JP2006253630A - ウェハ保持体およびそれを搭載したウェハプローバ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明のウェハ保持体は、表面にチャックトップ導体層を有するチャックトップと、該チャックトップを支持する支持体とからなり、前記チャックトップと支持体との間の空隙部に、支持部材を有することを特徴とする。前記支持部材は、前記支持体に対し、同心円状に配置されているか、あるいは前記支持体のほぼ中央に配置されていることが好ましく、同心円状に配置された支持部材とほぼ中央に配置された支持部材の両方を備えることがより好ましい。
【選択図】 図1
Description
2 チャックトップ
3 チャックトップ導体層
4 支持体
5 空隙
50 支持部材
51 パイプ状支持部材
Claims (9)
- 表面にチャックトップ導体層を有するチャックトップと、該チャックトップを支持する支持体とからなり、前記チャックトップと支持体との間の空隙部に、支持部材を有することを特徴とするウェハ保持体。
- 前記支持部材が、前記支持体に対し、同心円状に配置されていることを特徴とする請求項1に記載のウェハ保持体。
- 前記支持部材が、前記支持体のほぼ中央に配置されていることを特徴とする請求項1に記載のウェハ保持体。
- 前記支持体に対して同心円状に配置された支持部材と、支持体のほぼ中央に配置された支持部材とを有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のウェハ保持体。
- 前記支持部材が、パイプ形状であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のウェハ保持体。
- 前記支持部材の熱膨張係数と、前記支持体の熱膨張係数がほぼ等しいことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のウェハ保持体。
- 前記支持部材のヤング率が、100GPa以上であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のウェハ保持体。
- 請求項1乃至7のいずれかに記載したウェハ保持体を備えたことを特徴とするウェハプローバ用のヒータユニット。
- 請求項8に記載のヒータユニットを備えたウェハプローバ。
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