JP2006216993A - 樹脂封止型半導体装置 - Google Patents
樹脂封止型半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006216993A JP2006216993A JP2006141260A JP2006141260A JP2006216993A JP 2006216993 A JP2006216993 A JP 2006216993A JP 2006141260 A JP2006141260 A JP 2006141260A JP 2006141260 A JP2006141260 A JP 2006141260A JP 2006216993 A JP2006216993 A JP 2006216993A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- die pad
- lead
- sealing
- semiconductor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/13—Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
- H01L2924/1304—Transistor
- H01L2924/1305—Bipolar Junction Transistor [BJT]
Abstract
【解決手段】樹脂封止型半導体装置は、ダイパッド13と、ダイパッド13を支持するための複数の吊りリード14と、信号接続用リード12と、主面上に電極パッドを有し、主面を下方に向けた状態でダイパッド13の下面に支持される半導体チップと、半導体チップの電極パッドと信号接続用リード12のダイパッド側である内方部分の下面とを電気的に接続する接続部材と、信号接続用リード12の外方部分の下面を露出するように、ダイパッド13と半導体チップと信号接続用リード12と接続部材とを封止する封止樹脂とを備え、各吊りリード14は、その一部を封止樹脂から露出させるための曲げ部45を有する。
【選択図】図18
Description
図1は、第1の実施形態に係る樹脂封止型半導体装置の断面図である。ただし、図1においては封止樹脂17を透明体として扱い、各吊りリードの図示は省略している。
次に、第2の実施形態について説明する。本実施形態における樹脂封止型半導体装置は、各実施形態におけるいずれの構造を有していてもよいが、ダイパッドの形状やダイパッドと吊りリードとの接続部の形状のみが異なる。そこで、本実施形態においては、ダイパッドやそれにつながる吊りリードを除く他の部分についての説明は省略する。
図7(a)は本実施形態の第1の具体例に係るダイパッド13の平面図、図7(b)は図7(a)に示すVIIb−VIIb線における断面図である。図7(a),(b)に示すように、本具体例に係るダイパッド13は、ハーフエッチにより厚みが薄く形成されているとともに(本実施形態では、下面側からハーフエッチされている)、半導体チップ15よりも面積が小さい。また、ダイパッド13を支持する吊りリード14の厚みもダイパッド13につながる部分では、ダイパッド13と同じ厚みに形成されている。ただし、ダイパッド13から離れた部位から外方においては、ハーフエッチされていない。
図9(a)は本実施形態の第2の具体例に係るダイパッド13の平面図、図9(b)は図9(a)に示すIXb-IXb 線における断面図である。図9(a),(b)に示すように、本具体例に係るダイパッド13には、中央部に矩形状の開口30aが形成されている。この開口30aは、半導体チップ15の搭載領域の内方に形成されている。また、ダイパッド13はハーフエッチ等により全体が薄く形成されている。
次に、信号接続用リードの構造に関する第3の実施形態の各具体例について説明する。
図11は、第3の実施形態の第1の具体例に係る樹脂封止型半導体装置の断面図である。同図に示すように、信号接続用リード12の内方部分は、下面側からハーフエッチされて外方部分よりも薄くなっており、この内方部分の下面と半導体チップ15との間に金属細線16が設けられている。そして、信号接続用リード12の外方部分の上面、つまり外部電極18の上方には、2つの溝部31が設けられている。さらに、図示しないが、信号接続用リード12の外方部分のうちこの溝部が形成されている部分は下方よりも幅が広くなっている。
図12は、第2の具体例に係る樹脂封止型半導体装置の断面図である。同図に示すように、本具体例では、信号接続用リード12の内方部分に下面側からハーフエッチが施されているとともに、この内方部分がアップセットされ、アップセットされた部分の下面に金属細線16の一端が接続されている。
図13は、第3の具体例に係る樹脂封止型半導体装置の断面図である。同図に示すように、本具体例では、信号接続用リード12にはハーフエッチが施されていないが、信号接続用リード12の内方部分がその外方部分よりもアップセットされている。
図14は、第4の具体例に係る樹脂封止型半導体装置の断面図である。同図に示すように、本具体例では、信号接続用リード12に下面側からハーフエッチが施され、かつ、信号接続用リード12の内方部分は半導体チップ15の下方領域まで延びている。また、半導体チップ15の主面上の電極パッド(図示せず)は、半導体チップの外周付近ではなく、中央部に近い領域に配列されている。そして、半導体チップの電極パッドと信号接続用リード12の内方部分の下面との間に金属細線16が設けられている。
次に、第4の実施形態について説明する。本実施形態では、さらに薄型化を図るためのダイパッド13の構造に関する具体例について説明する。
図15は、第4の実施形態の第1の具体例に係る樹脂封止型半導体装置の断面図である。同図に示すように、ダイパッド13は半導体チップ15の辺部のみに設けられ、しかも半導体チップ15の主面側つまり下面側から半導体チップ15を支持している。そして、信号接続用リード12の内方部分は、下面側からハーフエッチされて外方部分よりも薄くなっており、半導体チップ15の下方領域まで延びている。また、半導体チップ15の主面において中央部に電極パッドが配列されており、この電極パッドと信号接続用リード12の内方部分の下面との間に金属細線16が設けられている。
図16は、第2の具体例に係る樹脂封止型半導体装置の断面図である。同図に示すように、本具体例においても、ダイパッド13は半導体チップ15の辺部のみに設けられ、しかも半導体チップ15の主面側つまり下面側から半導体チップ15を支持している。そして、本具体例では、上記第1の具体例とは異なり、信号接続用リード12の内方部分に下面側からハーフエッチが施されているとともに、この内方部分がアップセットされ、アップセットされた部分の下面に金属細線16の一端が接続されている。
次に、吊りリード14の構造に関する第5の実施形態の樹脂封止型半導体装置について説明する。本実施形態における樹脂封止型半導体装置は、各実施形態におけるいずれの構造を有していてもよいが、吊りリードの形状のみが異なる。そこで、本実施形態においては、吊りリードおよびそれにつながるダイパッドを除く他の部分についての説明は省略する。
次に、第6の実施形態について説明する。本実施形態では、吊りリードを補強用外部端子として用いるための構造について説明する。
本実施形態では、外部電極の封止樹脂からの突出量を調整するための樹脂封止方法について説明する。
なお、金型に真空引き用の穴を設け、封止テープ21を真空引きしながら樹脂封止を行なうことにより、封止テープのシワの発生を抑制し、封止樹脂の裏面の平坦化を図ることもできる。
