JP2006234635A - フレキシブルプリント配線板の接合部の非破壊検査方法 - Google Patents
フレキシブルプリント配線板の接合部の非破壊検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006234635A JP2006234635A JP2005050808A JP2005050808A JP2006234635A JP 2006234635 A JP2006234635 A JP 2006234635A JP 2005050808 A JP2005050808 A JP 2005050808A JP 2005050808 A JP2005050808 A JP 2005050808A JP 2006234635 A JP2006234635 A JP 2006234635A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- joint
- inspection method
- nondestructive inspection
- inspected
- flexible printed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 11
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 claims 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000003679 aging effect Effects 0.000 abstract 1
- 206010056873 tertiary syphilis Diseases 0.000 abstract 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 24
- DCMURXAZTZQAFB-UHFFFAOYSA-N 1,4-dichloro-2-(2-chlorophenyl)benzene Chemical group ClC1=CC=C(Cl)C(C=2C(=CC=CC=2)Cl)=C1 DCMURXAZTZQAFB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 3
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- LVROLHVSYNLFBE-UHFFFAOYSA-N 2,3,6-trichlorobiphenyl Chemical compound ClC1=CC=C(Cl)C(C=2C=CC=CC=2)=C1Cl LVROLHVSYNLFBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2801—Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]
- G01R31/281—Specific types of tests or tests for a specific type of fault, e.g. thermal mapping, shorts testing
- G01R31/2812—Checking for open circuits or shorts, e.g. solder bridges; Testing conductivity, resistivity or impedance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N25/00—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
- G01N25/72—Investigating presence of flaws
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2801—Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]
- G01R31/281—Specific types of tests or tests for a specific type of fault, e.g. thermal mapping, shorts testing
- G01R31/2817—Environmental-, stress-, or burn-in tests
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/302—Contactless testing
- G01R31/308—Contactless testing using non-ionising electromagnetic radiation, e.g. optical radiation
- G01R31/309—Contactless testing using non-ionising electromagnetic radiation, e.g. optical radiation of printed or hybrid circuits or circuit substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/36—Assembling printed circuits with other printed circuits
- H05K3/361—Assembling flexible printed circuits with other printed circuits
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
【課題】 人体に悪影響を与え得るX線やガンマ線を使用せず、接合部における不都合な欠陥を容易かつ確実に検出できる非破壊検査方法を提供する。
【解決手段】 非破壊検査方法を実施するための装置40は、被検査体30を支持可能なステージ42と、被検査体30の接続部24の表面を加熱するためのストロボ光源44と、被検査体30の接続部24の表面温度の経時変化を測定可能な赤外線サーモグラフ46とを有する。なおステージ42は、加熱された被検査体30の温度変化すなわち冷却を促進するために被検査体30を載置可能なヒートシンク48を有することが好ましい。
