JP2006276010A - 信号波形測定装置、信号波形測定システム及びサンプリングタイミング信号発生器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ICチップ上に設けられ、その上の複数の検出点の信号波形を測定するマルチチャンネルの信号波形測定装置102が提供される。複数の信号検出フロントエンド回路30は複数の検出点33に対応して設けられ、イネーブルタイミング信号に基づいて各検出点の電圧を緩衝増幅した後、緩衝増幅した電圧を各参照電圧と比較してその比較結果を2値デジタル出力信号にデジタル化して出力する。マルチプレクサ36は各信号検出フロントエンド回路30からの2値デジタル出力信号を時分割多重化して多重化デジタル出力信号を出力する。データ処理ユニット40はマルチプレクサ36から出力される多重化した2値デジタル出力信号の所定値の数を計数することにより上記検出された各検出点33の検出電圧についての判定出力確率を算出して出力する。
【選択図】図1
Description
所定のタイミング信号に基づいて、互いに異なる複数の参照電圧を逐次発生して出力する参照電圧発生器と、
上記複数の検出点に対応して設けられ、所定のイネーブルタイミング信号に基づいて上記各検出点の電圧を緩衝増幅した後、上記緩衝増幅した電圧を上記各参照電圧と比較してその比較結果を2値デジタル出力信号にデジタル化して出力する複数の信号検出フロントエンド回路と、
上記各信号検出フロントエンド回路からの2値デジタル出力信号を時分割多重化して多重化したデジタル出力信号を出力するマルチプレクサと、
上記マルチプレクサから出力される多重化した2値デジタル出力信号の所定値の数を計数することにより、上記各信号検出フロントエンド回路によって検出された各検出点の検出電圧についての判定出力確率を算出して出力するデータ処理ユニットとを備えたことを特徴とする。
所定のシステムクロック信号及び所定のマスタクロック信号に基づいて、複数の上記イネーブルタイミング信号を多重化されたイネーブルタイミング制御信号を発生するサンプリングタイミング信号発生器と、
上記イネーブルタイミング制御信号を多重分離することにより、上記各信号検出フロントエンド回路を順次動作させるためのイネーブルタイミング信号を発生して出力するデマルチプレクサとを備え、
上記サンプリングタイミング信号発生器は、
上記システムクロック信号に基づいて、上記システムクロック信号に同期して所定の基準バイアス電圧を発生して出力するレプリカDLL(Delayed Locked Loop)回路と、
上記マスタクロック信号と上記基準バイアス電圧とに基づいて、上記基準バイアス電圧に対応する基準電流をn分の1(ここで、nは1以上の数である。)に分流してなる電流を発生し、発生された電流に基づいて出力負荷容量を充電する時間をn倍することにより所定の遅延時間を生成し、上記マスタクロック信号を当該遅延時間だけ遅延させることにより、複数の上記イネーブルタイミング信号を多重化されたイネーブルタイミング制御信号を発生する遅延信号発生回路とを備え、
上記レプリカDLL回路が、上記遅延時間が上記システムクロック信号の周期に等しくなるように上記基準バイアス電圧を発生することにより、上記遅延信号発生回路は、複数の上記イネーブルタイミング信号を多重化されたイネーブルタイミング制御信号を発生することを特徴とする。
上記イネーブルタイミング信号に基づいて上記各検出点の電圧を緩衝増幅するソースフォロワ回路と、
上記緩衝増幅した電圧を上記各参照電圧と比較してその比較結果を2値デジタル出力信号にデジタル化して出力するコンパレータとを備えたことを特徴とする。
上記イネーブルタイミング信号に基づいて上記各検出点の電圧を緩衝増幅するソースフォロワ回路と、
上記緩衝増幅した電圧を電流に変換する電圧−電流変換器と、
上記変換された電流をサンプルホールドするサンプルホールド回路と、
上記サンプルホールドされた電流を、上記各参照電圧から変換された参照電流と比較してその比較結果を2値デジタル出力信号にデジタル化して出力するコンパレータとを備えたことを特徴とする。
上記各信号検出フロントエンド回路は、上記複数のソースフォロワを順次選択する選択回路を含み、
