JP2006272847A - インクジェットヘッド及びその製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッド及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006272847A JP2006272847A JP2005098088A JP2005098088A JP2006272847A JP 2006272847 A JP2006272847 A JP 2006272847A JP 2005098088 A JP2005098088 A JP 2005098088A JP 2005098088 A JP2005098088 A JP 2005098088A JP 2006272847 A JP2006272847 A JP 2006272847A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- substrate
- jet head
- ink jet
- top plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
【課題】基板/液路/接着層/天板で構成されたインクジェットヘッドで不透明天板を使用でき、天板接合時に圧力でノズルが変形することなく、接着剤でノズルが閉塞することのないインクジェットヘッド。
【解決手段】第一の基体に設けられ液体を吐出する吐出口に連通する液路と、該液路と連通する液室とを有し、液室の一部が凹部を有する第二の基体からなり、第二の基体の液路に対応する接着代が第一の基体と第二の基体の接着層より厚いことを特徴とするインクジェットヘッド。
【選択図】 図1
【解決手段】第一の基体に設けられ液体を吐出する吐出口に連通する液路と、該液路と連通する液室とを有し、液室の一部が凹部を有する第二の基体からなり、第二の基体の液路に対応する接着代が第一の基体と第二の基体の接着層より厚いことを特徴とするインクジェットヘッド。
【選択図】 図1
Description
本発明は、インクジェットヘッドおよびその製造方法に関するものである。
吐出口を精度よく作成する方法として特許文献1に示す以下の方法がある。
第一の基体上の液路形成予定部位に固体層をパターン形成し、更に活性エネルギー線硬化樹脂からなる流路構成部材をその固体層を覆うようにして積層し、次に第二の基体〔天板〕をその流路構成部材の上面に重ねながら活性エネルギー線を天板側から照射することによって、その樹脂の硬化及び樹脂と天板との接着を行い、最終的に該固体層を溶解等の手段にて除去することによって流路を形成する。
この方法にも2つの問題がある。
1つは天板を接合するときの圧力が強すぎると流路構成部材の天井側の厚さが薄くなり、流路天井部の剥離や通路へのたれこみが生じる。
天板への圧力が弱すぎると流路構成部材の剥離を生じやすい。
これを解決する方法が特許文献2に示されている。
これは、流路外の天板−基板間に固体層より厚いスペーサ部材を設け、このスペーサ部材と流路構成部材を介して天板―基板の接着を行う。これにより、流路天井部も加圧による悪影響を受けない。
しかし、これは天板とは別のスペーサ部材に限定されること、基板―天板との接着が流路構成部材に限定されるなどの問題が有る。
特許文献1のもうひとつの問題点は、天板を介してエネルギー線硬化樹脂に活性エネルギー線を照射するので、天板の材質としては、活性エネルギー線に対して透過性の高いものを用いる必要があることである。
これに対し、任意の天板を用いることを可能にしたのが、特許文献3に示す以下の方法である。図3にこの製法によるインクジェットヘッドの斜視図が示されている。図4には、図3のA−A断面の工程を示す。
図4(1)
吐出圧発生素子を備えた第一の基体1上に固体層2をパターニングする。
吐出圧発生素子を備えた第一の基体1上に固体層2をパターニングする。
図4(2)
固体層2が形成された基体1の面に活性エネルギー線硬化性樹脂8aを被覆する。
固体層2が形成された基体1の面に活性エネルギー線硬化性樹脂8aを被覆する。
図4(3)
活性エネルギー線硬化樹脂8aにマスク6を介し、活性エネルギーを照射する。
活性エネルギー線硬化樹脂8aにマスク6を介し、活性エネルギーを照射する。
図4(4)
現像により、未露光の活性エネルギー硬化樹脂8aと共通液室予定部位の固体層2が除去される。
現像により、未露光の活性エネルギー硬化樹脂8aと共通液室予定部位の固体層2が除去される。
図4(5)
凹部を有する第二の基体(天板)5に接着剤8bを塗布し、第一の基体1と接着する。
凹部を有する第二の基体(天板)5に接着剤8bを塗布し、第一の基体1と接着する。
図4(6)
中央を切断する。
中央を切断する。
図4(7)