【選択図】 図7
【解決手段】 非破壊検査方法を実施するための装置40は、被検査体30を支持可能なステージ42と、被検査体30の接続部24の表面を加熱するためのストロボ光源44と、被検査体30の接続部24の表面温度の経時変化を測定可能な赤外線サーモグラフ46とを有する。なおステージ42は、加熱された被検査体30の温度変化すなわち冷却を促進するために被検査体30を載置可能なヒートシンク48を有することが好ましい。
【選択図】 図7
Description
本発明は、フレキシブルプリント配線板の接合部が電気的に接合されているかを判別する非破壊検査方法に関する。
従来の接合部の非破壊検査方法は、例えば、X線又はガンマ線を用いて接合部の形状を調べるものである。例えば特許文献1には、試料の内部の非破壊検査に用いられる、X線を利用した非破壊検査方法が開示されている。
X線又はガンマ線を用いた方法では、接合部間の微小な隙間(例えば1μm以下のギャップ)の存在を見逃す可能性がある。またX線やガンマ線は人体に悪影響を与える虞があるため、その取り扱いには十分注意しなければならない。
そこで本発明は、人体に悪影響を与え得るX線やガンマ線は使用せず、接合部における不都合な欠陥を容易かつ確実に検出できる非破壊検査方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、互いに電気的に導通接続されたフレキシブルプリント基板及び基材を用意するステップと、前記フレキシブルプリント基板と前記基材との接合部の表面全体が略均一な温度になるように前記接合部を加熱するステップと、前記接合部の加熱後から前記接合部の表面温度の経時変化を測定するステップと、前記接合部の表面温度の経時変化の測定結果に基づいて、前記接合部の電気的接続状態を検査するステップと、を有する非破壊検査方法を提供する。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の非破壊検査方法において、前記フレキシブルプリント基板及び前記基材は前記接合部において互いに部分的に導通接続され、前記検査するステップは、前記接合部における部分的な導通接続部位の表面温度が前記接合部の前記部分的な導通接続部位以外の部位の表面温度よりも速く低下することをもって、該部分的な導通接続部位において導通接続がなされていると判断することを含む、非破壊検査方法を提供する。
請求項3に記載の発明は、請求項1又は2に記載の非破壊検査方法において、前記加熱するステップは、前記接合部の外側に配置された光源からの照射光によって前記接合部を加熱することを含む、非破壊検査方法を提供する。
請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の非破壊検査方法において、前記光源は環状形状を有する、非破壊検査方法を提供する。
請求項5に記載の発明は、請求項1〜4のいずれか1項に記載の非破壊検査方法において、前記測定するステップにおいて赤外線サーモグラフが使用される、非破壊検査方法を提供する。
本発明に係る非破壊検査方法によれば、人体に悪影響を与え得るX線又はガンマ線を使用せず、接合部の導通接続状態を容易かつ確実に検査することができる。
以下、図面を参照しながら本発明を詳細に説明する。
図1〜図5は、本発明に係る非破壊検査方法の適用に適した被検査体の作製方法を示す図である。なおこの作製方法は、非導電性フィルムを用いたフレキシブルプリント配線板を接続する技術に基づくものである。
図1〜図5は、本発明に係る非破壊検査方法の適用に適した被検査体の作製方法を示す図である。なおこの作製方法は、非導電性フィルムを用いたフレキシブルプリント配線板を接続する技術に基づくものである。
先ず図1(a)及び(b)に示すような、ポリイミド等からなるベース板14上に導電体12が形成されたフレキシブルプリント基板(以降、FPCと略称する)10を用意する。次に図2に示すように、FPC10の導電体12の一部をエンボス加工して導電体12の表面に凹凸を形成する。次に図3に示すように、導電体12のエンボス加工された部位に例えばエポキシ樹脂系の接着剤16をラミネート状に形成する。次に図4(a)に示すような、FPC10の導電体12に導通接続すべき導電体20がガラエポ等の剛性基板22上に形成された基材(以降、PCBと略称する)18を用意し、最後に図4(b)に示すようにPCB18の導電体20をFPC10の導電体12に熱プレス等により接着する。このとき導電体12の凸部と導電体20との間の接着剤は凸部の周囲に押し出され、導電体12と導電体20とが直接接触すなわち導通接続される。このようにして、図6に示すような接合部24を備えた被検査体30が作製される。
次に図7は、本発明の好適な非破壊検査方法を実施するための装置40の概要を示す図である。装置40は、上述の被検査体30を支持可能なステージ42と、被検査体30の接合部24の表面を加熱するための、キセノンランプ等のストロボ光源44と、被検査体30の接合部24の表面温度の経時変化を(例えば0.1秒間隔で)測定可能な赤外線サーモグラフ46とを有する。サーモグラフ46としては、赤外線放射を利用する公知の赤外線サーモグラフが使用可能である。なおステージ42は、加熱された被検査体30の温度変化すなわち冷却を促進するために被検査体30を載置可能なヒートシンク48を有することが好ましく、またヒートシンク48はX、Y及びZいずれの方向にも可動すなわち任意の方向に位置調節可能であることが好ましい。
装置40は、被検査体30の接合部24の表面温度が接合部全体にわたって均一になるように、接合部24の表面を均一に加熱できる構造を有する。そのためにストロボ光源44は、接合部24の外側から均一に光を照射できる形状、例えば環状形状を有することが好ましい。ただしこのような光源形状であっても接合部24の中央付近と外周付近とでは光源との距離差がまだ存するため、この差により生じ得る接合部の表面温度差を解消するために、装置40は、ストロボ光源44から接合部24の表面に直接向かわない照射光を接合部24の表面に向けて反射する反射鏡50をさらに有することが好ましい。
またサーモグラフ46の代わりに、赤外線サーモグラフと同様に赤外線放射を利用する赤外線カメラを用いてもよい。この場合も、接合部全体の温度分布を画像表示によって知ることができる。