上記各信号検出フロントエンド回路のソースフォロワ回路は、上記各ソースフォロワの入力電圧範囲よりも広い入力電圧範囲を有することを特徴とする。
上記カウンタ回路により計数された2値デジタル出力信号の所定値の数に基づいて、上記各信号検出フロントエンド回路によって検出された各検出点の検出電圧についての判定出力確率を算出して、当該判定出力確率のシリアルデータを出力するシフトレジスタ回路とを備えたことを特徴とする。
ここで、上記データ処理ユニットは、上記検出電圧と上記参照電圧とがともに一定であるとき、一定の判定出力確率のシリアルデータを出力することを特徴とする。
上記信号波形測定装置と、
上記ICチップとは別の外部装置において設けられ、上記データ処理ユニットからの各検出点の検出電圧についての判定出力確率に基づいて、参照電圧に対する比較結果の判定出力確率の特性においてその特性の傾きが実質的に最大になるときの参照電圧が検出電圧であるという特徴を用いて、上記各検出点の検出電圧を決定する別のデータ処理ユニットとをさらに備えたことを特徴とする。
上記サンプリングタイミング信号発生器は、
上記システムクロック信号に基づいて、上記システムクロック信号に同期して所定の基準バイアス電圧を発生して出力するレプリカDLL(Delayed Locked Loop)回路と、
上記マスタクロック信号と上記基準バイアス電圧とに基づいて、上記基準バイアス電圧に対応する基準電流をn分の1(ここで、nは1以上の数である。)に分流してなる電流を発生し、発生された電流に基づいて出力負荷容量を充電する時間をn倍することにより所定の遅延時間を生成し、上記マスタクロック信号を当該遅延時間だけ遅延させることにより、複数の上記イネーブルタイミング信号を多重化されたイネーブルタイミング制御信号を発生する遅延信号発生回路とを備え、
上記レプリカDLL回路は、上記遅延時間が上記システムクロック信号の周期に等しくなるように上記基準バイアス電圧を発生することにより、上記遅延信号発生回路は、上記イネーブルタイミング信号を発生することを特徴とする。
図1は、本発明の第1の実施形態に係るオンチップ信号波形モニタ装置102の構成を示すブロック図であり、図2は、図1のオンチップ信号波形モニタ装置を搭載したシステムLSIのフロアプランを示す平面図である。
(1)各信号検出フロントエンド回路30をそれに対応する複数の測定対象の検出点33近傍に配置し、複数の検出フロントエンド回路30に対して、信号波形取得カーネル回路90を共有する構成とすることで、LSIチップの実効面積を削減することができる。
(2)各信号検出フロントエンド回路30にデジタル化機構(A/D変換機能)を搭載する構成により、多チャンネル化による精度劣化を抑制することができる。
(3)アナログ信号発生のオンチップ化により、デジタルLSIテスタでミックストシグナル・システムLSIの動作診断を実現することができる。
(4)信号検出フロントエンド回路30のコンパレータ34からの判定出力確率Pcmpを一定クロック数毎に繰り返し出力するためのデータ処理ユニット40(カウンタ回路41とシフトレジスタ回路42とから構成される)の搭載により、信号取得時間を著しく低減することができる。
(5)従来例に係る、ソースフォロワ回路及びラッチコンパレータからなる回路で実証されている高線形かつ広帯域なオンチップ雑音検出方法に、本発明の第1の実施形態に係るオンチップ信号波形モニタ装置102によるオンチップ波形取得機構を組み合わせることにより、測定時間を従来例に比べて1/20以下に低減することができる。この結果、アナログ機能モジュール内の信号波形と周辺基板雑音波形の相関測定や、ミックストシグナルLSIにおける複数事象を原因とした複雑かつダイナミックな動作不良解析など、これまでは測定時間がかかりすぎて不可能だった多観測点測定を実現することができる。
(6)多チャンネル化したオンチップ信号検出回路である信号検出フロントエンド回路30を搭載することで設計改善の確度の向上を実現することができる。具体的には、アナログ信号の波形劣化と周辺雑音の相関解析に基づく感度モデルの定量化とパラメタ抽出を行う方法、システムLSIにおけるダイナミック動作不良解析の方法を示すことができる。
(1)利用分野