液路内の固体層を除去し吐出口9を得る。共通液室10を有するヘッドが完成する。
液路内の固体層を除去し吐出口9を得る。共通液室10を有するヘッドが完成する。
図4(6)の拡大図を図5に示す。
この場合も特許文献1と同じく、
1)天板接合時の圧力が高すぎると流路構成部材に圧力が加わり吐出口が変形する。
2)天板接合時の圧力が低すぎると密着強度が弱く切断時やその後の工程で天板が剥離しやすい。
1)天板接合時の圧力が高すぎると流路構成部材に圧力が加わり吐出口が変形する。
2)天板接合時の圧力が低すぎると密着強度が弱く切断時やその後の工程で天板が剥離しやすい。
また液路上の接着層8bのたれこみ17が生じやすく吐出口を閉塞する可能性がある。
更に固体層2を被覆する樹脂が活性エネルギー線硬化性樹脂に限定されているため、材料選択幅が小さい。
特公平6−98755号公報
特開平05−000513号公報
特開平2−3318号公報
そこで本発明の目的は
1)任意の天板が使用でき、十分な密着力が得られ流路構成部材には異常な圧力が加わらない
2)前記1)の方法として、スペーサ部材を流路構成部材で接着する以外の方法も適用可能
3)接着層のたれこみによるノズル閉塞を防止可能
なインクジェットヘッド及びその製造方法を提供することにある。
1)任意の天板が使用でき、十分な密着力が得られ流路構成部材には異常な圧力が加わらない
2)前記1)の方法として、スペーサ部材を流路構成部材で接着する以外の方法も適用可能
3)接着層のたれこみによるノズル閉塞を防止可能
なインクジェットヘッド及びその製造方法を提供することにある。
液体を吐出する吐出口に連通する液路と該液路と連通する液室とを有するインクジェットヘッドの製造方法において、少なくとも液路予定部位に溶解除去可能な固体層を設ける工程と、液路予定部位を被覆するように硬化性樹脂を被覆、硬化させ液路を形成する工程と、液室の一部を形成するための凹部を有する第二の基体を前記第一の基体に接着する工程からなり、第二の基体の前記液路に対応する接着代が第一、第二の基体の接着代または、第二の基体の後端流路壁に対する接着層より厚いことを特徴とする。
好ましくは、液路長よりも液路―第二の基体の接着代を短くする。
なお、さらに説明すれば、本発明は下記の構成によって前記課題を解決できた。
(1)第一の基体に設けられ液体を吐出する吐出口に連通する液路と、該液路と連通する液室とを有し、液室の一部が凹部を有する第二の基体からなり、第二の基体の液路に対応する接着代が第一の基体と第二の基体の接着層より厚いことを特徴とするインクジェットヘッド。
(2)液体を吐出する吐出口に連通する液路と該液路と連通する液室とを有するインクジェットヘッドの製造方法において、第一の基体上に液路を形成する工程と、液室の一部を形成するための凹部を有する第二の基体を前記第一の基体に接着する工程からなり、第二の基体の液路に対応する接着代が第二の基体の後端流路壁に対する接着層より厚いことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
本発明によれば、
1)任意の天板が使用でき、基板切断前に天板―基板の接合を行っても応力による天板剥離の危険性が少ない
2)前記1)の応力低減の方法として、スペーサ部材を流路構成部材で接着する以外の方法も適用可能
3)接着層のたれこみによるノズル閉塞を防止可能
なインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
1)任意の天板が使用でき、基板切断前に天板―基板の接合を行っても応力による天板剥離の危険性が少ない
2)前記1)の応力低減の方法として、スペーサ部材を流路構成部材で接着する以外の方法も適用可能
3)接着層のたれこみによるノズル閉塞を防止可能
なインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
以下、本発明の実施例を図面を参照しながら説明する。
図4と同様に1対2ヘッドの製造工程を以下に示す。
図1(1)
まず、アルミ基板(第1の基体1)上に液路予定部位及び液室予定部位に東京応化製ポジレジストODUR−1010(固体層2)が20ミクロンパターニング等により選択的に形成される。
まず、アルミ基板(第1の基体1)上に液路予定部位及び液室予定部位に東京応化製ポジレジストODUR−1010(固体層2)が20ミクロンパターニング等により選択的に形成される。
図1(2)
固体層の形成されたアルミ基板上に以下の成分の光硬化性樹脂8aをスピンナーで30μm塗布する。光硬化性樹脂8aはダイセル化学工業製EHPE−3150と旭電化工業製アデカオプトマーSP170とキシレンをそれぞれ100重量部、100重量部、1.5重量部混合したものである。
