JP2006253679A - Nor構造のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子及びその動作方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】NOR構造のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子及びその動作方法を提供する。
【解決手段】複数の行及び列のマトリックスに配列された単位セルCを備え、各単位セルCは、相異なる形態の第1メモリ部及び第2メモリ部を備え、二つのメモリ部は、ソース及びドレインを共有し、一の行に配列された単位セルCの第1メモリ部は、一のワードラインWに連結され、一の列に配列された単位セルCのドレインは、一のビットラインBに連結されるハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子である。
【選択図】図1
【解決手段】複数の行及び列のマトリックスに配列された単位セルCを備え、各単位セルCは、相異なる形態の第1メモリ部及び第2メモリ部を備え、二つのメモリ部は、ソース及びドレインを共有し、一の行に配列された単位セルCの第1メモリ部は、一のワードラインWに連結され、一の列に配列された単位セルCのドレインは、一のビットラインBに連結されるハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子である。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体メモリ素子に係り、特に、マルチビットで動作する不揮発性メモリ素子及びその動作方法に関する。
近年、携帯電話及びデジタルカメラ市場の拡大によって、一般的なコンピュータで使用される揮発性メモリ素子、例えば、DRAM(Dynamic Random Access Memory)とは違って、不揮発性メモリ素子の需要が増加している。このような不揮発性メモリ素子は、速い処理速度を有しつつも、電源が遮断されても保存されたデータを維持できる。
不揮発性メモリ素子には、大きくトランジスタの閾電圧遷移を利用するものと、電荷移動を利用するものと、抵抗変化を利用するものとがある。閾電圧遷移を利用するものとしては、浮遊ゲートをストレージノードとして利用するフラッシュメモリと、電荷トラップをストレージノードとして利用するSONOSメモリとがある。電荷移動を利用するものとしては、ナノクリスタルまたはポリマーの強誘電体メモリ(Ferroelectric Random Access Memory:FRAM)がある。また、抵抗変化を利用するものとしては、磁気メモリ(Magnetic RAM:MRAM)、相転移メモリ(Phase change RAM:PRAM)、複合金属酸化膜を利用する抵抗メモリ(Resistance:RRAM)、及びポリマーメモリなどがある。
しかし、このような不揮発性メモリ素子において、微細工程技術の限界によって、メモリ集積度及びメモリ速度の上昇は限界に直面している。これにより、さらに狭幅の微細工程技術を利用する以外に、メモリ容量及びメモリ速度を上昇させる方法が研究されている。
本発明が解決しようとする技術的課題は、上記問題点を解決するためのものであって、同一または類似した微細線幅の集積度の技術を使用しつつも、一つの単位セルをハイブリッド構造に配置することによって、マルチビット動作の可能なNOR構造の不揮発性メモリ素子を提供するところにある。ここで、ハイブリッド構造とは、互いに動作方式、例えば、メモリ保存方式の異なる二つの構造を一つの単位セルで形成することを言う。
本発明が解決しようとする他の技術的課題は、上記NOR構造のハイブリッド不揮発性メモリ素子マルチビットの動作方法を提供するところにある。
上記課題を解決するための本発明の一態様によれば、単位セルが複数の行及び列のマトリックスに配列されるNORセルアレイ構造のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子が提供される。前記各単位セルは、チャンネル及び電荷を保存できる第1ストレージノードを備え、当該第1ストレージノードの電荷保存状態(如何)に応じた前記チャンネルの閾電圧の変化を利用してデータを読み取る第1メモリ部と、印加される電圧に応じた可変抵抗の特性を有する第2ストレージノード及び当該第2ストレージノードと連結されるスイッチを備えている第2メモリ部と、を備える。また、前記第1メモリ部及び前記第2メモリ部は、ソース及びドレインを共有する。また、前記一の行に配列された前記単位セルの第1メモリ部は、一のワードラインに連結され、前記一の列に配列された前記単位セルの前記ドレインは、一のビットラインに連結される。
