JP2006244871A - 粒子を堆積する方法、電子放出装置及びトランジスタ - Google Patents
粒子を堆積する方法、電子放出装置及びトランジスタ Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 本方法は、基板上に絶縁層及び導電層の交互層を形成し、前記交互層の一部を除去し、交互層の下地を露出させ、1以上の導電層に所定の電位を与え、帯電した粒子を交互層の下地へ導く。導電層に適切な電位を与えることで、粒子の軌道が制御され、露出した下地層に高精度に粒子を設けることができる。
【選択図】 図3
Description
et al.、IEEE Electron Device. Lett., 22 (2001) 426.に記載されている。図示されているように、従来例ではCNTは凹部内全域に一様に分布するような構造が形成される。一方、凹部内側の電位又は電界強度は、引き出し電極からの距離に応じて異なるので、凹部の中央と端部(絶縁層の内壁部)では異なる大きさになる。従って、引き出し電極に印加する電圧を0から徐々に大きくしていった場合に、端部付近に位置するCNTは、中央付近に位置するCNTよりも先に電子を放出することになる。一般に、電極に近い側の電界強度は、電極から離れた中央付近のものより大きくなる。このため、一部のCNTが電子を放出し始める電圧と、総てのCNTが電子を放出する電圧との間に隔たりが生じ、装置全体から電子を放出させる閾電圧にばらつきが生じる。これは、電子放出装置の制御性の観点からは不都合である。これに対して、図4に示されるように、凹部内の一定の箇所だけに(例えば中央付近にのみ)CNTを設けることができれば、そのような閾値のばらつきは実質的になくなり、電子放出装置の制御性が非常に好都合になる。
基板上に絶縁層及び導電層の交互層を形成し、
前記交互層の一部を除去し、交互層の下地を露出させ、
1以上の導電層に所定の電位を与え、帯電した粒子を交互層の下地へ導く、
ことを特徴とする粒子を堆積する方法。
前記交互層が、3以上の導電層を有する
ことを特徴とする付記1記載の方法。
前記3つの導電層の間に介在する2つの絶縁層に、大きさが等しく向きの異なる電場が印加されるように、1以上の導電層に電位が与えられる
ことを特徴とする付記2記載の方法。
前記粒子が、カーボンナノチューブ用の触媒微粒子である
ことを特徴とする付記1記載の方法。
基板上に絶縁層を介して積層された複数の導電層と、
前記絶縁層及び導電層の一部を貫通し、前記基板の一部を露出させる凹部内の一部に形成された電子放出部と、
前記導電層に与える電位を調整する手段と、
を備えることを特徴とする電子放出装置。
前記電子放出部が、微粒子より成る
ことを特徴とする付記5記載の電子放出装置。
前記電子放出部が、微粒子及び該微粒子から成長したカーボンナノチューブより成る
ことを特徴とする付記5記載の電子放出装置。
前記電子放出部を構成する微粒子が、基板の一部に集束して堆積されている
ことを特徴とする付記5記載の電子放出装置。
前記電子放出部が、カーボンナノチューブより成る
ことを特徴とする付記5記載の電子放出装置。
基板上に絶縁層を介して積層された複数の導電層と、
前記絶縁層及び導電層を貫通する凹部の底面の一部から前記凹部の内壁面に沿って導電層に至る導電性経路と、
1以上の導電層に与える電位を調整する手段と、
を備えることを特徴とするトランジスタ。
前記凹部が、前記複数の導電層を貫通する開口状に形成される
ことを特徴とする付記10記載のトランジスタ。
前記導電性経路がチャネルを形成し、前記導電層の少なくとも1つがゲート電極を形成する
ことを特徴とする付記10記載のトランジスタ。
チャネルを形成する前記導電性経路が、カーボンナノチューブより成る
ことを特徴とする付記10記載のトランジスタ。
22,24,26 絶縁増
23,25,27 導電層
29 ホール又は凹部
41 微粒子
42 CNT
62 絶縁層
Claims (5)
- 基板上に絶縁層及び導電層の交互層を形成し、
前記交互層の一部を除去し、交互層の下地を露出させ、
1以上の導電層に所定の電位を与え、帯電した粒子を交互層の下地へ導く、
ことを特徴とする粒子を堆積する方法。 - 前記交互層が、3以上の導電層を有する
ことを特徴とする請求項1記載の方法。 - 前記3つの導電層の間に介在する2つの絶縁層に、大きさが等しく向きの異なる電場が印加されるように、1以上の導電層に電位が与えられる
ことを特徴とする請求項2記載の方法。 - 基板上に絶縁層を介して積層された複数の導電層と、
前記絶縁層及び導電層の一部を貫通し、前記基板の一部を露出させる凹部内の一部に形成された電子放出部と、
前記導電層に与える電位を調整する手段と、
を備えることを特徴とする電子放出装置。 - 基板上に絶縁層を介して積層された複数の導電層と、
前記絶縁層及び導電層を貫通する凹部の底面の一部から前記凹部の内壁面に沿って導電層に至る導電性経路と、
1以上の導電層に与える電位を調整する手段と、
を備えることを特徴とするトランジスタ。
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2005
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