防止し、同一パターン欠陥不良や経時変化パターン欠陥不良が発生する原因を解消することにある。
ン形成用基板11を載置固定する。
B…給気管部
C…排気管部
a…クリーンルームエアー
a1 …排気エアー
aP …高圧ドライエアー
1…高圧コンプレッサー
2…ドライヤ
3…減圧バルブ
11…基板
12…フォトレジスト膜
13…基台部
21…光源部
22…集光レンズ
23…露光マスク
24…投影レンズ
Claims (4)
- 露光マスクを用いた投影拡大露光方式による露光装置本体を収容する密閉チャンバーAと、密閉チャンバーA内にクリーンルームエアーaを給気する給気管部Bと、該密閉チャンバーA内を循環した循環エアーaを密閉チャンバーAの外側に排気する排気管部Cとを備え、クリーンルームエアーaを給気する前記給気管部Bの前段に、クリーンルームエアーaを圧縮エアーに変換する高圧コンプレッサ1と、エアーを乾燥させるドライヤ2と、減圧用バルブ3とを配設し、密閉チャンバーA内に高圧のドライエアーaP を循環供給することを特徴とする露光装置。
- 請求項1記載の露光装置において、前記密閉チャンバーA内に循環供給する高圧のドライエアーaP の絶対湿度(水分重量/容積)が、前記ドライヤ2により1.0g/m3 〜10.0g/m3 の範囲にて制御されることを特徴とする露光装置。
- 密閉チャンバーA内に内装する露光マスクを用いた投影拡大露光方式による露光装置本体の露光用基台13上に、フォトレジスト膜12をコーティングしたパターン形成用基板11を載置固定した後、クリーンルームエアーaを高圧コンプレッサ1と、エアーを乾燥させるドライヤ2とに導入して高圧ドライエアーaP を作製し、作製した該高圧ドライエアーaP を前記露光装置本体を収容する密閉チャンバーA内に減圧用バルブ3を介して給気管部Bより給気するとともに排気管部Cより排気して循環供給しながら、前記基板11のフォトレジスト膜12に露光マスクを透してパターン光像Lを投影露光してフォトレジストパターンを露光形成することを特徴とするフォトレジストパターン露光形成方法。
- 請求項3記載のフォトレジストパターン露光形成方法において、前記露光装置本体A内に循環供給する高圧のドライエアーaP の絶対湿度(水分重量/容積)が、前記ドライヤ2により1.0g/m3 〜10.0g/m3 の範囲にて制御されることを特徴とするフォトレジストパターン露光形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005101237A JP2006286709A (ja) | 2005-03-31 | 2005-03-31 | 露光装置及び露光装置を用いたフォトレジストパターン形成方法 |
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JP (1) | JP2006286709A (ja) |
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A621 | Written request for application examination |
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