固体層の形成されたアルミ基板上に以下の成分の光硬化性樹脂8aをスピンナーで30μm塗布する。光硬化性樹脂8aはダイセル化学工業製EHPE−3150と旭電化工業製アデカオプトマーSP170とキシレンをそれぞれ100重量部、100重量部、1.5重量部混合したものである。
図1(3)
後に液路となる部分にのみ光硬化性樹脂8aが残るようにマスク6を介し露光装置キヤノン製PLA630で10秒露光し、60℃で30分間のアフターベーク処理を行う。その後メチルイソブチルケトンで現像処理する。
後に液路となる部分にのみ光硬化性樹脂8aが残るようにマスク6を介し露光装置キヤノン製PLA630で10秒露光し、60℃で30分間のアフターベーク処理を行う。その後メチルイソブチルケトンで現像処理する。
図1(4)
前記現像液では、固体層は溶解しないため従来例とは異なり共通液室予定部位の固体層も残る。後に液路となる部分(中央2mm)にのみ樹脂が形成、硬化される。
前記現像液では、固体層は溶解しないため従来例とは異なり共通液室予定部位の固体層も残る。後に液路となる部分(中央2mm)にのみ樹脂が形成、硬化される。
図1(5)
天板と基板を接合する。天板は、従来例とは異なり中央部が端部より薄くなっている。寸法は中央の厚さ0.9mm、幅2.0mm、端が厚さ1mm、幅1.1mmで、耐食処理を施している。
天板と基板を接合する。天板は、従来例とは異なり中央部が端部より薄くなっている。寸法は中央の厚さ0.9mm、幅2.0mm、端が厚さ1mm、幅1.1mmで、耐食処理を施している。
このアルミ天板(第2の基体5)の中央及び両端に常温硬化性樹脂8bをディスペンサ4で塗布する。
塗布条件は塗布速度30mm/sec、ニードルG22、ニードル−天板中央部間距離0.2mm、ニードル−天板端部間距離0.1mm、端部塗布圧0.3kg/cm2、中央塗布圧0.7kg/cm2である。
常温硬化性樹脂8bとしては油化シェルエポキシ(株)製エピコート828重両部100、富士化成工業(株)製フジキュアー6010重両部50を混合したものを用いた。
図1(6)
オーブン7で70℃1時間の硬化を行い、樹脂8bを半硬化状態とする。
オーブン7で70℃1時間の硬化を行い、樹脂8bを半硬化状態とする。
図1(7)
図1(4)の基板と(6)の天板5を接合する。
図1(4)の基板と(6)の天板5を接合する。
天板の中央が0.1mm薄いため、強固に接着しても液路構成部材と天板間は半硬化状態の樹脂8bで占められるため液路構成部材に大きな圧力が加わることはない。このため、十分な密着力を確保しても流路構成部材に異常な圧力が加わることはない。
図1(8)
閉空間の共通液室10が形成される。その後70℃6時間+120℃1時間の硬化を行う。
閉空間の共通液室10が形成される。その後70℃6時間+120℃1時間の硬化を行う。
図1(9)
刃幅1.0mmのダイヤモンドバイト13で対向ヘッド中央を切断し、2ヘッドに分離する。この時の吐出口面と断面図を図7に示す。今回の樹脂塗布条件では、図のようにL1>L2となる。流路長は、光硬化性樹脂8aの被覆長さL1で与えられるためヘッド長さ方向に渡り均一である。樹脂8bの光硬化樹脂8aとの接触長さL2がL1>L2であること、樹脂8bが半硬化状態であることから、樹脂8bが共通液室の固体層2の表面までたれこむことはない。この結果、樹脂8bのたれこみによるノズルの閉塞を抑制できる。
刃幅1.0mmのダイヤモンドバイト13で対向ヘッド中央を切断し、2ヘッドに分離する。この時の吐出口面と断面図を図7に示す。今回の樹脂塗布条件では、図のようにL1>L2となる。流路長は、光硬化性樹脂8aの被覆長さL1で与えられるためヘッド長さ方向に渡り均一である。樹脂8bの光硬化樹脂8aとの接触長さL2がL1>L2であること、樹脂8bが半硬化状態であることから、樹脂8bが共通液室の固体層2の表面までたれこむことはない。この結果、樹脂8bのたれこみによるノズルの閉塞を抑制できる。
図1(10)
ポジレジスト2を除去液エチルセロソルブで除去し吐出口9を有するヘッドを得る。
ポジレジスト2を除去液エチルセロソルブで除去し吐出口9を有するヘッドを得る。
本実施例では液路と天板の接着層厚さを天板―基板の接着総厚さより厚くするために天板形状に変化を設けたが、スペーサ部材を基板側または天板側に設けることでも構わない。また接着剤を天板側に塗布したが、基板側(液路上)に塗布しても良い。
本実施例では液路を、固体層2に樹脂を塗布し、後に固体層を除去することで作成したが、固体層を用いず、ノズル壁、天井部分をドライフィルム等の樹脂で形成する方法でも良い。
図2(1)(2)
図1(1)(2)と同じ。但し光硬化性樹脂8aの厚さは50μmとする。
図1(1)(2)と同じ。但し光硬化性樹脂8aの厚さは50μmとする。
図2(3)
図4(3)と同じく、液路部分と端部に光があたるようなマスクを介して光を照射する。
図4(3)と同じく、液路部分と端部に光があたるようなマスクを介して光を照射する。
