JP2006250840A - 光ファイバ振動センサ - Google Patents

光ファイバ振動センサ Download PDF

Info

Publication number
JP2006250840A
JP2006250840A JP2005070328A JP2005070328A JP2006250840A JP 2006250840 A JP2006250840 A JP 2006250840A JP 2005070328 A JP2005070328 A JP 2005070328A JP 2005070328 A JP2005070328 A JP 2005070328A JP 2006250840 A JP2006250840 A JP 2006250840A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical fiber
vibration sensor
fiber vibration
sealing case
loop
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2005070328A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4377348B2 (ja
Inventor
Masanori Nonomura
雅徳 野々村
Hidehiko Shimizu
秀彦 清水
Takashi Okubo
尚 大久保
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Totoku Electric Co Ltd
Original Assignee
Totoku Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Totoku Electric Co Ltd filed Critical Totoku Electric Co Ltd
Priority to JP2005070328A priority Critical patent/JP4377348B2/ja
Publication of JP2006250840A publication Critical patent/JP2006250840A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4377348B2 publication Critical patent/JP4377348B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Optical Transform (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)

Abstract

【課題】過酷な環境下で広帯域の音響振動を測定する。
【解決手段】光ファイバ心線ループ部(1)と、密封ケース(2)と、光ファイバ素線ループ部(1)に光を導入・導出するための第1光ファイバライン(11)および第2光ファイバライン(12)とを具備し、第1光ファイバライン(11)および第2光ファイバライン(12)を密封ケース(2)に固定し、光ファイバ素線ループ部(1)はケース(2)に固定しない。
【効果】密封ケース(2)に収容した光ファイバ素線ループ部(1)の振動により音響振動を検出するため、高温,腐食性雰囲気,液中,放射線被曝などの過酷な環境下でも使用できる。光ファイバ素線ループ部(1)が固定されておらず、自由に振動でき、さらに非常に軽量であるため、数Hzから数MHzまでの音響振動を検出でき、広帯域の音響振動を好適に測定できる。
【選択図】図1