上記課題を解決するための本発明の他の態様によれば、単位セルが複数の行及び列のマトリックスに配列されるNOR構造のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子が提供される。前記各単位セルは、半導体基板に形成されたチャンネルと、前記チャンネルの両端に隣接して形成されたソース及びドレインと、前記チャンネル上の第1絶縁膜と、前記第1絶縁膜上の電荷保存媒体からなる第1ストレージノードと、前記第1ストレージノード上の第2絶縁膜と、前記第2絶縁膜上の制御ゲート電極と、前記制御ゲート電極上の第3絶縁膜と、前記第3絶縁膜上の可変抵抗媒体からなる第2ストレージノードと、前記第2ストレージノードと前記ソースまたは前記ドレインとを連結するスイッチと、を備える。また、前記一の行に配列された前記単位セルの前記制御ゲート電極は、一のワードラインに連結され、前記一の列に配列された前記単位セルの前記ドレインは、一のビットラインに連結される。
本発明の実施形態の一側面で、前記第1ストレージノードは、ポリシリコン、シリコン窒化膜、シリコンドット、または金属ドットから形成され得る。前記第2ストレージノードは、印加される電圧に応じて抵抗が変化する物質として、Nb2O5、CrドープSrTiO3、ZrOx、GST(GeSbxTey)、NiO、TiO2、及びHfOの群から選択された一の物質から形成され得る。前記スイッチは、臨界電圧以上の電圧が印加された場合に電気伝導性を示すV2O5またはTiOから形成され得る遷移金属酸化膜、例えば、V2O5またはTiOから形成され得る。
前記他の課題を解決するための本発明の一態様によれば、前記本発明の一態様によるハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子の動作方法が提供される。前記動作方法によれば、一の前記ワードラインと一の前記ビットラインとを選択して一の前記単位セルを選択する。そして、前記選択された単位セルと連結された前記ワードラインに印加される第1電圧を調節し、前記第1メモリ部の前記チャンネルを通じた電流の流れを誘発して前記第1メモリ部を制御する。そして、前記選択された単位セルと連結された前記ビットラインに印加される第2電圧を調節し、前記第2メモリ部の前記スイッチを通じた電流の流れを誘発して前記第2メモリ部を制御する。
本発明の実施形態の一側面で、前記第1メモリ部についての記録動作は、前記第2電圧を、前記スイッチを通じて電流が流れないように臨界電圧以下とし、前記第1電圧を記録電圧にして、前記第1ストレージノードに電荷を蓄積することにより実行される。前記第2メモリ部についての記録動作は、前記第1電圧を、前記チャンネルを通じて電流が流れないように閾電圧以下とし、前記第2電圧を、前記スイッチを通じて電流が流れ得る臨界電圧以上の記録電圧にして、前記第2ストレージノードの抵抗変化を誘発することにより実行される。
本発明に係るハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子を利用すれば、一般的な集積技術の限界によるメモリ容量及びメモリ速度の問題を克服できる。
以下、添付した図面を参照して本発明に係る望ましい実施形態を説明することによって、本発明を詳細に説明する。しかし、本発明は、以下で開示される実施形態に限定されるものではなく、相異なる多様な形態で具現され、単に、本実施形態は、本発明の開示を完全にし、当業者に発明の範囲を完全に知らせるために提供されるものである。図面において構成要素は、説明の便宜のために、そのサイズが誇張されている。
図1は、本発明の一実施形態に係るNOR(セルアレイ)構造のハイブリッド不揮発性メモリ素子の概略的な回路図である。NORセルアレイ構造は、行と列とのマトリックスに配列された複数の単位セルC11,C12,C13,C21,C22,C23,C31,C32,C33を含む。図1では、4×3単位セル構造が例示され、本発明の範囲はこれに制限されない。
マトリックスは、互いに垂直に配置された複数のワードラインW1,W2,W3,W4と複数のビットラインB1,B2,B3とにより構成される。例えば、図1では、ワードラインW1,W2,W3,W4が行に配置され、ビットラインB1,B2,B3が列に配置されたマトリックス構造が示されている。単位セルC11,C12,C13,C21,C22,C23,C31,C32,C33は、マトリックス構造と1:1対応するように配置され得る。
具体的には、例えば、図1で単位セルC11は、ワードラインW1及びビットラインB1に連結され、単位セルC21は、ワードラインW2及びビットラインB1に連結されるようにそれぞれ対応して配置されている。すなわち、図面で単位セルの添字は、順にワードライン及びビットラインの番号とそれぞれ対応され得る。