また被検査体30の接合部24の温度分布を画像表示する赤外線サーモグラフ又は赤外線カメラの代わりに、測定すべき部位(すなわち導通接続部位及びそれ以外の部位)をスポット計測可能な分光放射計又はスポット放射温度計を用いてもよい。この場合は、接合部24全体の温度分布を視覚的に示す代わりに、各部位の温度が数値によって表されることになるが、導通接続状態を確認すべき部位及びそれ以外の部位の温度変化を適当な時間間隔(例えば0.1秒刻み)で測定することにより、本発明の非破壊検査方法に必要な経時変化のデータを得ることができる。
本発明においては一般に、サーモグラフ46はFPC10のベース板14の裏側の面すなわちPCB18と接続されない側の面の表面温度を測定する。従って本発明に係る上述の非破壊検査方法を適用するためには、ベース板14の厚さは所定の厚さ以下であることが望まれる。一例として図8に示す接合部24の断面において、FPC10のベース板14は厚さが100μm以下であることが好ましく、より好ましくは、厚さが12.5、25、50及び75μmのポリイミドフィルムである。またFPC10の導電体12は、厚さが50μm以下であることが好ましく、より好ましくは、厚さが4、9、12、18及び35μmの銅箔である。
一方PCB18の導電体20は、FPC10の導電体12と同様に、厚さが50μ以下であることが好ましく、より好ましくは、厚さが4、9、12、18及び35μmの銅箔である。またPCB18の剛性基板22は、厚さが約100〜500μmのガラエポであることが好ましいが、FPC10のベース板14と同様に可撓性を備えたポリイミド等の基板であってもよい。
またFPC10の導電体12の凸部12a〜12dの高さ(すなわち導電体12の凹部12eと導電体20との厚さ方向距離)dは、約3〜10μmであることが好ましく、より好ましくは約5μmである。また隣接する凸部間のピッチpは、約0.1〜0.3mmであることが好ましく、より好ましくは約0.2mmである。またピッチpに関連し、サーモグラフ46の分解能はピッチpよりも小さいことが必要とされる。
次に本発明の非破壊検査方法の手順について説明する。
上述のような、互いに電気的に導通接続されたFPC10及びPCB18からなる被検査体30を用意し、ヒートシンク48上に載置する(図7参照)。次に被検査体30の接合部24の表面全体が略均一な温度になるように、ストロボ光源44の発光によって接合部24を加熱する。ストロボ光源44の発光直後(すなわち接合部24の表面温度が均一に昇温されたとき)からの接合部24の表面温度の経時変化を、サーモグラフ46を用いて測定する。なお一般に表面温度の冷却は比較的迅速であり、故に経時変化の測定はストロボ発光直後から0.1〜0.3秒間隔で数秒間にわたって行われることが好ましい。
上述のような、互いに電気的に導通接続されたFPC10及びPCB18からなる被検査体30を用意し、ヒートシンク48上に載置する(図7参照)。次に被検査体30の接合部24の表面全体が略均一な温度になるように、ストロボ光源44の発光によって接合部24を加熱する。ストロボ光源44の発光直後(すなわち接合部24の表面温度が均一に昇温されたとき)からの接合部24の表面温度の経時変化を、サーモグラフ46を用いて測定する。なお一般に表面温度の冷却は比較的迅速であり、故に経時変化の測定はストロボ発光直後から0.1〜0.3秒間隔で数秒間にわたって行われることが好ましい。
上述の方法によって得られるサーモグラフ46の測定結果の一例を図9に示す。なお図9はサーモグラフによる接合部24の一部の出力画像を模式的に示した図であり、ストロボ発光後のある時点での表面温度分布を示すものである。図8に示したように接合部24におけるFPC10の導電体12は凹凸を有するので、接合部24において実際に導通接続されているのは導電体12の凸部のみとなる。本発明に係る非破壊検査方法は、実際に導通接続されている部位(図8の例では凸部12a〜12d)とされていない部位とでFPC10からPCB18への熱伝導率が大きく異なることを利用する。すなわち、金属同士が直接当接する部位すなわち凸部での熱伝導率は、一般には樹脂系の接着剤が介在する(場合によっては接着剤もない単なる空隙である)部位すなわち凹部での熱伝導率より数十倍から数百倍であるため、ストロボ発光による加熱後は凸部及びその近傍の方が凹部及びその近傍より速く冷却(すなわちFPC10からPCB18へ熱移動)することになる。例えば図9に示す例の場合は、複数の凸部12a〜12dのうち凸部12cのみ、他よりもある時点での温度が高く(すなわち冷却速度が遅い)、故に何らかの原因により確実な導通接続がなされていないことを示す。このように、接合部の表面温度の経時変化を測定することにより、接合部の各導通接続部位すなわち凸部の電気的接合状態を非破壊検査することができる。またX線やガンマ線を用いた非破壊検査では見落とす可能性がある導通接続部位間の1μm程度の微小な隙間があっても、その隙間により熱伝導性は下がるので、本発明による非破壊検査はそのような隙間を見落とすことはない。
本発明は、FPCのベース板を光照射により短時間で一様に昇温させ、その後の冷却すなわち熱移動を追跡する方法であるので、FPCと接合する相手はいかなる材料であってもよい。具体的には、FPCと、FPC、硬質プリント配線プリント板、ガラス基板又は半導体チップとの接合が検査可能である。また本発明は、部分的に導通接続された接合部位の非破壊検査に特に好適であるが、無論他の方法による接合部位にも適用可能であり、いずれの場合も接続部位の導通接続状態を簡易かつ確実に検査することができる。
10 FPC
12、20 導電体
18 PCB
24 接合部
30 被検査体
40 装置
42 ステージ
44 ストロボ光源
46 サーモグラフ
48 ヒートシンク
50 反射鏡
12、20 導電体
18 PCB
24 接合部
30 被検査体
40 装置
42 ステージ
44 ストロボ光源
46 サーモグラフ
48 ヒートシンク
50 反射鏡
Claims (5)
- 互いに電気的に導通接続されたフレキシブルプリント基板及び基材を用意するステップと、
前記フレキシブルプリント基板と前記基材との接合部の表面全体が略均一な温度になるように前記接合部を加熱するステップと、
前記接合部の加熱後から前記接合部の表面温度の経時変化を測定するステップと、
前記接合部の表面温度の経時変化の測定結果に基づいて、前記接合部の電気的接続状態を検査するステップと、