Description

本発明は、光ファイバ振動センサに関し、更に詳しくは、過酷な環境下での使用に耐えることが出来ると共に、広帯域の音響振動を測定でき、さらに遠隔接続に好適な光ファイバ振動センサに関する。
従来、音響振動を測定して異常を監視する装置が種々提案されている(例えば、特許文献1,2,3参照。)
特開2005−010908号公報 特開2004−334363号公報 特開2004−191139号公報
従来装置では、マイクロフォンや圧電素子により音響振動を検出している。
しかし、従来のマイクロフォン(例えばコンデンサマイク)や圧電素子では、高温,腐食性雰囲気,液中,放射線被曝などの過酷な環境下での使用に耐えられない問題点がある。また、検出できる周波数帯域が限られる問題点がある。さらに、測定装置まで電気配線で接続されるため電気雑音の影響を受けやすく、長距離接続が難かしい問題点がある。
そこで、本発明の目的は、過酷な環境下での使用に耐えることが出来ると共に、広帯域の音響振動を測定でき、さらに遠隔接続(例えば50km)に好適な光ファイバ振動センサを提供することにある。
第1の観点では、本発明は、光ファイバ素線ループ部(1)と、前記光ファイバ素線ループ部(1)を内部に気密または液密に収容する密封ケース(2)と、前記光ファイバ素線ループ部(1)のループの第1端を前記密封ケース(2)の外部に導出するための第1光ファイバライン(11)と、前記光ファイバ素線ループ部(1)のループの第2端を前記密封ケース(2)の外部に導出するための第2光ファイバライン(12)とを具備すると共に、前記第1光ファイバライン(11)および前記第2光ファイバライン(12)を前記密封ケース(2)に固定材(20)により気密または液密に固定し、前記光ファイバ素線ループ部(1)は前記密封ケース(2)に固定しないことを特徴とする光ファイバ振動センサ(100)を提供する。
上記第1の観点による光ファイバ振動センサ(100)では、密閉ケース(2)に収容した光ファイバにより音響振動を検出するため、従来のマイクロフィンや圧電素子などに比べて高温,腐食性雰囲気,液中,放射線被曝などの過酷な環境下でも使用できる。また、光ファイバ素線ループ部(1)が固定されておらず、密閉ケース(2)内で自由に振動でき、さらに非常に軽量であるため、数Hzから数MHzまでの音響振動を検出でき、従来のマイクロフィンや圧電素子などに比べて広帯域の音響振動を好適に測定できる。さらに、測定装置まで光ファイバで接続されるため電気雑音の影響を受けず、遠隔接続が容易になる。
第2の観点では、本発明は、前記第1の観点による光ファイバ振動センサ(100)において、前記密封ケース(2)の内部に、不活性ガス(3g)を封入したことを特徴とする光ファイバ振動センサ(100)を提供する。
上記第2の観点による光ファイバ振動センサ(100)では、密閉ケース(2)の内部に不活性ガス(3g)を収容しているため、高温における光ファイバ素線ループ部(1)の劣化等を防止することが出来る。
なお、不活性ガス(3g)は、例えば窒素やアルゴンである。
第3の観点では、本発明は、前記第1の観点による光ファイバ振動センサ(100)において、前記密封ケース(2)の内部に、液体(3l)を封入したことを特徴とする光ファイバ振動センサ(100)を提供する。
上記第3の観点による光ファイバ振動センサ(100)では、密閉ケース(2)の内部に液体(3l)を収容しているため、音響振動を光ファイバ素線ループ部(1)に効率よく伝達できる。また、シリコン,ダンサム,水銀のような不活性で沸点の高い液体(3l)を用いれば、高温における光ファイバ素線ループ部(1)の劣化等を防止することが出来る。
第4の観点では、本発明は、前記第1から前記第3のいずれかの観点による光ファイバ振動センサ(100)において、前記光ファイバ素線ループ部(1)は、光ファイバ素線(1a)のループをシート(1e)に固定したものであることを特徴とする光ファイバ振動センサ(100)を提供する。
上記第4の観点による光ファイバ振動センサ(100)では、シート(1e)に光ファイバ素線(1a)のループを固定することによって、製造時や保守時における光ファイバ素線ループ部(1)の取り扱いが容易になる。
