JP2006273695A - ガラス板の切断面の処理装置及び処理方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ひび割れや欠損等の破損の発生を効果的に防いでガラス板の安全性や強度等の品質を保持しつつ、大規模な周辺設備を必要とせずにガラス板の切断面の処理工程にかかる時間を短縮することのできるガラス板の切断面の処理装置及び処理方法を提供する。
【解決手段】ガラス板の切断面に照射される第1レーザ光を発振する第1光源と、ガラス板の板面のうち、第1レーザ光の照射範囲の周辺領域に照射される第2レーザ光を発振する第2光源と、第1レーザ光及び第2レーザ光を誘導する誘導手段と、第2レーザ光によって昇温される周辺領域に対応する第1レーザ光の照射範囲において、第1レーザ光の照射範囲のガラスが溶融されるように、第1レーザ光のエネルギ密度を調整する第1調整手段と、第2レーザ光によってガラス板の周辺領域が破損されることなく昇温されるように、ガラス板に照射される第2レーザ光のエネルギ密度を調整する第2調整手段とを備える。
【選択図】図1
【解決手段】ガラス板の切断面に照射される第1レーザ光を発振する第1光源と、ガラス板の板面のうち、第1レーザ光の照射範囲の周辺領域に照射される第2レーザ光を発振する第2光源と、第1レーザ光及び第2レーザ光を誘導する誘導手段と、第2レーザ光によって昇温される周辺領域に対応する第1レーザ光の照射範囲において、第1レーザ光の照射範囲のガラスが溶融されるように、第1レーザ光のエネルギ密度を調整する第1調整手段と、第2レーザ光によってガラス板の周辺領域が破損されることなく昇温されるように、ガラス板に照射される第2レーザ光のエネルギ密度を調整する第2調整手段とを備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、ガラス板の切断面の処理装置及び処理方法に関するものである。
通常、ガラス板を所定の形状に機械的に切断する場合、その端面(切断面)の稜に鋭利な角部が生じると共に、端面にチッピングやクラックが発生することがある。このような端面を有するガラス板は、強度が低く安全性に欠けるため、端面を砥石で研磨し、面取りや端面の平滑化を行う必要がある。
しかし、砥石を用いて行う研磨では、ガラス板の端面にマイクロクラックが残留する可能性が高い。また、このような研磨は湿式であるため、ガラス板に対して水処理工程や乾燥工程を施すことが必要である。
しかし、砥石を用いて行う研磨では、ガラス板の端面にマイクロクラックが残留する可能性が高い。また、このような研磨は湿式であるため、ガラス板に対して水処理工程や乾燥工程を施すことが必要である。
このような砥石による研磨を行うことなくガラス板を処理する装置や方法として、レーザ光をガラス板の切断面(端面)に照射することにより、端面を平滑化するガラス板の処理装置及び処理方法が幾つか提案されている(例えば、特許文献1ないし特許文献5参照)。
ここで、特許文献1及び特許文献4記載の発明について代表的に説明する。
図3に示すものは、特許文献1記載のガラス板処理装置及び処理方法の構成を概略的に示す図である。
図3において、ガラス部材11の全体を常温より高い所定温度に保持した状態で、レーザ光12をガラス部材11に照射すると、ガラス部材11の角部11aの少なくとも一部分(レーザ光の照射スポット12aが当たっている部分及びその周辺)がその他の部分よりもさらに高温に加熱される。この結果、ガラス部材11の角部11aの少なくとも一部分は軟化して丸くなることによって面取り及び平滑化が行われる。
図3に示すものは、特許文献1記載のガラス板処理装置及び処理方法の構成を概略的に示す図である。
図3において、ガラス部材11の全体を常温より高い所定温度に保持した状態で、レーザ光12をガラス部材11に照射すると、ガラス部材11の角部11aの少なくとも一部分(レーザ光の照射スポット12aが当たっている部分及びその周辺)がその他の部分よりもさらに高温に加熱される。この結果、ガラス部材11の角部11aの少なくとも一部分は軟化して丸くなることによって面取り及び平滑化が行われる。