図2(4)
光硬化性樹脂8aを現像する。
光硬化性樹脂8aを現像する。
図2(5)
ダイヤモンドバイト13で液路上の樹脂部分だけを20μ切削する。
ダイヤモンドバイト13で液路上の樹脂部分だけを20μ切削する。
図2(6)
液路上の樹脂層が20μへこんだ状態となる。
液路上の樹脂層が20μへこんだ状態となる。
図2(7)
天板に常温硬化性樹脂8bを塗布する。用いる天板は図1とは異なり中央と端部の厚みが同じものである。寸法は厚さ1.0mm、中央の幅2.0mm、端部の幅1.1mmで、耐食処理を施している。
天板に常温硬化性樹脂8bを塗布する。用いる天板は図1とは異なり中央と端部の厚みが同じものである。寸法は厚さ1.0mm、中央の幅2.0mm、端部の幅1.1mmで、耐食処理を施している。
このアルミ天板(第2の基体5)の中央及び両端に常温硬化性樹脂8bをディスペンサ4で塗布する。
塗布条件は塗布速度30mm/sec、ニードルG22、ニードル−天板0.2mm塗布圧0.3kg/cm2である。
図2(8)〜(12)
図1(6)〜(10)と同じ。図2(11)で分離後の吐出口面と断面を図7に示す。液室後端は光硬化性樹脂8aのスペーサと天板5で密着接着される。この接着剤である常温硬化性樹脂8bは光硬化性樹脂8aのスペーサを伝わり液質にたれこむ可能性は有るがノズルを閉塞することはない。液路上の常温硬化性樹脂8bは図1と同様にL2<L1とすることができる。これにより常温硬化性樹脂のたれこみによるノズルの閉塞を抑制できる。
図1(6)〜(10)と同じ。図2(11)で分離後の吐出口面と断面を図7に示す。液室後端は光硬化性樹脂8aのスペーサと天板5で密着接着される。この接着剤である常温硬化性樹脂8bは光硬化性樹脂8aのスペーサを伝わり液質にたれこむ可能性は有るがノズルを閉塞することはない。液路上の常温硬化性樹脂8bは図1と同様にL2<L1とすることができる。これにより常温硬化性樹脂のたれこみによるノズルの閉塞を抑制できる。
図1と異なり、天板の加工が簡単になるというメリットや、液室後端の第一の基体上に凹凸があっても光硬化性樹脂のスペーサで凹凸を緩和できるため天板を接着しやすくなる。
以上の実施例はアルミ基板、アルミ天板の構成で示したが、シリコン基板、ガラス天板などの異種材料であっても本発明の範疇であることは言うまでもない。
1 第一の基体
2 第一の固体層
3 凹部
4 ディスペンサ
5 第二の基体
6 マスク
7 オーブン
8 硬化性樹脂
8a 光硬化性樹脂
8b 常温硬化性樹脂
9 吐出口
10 共通液室
11 ノズルフィルター
12 切断線
13 ダイヤモンドバイト、切断ブレード
14 真空チャンバー
17 たれ込み
2 第一の固体層
3 凹部
4 ディスペンサ
5 第二の基体
6 マスク
7 オーブン
8 硬化性樹脂
8a 光硬化性樹脂
8b 常温硬化性樹脂
9 吐出口
10 共通液室
11 ノズルフィルター
12 切断線
13 ダイヤモンドバイト、切断ブレード
14 真空チャンバー
17 たれ込み
Claims (6)
- 第一の基体に設けられ液体を吐出する吐出口に連通する液路と、該液路と連通する液室とを有し、液室の一部が凹部を有する第二の基体からなり、第二の基体の液路に対応する接着代が第一の基体と第二の基体の接着層より厚いことを特徴とするインクジェットヘッド。
- 第一の基体に設けられ液体を吐出する吐出口に連通する液路と、該液路と連通する液室とを有し、液室の一部が凹部を有する第二の基体からなり、第二の基体の液路に対応する接着代が第二の基体の後端流路壁に対する接着層より厚いことを特徴とするインクジェットヘッド。
- 液路と第二の基体の接着代が液路長より短いことを特徴とする請求項1又は2記載のインクジェットヘッド。
- 液体を吐出する吐出口に連通する液路と該液路と連通する液室とを有するインクジェットヘッドの製造方法において、第一の基体上に液路を形成する工程と、液室の一部を形成するための凹部を有する第二の基体を前記第一の基体に接着する工程からなり、第二の基体の液路に対応する接着代が第二の基体の後端流路壁に対する接着層より厚いことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