第5の観点では、本発明は、前記第1から前記第4のいずれかの観点による光ファイバ振動センサ(100)において、前記密封ケース(2)が、耐熱材料からなることを特徴とする光ファイバ振動センサ(100)を提供する。
上記第5の観点による光ファイバ振動センサ(100)では、密閉ケース(2)が耐熱材料からなるため、高温環境下での使用に好適となる。
第6の観点では、本発明は、前記第1から前記第5のいずれかの観点による光ファイバ振動センサ(100)において、前記密封ケース(2)が、耐腐食材料からなることを特徴とする光ファイバ振動センサ(100)を提供する。
上記第6の観点による光ファイバ振動センサ(100)では、密閉ケース(2)が耐腐食材料からなるため、腐食性雰囲気下(例えば硫化ガス中)や液中(例えばLPG中)での使用に好適となる。
第7の観点では、本発明は、前記第1から前記第6のいずれかの観点による光ファイバ振動センサ(100)において、前記密封ケース(2)が、耐放射線材料からなることを特徴とする光ファイバ振動センサ(100)を提供する。
上記第7の観点による光ファイバ振動センサ(100)では、密閉ケース(2)が耐放射線材料からなるため、放射線被曝環境下(例えば原子力発電所)での使用に好適となる。
第8の観点では、本発明は、前記第1から前記第7のいずれかの観点による光ファイバ振動センサ(100)において、前記光ファイバ素線ループ部(1)のループを構成する光ファイバ素線(1a)は、光ファイバ裸線(1s)と、ポリイミド,二酸化ケイ素または金の被覆(1t)とを有することを特徴とする光ファイバ振動センサ(100)を提供する。
上記第8の観点による光ファイバ振動センサ(100)では、光ファイバ裸線(1s)にポリイミド,二酸化ケイ素または金の被覆(1t)を形成することによって、曲げ性を向上できる。また、耐熱性および耐腐食性を向上できる。
第9の観点では、本発明は、前記第1から前記第8のいずれかの観点による光ファイバ振動センサ(100)において、前記密封ケース(2)が、ニッケル合金、ステンレス鋼、鉛またはこれらを複合化した材料からなることを特徴とする光ファイバ振動センサ(100)を提供する。
上記第9の観点による光ファイバ振動センサ(100)では、密封ケース(2)の材料にニッケル合金やステンレス鋼を用いることで高温,腐食性雰囲気,液中のような環境下でも使用できる。また、鉛を用いることで放射線被曝する環境下でも使用できる。さらに、複合化した材料(積層や合金化)を用いることで高温,腐食性雰囲気,液中,放射線被曝などが複合した環境下でも使用できる。
第10の観点では、本発明は、前記第1から前記第9のいずれかの観点による光ファイバ振動センサ(100)において、前記光ファイバ素線ループ部(1)のループを構成する光ファイバ裸線(1s)は、ゲルマニウムをドーピングしない二酸化ケイ素からなることを特徴とする光ファイバ振動センサ(100)を提供する。
上記第10の観点による光ファイバ振動センサ(100)では、光ファイバ裸線(1s)がゲルマニウムをドープしない二酸化ケイ素を用いるため、放射線被曝環境下(例えば原子力発電所)での使用に好適となる。
第11の観点では、本発明は、前記第1から前記第10のいずれかの観点による光ファイバ振動センサ(100)において、前記固定材(20)が、四フッ化ポリエチレン樹脂であることを特徴とする光ファイバ振動センサ(100)を提供する。
上記第11の観点による光ファイバ振動センサ(100)では、四フッ化ポリエチレン樹脂を固定材(20)に用いるため、固定作業時は流体で作業が容易であり、硬化後は高温でも固定性能を維持できる。
第12の観点では、本発明は、前記第1から前記第11のいずれかの観点による光ファイバ振動センサ(100)において、前記密封ケース(2)の内部に不活性ガス(3g)または液体(3l)を導入/導出するための栓付貫通孔(15)を有することを特徴とする光ファイバ振動センサ(100)を提供する。
上記第12の観点による光ファイバ振動センサ(100)では、栓付貫通孔(15)を通じて密封ケース(2)の内部に不活性ガス(3g)または液体(3l)を容易に導入/導出できる。
本発明の光ファイバ振動センサによれば、従来のマイクロフィンや圧電素子などに比べて高温,腐食性雰囲気,液中,放射線被曝などの過酷な環境下でも使用できる。また、従来のマイクロフィンや圧電素子などに比べて広帯域の音響振動を好適に測定できる。さらに、測定装置まで光ファイバで接続されるため電気雑音の影響を受けず、遠隔接続が容易になる。