このように、特許文献1記載のガラス板処理方法では、ガラス板全体を所定温度に加熱した上で、ガラス板の端面にレーザ光12を照射して加工を行うことにより、局所的かつ急激な温度上昇によるガラス部材11のひび割れや欠損等の破損を抑制している。
図4は、特許文献4記載のガラス板の処理装置及び処理方法の構成を概略的に示す図である。
図4に示すように、ガラス、セラミックまたは金属等のワークWは、搬送装置15により予熱装置13、レーザ光照射装置14、徐冷装置16を順番に矢印A1の方向に通過する。
図4に示すように、ガラス、セラミックまたは金属等のワークWは、搬送装置15により予熱装置13、レーザ光照射装置14、徐冷装置16を順番に矢印A1の方向に通過する。
ワークWは、予熱装置13により加工温度未満に全体的に加熱されて搬送され、レーザ光照射装置14により加工部位(端面)にレーザ光が照射される。こうしてワークWの加工部位は、レーザ光により加工温度以上の温度に加熱されて面取りないし平滑化が行われる。加工されたワークWは、徐冷装置16によりワークWの加工温度未満の温度に冷却される。
このように、ワークWに局所的かつ急峻な勾配を有する温度分布を生じさせずに、ひび割れや欠損等の破損を抑制していた。
このように、ワークWに局所的かつ急峻な勾配を有する温度分布を生じさせずに、ひび割れや欠損等の破損を抑制していた。
従来のガラス板の切断面の処理装置及び処理方法は、上述のように構成されているため、次のような課題があった。
すなわち、レーザ加工前にガラス板全体を常温より高い所定温度に予備加熱(予熱)する必要があり、かつ、レーザ加工後にガラス板全体を所定温度から常温へ徐々に冷却(徐冷)する必要があるため、処理工程に時間がかかり生産性を阻害していた。
すなわち、レーザ加工前にガラス板全体を常温より高い所定温度に予備加熱(予熱)する必要があり、かつ、レーザ加工後にガラス板全体を所定温度から常温へ徐々に冷却(徐冷)する必要があるため、処理工程に時間がかかり生産性を阻害していた。
また、ガラス板全体の予備加熱や徐冷を行なうことなく、常温のガラス板にレーザ光を照射すると、レーザ光の照射部位及びその周辺で急激な温度上昇と冷却が生じるため、ガラス板に局所的かつ急峻な勾配を有する温度分布が生じ、ガラス板にひび割れや欠損等の破損が発生する可能性が高い。これを防ぐためにレーザ光照射の前後で予熱ないし徐冷を行うには、予熱装置や徐冷装置として電気炉等の加熱装置が必要となるため、レーザ加工装置以外に大規模な周辺設備が必要になるという課題があった。
なお、レーザ加工前に加熱器等によりガラス板の端面(切断面)及び周辺を部分的に加熱する方法も考えられるが、ガラス板の熱伝導率は著しく小さいため、加熱器等によってガラス板を部分的に加熱すると、過熱部分とそれ以外の部分の境界における温度分布に急峻な温度勾配が生じるため、ガラス板のひび割れや欠損等の破損を効果的に抑制することは困難であった。
この発明は上述のような課題を解決するためになされたもので、複数のレーザ光をガラス板の切断面とその周辺領域に照射して、そのガラス板に生じる温度分布が急峻な温度勾配を有しないようにガラス板の切断面とその周辺領域を加熱することにより、ひび割れや欠損等の破損の発生を効果的に防いでガラス板の安全性や強度等の品質を保持しつつ、大規模な周辺設備を必要とせずにガラス板の切断面の処理工程にかかる時間を短縮することのできるガラス板の切断面の処理装置及び処理方法を提供することを目的とする。
この発明のガラス板の切断面の処理装置は、ガラス板の切断面に照射される第1レーザ光を発振する第1光源と、前記ガラス板の板面のうち、前記第1レーザ光の照射範囲の周辺領域に照射される第2レーザ光を発振する第2光源と、前記第1レーザ光及び第2レーザ光を誘導する誘導手段と、前記第2レーザ光によって昇温される前記周辺領域に対応する前記第1レーザ光の照射範囲において、前記第1レーザ光の照射範囲のガラスが溶融されるように、前記第1レーザ光のエネルギ密度を調整する第1調整手段と、前記第2レーザ光によって前記ガラス板の前記周辺領域が破損されることなく昇温されるように、前記ガラス板に照射される第2レーザ光のエネルギ密度を調整する第2調整手段とを備える。