単位セルC11,C12,C13,C21,C22,C23,C31,C32,C33は、同一または類似した構造を有する。したがって、一つの単位セルC11を例として挙げて単位セルの構造を説明できる。単位セルC11は、第1ストレージノード130を含む第1メモリ部と、第2ストレージノード150を含む第2メモリ部とが結合されたハイブリッド構造を有する。第1メモリ部と第2メモリ部は、図2を参照して後述するように、ソース115及びドレイン110を共有している。
単位セルC11の第1メモリ部は、ワードラインW1にそれぞれ連結され、第1メモリ部と第2メモリ部とに共有されたドレイン110は、ビットラインB1に連結される。同じ行に配置された単位セル、例えば、第1行に配置された単位セルC11,C12,C13は、同じワードラインW1に連結される。さらに具体的には、以後、図2で説明されるように、単位セルC11の制御ゲート電極140が第1ワードラインW1に連結され得る。
また、同じ列に配置された単位セル、例えば、第1列に配置された単位セルC11,C21,C31,C41のドレイン110が、第1ビットラインB1に連結され得る。残りのビットラインB2,B3及びワードラインW2,W3,W4に対しても同じ方式が適用される。
図2では、単位セルC11がさらに詳細に説明される。前述したように、単位セルC11,C12,C13,C21,C22,C23,C31,C32,C33は、互いに同一または類似した構造を有しているため、以下では、一つの単位セルC11の構造を例示的に説明する。単位セルC11は、保存媒体として第1ストレージノード130と第2ストレージノード150との二つの相異なる形態を複合的に利用する。
第1ストレージノード130を含む第1メモリ部は、ゲートスタック構造に形成され得る。すなわち、第1ストレージノード130は、閾電圧遷移を利用するメモリ素子、例えば、フラッシュメモリまたはSONOSメモリの保存媒体として利用される。第1ストレージノード130は、半導体基板105のチャンネル120と制御ゲート電極140との間で浮遊している。
具体的には、チャンネル120と第1ストレージノード130との間には第1絶縁膜125が介在され、第1ストレージノード130と制御ゲート電極140との間には第2絶縁膜135がさらに介在され得る。制御ゲート電極140上には、第3絶縁膜145がさらに形成され得る。第1ストレージノード130、第2絶縁膜135、制御ゲート電極140、及び第3絶縁膜145のゲートスタックの側壁には、第4絶縁膜158がさらに形成されてもよい。
第1ストレージノード130は、電荷を保存するために、ポリシリコン、シリコン窒化膜、シリコンドット、または金属ドットから形成され得る。第1絶縁膜125は、電荷のトンネリングの容易な厚さを有するシリコン酸化膜、シリコン窒化膜、または高誘電率の絶縁膜から形成され得る。第2絶縁膜135は、シリコン酸化膜またはシリコン窒化膜から形成され得る。制御ゲート電極140は、ポリシリコンから形成され、例えば、ポリシリコン上に金属または金属シリサイドを含んで形成され得る。第3絶縁膜145及び第4絶縁膜158は、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜、またはシリコン酸窒化膜から形成され得る。
また、半導体基板105のチャンネル120の両側には、ソース115及びドレイン110が隣接している。さらに具体的には、ソース115及びドレイン110は、半導体基板105とダイオード構造を形成しても良い。すなわち、半導体基板105がp型である場合、ソース115及びドレイン110は、n型でドーピングされても良い。
ドレイン110は、図1に示すように、ビットラインB1,170に連結される。例えば、ビットラインB1,170及びドレイン110は、第1コンタクトプラグ(第1金属ライン)160を介して連結され得る。また、ソース115は、接地され得る。例えば、ソース115は、第2コンタクトプラグ(第2金属ライン)165を介して接地配線175に連結され得る。
したがって、ドレイン110からチャンネル120を介したソース115への一つの回路が形成される。このとき、チャンネル120の電気的なターンオンまたはターンオフの如何は、制御ゲート電極140を通じて調節する。さらに詳細には、制御ゲート140に閾電圧以上の電圧を印加すれば、チャンネル120がターンオンされ、閾電圧以下の電圧を印加すれば、チャンネル120がターンオフされる。
一方、第2ストレージノード150は、スイッチ155と直列連結され、これら第2ストレージノード150及びスイッチ155の一端は、それぞれソース115またはドレイン110に連結される。例えば、図2では、第2ストレージノード150がドレイン110に連結され、スイッチ155がソース115に連結するように示されているが、その逆も可能である。
さらに具体的には、第2ストレージノード150は、第3絶縁膜145上に形成され、第1コンタクトプラグ160を介してドレイン110に連結され得る。スイッチ155は、第3絶縁膜145上に形成され、第2コンタクトプラグ165を介してソース115に連結され得る。
