JP2006210623A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 被照明面を照明する照明光学系において、
   前記被照射面を照明する照明光の主光線の傾きと前記被照射面上における位置とを調節する補正光学系を含み、
   前記補正光学系は、前記被照明面の近傍、前記被照明面と共役な位置、及び／又は、前記被照明面と共役な位置の近傍に設けられた複数の非球面光学素子を有することを特徴とする照明光学系。
2. 前記補正光学系は、
   前記照明光の主光線の傾きを調節する第１の非球面光学素子と、
   前記照明光の前記被照射面上における位置を調節する第２の非球面光学素子とを含むことを特徴とする請求項１記載の照明光学系。
3. 前記非球面光学素子は、前記照明光学系の光軸と共軸ではないことを特徴とする請求項１記載の照明光学系。
4. 前記非球面光学素子は非球面レンズ、非球面ミラー又は自由曲面を含むことを特徴とする請求項１記載の照明光学系。
5. 前記非球面光学素子は交換可能であることを特徴とする請求項１記載の照明光学系。
6. 前記補正光学系は、互いに１００ｍｍ以上離間して配置されている２つの非球面光学素子を有することを特徴とする請求項１記載の照明光学系。
7. 前記被照明面としてのレチクルを照明する請求項１乃至６のうちいずれか一項記載の照明光学系と、
   前記レチクルのパターンを被露光体に投影する投影光学系とを有することを特徴とする露光装置。
8. レチクルを照明する照明光学系と、前記レチクルのパターンを被露光体に投影する投影光学系とを有する露光装置において、
   前記レチクルを照明する照明光の主光線の傾きと前記投影光学系による結像光の主光線の傾きを一致させる補正光学系を含み、
   前記補正光学系は、前記レチクルの近傍、前記レチクルと共役な位置、及び／又は、前記レチクルと共役な位置の近傍に設けられた複数の非球面光学素子を有することを特徴とする露光装置。
9. 前記補正光学系は前記投影光学系内に設けられていることを特徴とする請求項８記載の露光装置。
10. 前記照明光学系の光軸と前記投影光学系の光軸とはずれていることを特徴とする請求項７乃至９のうちいずれか一項に記載の露光装置。
11. 前記投影光学系はカタディオプトリック系であることを特徴とする請求項７乃至９のうちいずれか一項に記載の露光装置。
12. 請求項７乃至９のうちいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記被露光体を露光するステップと、
    前記露光された前記被露光体を現像するステップとを有するデバイス製造方法。