本発明に係る第1の実施形態は、オンチップ波形取得、アナログ/ミックストシグナルLSIの動作検証、性能検証、ビルトイン・セルフ・テスト機能(BIST(Built-In Self-Test))などに利用できる。
(2)構成の特徴
本発明の第1の実施形態に係るオンチップ信号波形モニタ装置102は、信号検出フロントエンド回路30に加え、波形取得に必要な信号を生成する波形取得機構である信号波形取得カーネル回路90をオンチップして実装する。複数M個の信号検出フロントエンド回路30が1つの波形取得機構である信号波形取得カーネル回路90を共有する構成を有する。
(3)性能
本発明の第1の実施形態に係るオンチップ信号波形モニタ装置102は、オンチップするための面積コストを最小限に抑えつつ、測定コストを削減し、波形取得時間を高速化する。検出精度を低下させることなくマルチチャンネル化できる。
(4)試作
本発明の第1の実施形態の実施例では、8チャンネルオンチップ信号波形モニタ装置を1個のLSIチップ上に、0.18μmCMOSプロセスで試作した。
(5)実測性能
本発明の第1の実施形態の実施例によれば、時間分解能40psec、電圧分解能200μVでの波形取得を実現した。また、検出回路のみオンチップした場合と比較し、精度を維持したまま95%の測定時間削減を達成した。
(a)参照電圧発生器(Reference Voltage Generator: VG)10と、サンプリングタイミング信号発生器(Sampling Timing Generator: TG)20と、データ処理ユニット(Data Processing Unit: DPU)40とからなる信号波形取得カーネル回路90と、
(b)複数M個の信号検出フロントエンド(Probing Front-End: PFE)回路30とを備えて構成される。
(a)それぞれ抵抗値Rを有する複数の抵抗62と、それぞれ抵抗値2Rを有する複数の抵抗63と、複数のスイッチ64とを備え、外部装置からの参照プラス電圧Vrefpと、参照マイナス電圧Vrefmとの間の微小な電圧ステップを生成する10ビットR2−R型ラダー回路60と、
(b)DA変換器用インクリメント信号DACincを計数してその計数値に基づいて上記複数のスイッチ64のオン・オフを制御する10ビットカウンタ61とを備えて構成される。
ここで、参照電圧発生器10は、図12に示すように、10ビットインクリメンタルDA変換器11として動作する。
Tdelay(n)=n×Tdelay(0) (1)
(a)クロック信号CLKに基づいて動作する遅延型フリップフロップ82と、
(b)オフセット遅延時間Tdelay offsetに対応する信号を発生する遅延セル回路80と、
(c)最大遅延時間Tdelay maxに対応する信号を発生する遅延セル回路81と、
(d)遅延セル回路80,81からの信号に基づいて位相及び風波数を検出して、位相制御のアップ信号とダウン信号を発生して出力する位相及び周波数検出器83と、
(e)位相及び周波数検出器83からの位相制御のアップ信号とダウン信号に基づいてバイアス電圧Vbを発生するチャージポンプ回路84とを備えて構成される。
図22は第2の実施形態に係る信号波形測定システムにおいて用いる、参照電圧Vrefに対するラッチコンパレータ34の判定出力確率Pcmpを示すグラフであり、図23は本発明の第2の実施形態に係る信号波形測定システムの構成を示すブロック図である。また、図24は図23のパーソナルコンピュータ200及びFPGA170の詳細を示すブロック図である。
(a)システムクロック信号Sckを発生するクロック発振器212と、
(b)クロック発振器212からのシステムクロック信号Sckに基づいてテストベクトルデータVecを発生してオンチップDUTボード150に出力するテストベクトル発生器211と、
(c)クロック発振器212からのシステムクロック信号Sckと、パーソナルコンピュータ200からのフラグFlagと、判定出力確率Pcmpとに基づいて、種々の信号Mck,DACinc,DLLincとを発生し、処理後の判定出力確率PcmpをオフチップDPU(データロッガ)214に出力するシーケンス信号発生器213と、