を有する非破壊検査方法。 - 前記フレキシブルプリント基板及び前記基材は前記接合部において互いに部分的に導通接続され、前記検査するステップは、前記接合部における部分的な導通接続部位の表面温度が前記接合部の前記部分的な導通接続部位以外の部位の表面温度よりも速く低下することをもって、該部分的な導通接続部位において導通接続がなされていると判断することを含む、請求項1に記載の非破壊検査方法。
- 前記加熱するステップは、前記接合部の外側に配置された光源からの照射光によって前記接合部を加熱することを含む、請求項1又は2に記載の非破壊検査方法。
- 前記光源は環状形状を有する、請求項3に記載の非破壊検査方法。
- 前記測定するステップにおいて赤外線サーモグラフが使用される、請求項1〜4のいずれか1項に記載の非破壊検査方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005050808A JP2006234635A (ja) | 2005-02-25 | 2005-02-25 | フレキシブルプリント配線板の接合部の非破壊検査方法 |
| JP2007557032A JP2008532009A (ja) | 2005-02-25 | 2006-02-02 | プレキシブルプリント配線板の接合部の非破壊検査方法 |
| EP06748183A EP1853899A1 (en) | 2005-02-25 | 2006-02-02 | Nondestructive inspection method for inspecting junction of flexible printed circuit board |
| PCT/US2006/003608 WO2006093613A1 (en) | 2005-02-25 | 2006-02-02 | Nondestructive inspection method for inspecting junction of flexible printed circuit board |
| US11/814,930 US20080013594A1 (en) | 2005-02-25 | 2006-02-02 | Nondestructive Inspection Method For Inspecting Junction Of Flexible Printed Circuit Board |
| TW095105971A TW200641365A (en) | 2005-02-25 | 2006-02-22 | Nondestructive inspection method for inspecting junction of flexible printed circuit board |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005050808A JP2006234635A (ja) | 2005-02-25 | 2005-02-25 | フレキシブルプリント配線板の接合部の非破壊検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006234635A true JP2006234635A (ja) | 2006-09-07 |
Family
ID=36646003
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005050808A Pending JP2006234635A (ja) | 2005-02-25 | 2005-02-25 | フレキシブルプリント配線板の接合部の非破壊検査方法 |
| JP2007557032A Pending JP2008532009A (ja) | 2005-02-25 | 2006-02-02 | プレキシブルプリント配線板の接合部の非破壊検査方法 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007557032A Pending JP2008532009A (ja) | 2005-02-25 | 2006-02-02 | プレキシブルプリント配線板の接合部の非破壊検査方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20080013594A1 (ja) |
| EP (1) | EP1853899A1 (ja) |
| JP (2) | JP2006234635A (ja) |
| TW (1) | TW200641365A (ja) |
| WO (1) | WO2006093613A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111640684A (zh) * | 2019-03-01 | 2020-09-08 | 德尔福技术知识产权有限公司 | 用于多点热路径评估的系统和方法 |
| JP2022013996A (ja) * | 2020-07-06 | 2022-01-19 | 矢崎総業株式会社 | 車両用計器装置 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015055618A (ja) * | 2013-09-13 | 2015-03-23 | 株式会社東芝 | 半導体装置の検査方法及び半導体装置の検査装置 |
| WO2018212087A1 (ja) * | 2017-05-15 | 2018-11-22 | 三菱電機株式会社 | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
| US10141403B1 (en) | 2017-11-16 | 2018-11-27 | International Business Machines Corporation | Integrating thin and thick gate dielectric nanosheet transistors on same chip |
| CN113295546A (zh) * | 2021-05-10 | 2021-08-24 | 武汉精测电子集团股份有限公司 | 一种fpc微电路弯曲受损程度检定方法、装置及电子设备 |
