JP2006239787A - 微細構造作製方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】S1では形成すべき凹部の深さに応じてFIBのドーズ量、加速電圧を調整しながら単結晶シリコン(100)面にFIBを照射する。S2ではアセトン、純水を用いた超音波洗浄を行う。S3では単結晶シリコン基板を23℃程度のHF水溶液に浸漬して超音波振動を加えてエッチングし、確認のためにS4でAFMにより形成された構造を観測すると、FIB照射を行った基板表面に高さ数nm程度の凸状の隆起が生じている。この基板をエッチングすると非照射部はエッチングされないのに対して、照射部はエッチングされ、照射条件によって高さの異なる段差が形成される。
【選択図】図1
Description
J. Vac. Sci. Technol., B1 (1983) 985-999. J. Vac. Sci. Technol., B6(1990)1945-1950.
グレースケール露光法を用いる方法では複雑形状のグレースケールマスクが必要となるほか、フォトリソグラフィーを用いるものであるため、多くの工数がかかり、結果として製品のコストアップを招いてしまう。
そして、好ましくは集束イオンビームの異なせる照射条件は、ドーズ量、加速電圧の中の一種または複数種である。
また、好ましくはエッチング時間をコントロールすることにより、集束イオンビーム照射条件の異なる領域間のエッチング深さの差を制御する。
以下の実施の形態では、単結晶シリコン基板を使用した例について説明する。
図1は、本発明の実施の形態の処理の流れを示す図である。第1ステップS1では、単結晶シリコン(100)面にFIBを照射する。その際に、形成すべき凹部の深さに応じてFIBのドーズ量、加速電圧を調整する。FIBのイオン種としてはGa+が用いられる第2ステップS2ではアセトン、純水を用いた超音波洗浄を行う。第3ステップS3では超音波振動を加えたHF水溶液に浸漬して単結晶シリコン基板のFIB照射面をエッチングする。このHF水溶液の水温は室温(23℃)程度である。その後確認のために、第4ステップS4においてAFM(原子間力顕微鏡)により形成された段差を観測する。
FIB照射部深さのドーズ量依存性を検証するために、ドーズ量を変化させてFIB照射部深さを測定した。結果を図3に示す。照射イオンはGa+、加速電圧は30kVである。また、エッチャント(HF)の濃度は46mass%、エッチング処理時間は20分である。
FIB照射部深さの加速電圧依存性を検証するために、加速電圧を変化させてFIB照射部深さを測定した。結果を図5に示す。照射イオンはGa+である。また、エッチャント(HF)の濃度は46mass%、エッチング処理時間は20分である。
ドーズ量がいずれの場合でも、加速電圧の増加にともない凹み深さは線形的に増加することがわかる。
FIB照射部深さのエッチング処理時間依存性を検証するために、エッチング処理時間を変化させてFIB照射部深さを測定した。結果を図6に示す。照射イオンはGa+、加速電圧は30kVである。また、エッチャント(HF)の濃度は46mass%である。
ドーズ量が小さい場合、深さ約20〜30nmを中心として、ドットピッチと同じ間隔で非晶質化した領域が形成されていることがわかる。ドーズ量が大きくなると、非晶質化した領域は、幅方向と同時に深さ方向に広くなる。さらにドーズ量の増加にともない、この領域は試料表面から生じるようになることがわかる。これより、FIB照射によって形成された非晶質化層がエッチャントに選択的にエッチングされたものと推定できる。
結果を図8と図9に示す。照射イオンはGa+、加速電圧は30kVである。また、エッチャント(KOH)の濃度は10mass%、エッチング処理時間は90秒である。
また、ドーズ量を連続的に変化させることにより、図13に示す滑らかな曲面を持ったフレネルレンズ型の構造を形成することができた。
2 イオン注入領域
Claims (12)
- 照射条件の異なる集束イオンビームを被加工基板上に照射し、湿式エッチングにより照射部を選択的にエッチングする微細構造形成において、被加工基板上に集束イオンビーム照射条件に応じてエッチング深さの異なる加工物を形成することを特徴とする被加工基板の湿式エッチング方法。
- 照射条件の異なる集束イオンビームを被加工基板上に照射し、湿式エッチングにより照射部を選択的にエッチングる微細構造形成において、被加工基板上に集束イオンビーム照射の有無および集束イオンビーム照射条件に応じてエッチング深さの異なる加工物を形成することを特徴とする被加工基板の湿式エッチング方法。
- 集束イオンビームの異ならせる条件は、ドーズ量、加速電圧の中の一種または複数種であることを特徴とする請求項1または2に記載の被加工基板の湿式エッチング方法。
- エッチング時間をコントロールすることにより、集束イオンビーム照射条件の異なる領域間のエッチング深さの差を制御することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の被加工基板の湿式エッチング方法。
- 被加工基板上の一または複数の領域に、異なる加速電圧により複数回の集束イオンビームを照射し、湿式エッチングを行って被加工基板上に集束イオンビーム照射の回数に応じた高さの加工物を形成することを特徴とする被加工基板の湿式エッチング方法。
- 前記複数の領域のうちにある領域に対しては、他の領域と集束イオンビーム照射照射回数、加速電圧のいずれかをまたはその両方が異なり、ある領域と他の領域とでは形成される加工物の高さが異なることを特徴とする請求項5に記載の湿式エッチング方法。
- 前記被加工基盤が半導体により形成されていることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の被加工基板の湿式エッチング方法。
- 前記被加工基盤が単結晶シリコンにより形成されていることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の被加工基板の湿式エッチング方法。
- 湿式エッチングが酸性エッチング液を用いて行われることを特徴とする請求項8に記載の被加工基板の湿式エッチング方法。
- 湿式エッチングがHF水溶液を用いて行われることを特徴とする請求項8に記載の被加工基盤の湿式エッチング方法。
- 照射条件の異なる集束イオンビームを被加工基板上に照射し、湿式エッチングにより照射部を選択的にエッチングする微細構造形成において、被加工基板上に集束イオンビーム照射条件に応じてエッチング深さの異なる加工物を形成することを特徴とする被加工基板の湿式エッチング装置。
- 照射条件の異なる集束イオンビームを被加工基板上に照射し、湿式エッチングにより照射部を選択的にエッチングる微細構造形成において、被加工基板上に集束イオンビーム照射の有無および集束イオンビーム照射条件に応じてエッチング深さの異なる加工物を形成することを特徴とする被加工基板の湿式エッチング装置。
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