JP2006245075A - 太陽電池およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 絶縁性の可撓性基板上に形成された電極層は、銀(Ag)を含んでなる複数の層から構成されており、この複数の層のうち基板に隣接する層は、窒化アルミニウムを含んでおり、電極層中のAgの含有量(Ag/(Ag+窒化アルミニウム))は、基板に隣接する層からその膜厚方向に向かって段階的あるいは連続的に変化している。
【選択図】 図2
Description
図5に示す連続方式の成膜装置を用いて、膜厚方向に向かって組成が連続的に変化する電極層を成膜した。基板は、厚さ50μmのポリイミド樹脂のシートを用いた。また、ターゲットは、組成がAl2at%含有AgとAg100at%の2種類の部分ターゲットを用い、それぞれ直角三角形と長方形の2種類の形状のものを用意した。
図3に示すステッピングロール方式の成膜装置を用いて、膜厚方向に向かって組成が段階的に変化する電極層を成膜した。基板は、実施例1と同様に、厚さ50μmのポリイミド樹脂のシートを使用した。Agの含有量が90、95および99at%のAg−Al合金ならびに100at%のAgの4種類のターゲットを用い、ArとN2(N2:6%)の混合ガスを導入しながら、上記の順に基板側から4段階の組成の電極層を形成した。膜厚は、基板側から40nm、40nm、40nmおよび80nmの合計200nmであった。
図4に示す間仕切りを設けたステッピングロール方式の成膜装置を用い、各成膜室のスパッタ時のガス圧力を変えたこと以外は、実施例2と同様の手順にて電極層を成膜した。得られた電極層の付着力の変化を調べたところ、基板に直接接触する層を成膜する際のガス圧力のみが付着力に効果があることが判った。また、圧力範囲0.1ないし5Paでは、付着力が実用的な付着力である850Nを越えた。
13 巻き取りロール
20 成膜部
21 ターゲット
27 陰極
28 電源
30 間仕切り
40 成膜部
41 ターゲット
42〜45 部分ターゲット
47 陰極
48 電極
50 太陽電池
51 可撓性基板
52a 第1の電極層
52b 第2の電極層
53 光電変換層
54 第3の電極層
55 第4の電極層
56 第1の孔
57 第2の孔
58 切断部
Claims (8)
- 絶縁性の可撓性基板上に電極層が形成されている太陽電池であって、前記電極層は、Agを含んでなる複数の層から構成されており、この複数の層のうち前記基板に隣接する層は、窒化アルミニウムを含んでおり、前記電極層中のAgの含有量は、前記基板に隣接する層からその膜厚方向に向かって段階的あるいは連続的に変化している太陽電池。
- 前記基板が、ポリアミド、ポリイミド、液晶ポリマー、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルサルフォン、ポリスチレンおよびポリカーボネートからなる群から選択される少なくとも1種である請求項1に記載の太陽電池。
- 前記電極層の複数の層のうち、前記基板に隣接する層はAgの含有量が2〜99.95at%であり、その他の少なくとも1層はAgの含有量が95at%以上である請求項1または2に記載の太陽電池。
- 前記電極層中のAgの含有量の変化は、前記基板に隣接する層から膜厚方向に向かって段階的あるいは連続的に増加するものである請求項1〜3のいずれか一項に記載の太陽電池。
- 前記電極層中のAgの含有量の変化は、前記基板に隣接する層から膜厚方向に向かって段階的あるいは連続的に減少するものである請求項1〜3のいずれか一項に記載の太陽電池。
- 前記電極層中のAgの含有量の変化は、前記基板に隣接する層から膜厚方向に向かって段階的あるいは連続的に減少してから増加するものである請求項1〜3のいずれか一項に記載の太陽電池。
- 絶縁性の可撓性基板上に、銀と窒化アルミニウムとからなる層を形成する工程と、
前記層上に、銀含有量が前記層の銀含有量から段階的あるいは連続的に変化するように、銀または銀と窒化アルミニウムとからなる少なくとも1つの層をさらに形成し、前記層とあわせて電極層とする工程と
を含んでなる太陽電池の製造方法。 - スパッタリングにより前記各層を形成して前記電極層とするとともに、そのときのガス圧力を0.1〜5Paとする請求項7に記載の太陽電池の製造方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009194288A (ja) * | 2008-02-18 | 2009-08-27 | Fuji Electric Systems Co Ltd | テクスチャー構造を有する導電性薄膜の形成方法及びこの導電性薄膜を用いた薄膜太陽電池 |
JP2009194289A (ja) * | 2008-02-18 | 2009-08-27 | Fuji Electric Systems Co Ltd | テクスチャー構造を有する導電性薄膜の形成方法及びこの導電性薄膜を用いた薄膜太陽電池 |
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-
2005
- 2005-03-01 JP JP2005055231A patent/JP2006245075A/ja active Pending
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