第2ストレージノード150は、印加される電圧によって抵抗が変化する抵抗状態変化の保存物質であることが望ましい。例えば、第2ストレージノード150は、Nb2O5、CrドープSrTiO3、ZrOx、GST(GeSbxTey)、NiO、TiO2、及びHfOよりなる群から選択された何れか一つの物質から形成されうる。また、スイッチ155は、臨界電圧以上の電圧が印加された場合にのみ電気伝導性を示す遷移金属酸化膜(transition metal oxide:TMO)、例えば、V2O5またはTiOから形成され得る。
図3は、スイッチ155の電圧電流の特性を示すグラフである。スイッチ155の両端に印加された電圧が臨界電圧Vth以下である場合には、スイッチ155を通じて電流がほとんど流れないが、臨界電圧より大きくなれば、電流が急増する。したがって、スイッチ155は、整流ダイオードとして利用され得る。すなわち、スイッチ155は、第2ストレージノード150への電流の流れを制御する役割を果たす。
さらに具体的には、スイッチ155は、両端に臨界電圧、例えば、V2O5の場合、1.5Vが印加されるまでほとんど不導体に近い。この場合、ソース115とドレイン110との間に印加された大部分の電圧が、抵抗の高いスイッチ155の両端にかかる。しかし、スイッチ155にかかる電圧が臨界電圧を超えれば、スイッチ155は瞬間的に導電体に変換して、これによる電流が急増する。
これにより、ソース115及びドレイン110に印加された電圧がスイッチ155と第2ストレージノード150とに分配されつつ、ソース115とドレイン110との間に、チャンネル120を通じた回路以外に他の回路が形成される。
図4は、NiOから形成された第2ストレージノード150の電圧−電流の特性を示すグラフである。これは、例示的なものであって、抵抗状態変化の保存物質に応じては異なる形状のグラフが形成され得る。ただし、印加された電圧によって抵抗が変化しうるという点で共通である。
第2ストレージノード150に初期電圧が印加されれば(経路10)、ある臨界電圧、例えば、NiOの場合、4.5Vまでは電流がほとんど流れない。すなわち、第2ストレージノード150は、高い抵抗値を示す(リセット状態)。しかし、臨界電圧を超えれば、電流が急増する。一旦、臨界電圧以上の電圧が加えられた後、さらに0から電圧を印加すれば(経路20)、高い電流が流れる。すなわち、第2ストレージノード150は、低い抵抗値を示す(セット状態)。しかし、さらにリセット電圧以上に電圧が上昇すれば、電流は急減する(経路30)。すなわち、第2ストレージノード150の抵抗がさらにリセット状態の高い抵抗値に還元される。以後、電圧を上昇させ続ければ(経路40)、初期リセット状態と同じ経路を示す。
すなわち、第2ストレージノード150は、臨界電圧またはリセット電圧を境界として、比抵抗が変化し、このような抵抗変化は、印加電圧がなくなった後にも、一定の範囲の電圧区間内では維持される。したがって、第2ストレージノード150は、不揮発性メモリ素子の保存媒体として利用されうる。
さらに図1を参照して、NOR構造のハイブリッド不揮発性メモリ素子の動作方法を説明する。マトリックスに配列された単位セルC11,C12,C13,C21,C22,C23,C31,C32,C33に対するアクセスは、ワードラインW1,W2,W3,W4及びビットラインB1,B2,B3を選択することによって実行される。
例えば、一つの単位セルC11を選択するためには、ワードラインW1及びビットラインB1を選択して、これらW1,B1にのみそれぞれの動作パワー、例えば、動作電圧を印加させる。さらに具体的に、ワードラインW1に第1電圧を印加し、ビットラインB1に第2電圧を印加できる。同じ方式で、他の単位セルを個別的に選択できる。この場合、選択されていないワードラインW2,W3,W4及びビットラインB2,B3は、浮遊されるか、または0Vの電圧が印加されうる。
図5及び図6は、選択された単位セルC11の動作方法を示す図面である。
図5に示すように、ワードラインW1に印加された第1電圧、すなわち、制御ゲート電極140とチャンネル120との間に印加される電圧を閾電圧以上にして、チャンネル120をターンオンさせる。そして、ビットラインB1,170を介してドレイン110に印加される第2電圧は、スイッチ155の臨界電圧以下の電圧である。
これにより、スイッチ155及び第2ストレージノード150を経るソース115とドレイン110との間の回路aを介した電子の流れ、すなわち電流の流れはなくなる。その代わりに、チャンネル120を経るソース115とドレイン110との間の回路bを介して、電子または電流が流れる。すなわち、チャンネル120は、ターンオン状態となり、スイッチ155は、ターンオフ状態となる。図面における矢印は、電子の流れを示すものであり、電流の流れは、その逆方向となる。
