JP2006215279A - 表示デバイス及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 薄膜トランジスタと、透明電極層と、配線用のアルミニウム合金膜層とを備える表示デバイスにおいて、透明電極層とアルミニウム合金膜層との間に透明金属酸化物層を設けて、電気的に接続されたものとした。また、この透明金属酸化物層は、透明電極層の含有酸素濃度よりも低い含有酸素濃度であり、ITOから構成される場合、その光吸収係数が3×104〜4×104cm−1であるものとした。
【選択図】 なし
Description
Claims (15)
- 薄膜トランジスタと、透明電極層と、配線用のアルミニウム合金膜層とを備える表示デバイスにおいて、
透明電極層とアルミニウム合金膜層との間に透明金属酸化物層を設けて、電気的に接続されたことを特徴とする表示デバイス。 - 前記透明金属酸化物層は、透明電極層の含有酸素濃度よりも低い含有酸素濃度である請求項1に記載の表示デバイス。
- 前記透明金属酸化物層がITO(Indium Tin Oxide)である請求項1または請求項2に記載の表示デバイス。
- 前記透明金属酸化物層の光吸収係数が、3×104〜4×104cm−1である請求項3に記載の表示デバイス。
- 前記透明金属酸化物層は、酸化インジウム又は酸化錫、或いは酸化亜鉛を主成分とする酸化物からなる請求項1または請求項2に記載の表示デバイス。
- 前記アルミニウム合金膜層は、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドを含むアルカリ現像液(濃度2.38%、液温23℃)中での溶解速度が5〜50Å/秒である請求項1〜請求項5いずれかに記載の表示デバイス。
- 前記アルミニウム合金膜層は、透明金属酸化物層との接合界面に、前記アルミニウム合金膜層を構成する合金成分の一部または全部が析出物もしくは濃化層として存在している請求項1〜請求項6いずれかに記載の表示デバイス。
- 前記析出物の大きさ(平均粒径)が0.01μm〜0.2μmである請求項7に記載の表示デバイス。
- 前記アルミニウム合金膜層は、ニッケル、コバルト、鉄のうち少なくとも1種以上の元素を0.5at%〜7at%含有し、残部がアルミニウムからなる請求項1〜請求項8いずれかに記載の表示デバイス。
- 前記アルミニウム合金膜層は、炭素、シリコン、ネオジウム、イットリウムのうち少なくとも1種以上の元素を0.1at%〜6.0at%含有する請求項1〜請求項9いずれかに記載の表示デバイス。
- 前記アルミニウム合金膜層は、その酸化還元電位が−1.2V〜−0.7Vである請求項9に記載の表示デバイス。
- 薄膜トランジスタと、透明電極層と、配線用のアルミニウム合金膜層とを備える表示デバイスの製造方法において、
アルミニウム合金膜層を現像液により配線用のパターニングを行う前に、該アルミニウム合金膜層の表面に透明金属酸化物層を形成することを特徴とする表示デバイスの製造方法。 - 前記透明金属酸化物層、前記アルミニウム合金膜層及び透明電極層の形成は、スパッタリング法による請求項12に記載の表示デバイスの製造方法。
- 前記透明金属酸化物層のスパッタリング法による形成は、透明電極層の形成条件におけるスパッタリング時の酸素ガス導入量割合(O2/O2+Ar)に対し、30〜100%減少させた酸素ガス導入を行うとともに、該透明金属酸化物層の厚みを100Å以上形成するものである請求項13に記載の表示デバイスの製造方法。
- 前記現像液はテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドを含むアルカリ現像液である請求項12〜請求項14いずれかに記載の表示デバイスの製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010135300A (ja) * | 2008-11-10 | 2010-06-17 | Kobe Steel Ltd | 有機elディスプレイ用の反射アノード電極およびその製造方法 |
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2005
- 2005-02-03 JP JP2005028093A patent/JP2006215279A/ja active Pending
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