Family Cites Families (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3213667A (en) * | 1963-12-11 | 1965-10-26 | Gen Electric | Methods of testing joints between thermoelectric elements and junction members |
| US3842346A (en) * | 1972-12-20 | 1974-10-15 | C Bobbitt | Continuity testing of solid state circuitry during temperature cycling |
| JPS57193094A (en) * | 1981-05-18 | 1982-11-27 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Electronic circuit part and method of mounting same |
| JPS59218938A (ja) * | 1983-05-27 | 1984-12-10 | Fujitsu Ltd | プリント基板の配線パタ−ン検査方法 |
| US4733175A (en) * | 1984-06-04 | 1988-03-22 | General Electric Company | Varistor defect detection by incipient hot spot observation |
| US4792683A (en) * | 1987-01-16 | 1988-12-20 | Hughes Aircraft Company | Thermal technique for simultaneous testing of circuit board solder joints |
| DE3820862A1 (de) * | 1988-06-21 | 1989-12-28 | Soelter Hans Joachim Dipl Phys | Verfahren und vorrichtung zur kontaktlosen untersuchung von oberflaechen und inneren strukturen eines festen pruefkoerpers |
| US6122704A (en) * | 1989-05-15 | 2000-09-19 | Dallas Semiconductor Corp. | Integrated circuit for identifying an item via a serial port |
| US5407275A (en) * | 1992-03-31 | 1995-04-18 | Vlsi Technology, Inc. | Non-destructive test for inner lead bond of a tab device |
| US5228776A (en) * | 1992-05-06 | 1993-07-20 | Therma-Wave, Inc. | Apparatus for evaluating thermal and electrical characteristics in a sample |
| US5422498A (en) * | 1993-04-13 | 1995-06-06 | Nec Corporation | Apparatus for diagnosing interconnections of semiconductor integrated circuits |
| JP3032964B2 (ja) * | 1996-12-30 | 2000-04-17 | アナムインダストリアル株式会社 | ボールグリッドアレイ半導体のパッケージ及び製造方法 |
| US6054868A (en) * | 1998-06-10 | 2000-04-25 | Boxer Cross Incorporated | Apparatus and method for measuring a property of a layer in a multilayered structure |
| JP2000261137A (ja) * | 1999-03-12 | 2000-09-22 | Nec Corp | 電子部品接続状態検査装置及び電子部品接続状態検査方法 |
| US6340817B1 (en) * | 1999-04-23 | 2002-01-22 | Creo S.R.L. | Inspection method for unpopulated printed circuit boards |
| US6391669B1 (en) * | 2000-06-21 | 2002-05-21 | International Business Machines Corporation | Embedded structures to provide electrical testing for via to via and interface layer alignment as well as for conductive interface electrical integrity in multilayer devices |
| CH695407A5 (de) * | 2000-07-03 | 2006-04-28 | Esec Trading Sa | Verfahren und Einrichtung zur Montage von Halbleiterchips auf einem flexiblen Substrat. |
| US6491426B1 (en) * | 2001-06-25 | 2002-12-10 | Sbs Technologies Inc. | Thermal bond verification |
| US6971791B2 (en) * | 2002-03-01 | 2005-12-06 | Boxer Cross, Inc | Identifying defects in a conductive structure of a wafer, based on heat transfer therethrough |
| JP2003307458A (ja) * | 2002-04-15 | 2003-10-31 | Akifumi Ito | 基材の温度測定方法および温度測定装置 |
