JP2006272355A - レーザー加工装置およびレーザー光の位置合わせ方法。 - Google Patents
レーザー加工装置およびレーザー光の位置合わせ方法。 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】カメラ5が載設されたθステージ4θを回転させ、カメラ5に対し相対移動するレーザー光LBの軌跡を撮像する。該撮像データで表現される円に存在する任意の3点を通る円の方程式を解くことにより、回転中心Rのカメラ座標系における座標値を算出する。次に、θステージ4θを停止させて撮像を行い、ビームスポットLの撮像画像を得る。該ビームスポットLのカメラ座標系における座標位置を特定して回転中心Rとの座標差ベクトルを算出し、該ベクトルの分だけXステージ4XとYステージ4Yとを移動させる。これにより、レーザー光LBのビームスポットLが回転中心Rと一致する。
【選択図】図1
Description
<装置構成>
図1は、本発明の第1の実施の形態に係るレーザー加工装置100の構成を概略的に示す図である。レーザー加工装置100は、レーザー光源1から発したレーザー光LBを、ミラー2や集光レンズ3等の照射光学系によって所定のビーム径に調整したうえでステージ4に載設された被加工物Sの被加工部位に照射することによって、該被加工部位の加工を実現する装置である。なお、以降の説明において、レーザー加工装置100のうちレーザー光源1や照明光学系や、ステージ4などから構成される部分を特に、「本体部」と称することがある。
次に、レーザー加工装置100において被加工物に対して穴開け加工を施す場合に特に好適なレーザー光の位置合わせ方法について説明する。
上述のように、第1の実施の形態による位置合わせ方法を用いることで、θステージ4θを回転させた場合であっても、レーザー光LBのビームスポットが図5(a)のような円状の軌跡像T1を与えるように移動することなく、図5(b)のように軌跡像T2が不動点となる状態、すなわちビームスポットの位置とθステージ4θの回転中心とが一致した状態を実現できる。
上述のようなレーザー光の位置合わせを実現するレーザー加工装置は、図1に示すような構造を有するものに限られない。本実施の形態においては、レーザー光の位置合わせの精度をより向上させる構造を有するレーザー加工装置200について説明する。
第1の実施の形態においては回転中心の座標を求めた上で、その位置へとレーザー光のビームスポットLの位置を移動させる態様を示したが、これに代わり、θステージ4θを回転させてその状態を表示手段14にて観察しつつ、その軌跡が不動点になる状態をXステージ4XおよびYステージ4Yを適宜に移動させることで、位置合わせを実現する態様であってもよい。
3 集光レンズ
4 ステージ
5 カメラ
6 変倍ユニット
7 保持部
8 変倍レンズ
9 スリット
10 コントローラ
100、200 レーザー加工装置
C 包絡線
I0、I1 カメラ5による観察像
L ビームスポット
LB レーザー光
R 回転中心
S 被加工物
Claims (12)
- レーザー光を照射することによって被加工物に対し所定の加工を行うレーザー加工装置であって、
所定の駆動機構によって駆動されることにより、水平面内の互いに直交する二軸方向への移動と、前記水平面内における回転とがそれぞれ独立して行えるように設けられてなるステージと、
所定の光源から発せられたレーザー光を前記ステージに向けて照射する照射手段と、
前記ステージが前記回転をする際の回転中心を撮像領域内に含むように前記ステージに載置された状態で、前記照射手段から照射されたレーザー光による像を所定の結像位置で撮像する撮像手段と、
前記撮像手段によって撮像された撮像画像に基づいて、前記回転中心の位置を特定する特定手段と、
を備えることを特徴とするレーザー加工装置。 - 請求項1に記載のレーザー加工装置であって、
前記撮像手段は前記ステージが回転している際の前記ステージに対するレーザー光のビームスポットの相対軌跡を示す軌跡像を撮像可能であり、
前記特定手段が、前記軌跡像に基づいて前記回転中心の位置を特定する、
ことを特徴とするレーザー加工装置。 - 請求項2に記載のレーザー加工装置であって、
前記特定手段は、前記軌跡像として得られる円もしくは円弧の中心位置を前記回転中心の位置として特定する、
ことを特徴とするレーザー加工装置。 - 請求項2または請求項3に記載のレーザー加工装置であって、
前記特定手段は、前記軌跡像の面積が極小となる前記レーザー光の照射位置を前記回転中心の位置として特定する、
ことを特徴とするレーザー加工装置。 - 請求項2ないし請求項4のいずれかに記載のレーザー加工装置であって、
前記特定手段は、前記軌跡像の包絡線として得られる円の半径が極小となる前記レーザー光の照射位置を前記回転中心の位置として特定する、
ことを特徴とするレーザー加工装置。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のレーザー加工装置であって、
前記照射手段と前記撮像手段との間に設けられ、前記レーザー光による像を変倍させる変倍手段、
をさらに備えることを特徴とするレーザー加工装置。 - 所定の光源から発せられたレーザー光を所定の照射手段によって照射することによって被加工物に対し所定の加工を行うレーザー加工装置において、第1の駆動機構によって駆動されることにより水平面内で回転可能に設けられたステージの回転中心と、前記レーザー光を前記ステージに向けて照射させた際の照射位置とを一致させるレーザー光の位置合わせ方法であって、
前記回転中心が撮像領域内に含まれるように前記ステージに載置した所定の撮像手段により、前記照射手段から照射されたレーザー光による像を所定の結像位置において撮像する撮像工程と、
前記撮像工程において撮像された撮像画像に基づいて、前記回転中心の位置を特定する特定工程と、
第2の駆動機構によって前記ステージを前記レーザー光に対して相対的に移動させることにより、前記特定工程において特定された前記回転中心に前記レーザ光の照射位置を相対移動させる移動工程と、
を備えることを特徴とするレーザー光の位置合わせ方法。 - 請求項7に記載のレーザー光の位置合わせ方法であって、
前記撮像工程においては前記ステージが回転している際の前記ステージに対するレーザー光のビームスポットの相対軌跡を示す軌跡像を撮像可能であり、
前記特定工程においては、前記軌跡像に基づいて前記回転中心の位置を特定する、
ことを特徴とするレーザー光の位置合わせ方法。 - 請求項8に記載のレーザー光の位置合わせ方法であって、
前記特定工程においては、前記軌跡像として得られる円もしくは円弧の中心位置を前記回転中心の位置として特定する、
ことを特徴とするレーザー光の位置合わせ方法。 - 請求項8または請求項9に記載のレーザー光の位置合わせ方法であって、
前記特定工程においては、前記軌跡像の面積が極小となる前記レーザー光の照射位置を前記回転中心の位置として特定する、
ことを特徴とするレーザー光の位置合わせ方法。 - 請求項8ないし請求項10のいずれかに記載のレーザー光の位置合わせ方法であって、
前記特定工程においては、前記軌跡像の包絡線として得られる円の半径が極小となる前記レーザー光の照射位置を前記回転中心の位置として特定する、
ことを特徴とするレーザー光の位置合わせ方法。 - 請求項7ないし請求項11のいずれかに記載のレーザー光の位置合わせ方法であって、
前記レーザー光による像を、所定の変倍手段によって変倍させたうえで前記撮像手段に撮像させる、
ことを特徴とするレーザー光の位置合わせ方法。
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