また、前記第1レーザ光及び前記第2レーザ光を前記切断面の長手方向に走査させるために、前記ガラス板を移動するための移動手段をさらに備える。
また、前記第1レーザ光及び前記第2レーザ光を前記切断面の長手方向に走査させるためのレーザ光走査手段をさらに備える。
この発明のガラス板の切断面の処理方法は、ガラス板の切断面に第1レーザ光を照射する工程と、前記ガラス板の板面のうち、前記第1レーザ光の照射範囲の周辺領域に第2レーザ光を照射する工程とを備え、前記第2レーザ光によって昇温される前記周辺領域に対応する前記第1レーザ光の照射範囲において、前記第1レーザ光の照射範囲のガラスが溶融されるように、前記第1レーザ光のエネルギ密度を調整すると共に、前記第2レーザ光によって前記ガラス板の前記周辺領域が破損されることなく昇温されるように、前記ガラス板に照射される第2レーザ光のエネルギ密度を調整する。
この発明によれば複数のレーザ光をガラス板の切断面とその周辺領域に照射して、そのガラス板に生じる温度勾配が小さくなるような温度分布を形成し、そのガラス板の切断面とその周辺領域を加熱することにより、そのガラス板の切断面を処理するようにしたので、ガラス板全体を常温より高い所定温度に予備加熱して処理したりガラス板全体を所定温度から常温へ徐々に徐冷したりする工程にかかっていた時間を短縮するとともにそのガラス板のひび割れや欠損等の破損の発生を防ぐことができる。
また、この発明によれば複数のレーザ光を発生する光源を備え、その光源から発生する複数のレーザ光を前記ガラス板の端面とその周辺領域に照射するように構成したので、レーザ光源以外にガラス板の予熱装置や徐冷装置として電気炉等の加熱装置を備える必要がなく、大がかりな設備を必要とせずにガラス板の端面を処理してガラス板の安全性や強度等の品質を保持することができる。
以下、この発明のガラス板の切断面の処理装置及び処理方法について図を用いて説明する。
図1は、この発明のガラス板の切断面の処理装置の構成を概略的に示す図である。
図2は、この発明のガラス板の切断面の処理方法における処理の要部を概略的に説明するための拡大図である。
図1は、この発明のガラス板の切断面の処理装置の構成を概略的に示す図である。
図2は、この発明のガラス板の切断面の処理方法における処理の要部を概略的に説明するための拡大図である。
図1において、ガラス板1は、試料台2によって水平に保持されている。
試料台2は、ガラス板を移動するための移動手段である移動装置3に搭載され、ガラス板1の切断面1Aと平行な水平方向(図中矢印Sの方向:切断面の長手方向)に移動可能に構成されている。
第1光源4A及び第2光源4Bは、例えばCO2レーザのような赤外線レーザ光を発振するレーザ装置であり、第1レーザ光4a及び第2レーザ光4bをそれぞれ発振する。
試料台2は、ガラス板を移動するための移動手段である移動装置3に搭載され、ガラス板1の切断面1Aと平行な水平方向(図中矢印Sの方向:切断面の長手方向)に移動可能に構成されている。
第1光源4A及び第2光源4Bは、例えばCO2レーザのような赤外線レーザ光を発振するレーザ装置であり、第1レーザ光4a及び第2レーザ光4bをそれぞれ発振する。
図2に詳しく示すように、第1レーザ光4aは、誘導部5及び第1調整装置6Aを介してガラス板1の切断面1Aに照射され、第2レーザ光4bは、誘導部5及び第2調整装置6Bを介してガラス板1の切断面1Aの周辺領域1Bに照射される。図2では、第1レーザ光4aは切断面1Aに垂直な方向から照射され、第2レーザ光4bは、ガラス板1の板面1Cに垂直な方向から照射される。
なお、第1レーザ光4aの照射範囲は、図2に示すように、照射範囲の直径がガラス板1の厚さと略同一であればよく、また、周辺領域1Bとは、図2に示すように、ガラス板1の切断面1Aに第1レーザ光4aが照射される範囲の周辺の領域をいう。