(d)パーソナルコンピュータ200からのフラグFlagに基づいて、シーケンス信号発生器213からの判定出力確率Pcmpについて所定の処理を実行した後、パーソナルコンピュータ200に出力するオフチップDPU(データロッガ)214とを備えて構成される。
(特徴A)検出電圧Vsfと参照電圧Vrefが一定のとき、判定出力確率Pcmpは変わらない。
(特徴B)検出電圧Vsfが一定で、参照電圧Vrefを最小電圧から最大電圧に向けて単一方向にインクリメントしたとき、判定出力確率Pcmpは0から「遷移領域」を経て1に移動するが、遷移領域以外では参照電圧Vrefの変化に対して判定出力確率Pcmpの値は変化しない。
(ステップSS1)マスタクロック信号Mckに同期した1024回のコンパレータ34の比較処理毎に、信号検出フロントエンド回路30からの“1”の数を計数することにより判定出力確率Pcmpを算出する。
(ステップSS2)図26に示すように、ヘッダビットとして1ビットの“1”をシリアルデータの先頭に付加し、合計11ビットシリアルデータとして判定出力確率Pcmpの信号を出力する。
(ステップSS3)次いで、図26に示すように、ステップSS2の後、続けて“0”を出力し続けるとともに、当該オンチップDPU40Aを初期化する。すなわち、検出電圧Vsfと参照電圧Vrefが一定であるとき、オンチップDPU40Aは一定の判定出力確率Pcmpを出力し続ける。
(a)11ビットマスタクロックカウンタ131と、10ビットデータカウンタ132とを含むカウンタ回路41と、
(b)11個のマルチプレクサMU0乃至MU10と、11個の遅延型フリップフロップDF0乃至DF10とを含むシフトレジスタ回路42とを備えて構成される。
ここで、11ビットマスタクロックカウンタ131はマスタクロック信号Mckを計数し、図26に示すように、最初の“1”の立ち上がりであるヘッダビットを検出してヘッダ検出信号Selectを発生して出力する。また、10ビットデータカウンタ132はデジタル出力信号Doutを計数し、上記ヘッダビット後の0ビット目から9ビット目の10ビットの判定出力確率PcmpのシリアルデータをFPGA170のシーケンス信号発生器213に出力する。すなわち、オンチップDPU40Aは、上記特徴Aからコンパレータ34の1024回の比較動作による判定出力確率Pcmpを出力し続けるが、その出力データ列の先頭にはヘッダビット“1”が付加されており、また10ビットの出力データ列の後には連続した“0”が並ぶ。すなわち、オンチップDPU40Aには、判定出力確率Pcmpのデータ列からヘッダビットを検出し、有効な10ビットデータを取得する機構を含んでいる。
図31は、本発明の第3の実施形態に係る信号検出フロントエンド回路30Aの構成を示す回路図である。すなわち、図31は、電流モードのサンプルホールド回路253を用いた信号検出フロントエンド回路30Aの構成を示す。信号検出フロントエンド回路30Aは、被測定信号電圧Vinを検出するソースフォロワ回路251と、検出された検出電圧を電流に変換する電圧−電流変換器252と、変換された電流をスイッチSW21を介して保持キャパシタ253Cに保持して出力する電流モードのサンプルホールド回路253と、サンプルホールド回路253から出力される電流に基づいて当該電流に比例する対応した所定の大きさの出力電流Ioutを発生して出力する電流発生器254とを備えて構成される。ここで、電圧−電流変換器252と、サンプルホールド回路253と、電流発生器254とをまとめて、電流モードサンプルホールド回路という。図31において、ソースフォロワ回路251の出力電圧Vsfoは抵抗RinによりIsfo=Vsfo/Rinの関係式に基づいて電流Isfoに変換される。サンプル動作時は電流IsfoがMOSFETM0に流れ、ホールド動作時は、MOSFETM0のゲート電圧を保持キャパシタ253C上に保持する。このゲート電圧はMOSFETM3で再び電流値に変換され、電流発生器254内のカレントミラー回路を経て出力電流Ioutとして出力される。ここで、MOSFETM0及びM3のチャンネル寸法比R(=ゲート幅W/ゲート長さL)が等しければ、出力電流Iout=Isfoである。
(特徴a)電圧−電流変換器252の入力端子Iin、すなわちMOSFETM0のドレイン端子の電圧が、MOSFETM1,M2からなるフィードバック回路によりほぼ一定値に保たれるため、セレクタスイッチ252Sの後段側の電位が一定となる。