| JP4009520B2 (ja) * | 2002-11-05 | 2007-11-14 | 日東電工株式会社 | 温度測定用フレキシブル配線回路基板 |
| WO2004051244A1 (de) * | 2002-12-03 | 2004-06-17 | Solectron Gmbh | Verfahren und vorrichtung zur detektion von defekten leiterplattenrohlingen |
| US20050134857A1 (en) * | 2003-12-22 | 2005-06-23 | Chartered Semiconductor Manufacturing Ltd. | Method to monitor silicide formation on product wafers |
-
2005
- 2005-02-25 JP JP2005050808A patent/JP2006234635A/ja active Pending
-
2006
- 2006-02-02 JP JP2007557032A patent/JP2008532009A/ja active Pending
- 2006-02-02 WO PCT/US2006/003608 patent/WO2006093613A1/en not_active Ceased
- 2006-02-02 EP EP06748183A patent/EP1853899A1/en not_active Withdrawn
- 2006-02-02 US US11/814,930 patent/US20080013594A1/en not_active Abandoned
- 2006-02-22 TW TW095105971A patent/TW200641365A/zh unknown
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111640684A (zh) * | 2019-03-01 | 2020-09-08 | 德尔福技术知识产权有限公司 | 用于多点热路径评估的系统和方法 |
| CN111640684B (zh) * | 2019-03-01 | 2024-02-20 | 德尔福技术知识产权有限公司 | 用于多点热路径评估的系统和方法 |
| JP2022013996A (ja) * | 2020-07-06 | 2022-01-19 | 矢崎総業株式会社 | 車両用計器装置 |
| JP7179434B2 (ja) | 2020-07-06 | 2022-11-29 | 矢崎総業株式会社 | 車両用計器装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1853899A1 (en) | 2007-11-14 |
| JP2008532009A (ja) | 2008-08-14 |
| TW200641365A (en) | 2006-12-01 |
| WO2006093613A1 (en) | 2006-09-08 |
| US20080013594A1 (en) | 2008-01-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108562614A (zh) | 一种基于热成像检测的芯片引脚焊接缺陷检测系统及方法 | |
| JP2015132592A (ja) | 回路基板のめくら孔内の欠陥の検査装置、検査システム及びその検査方法 | |
| JP2009069009A (ja) | 微小金属接合部の検査方法 | |
| JP2012063245A (ja) | 検査装置、および、配線回路基板の製造方法 | |
| KR102889710B1 (ko) | 이차전지용 용접 검사장치 및 검사방법 | |
| WO2023234049A1 (ja) | 検査装置及び載置台 | |
| US20020050566A1 (en) | Arrangement and a method for inspection | |
| JP2006234635A (ja) | フレキシブルプリント配線板の接合部の非破壊検査方法 | |
| CN102906563A (zh) | 半导体装置的制造方法 | |
| TW201740121A (zh) | 檢查輔助具、檢查輔助具套組、及基板檢查裝置 | |
| US20100177165A1 (en) | Method of conducting preconditioned reliability test of semiconductor package using convection and 3-d imaging | |
| US7845849B1 (en) | Testing BGA solder joints by localized pulsed-heat thermography | |
| Andersson et al. | Lock-in thermography failure detection on multilayer ceramic capacitors after flex cracking and temperature–humidity–bias stress | |
| TW200409914A (en) | Method and device for the detection of defective printed circuit board blanks | |
| TW202221332A (zh) | 檢查裝置的控制方法及檢查裝置 | |
| JP2007108110A (ja) | 基板の検査方法および基板の検査装置 | |
| JP2004522967A (ja) | プリント配線板の品質検査方法及び装置 | |
| JP2006258721A (ja) | 電子部品のはんだ接合部検査方法 | |
| TW202412132A (zh) | 檢查裝置及檢查方法 | |
| JP2788346B2 (ja) | プリント配線板検査装置 | |
| TWI880548B (zh) | 電子元件檢測裝置及電子元件檢測方法 | |
| TW202206819A (zh) | 載置台及檢查裝置 | |
| JP2705573B2 (ja) | プリント配線板の検査装置 | |
| CN113280923B (zh) | 仿真晶片 | |
| JP2003149173A (ja) | 被検査物の加熱機能を有するx線検査装置 |