第1ストレージノード130についての記録動作は、ドレイン110に印加される第2電圧を臨界電圧以下とし、制御ゲート電極140に印加される第1電圧を記録電圧にして実行される。記録電圧は、チャンネル120に対する閾電圧以上の電圧となり得る。
その結果、スイッチ155を介した電流または電子の流れは遮断され、チャンネル120を介した電子または電流の流れのみが誘発される。これにより、チャンネル120からの第1絶縁膜125を介したトンネリングまたはホットキャリアの注入によって、第1ストレージノード130に電荷、例えば、電子が保存されうる。第1ストレージノード130に電子が蓄積されれば、p型チャンネル120の閾電圧が上昇する。
この場合、第1ストレージノード130についての消去動作は、ドレイン110に印加される第2電圧を臨界電圧以下とし、制御ゲート電極140に印加される第1電圧を消去電圧にして実行される。例えば、制御ゲート電極140に負電圧を印加することによって、第1ストレージノード130の電子を消去できる。さらに具体的には、第1ストレージノード130に保存された電子がトンネリングによってチャンネル120に除去され得る。これにより、チャンネル120の閾電圧が、記録状態以前の初期状態に低くなる。
第1ストレージノード130に対する読み取り動作は、ドレイン110に印加される第2電圧を臨界電圧以下にし、制御ゲート電極140に印加される第1電圧を読み取り電圧にして実行される。読み取り電圧は、記録状態と消去状態とのチャンネル120の閾電圧を考慮して定められ得る。
例えば、読み取り電圧は、記録状態ではチャンネル120がターンオフされ、消去状態ではチャンネル120がターンオンされる電圧を選択できる。これにより、記録状態では、チャンネル120を通じて電流が流れず、消去状態では、チャンネル120を通じて電流が流れる。すなわち、読み取り動作は、チャンネル120を通じて流れる電流を感知して、記録状態または消去状態を認知できる。
図6は、第2ストレージノード150に対する選択的な動作を示す図面である。ワードラインW1に印加された電圧、すなわち、制御ゲート電極140とチャンネル120との間に印加される電圧を閾電圧以下、例えば、0Vとしてチャンネル120をターンオフさせる。そして、ビットラインB1,170を介してドレイン110に印加される電圧は、スイッチ155に臨界電圧以上の電圧である。
これにより、チャンネル120を経るソース115とドレイン110との間の回路bを介しては、電子または電流が流れられない。その代わりに、スイッチ155及び第2ストレージノード150を経るソース115とドレイン110との間の回路aを介した電子の流れ、すなわち、電流の流れが発生する。すなわち、チャンネル120は、ターンオフ状態に維持され、スイッチ155は、電流が流れ得るターンオン状態となる。
第2ストレージノード150についての記録動作は、ドレイン110に印加される第2電圧を記録電圧とし、制御ゲート電極140に印加される第1電圧を閾電圧以下にして実行される。記録電圧は、第2ストレージノード150の抵抗を下げ得る臨界電圧、例えば、NiOの場合、4.5V以上の電圧となり得る。
その結果、チャンネル120を介した電子または電流の流れは遮断され、スイッチ155を介した電流または電子の流れのみ誘発される。これにより、図4で説明されたように、第2ストレージノード150はセット状態となって、経路20と同じ電圧−電流の特性、すなわち、低抵抗特性を示す。
この場合、第2ストレージノード150についての消去動作は、ドレイン110に印加される第2電圧を消去電圧とし、制御ゲート電極140に印加される第1電圧を閾電圧以下にして実行される。消去電圧は、図4で説明された経路30の電圧となり得る。これにより、第2ストレージノード150はリセット状態となって、再び初期の高抵抗の特性を示す。
第2ストレージノード150についての読み取り動作は、ドレイン110に印加される第2電圧を読み取り電圧とし、制御ゲート電極140に印加される第1電圧を閾電圧以下にして実行される。読み取り電圧は、記録電圧及び消去電圧以下の電圧となり得る。すなわち、読み取り動作は、第2ストレージノード150に流れる電流を感知する。より具体的には、たとえば、読み取り動作は、ソース115とドレイン110との間の電流を読み取ることにより実行される。例えば、図4で説明された経路20は記録状態に、他の経路10は消去状態に対応できる。
以上のとおり、単位セルC11は、電荷保存の可能な第1ストレージノード130を介した2ビット以上のメモリと、第2ストレージノード150を介した2ビット以上のメモリとのハイブリッド結合と言える。したがって、単位セルC11がNORセルアレイ構造に配置された本発明の実施形態に係るメモリ素子は、単位セルC11,C12,C13,C21,C22,C23,C31,C32,C33のそれぞれがマルチビットで動作できる。