(特徴b)各ソースフォロワの出力側において、セレクタスイッチ252Sと、抵抗252Rとが直列接続されており、セレクタスイッチ252Sのオン時の寄生抵抗値はMOSFETQ101,Q102のゲートサイズを適切に選ぶことにより、抵抗252Rのサイズに比べて1桁以上小さく設計できる。
図1の信号検出フロントエンド回路30が十分に小面積であれば、被観測信号に対して複数個の信号検出フロントエンド回路30を割り付けることが可能である。ここで、通常の信号検出フロントエンド回路30は線形な入出力特性を得ることのできるアナログ入力電圧範囲が被測定信号の振幅よりも小さいことが多い。そこで、上述の複数個の信号検出フロントエンド回路30において、各信号検出フロントエンド回路30の許容入力電圧範囲の合計が被測定信号振幅電圧を十分含むように、信号検出フロントエンド回路30の中心電圧を変更した設計を施すことが可能である。このように、許容入力電圧範囲の中心電圧の異なる複数の信号検出フロントエンド回路30を用いて、同一の被観測信号配線を評価することで、広い入力電圧範囲を得ることを特徴とする、オンチップ信号波形モニタ装置を構成できる。
(1)信号検出フロントエンド回路30のアナログ動作電圧点をMOSFETのゲートサイズで調整する第1の方法。
(2)利用するMOSFETの製造技術に与えられるトランジスタ種類、すなわち、Nチャンネル型MOSFETと、Pチャンネル型MOSFETと、入出力用高耐圧NチャンネルMOSFETと、入出力用高耐圧PチャンネルMOSFETとの組み合わせにより調整する第2の方法。
(3)第1の方法と第2の方法とを併用する方法も有効である。
以下、具体例について説明する。
(a)それぞれ検出器選択信号Dselを選択クロックCKselに基づいて一時的に記憶して出力するM個の遅延型フリップフロップ271−1乃至271−Mと、
(b)各遅延型フリップフロップ271−1乃至271−Mからの出力信号をクロック信号CLKがハイレベルのときのみ出力するM個のアンドゲート272−1乃至272−Mと、
(c)各遅延型フリップフロップ271−1乃至271−Mからの出力信号がハイレベルのときのみ接点a側に切り換えられ、バイアス電圧Vbsを各ソースフォロワ及び電流モードサンプルホールド回路270−1乃至270−Mに供給するスイッチSW31−1乃至SW31−Mとを含む。
各ソースフォロワ及び電流モードサンプルホールド回路270−1乃至270−Mからの出力信号は電流出力Ioutであり、当該電流出力Ioutは電流型コンパレータ34Aに出力される。電流型コンパレータ34Aは入力される検出電流Ioutを、各参照電圧Vrefから変換された参照電流Irefと比較してその比較結果を2値デジタル出力信号にデジタル化してマルチプレクサ36に出力する。
11…インクリメンタルDA変換器、
20…サンプリングタイミング信号発生器、
21…レプリカDLL回路、
22…可変ステップ遅延信号発生回路、
30,30−1乃至30−M,30A,30B,30C…信号検出フロントエンド回路、
33,33−1乃至33−M…検出点、
34…ラッチコンパレータ、
34A…電流型コンパレータ、
35…デマルチプレクサ、
36…マルチプレクサ、
40…データ処理ユニット、
40A…オンチップDPU、
41…カウンタ回路、
42…シフトレジスタ回路、
60…ラダー回路、
61…10ビットカウンタ、
62,63…抵抗、
64…スイッチ、
71,73…差動増幅器、
72…インバータ、
80,81…遅延セル回路、
82…遅延型フリップフロップ、
83…位相及び周波数検出器、
84…チャージポンプ回路、
85,87…インバータ、
86…コンパレータ、
90,90A…信号波形取得カーネル回路、
100…オンチップ信号波形測定装置
101…テスト対象デバイス(DUT)、
102…オンチップ信号波形モニタ装置、
104…電圧源、
105…電圧源、
110…ロジックアナライザ、
120…パーソナルコンピュータ、
111…Nチャンネルソースフォロワ回路、
112…Pチャンネルソースフォロワ回路、
120…パーソナルコンピュータ、
131…11ビットマスタクロックカウンタ、