- 液路の形成が、第一の基体上の少なくとも液路予定部位に溶解除去可能な固体層を設ける工程と、液路予定部位を被覆するように硬化性樹脂を被覆、硬化させ後に前記固体層を除去することを特徴とする請求項4記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 液路と第二の基体の接着を、第二の基体に塗布した接着剤を半硬化して行うことを特徴とする請求項4又は5記載のインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005098088A JP2006272847A (ja) | 2005-03-30 | 2005-03-30 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005098088A JP2006272847A (ja) | 2005-03-30 | 2005-03-30 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006272847A true JP2006272847A (ja) | 2006-10-12 |
Family
ID=37208042
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005098088A Withdrawn JP2006272847A (ja) | 2005-03-30 | 2005-03-30 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006272847A (ja) |
-
2005
- 2005-03-30 JP JP2005098088A patent/JP2006272847A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4834426B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
JPH0558898B2 (ja) | ||
US6186618B1 (en) | Ink jet printer head and method for manufacturing same | |
JPS6334152A (ja) | インクジェットプリントヘッド用の接着剤の選択的塗布及び接合方法 | |
JPS60206657A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
JP5043548B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
JPH05513A (ja) | 液体噴射記録ヘツドの製造方法及び該製造方法によつて製造された液体噴射記録ヘツド並びに該ヘツドを具備する液体噴射記録装置 | |
JPH0952371A (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
JP2006272847A (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
JP2006289637A (ja) | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッド製造方法 | |
JP3115639B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製作方法 | |
JPH05155017A (ja) | インクジェットヘッド | |
JPH091812A (ja) | 液体噴射記録ヘッドの製造方法および製造装置 | |
JP2008201088A (ja) | 液滴吐出ヘッド及びその製造方法、貼り合わせ構造及び貼り合わせ方法 | |
JP2002059557A (ja) | 薄膜体設置方法 | |
JPH0414458A (ja) | プレートの接合方法およびインクジェットヘッドの製造方法 | |
JPH02187356A (ja) | インクジェット記録ヘッド用吐出口形成部材の製造方法 | |
JP2795170B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 | |
JPH11179923A (ja) | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 | |
JPS58224758A (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
JP5925064B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2006103093A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
JP2002326360A (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JPH03189161A (ja) | 液体噴射記録ヘッドの製造方法 | |
JP2006095960A (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080603 |