発明の特定の実施形態についての以上の説明は、例示及び説明を目的として提供された。本発明は、上記実施形態に限定されず、本発明の技術的な思想内で、当業者によって上記実施形態を組み合わせて実施するなど、多様な多くの修正及び変更が可能であるということは明らかである。
本発明は、半導体メモリ素子に関連した技術分野に好適に適用され得る。
C11,C12,C13,C21,C22,C23,C31,C32,C33,C41,C42,C43 単位セル、
W1,W2,W3,W4 ワードライン、
B1,B2,B3 ビットライン、
130 第1ストレージノード、
150 第2ストレージノード。
W1,W2,W3,W4 ワードライン、
B1,B2,B3 ビットライン、
130 第1ストレージノード、
150 第2ストレージノード。
Claims (19)
- 単位セルが複数の行及び列のマトリックスに配列されるNORセルアレイ構造のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子であって、
前記各単位セルは、
チャンネル及び電荷を保存できる第1ストレージノードを備え、当該第1ストレージノードの電荷保存状態に応じた前記チャンネルの閾電圧の変化を利用してデータを読み取る第1メモリ部と、
印加される電圧に応じた可変抵抗の特性を有する第2ストレージノード及び当該第2ストレージノードと連結されるスイッチを備えている第2メモリ部と、を備え、
前記第1メモリ部及び前記第2メモリ部は、ソース及びドレインを共有し、
前記一の行に配列された前記単位セルの第1メモリ部は、一のワードラインに連結され、前記一の列に配列された前記単位セルの前記ドレインは、一のビットラインに連結されることを特徴とするNOR構造のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子。 - 前記第1ストレージノードは、ポリシリコン、シリコン窒化膜、シリコンドット、または金属ドットから形成されたことを特徴とする請求項1に記載のNOR構造のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子。
- 前記第2ストレージノードは、印加される電圧に応じて抵抗が変化する物質として、Nb2O5、CrドープSrTiO3、ZrOx、GST、NiO、TiO2、及びHfOよりなる群から選択された一の物質から形成されたことを特徴とする請求項1に記載のNOR構造のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子。
- 前記スイッチは、臨界電圧以上の電圧が印加された場合に電気伝導性を示す遷移金属酸化膜から形成されたことを特徴とする請求項1に記載のNOR構造のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子。
- 前記遷移金属酸化膜は、V2O5またはTiOであることを特徴とする請求項4に記載のNOR構造のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子。
- 前記ソース及びドレインは、前記チャンネル及び前記第2ストレージノードと並列連結されたことを特徴とする請求項1に記載のNOR構造のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子。
- 前記単位セルは、前記第2ストレージノード及び前記スイッチの一端を前記ソースまたは前記ドレインと連結する金属ラインをさらに備えていることを特徴とする請求項6に記載のNOR構造のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子。
- 前記単位セルのソースは、接地されていることを特徴とする請求項1に記載のNOR構造のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子。
- 単位セルが複数の行及び列のマトリックスに配列されるNORセルアレイ構造のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子であって、
前記各単位セルは、
半導体基板に形成されたチャンネルと、
前記チャンネルの両端に隣接して形成されたソース及びドレインと、
前記チャンネル上の第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜上の電荷保存媒体からなる第1ストレージノードと、
前記第1ストレージノード上の第2絶縁膜と、
前記第2絶縁膜上の制御ゲート電極と、
前記制御ゲート電極上の第3絶縁膜と、
前記第3絶縁膜上の可変抵抗媒体からなる第2ストレージノードと、
前記第2ストレージノードと前記ソースまたは前記ドレインとを連結するスイッチと、を備え、