13 ダイパッド
14 吊りリード
15 半導体チップ
16 金属細線
17 封止樹脂
18 外部電極
21 封止テープ
30 開口
31 溝部
45 曲げ部
46 外枠
49 補強用外部端子
50a 上金型
50b 下金型
52 逃げ部
Claims (3)
- ダイパッドと、
前記ダイパッドを支持するための複数の吊りリードと、
信号接続用リードと、
主面上に電極パッドを有し、主面を下方に向けた状態で前記ダイパッドの下面に支持される半導体チップと、
前記半導体チップの前記電極パッドと前記信号接続用リードのダイパッド側である内方部分の下面とを電気的に接続する接続部材と、
前記信号接続用リードの外方部分の下面を露出するように、前記ダイパッドと前記半導体チップと前記信号接続用リードと前記接続部材とを封止する封止樹脂とを備え、
前記各吊りリードは、その一部を前記封止樹脂から露出させるための曲げ部を有することを特徴とする樹脂封止型半導体装置。 - 請求項1に記載の樹脂封止型半導体装置において、
前記信号接続用リードの前記内方部分が、前記外方部分より上方に位置するようにアップセットされていることを特徴とする樹脂封止型半導体装置。 - 請求項1又は2に記載の樹脂封止型半導体装置において、
前記ダイパッドが、前記信号接続用リードより上方に位置するようにアップセットされていることを特徴とする樹脂封止型半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006141260A JP2006216993A (ja) | 2006-05-22 | 2006-05-22 | 樹脂封止型半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006141260A JP2006216993A (ja) | 2006-05-22 | 2006-05-22 | 樹脂封止型半導体装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003146054A Division JP4066050B2 (ja) | 2003-05-23 | 2003-05-23 | 樹脂封止型半導体装置及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006216993A true JP2006216993A (ja) | 2006-08-17 |
Family
ID=36979880
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006141260A Pending JP2006216993A (ja) | 2006-05-22 | 2006-05-22 | 樹脂封止型半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006216993A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017085049A (ja) * | 2015-10-30 | 2017-05-18 | 新光電気工業株式会社 | 半導体装置及びその製造方法、リードフレーム及びその製造方法 |
US10916490B2 (en) | 2018-02-14 | 2021-02-09 | Fuji Electric Co., Ltd. | Semiconductor device |
-
2006
- 2006-05-22 JP JP2006141260A patent/JP2006216993A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017085049A (ja) * | 2015-10-30 | 2017-05-18 | 新光電気工業株式会社 | 半導体装置及びその製造方法、リードフレーム及びその製造方法 |
US10916490B2 (en) | 2018-02-14 | 2021-02-09 | Fuji Electric Co., Ltd. | Semiconductor device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4388586B2 (ja) | 半導体装置 | |
US7939933B2 (en) | Semiconductor device | |
JP3285815B2 (ja) | リードフレーム,樹脂封止型半導体装置及びその製造方法 | |
JP3062192B1 (ja) | リ―ドフレ―ムとそれを用いた樹脂封止型半導体装置の製造方法 | |
JPH11340409A (ja) | リードフレームおよびその製造方法ならびに樹脂封止型半導体装置およびその製造方法 | |
JPH11307675A (ja) | 樹脂封止型半導体装置及びその製造方法 | |
JP3470111B2 (ja) | 樹脂封止型半導体装置の製造方法 | |
JP2000307045A (ja) | リードフレームおよびそれを用いた樹脂封止型半導体装置の製造方法 | |
JP3458057B2 (ja) | 樹脂封止型半導体装置 | |
JP3445930B2 (ja) | 樹脂封止型半導体装置 | |
JP4066050B2 (ja) | 樹脂封止型半導体装置及びその製造方法 | |
JP2006216993A (ja) | 樹脂封止型半導体装置 | |
JP2001077285A (ja) | リードフレームとそれを用いた樹脂封止型半導体装置の製造方法 | |
JP3007632B1 (ja) | 樹脂封止型半導体装置およびその製造方法 | |
JP2002134654A (ja) | 樹脂封止型半導体装置及びその製造方法 | |
JP4764608B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2001077275A (ja) | リードフレームとそれを用いた樹脂封止型半導体装置の製造方法 | |
JP3795047B2 (ja) | 樹脂封止型半導体装置 | |
JP3915338B2 (ja) | リードフレームとそれを用いた樹脂封止型半導体装置の製造方法 | |
JP2001077271A (ja) | リードフレームとそれを用いた樹脂封止型半導体装置の製造方法 | |
JP2003007953A (ja) | 樹脂封止型半導体装置およびその製造方法 | |
JP2001077273A (ja) | リードフレームとそれを用いた樹脂封止型半導体装置の製造方法 | |
JP2001077272A (ja) | リードフレームとそれを用いた樹脂封止型半導体装置の製造方法 | |
JP2003338601A (ja) | 半導体装置 | |
JP2003249619A (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060522 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090310 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090511 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090602 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091013 |