なお、第1レーザ光4aの照射範囲は、図2に示すように、照射範囲の直径がガラス板1の厚さと略同一であればよく、また、周辺領域1Bとは、図2に示すように、ガラス板1の切断面1Aに第1レーザ光4aが照射される範囲の周辺の領域をいう。
ここで、誘導部5は、複数のミラーで構成されており、第1光源4Aと第2光源4Bから発振された第1レーザ光4aと第2レーザ光4bをガラス板1の切断面1Aとその周辺領域1Bにそれぞれ誘導する。
誘導部5から出射された第1レーザ光4a及び第2レーザ光4bは、第1調整装置6A及び6Bを経て、ガラス板1の切断面1A及び周辺領域1Bにそれぞれ照射される。
誘導部5から出射された第1レーザ光4a及び第2レーザ光4bは、第1調整装置6A及び6Bを経て、ガラス板1の切断面1A及び周辺領域1Bにそれぞれ照射される。
また、第1調整装置6A及び第2調整装置6Bは、エネルギ密度を調整するための複数のレンズで構成されている。第1調整装置6Aは、第2レーザ光4bによって昇温される周辺領域1Bに対応する第1レーザ光4aの照射範囲において、第1レーザ光4aの照射範囲のガラスが溶融されるように、第1レーザ光4aのエネルギ密度を調整する第1調整手段である。
一方、第2調整装置6Bは、第2レーザ光4bによってガラス板1の周辺領域1Bが破損されることなく昇温されるように、ガラス板1に照射される第2レーザ光4bのエネルギ密度を調整する第2調整手段である。さらに、第2調整装置6Bは、照射範囲の境界においてガラス板1に破損を生じさせない緩やかな温度分布であって、かつ、照射範囲の境界から中心に向かってガラス板1に破損を生じさせない程度に緩やかな温度勾配を有する温度分布になるように第2レーザ光4bのエネルギ密度を調整する。
以上のような構成の本発明のガラス板の切断面の処理装置において、ガラス板1に第2レーザ光4bを照射してガラス板1の切断面1A及び周辺領域1Bを溶融点より低い所定の温度で加熱すると共に、ガラス板1の切断面1Aに第1レーザ光4aを照射して切断面1Aを溶融点以上の温度に加熱する。そして、第1レーザ光4a及び第2レーザ光4bを照射しながら、ガラス板1を矢印Sの方向に所定速度で移動させれば、ガラス板1の切断面1A全体を処理することができる。
このように、切断面1Aの周辺領域1Bに第2レーザ光4bを照射してガラス板1が破損しないように昇温しつつ、第1レーザ光4aを照射してガラス板1の切断面1Aをガラス板1の溶融点以上の温度に加熱するので、ガラス板1全体を昇温しなくてもガラス板1の切断面1Aが溶融して軟化し、ガラス板1の切断面1Aをガラス自体の表面張力により、切断面を平滑にすると共に切断面と板面との角部を滑らかな曲面に処理することができる。
このような処理により、所定の形状に切断されたガラス板1の切断面1Aの稜にあらわれる鋭い角部を、ガラス板を取り扱う上で安全な形状にすることができ、ガラス板1の切断面1Aにおけるチッピングやクラックを減少させてガラス板1の耐衝撃性を向上させることができる。また、この第1レーザ光4aと第2レーザ光4bの照射による加熱によれば、ガラス板1に生じる温度分布における温度勾配を緩やかにすることができるので、ガラス板1のひび割れや欠損等の破損を効果的に防止することができる。
また、従来のようにガラス板全体を常温より高い所定温度に予備加熱して処理したり、ガラス板全体を所定温度から常温へ徐々に徐冷したりする工程にかかっていた時間を短縮することができる。
さらに、レーザ光源にガラス板の予熱装置や徐冷装置として電気炉等の加熱装置を備える必要がなく、大がかりな設備を必要とせずにガラス板の端面を処理してガラス板の安全性や強度等の品質を保持することができる。
さらに、レーザ光源にガラス板の予熱装置や徐冷装置として電気炉等の加熱装置を備える必要がなく、大がかりな設備を必要とせずにガラス板の端面を処理してガラス板の安全性や強度等の品質を保持することができる。