132…10ビットデータカウンタ、
140…32ビットメモリ、
141…比較ロジック、
142…ナンドゲート、
143…10ビットVrefカウンタ、
144…7ビットTckカウンタ、
150…オンチップDUTボード、
151…LSIチップ、
160…電圧源、
161…電圧変換器、
170…FPGA、
200…パーソナルコンピュータ、
210…USBインターフェース、
211…テストベクトル発生器、
212…クロック発振器、
213…シーケンス信号発生器、
214…オフチップDPU(データロッガ)、
220,230,240…信号発生器、
251,251−0乃至251−2…ソースフォロワ回路、
252…電圧−電流変換器、
252R…抵抗、
252S…セレクタスイッチ、
253…サンプルホールド回路、
254…電流発生器、
255…バイアス発生回路、
260…電流モードサンプルホールド回路、
270−1乃至270−M…ソースフォロワ及び電流モードサンプルホールド回路、
271−1乃至271−M…遅延型フリップフロップ、
272−1乃至272−M…アンドゲート、
MU0乃至MU10…マルチプレクサ、
DF1乃至DF10…遅延型フリップフロップ、
Q1乃至Q112…電界効果トランジスタ、
SW10−0乃至SW10−(m−1),SW11,SW12−0乃至SW12−3,SW21,SW31−1乃至SW31−M…スイッチ。
Claims (10)
- ICチップ上に設けられ、上記ICチップ上の複数の検出点の信号波形を測定するマルチチャンネルの信号波形測定装置であって、
所定のタイミング信号に基づいて、互いに異なる複数の参照電圧を逐次発生して出力する参照電圧発生器と、
上記複数の検出点に対応して設けられ、所定のイネーブルタイミング信号に基づいて上記各検出点の電圧を緩衝増幅した後、上記緩衝増幅した電圧を上記各参照電圧と比較してその比較結果を2値デジタル出力信号にデジタル化して出力する複数の信号検出フロントエンド回路と、
上記各信号検出フロントエンド回路からの2値デジタル出力信号を時分割多重化して多重化したデジタル出力信号を出力するマルチプレクサと、
上記マルチプレクサから出力される多重化した2値デジタル出力信号の所定値の数を計数することにより、上記各信号検出フロントエンド回路によって検出された各検出点の検出電圧についての判定出力確率を算出して出力するデータ処理ユニットとを備えたことを特徴とする信号波形測定装置。 - 上記信号波形測定装置は、
所定のシステムクロック信号及び所定のマスタクロック信号に基づいて、複数の上記イネーブルタイミング信号を多重化されたイネーブルタイミング制御信号を発生するサンプリングタイミング信号発生器と、
上記イネーブルタイミング制御信号を多重分離することにより、上記各信号検出フロントエンド回路を順次動作させるためのイネーブルタイミング信号を発生して出力するデマルチプレクサとを備え、
上記サンプリングタイミング信号発生器は、
上記システムクロック信号に基づいて、上記システムクロック信号に同期して所定の基準バイアス電圧を発生して出力するレプリカDLL(Delayed Locked Loop)回路と、
上記マスタクロック信号と上記基準バイアス電圧とに基づいて、上記基準バイアス電圧に対応する基準電流をn分の1(ここで、nは1以上の数である。)に分流してなる電流を発生し、発生された電流に基づいて出力負荷容量を充電する時間をn倍することにより所定の遅延時間を生成し、上記マスタクロック信号を当該遅延時間だけ遅延させることにより、複数の上記イネーブルタイミング信号を多重化されたイネーブルタイミング制御信号を発生する遅延信号発生回路とを備え、
上記レプリカDLL回路が、上記遅延時間が上記システムクロック信号の周期に等しくなるように上記基準バイアス電圧を発生することにより、上記遅延信号発生回路は、複数の上記イネーブルタイミング信号を多重化されたイネーブルタイミング制御信号を発生することを特徴とする請求項1記載の信号波形測定装置。 - 上記各信号検出フロントエンド回路は、
上記イネーブルタイミング信号に基づいて上記各検出点の電圧を緩衝増幅するソースフォロワ回路と、