前記一の行に配列された前記単位セルの前記制御ゲート電極は、一のワードラインに連結され、前記一の列に配列された前記単位セルの前記ドレインは、一のビットラインに連結されることを特徴とするNOR構造のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子。 - 前記第1ストレージノードは、ポリシリコン、シリコン窒化膜、シリコンドット、または金属ドットから形成されたことを特徴とする請求項9に記載のNOR構造のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子。
- 前記第2ストレージノードは、印加される電圧に応じて抵抗が変化する物質として、Nb2O5、CrドープSrTiO3、ZrOx、GST、NiO、TiO2、及びHfOよりなる群から選択された一の物質から形成されたことを特徴とする請求項9に記載のNOR構造のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子。
- 前記スイッチは、臨界電圧以上の電圧が印加された場合に電気伝導性を示すV2O5またはTiOから形成されたことを特徴とする請求項9に記載のNOR構造のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子。
- 請求項1に記載のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子の動作方法であって、
一のワードラインと一のビットラインとを選択して一の単位セルを選択し、
前記選択された単位セルと連結された前記ワードラインに印加される第1電圧を調節し、第1メモリ部のチャンネルを通じた電流の流れを誘発して当該第1メモリ部を制御し、
前記選択された単位セルと連結された前記ビットラインに印加される第2電圧を調節し、第2メモリ部のスイッチを通じた電流の流れを誘発して当該第2メモリ部を制御することを特徴とするハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子の動作方法。 - 前記第1メモリ部についての記録動作は、前記第2電圧を、前記スイッチを通じて電流が流れないように臨界電圧以下とし、前記第1電圧を記録電圧にして、前記第1ストレージノードに電荷を蓄積することにより実行されることを特徴とする請求項13に記載のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子の動作方法。
- 前記第2メモリ部についての記録動作は、前記第1電圧を、前記チャンネルを通じて電流が流れないように閾電圧以下とし、前記第2電圧を、前記スイッチを通じて電流が流れるように臨界電圧以上の記録電圧にして、前記第2ストレージノードの抵抗変化を誘発することにより実行されることを特徴とする請求項13に記載のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子の動作方法。
- 前記第1メモリ部についての消去動作は、前記第2電圧を、前記スイッチを通じて電流が流れないように臨界電圧以下とし、前記第1電圧を消去電圧にして、前記第1ストレージノードに蓄積された電荷を消去することにより実行されることを特徴とする請求項13に記載のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子の動作方法。
- 前記第2メモリ部についての消去動作は、前記第1電圧を、前記チャンネルを通じて電流が流れないように閾電圧以下とし、前記第2電圧を消去電圧にして、前記第2ストレージノードの抵抗変化を誘発することにより実行されることを特徴とする請求項13に記載のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子の動作方法。
- 前記第1メモリ部についての読み取り動作は、前記第2電圧を、前記スイッチを通じて電流が流れないように臨界電圧以下とし、前記第1電圧を読み取り電圧にして、前記第1ストレージノードの電荷保存状態によるチャンネルの閾電圧を読み取ることにより実行されることを特徴とする請求項13に記載のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子の動作方法。
- 前記第2メモリ部についての読み取り動作は、前記第1電圧を、前記チャンネルを通じて電流が流れないように閾電圧以下とし、前記第2電圧を読み取り電圧にして、前記第2ストレージノードの抵抗変化による前記ソースと前記ドレインとの間の電流を読み取ることにより実行されることを特徴とする請求項13に記載のハイブリッドマルチビットの不揮発性メモリ素子の動作方法。
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