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。
図1は、実施例1に係る光ファイバ振動センサ100の構成を示す斜視図である。
この光ファイバ振動センサ100は、光ファイバ素線ループ部1と、光ファイバ素線ループ部1を内部に気密または液密に収容し且つ不活性ガス3gを封入している密封ケース2と、光ファイバ素線ループ部1のループの第1端に密封ケース2の外部から光を導入するための第1光ファイバライン11と、光ファイバ素線ループ部1のループの第2端から密封ケース2の外部に光を導出するための第2光ファイバライン12と、第1光ファイバライン11および第2光ファイバライン12を保護する保護管30と、第1光ファイバライン11および第2光ファイバライン12に取り付けられた光コネクタ5とを具備している。
光ファイバ素線ループ部1は、光ファイバ素線1aの1ターンまたは複数ターンのループを、例えばポリイミド樹脂(商品名:カプトン)のような耐熱樹脂製のシート1eに固定したものである。
第1光ファイバライン11および第2光ファイバライン12は、密封ケース2に固定材20で固定されているが、光ファイバ素線ループ部1は密封ケース2に固定されていない。
固定材20は、耐熱樹脂であり、例えば四フッ化ポリエチレン樹脂である。
密封ケース2は、枠体2aと底板2bと天板2cからなり、用途に応じて耐熱材料または耐腐食材料または耐放射線材料から構成される。例えば、耐熱性および耐腐食性を有するニッケル合金(商品名:インコロイ)やステンレス鋼、耐放射線性を有する鉛、または、これらを複合化した材料(積層した材料や合金化した材料)から構成される。
枠体2aには、不活性ガス3gを密封ケース2の内部に導入/導出するための貫通孔15が穿設されており、栓16で封止されている。
保護管30も密封ケース2と同じ材料から構成される。
図2は、光ファイバ素線1aの断面図である。
光ファイバ素線1aは、コア1rを取り囲むようにクラッド1dに空孔1hを設けた光ファイバ裸線1sに、被覆1tを形成した構成である。
光ファイバ裸線1sの材料は、ゲルマニウムをドープしない二酸化ケイ素である。
被覆1tは、ポリイミド,多孔性の二酸化ケイ素または金である。
実施例1の光ファイバ振動センサ100によれば、密封ケース2に収容された光ファイバ素線ループ部1の振動により音響振動を検出するため、従来のマイクロフィンや圧電素子などに比べて高温,腐食性雰囲気,液中,放射線被曝などの過酷な環境下でも使用できる。また、光ファイバ素線ループ部1が固定されておらず、自由に振動でき、さらに非常に軽量であるため、数Hzから数MHzまでの音響振動を検出でき、従来のマイクロフィンや圧電素子などに比べて広帯域の音響振動を好適に測定できる。さらに、測定装置まで光ファイバで接続されるため電気雑音の影響を受けず、遠隔接続が容易になる。
図3は、実施例2に係る光ファイバ振動センサ200の構成を示す斜視図である。
この光ファイバ振動センサ200は、実施例1に係る光ファイバ振動センサ100の不活性ガス3gに代えて液体3lを密封ケース2に封入したものである。
液体3lは、シリコン,ダンサム,水銀のような不活性で沸点の高い液体である。
図4に示す光ファイバ心線1a’を図2の光ファイバ素線1aに代えて用いてもよい。
この光ファイバ心線1a’は、図2の光ファイバ素線1aの外周にジャケット被覆1jを形成した構成である。
ジャケット被覆1jは、ナイロン,ポリエチレンまたはテフロン(登録商標)である。
本発明の光ファイバ振動センサは、火山活動やLPGタンクや原子力発電所の異常検出などに利用できる。
実施例1に係る光ファイバ振動センサを示す斜視図である。 実施例1に係る光ファイバ素線を示す断面図である。 実施例2に係る光ファイバ振動センサを示す斜視図である。 実施例3に係る光ファイバ心線を示す断面図である。
符号の説明
1 光ファイバ素線ループ部
1a 光ファイバ素線
1a’ 光ファイバ心線
1e シート
1t 被覆
1j ジャケット被覆
2 密封ケース
3g 不活性ガス
3l 液体
11,12 光ファイバライン
15 貫通孔
16 栓
20 固定材
30 保護管
100,200 光ファイバ振動センサ

