JP2006237287A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 反応炉10の第2の蓋体6が熱変形しても、第2の蓋体6に固着されたピン7a,7bと第1の蓋体5に形成された位置決め用のピン穴11a,11bの壁面とが接触することなく、かつ第1の蓋体5の回転方向と中心の位置決めが可能な位置決め形状となるように、第1の蓋体5及び第2の蓋体6が構成されている。つまり、第1の蓋体5の位置決め用のピン穴11a,11bの形状を扇型にすることにより、熱変形によって第2の蓋体6に固着されたピン7a,7bが外側に変形してもピン穴11a,11bの壁面とピン7a,7bが接触しないように構成されている。
【選択図】 図2
Description
本発明の基板処理装置は、反応炉の第2の蓋体が熱変形しても、第2の蓋体に固着されたピンと第1の蓋体に形成された位置決め用のピン穴の壁面とが接触することなく、かつ第1の蓋体の回転方向と中心の位置決めが可能な位置決め形状となるように、第1の蓋体及び第2の蓋体が構成されている。さらに具体的に説明すると、第1の蓋体の位置決め用のピン穴の形状を扇型にすることによって、熱変形によって第2の蓋体に固着されたピンが外側に変形してもピン穴の壁面とピンが接触しないように構成されている。すなわち、ピン穴を扇型にすることによって、例えば、第2の蓋体が膨張するように変形を起こした場合でも、ピンがピン穴の壁面に接触することを防ぐことができる。
以下、図面を参照して本発明における基板処理装置の実施の形態について詳細に説明するが、まず、本発明に適用される基板処理装置の全体構成について、縦型酸化拡散処理炉を例に挙げて説明する。
2 反応管(処理室)
3 ボート
4 ボート支持体
5 第1の蓋体
6 第2の蓋体
7a,7b ピン(位置決め手段)
10 反応炉
11a,11b ピン穴(位置決め溝)
12a,12b ピン逃げ
13a,13b クリアランス
Claims (1)
- 基板保持具に保持された基板を処理する処理室と、
前記処理室の内部を加熱する加熱手段と、
前記基板保持具の底部に設けられ、その底面に複数の位置決め溝が形成された第1の蓋体と、
前記第1の蓋体よりも熱膨張率の大きい材質で形成され、前記第1の蓋体の底面と対向配置された第2の蓋体と、
前記第2の蓋体に対して前記第1の蓋体を位置決めするために、前記第1の蓋体における前記複数の位置決め溝のそれぞれと相対する位置に設けられた複数の位置決め手段とを備え、
前記複数の位置決め溝は、前記第2の蓋体の熱変形によって前記複数の位置決め手段のそれぞれが対応する位置決め溝の壁面に所定値以上の応力を加えないように、前記第1の蓋体における底部の中心部から周縁方向に向けて漸次広がるように形成されている
ことを特徴とする基板処理装置。
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JP2005050052A JP4505348B2 (ja) | 2005-02-25 | 2005-02-25 | 基板処理装置、及び基板処理方法 |
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JP2005050052A JP4505348B2 (ja) | 2005-02-25 | 2005-02-25 | 基板処理装置、及び基板処理方法 |
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JP4505348B2 JP4505348B2 (ja) | 2010-07-21 |
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Cited By (2)
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WO2008156031A1 (ja) * | 2007-06-19 | 2008-12-24 | Tokyo Electron Limited | 真空処理装置 |
WO2011010668A1 (ja) * | 2009-07-21 | 2011-01-27 | シャープ株式会社 | 位置決め構造及び搬送装置 |
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-
2005
- 2005-02-25 JP JP2005050052A patent/JP4505348B2/ja active Active
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Also Published As
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