なお、以上の説明では、移動装置3によってガラス板1を移動させる場合について説明したが、移動装置3を設けずに、第1調整装置6Aとガラス板1の間、及び、第2調整装置6Bとガラス板1との間にそれぞれガルバノミラーを設け、ガラス板1を移動させずに、第1レーザ光4a及び第2レーザ光4bを走査するように構成してもよい。
この場合は、このガルバノミラーが、切断面の長手方向に走査させるためのレーザ光走査手段としての役割を担う。
この場合は、このガルバノミラーが、切断面の長手方向に走査させるためのレーザ光走査手段としての役割を担う。
また、以上では、二本のレーザ光を得るために独立した二つの光源(第1光源4A及び第2光源4B)を用いる場合について説明したが、一つの光源から発振されるレーザ光を誘導部5の直前あるいは直後で二本のレーザ光を得るべく分岐するための光学装置を設けてもよい。
また、以上では、誘導部5が複数のミラーで構成される場合について説明したが、誘導部5として光ファイバを用いてもよい。
また、以上では、ガラス板1の切断面1Aとその周辺領域1Bに誘導された第1レーザ光4a及び第2レーザ光4bのエネルギ密度を調整するための第1調整装置6A及び第2調整装置6Bがレンズ等の光学素子で構成される場合について説明したが、第1レーザ光4a及び第2レーザ光4bの強度または第1レーザ光4aが照射される領域及び第2レーザ光4bが照射される領域におけるガラス板1の温度をモニタリング(フィードフォーワード制御)する装置を用いてもよい。
また、以上では、ガラス板1の切断面1Aとその周辺領域1Bに誘導された第1レーザ光4a及び第2レーザ光4bのエネルギ密度を調整するための第1調整装置6A及び第2調整装置6Bがレンズ等の光学素子で構成される場合について説明したが、第1レーザ光4a及び第2レーザ光4bの強度または第1レーザ光4aが照射される領域及び第2レーザ光4bが照射される領域におけるガラス板1の温度をモニタリング(フィードフォーワード制御)する装置を用いてもよい。
1 ガラス板、1A 切断面、1B 周辺領域、1C 板面、2 試料台、3 移動装置、4a 第1レーザ光、4b 第2レーザ光、4A 第1光源、4B 第2光源、5 誘導部、6A 第1調整装置、6B 第2調整装置。
Claims (4)
- ガラス板の切断面に照射される第1レーザ光を発振する第1光源と、
前記ガラス板の板面のうち、前記第1レーザ光の照射範囲の周辺領域に照射される第2レーザ光を発振する第2光源と、
前記第1レーザ光及び第2レーザ光を誘導する誘導手段と、
前記第2レーザ光によって昇温される前記周辺領域に対応する前記第1レーザ光の照射範囲において、前記第1レーザ光の照射範囲のガラスが溶融されるように、前記第1レーザ光のエネルギ密度を調整する第1調整手段と、
前記第2レーザ光によって前記ガラス板の前記周辺領域が破損されることなく昇温されるように、前記ガラス板に照射される第2レーザ光のエネルギ密度を調整する第2調整手段と
を備えるガラス板の切断面の処理装置。 - 前記第1レーザ光及び前記第2レーザ光を前記切断面の長手方向に走査させるために、前記ガラス板を移動するための移動手段をさらに備える請求項1記載のガラス板の切断面の処理装置。
- 前記第1レーザ光及び前記第2レーザ光を前記切断面の長手方向に走査させるためのレーザ光走査手段をさらに備える請求項1記載のガラス板の切断面の処理装置。
- ガラス板の切断面に第1レーザ光を照射する工程と、
前記ガラス板の板面のうち、前記第1レーザ光の照射範囲の周辺領域に第2レーザ光を照射する工程と
を備え、前記第2レーザ光によって昇温される前記周辺領域に対応する前記第1レーザ光の照射範囲において、前記第1レーザ光の照射範囲のガラスが溶融されるように、前記第1レーザ光のエネルギ密度を調整すると共に、前記第2レーザ光によって前記ガラス板の前記周辺領域が破損されることなく昇温されるように、前記ガラス板に照射される第2レーザ光のエネルギ密度を調整することを特徴とするガラス板の切断面の処理方法。
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