Claims (12)

  1. 光ファイバ素線ループ部(1)と、前記光ファイバ素線ループ部(1)を内部に気密または液密に収容する密封ケース(2)と、前記光ファイバ素線ループ部(1)のループの第1端を前記密封ケース(2)の外部に導出するための第1光ファイバライン(11)と、前記光ファイバ素線ループ部(1)のループの第2端を前記密封ケース(2)の外部に導出するための第2光ファイバライン(12)とを具備すると共に、前記第1光ファイバライン(11)および前記第2光ファイバライン(12)を前記密封ケース(2)に固定材(20)により気密または液密に固定し、前記光ファイバ素線ループ部(1)は前記密封ケース(2)に固定しないことを特徴とする光ファイバ振動センサ(100)。
  2. 請求項1に記載の光ファイバ振動センサ(100)において、前記密封ケース(2)の内部に、不活性ガス(3g)を封入したことを特徴とする光ファイバ振動センサ(100)。
  3. 請求項1に記載の光ファイバ振動センサ(100)において、前記密封ケース(2)の内部に、液体(3l)を封入したことを特徴とする光ファイバ振動センサ(100)。
  4. 請求項1から請求項3のいずれかに記載の光ファイバ振動センサ(100)において、前記光ファイバ素線ループ部(1)は、光ファイバ素線(1a)のループをシート(1e)に固定したものであることを特徴とする光ファイバ振動センサ(100)。
  5. 請求項1から請求項4のいずれかに記載の光ファイバ振動センサ(100)において、前記密封ケース(2)が、耐熱材料からなることを特徴とする光ファイバ振動センサ(100)。
  6. 請求項1から請求項5のいずれかに記載の光ファイバ振動センサ(100)において、前記密封ケース(2)が、耐腐食材料からなることを特徴とする光ファイバ振動センサ(100)。
  7. 請求項1から請求項6のいずれかに記載の光ファイバ振動センサ(100)において、前記密封ケース(2)が、耐放射線材料からなることを特徴とする光ファイバ振動センサ(100)。
  8. 請求項1から請求項7のいずれかに記載の光ファイバ振動センサ(100)において、前記光ファイバ素線ループ部(1)のループを構成する光ファイバ素線(1a)は、光ファイバ裸線(1s)と、ポリイミド,二酸化ケイ素または金の被覆(1t)とを有することを特徴とする光ファイバ振動センサ(100)。
  9. 請求項1から請求項8のいずれかに記載の光ファイバ振動センサ(100)において、前記密封ケース(2)が、ニッケル合金、ステンレス鋼、鉛またはこれらを複合化した材料からなることを特徴とする光ファイバ振動センサ(100)。
  10. 請求項1から請求項9のいずれかに記載の光ファイバ振動センサ(100)において、前記光ファイバ素線ループ部(1)のループを構成する光ファイバ裸線(1s)は、ゲルマニウムをドーピングしない二酸化ケイ素からなることを特徴とする光ファイバ振動センサ(100)。
  11. 請求項1から請求項10のいずれかに記載の光ファイバ振動センサ(100)において、前記固定材(20)が、四フッ化ポリエチレン樹脂であることを特徴とする光ファイバ振動センサ(100)。
  12. 請求項1から請求項11のいずれかに記載の光ファイバ振動センサ(100)において、前記密封ケース(2)の内部に不活性ガス(3g)または液体(3l)を導入/導出するための栓付貫通孔(15)を有することを特徴とする光ファイバ振動センサ(100)。
JP2005070328A 2005-03-14 2005-03-14 光ファイバ振動センサ Expired - Fee Related JP4377348B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005070328A JP4377348B2 (ja) 2005-03-14 2005-03-14 光ファイバ振動センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005070328A JP4377348B2 (ja) 2005-03-14 2005-03-14 光ファイバ振動センサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006250840A true JP2006250840A (ja) 2006-09-21
JP4377348B2 JP4377348B2 (ja) 2009-12-02

Family

ID=37091502

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005070328A Expired - Fee Related JP4377348B2 (ja) 2005-03-14 2005-03-14 光ファイバ振動センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4377348B2 (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007061331A (ja) * 2005-08-31 2007-03-15 Heiwa Corp 遊技機
GB2451162A (en) * 2007-07-18 2009-01-21 Schlumberger Holdings Method and system for double-ended optical fibre sensing
JP2009168676A (ja) * 2008-01-17 2009-07-30 Central Res Inst Of Electric Power Ind 板状光ファイバセンサ
JP2009168675A (ja) * 2008-01-17 2009-07-30 Central Res Inst Of Electric Power Ind 板状光ファイバセンサおよび板状光ファイバセンサの製造方法
JP2009300221A (ja) * 2008-06-12 2009-12-24 Lazoc Inc 光ファイバを用いた振動センサ
CN103941437A (zh) * 2014-04-09 2014-07-23 京东方科技集团股份有限公司 用于高低温光学评价的实验装置
JP2015135626A (ja) * 2014-01-17 2015-07-27 中国電力株式会社 制御室内状況記録システム
JP2017227508A (ja) * 2016-06-21 2017-12-28 住友電気工業株式会社 光ファイバセンサヘッド、光ファイバセンサヘッドの製造方法、及び光ファイバセンサ