上記緩衝増幅した電圧を上記各参照電圧と比較してその比較結果を2値デジタル出力信号にデジタル化して出力するコンパレータとを備えたことを特徴とする請求項1又は2記載の信号波形測定装置。 - 上記各信号検出フロントエンド回路は、
上記イネーブルタイミング信号に基づいて上記各検出点の電圧を緩衝増幅するソースフォロワ回路と、
上記緩衝増幅した電圧を電流に変換する電圧−電流変換器と、
上記変換された電流をサンプルホールドするサンプルホールド回路と、
上記サンプルホールドされた電流を、上記各参照電圧から変換された参照電流と比較してその比較結果を2値デジタル出力信号にデジタル化して出力するコンパレータとを備えたことを特徴とする請求項1又は2記載の信号波形測定装置。 - 上記各信号検出フロントエンド回路のソースフォロワ回路は、互いに異なる入力電圧範囲を有する複数のソースフォロワを含み、
上記各信号検出フロントエンド回路は、上記複数のソースフォロワを順次選択する選択回路を含み、
上記各信号検出フロントエンド回路のソースフォロワ回路は、上記各ソースフォロワの入力電圧範囲よりも広い入力電圧範囲を有することを特徴とする請求項3又は4記載の信号波形測定装置。 - 上記データ処理ユニットは、上記マルチプレクサから出力される多重化した2値デジタル出力信号の所定値の数を計数するカウンタ回路と、
上記カウンタ回路により計数された2値デジタル出力信号の所定値の数に基づいて、上記各信号検出フロントエンド回路によって検出された各検出点の検出電圧についての判定出力確率を算出して、当該判定出力確率のシリアルデータを出力するシフトレジスタ回路とを備えたことを特徴とする請求項1乃至5のうちのいずれか1つに記載の信号波形測定装置。 - 上記データ処理ユニットは、上記検出電圧と上記参照電圧とがともに一定であるとき、一定の判定出力確率のシリアルデータを出力することを特徴とする請求項6記載の信号波形測定装置。
- 請求項1乃至7のうちのいずれか1つに記載の信号波形測定装置と、
上記ICチップとは別の外部装置において設けられ、上記データ処理ユニットからの各検出点の検出電圧についての判定出力確率に基づいて、参照電圧に対する比較結果の判定出力確率の特性においてその特性の傾きが実質的に最大になるときの参照電圧が検出電圧であるという特徴を用いて、上記各検出点の検出電圧を決定する別のデータ処理ユニットとをさらに備えたことを特徴とする信号波形測定システム。 - 上記別のデータ処理ユニットは、上記データ処理ユニットからの判定出力確率のデータを順次記憶装置に記憶し、上記データ処理ユニットからの判定出力確率のデータを、上記記憶装置に直近に記憶した判定出力確率の最新データと比較し、異なるときのみ上記データ処理ユニットからの判定出力確率のデータを上記記憶装置に記憶することにより、参照電圧に対する比較結果の判定出力確率の特性においてその特性の傾きが実質的に最大になる領域近傍の遷移領域のみの判定出力確率のデータのみを上記記憶装置に記憶することを特徴とする請求項8記載の信号波形測定システム。
- 所定のシステムクロック信号及び所定のマスタクロック信号に基づいて、複数のイネーブルタイミング信号を発生するサンプリングタイミング信号発生器であって、
上記サンプリングタイミング信号発生器は、
上記システムクロック信号に基づいて、上記システムクロック信号に同期して所定の基準バイアス電圧を発生して出力するレプリカDLL(Delayed Locked Loop)回路と、
上記マスタクロック信号と上記基準バイアス電圧とに基づいて、上記基準バイアス電圧に対応する基準電流をn分の1(ここで、nは1以上の数である。)に分流してなる電流を発生し、発生された電流に基づいて出力負荷容量を充電する時間をn倍することにより所定の遅延時間を生成し、上記マスタクロック信号を当該遅延時間だけ遅延させることにより、複数の上記イネーブルタイミング信号を多重化されたイネーブルタイミング制御信号を発生する遅延信号発生回路とを備え、
上記レプリカDLL回路は、上記遅延時間が上記システムクロック信号の周期に等しくなるように上記基準バイアス電圧を発生することにより、上記遅延信号発生回路は、上記イネーブルタイミング信号を発生することを特徴とするサンプリングタイミング信号発生器。
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