JP2009069009A - 微小金属接合部の検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】微小金属同士を接合するための微小金属接合部の検査方法であって、前記微小金属同士の接合部に加熱エネルギーを照射すること、前記加熱エネルギーによる接合部の加熱点から放射される赤外線を受光して前記加熱エネルギーの照射前後における前記加熱点の温度変化量を計測すること、前記加熱点の加熱量と前記温度変化量との関係から前記加熱点の接合面積係数を算出すること、前記算出された接合面積係数を前記と同じ方法で求めた基準モデル品の接合面積係数と比較すること、前記比較によって得た接合面積係数の差の大小によって前記接合部の良否を判定すること、から成る。
【選択図】図1
Description
2 金属
Claims (2)
- 微小金属同士を接合するための微小金属接合部の検査方法であって、
前記微小金属同士の接合部に加熱エネルギーを照射すること、
前記加熱エネルギーによる接合部の加熱点から放射される赤外線を受光して前記加熱エネルギーの照射前後における前記加熱点の温度変化量を計測すること、
前記加熱点の加熱量と前記温度変化量との関係から前記加熱点の接合面積係数を算出すること、
前記算出された接合面積係数を前記と同じ方法で求めた基準モデル品の接合面積係数と比較すること、
前記比較によって得た接合面積係数の差の大小によって前記接合部の良否を判定すること、
から成ることを特徴とする微小金属接合部の検査方法。 - 接合部の検査に際し、前記加熱点における反射率を同時計測し、その値を前記接合面積係数の計算に用いる請求項1に記載の微小金属接合部の検査方法。
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