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105300507B (zh) * 2015-10-26 2018-08-28 南京航空航天大学 光纤振动传感器及其m-z传感臂光路结构

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007061331A (ja) * 2005-08-31 2007-03-15 Heiwa Corp 遊技機
GB2451162A (en) * 2007-07-18 2009-01-21 Schlumberger Holdings Method and system for double-ended optical fibre sensing
US7496248B2 (en) 2007-07-18 2009-02-24 Schlumberger Technology Corporation Optical turnaround system
GB2451162B (en) * 2007-07-18 2010-03-03 Schlumberger Holdings Optical turnaround system
US7720325B2 (en) 2007-07-18 2010-05-18 Schlumberger Technology Corporation Optical turnaround system
JP2009168676A (ja) * 2008-01-17 2009-07-30 Central Res Inst Of Electric Power Ind 板状光ファイバセンサ
JP2009168675A (ja) * 2008-01-17 2009-07-30 Central Res Inst Of Electric Power Ind 板状光ファイバセンサおよび板状光ファイバセンサの製造方法
JP2009300221A (ja) * 2008-06-12 2009-12-24 Lazoc Inc 光ファイバを用いた振動センサ
JP2015135626A (ja) * 2014-01-17 2015-07-27 中国電力株式会社 制御室内状況記録システム
CN103941437A (zh) * 2014-04-09 2014-07-23 京东方科技集团股份有限公司 用于高低温光学评价的实验装置
CN103941437B (zh) * 2014-04-09 2017-01-18 京东方科技集团股份有限公司 用于高低温光学评价的实验装置
JP2017227508A (ja) * 2016-06-21 2017-12-28 住友電気工業株式会社 光ファイバセンサヘッド、光ファイバセンサヘッドの製造方法、及び光ファイバセンサ

Also Published As

Publication number Publication date
JP4377348B2 (ja) 2009-12-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4377348B2 (ja) 光ファイバ振動センサ
JP2006258518A (ja) 光ファイバ振動検出装置
JP5116674B2 (ja) 低コストのプラスチック製超音波式水量計のための構築方法
RU2315273C2 (ru) Капсула датчика давления
US10854941B2 (en) Broadband waveguide
US6782761B2 (en) Ultrasonic flow meter
CN108369116B (zh) 用于机械连接电子器件壳体与测量变换器壳体的联接设备、具有这种联接设备的测量变换器或以此形成的现场仪器
US20120132008A1 (en) Fiber optic load measurement device
US20140226938A1 (en) Sensing cable
Fisser et al. Improving the sensitivity of palladium-based fiber optic hydrogen sensors
RU2006115570A (ru) Способ мониторинга состояния трубопровода и предназначенное для этого устройство
US9151921B2 (en) Apparatus for making uniform optical fiber bundles in power generators
JP2006250803A (ja) 光ファイバ振動センサ
JP2006038540A (ja) 歪検出器およびその製造方法
JP4712438B2 (ja) ガス漏れ可視化装置
JP2008256681A (ja) 原子力プラントの圧力変動監視システム
JP2005329330A (ja) 高温・高圧用容器用窓の構造
JP2003302320A (ja) 疲労センサーおよびその保護方法
RU2594366C2 (ru) Вибрационный измеритель с корпусом с синтетической обмоткой
JP2011153831A (ja) 原子力プラントの放水路放射線モニタ装置
JP2009210551A (ja) センサアセンブリおよびセンサアセンブリの使用
JP2012021939A (ja) 光ファイバ温度センサおよびその固定方法
JP2007255894A (ja) Fbg式ひずみゲージ
US1165564A (en) Thermometer.
JP2010085400A (ja) ダイアフラムを備える加速度計ならびにこの加速度計を備える発電機およびモータ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080213

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090803

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090908

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090910

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120918

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130918

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees