JP2006203742A - 輪郭振動圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 薄板状の水晶板22と、この水晶板22の表面に形成される四角形状の励振電極26a〜26dとを備え、前記励振電極26a〜26dの角部近傍が振動の節部22a〜22dとなって、水晶板22に輪郭モードの主振動を生じさせる水晶振動子21において、前記主振動と共に発生する不要振動の周波数帯を主振動の周波数帯とは離れる方向にずらす凸部(質量付加部)27を前記節部22a〜22dに設けた。
【選択図】 図1
Description
22 水晶板(圧電基板)
22a〜22d 節部
23a〜23d 脚部
24 支持部
25a,25b 電極端子
26a〜26d 励振電極
27 凸部(質量付加部)
37 凹部(質量減少部)
Claims (6)
- 薄板状の圧電基板と、この圧電基板の表面に形成される四角形状の励振電極とを備え、前記励振電極の角部近傍が振動の節部となって、圧電基板に輪郭モードの主振動を生じさせる圧電デバイスにおいて、
前記主振動と共に発生する不要振動の周波数帯を主振動の周波数帯とは離れる方向にずらす質量付加部もしくは質量減少部を前記節部に設けたことを特徴とする輪郭振動圧電デバイス。 - 前記圧電基板には、前記励振電極が複数配設され、各励振電極の節部に前記質量付加部もしくは質量減少部が設けられている請求項1記載の輪郭振動圧電デバイス。
- 前記質量付加部が、前記圧電基板の側面に設けた凸部である請求項1または2記載の輪郭振動圧電デバイス。
- 前記質量減少部が、前記圧電基板の側面に設けた凹部である請求項1または2記載の輪郭振動圧電デバイス。
- 前記凸部または凹部が、半円形状あるいは多角形状に形成される請求項3または4記載の輪郭振動圧電デバイス。
- 前記圧電基板が、ラーメ型の振動モードを備えた請求項1記載の輪郭振動圧電デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005015206A JP4665242B2 (ja) | 2005-01-24 | 2005-01-24 | 輪郭振動圧電デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005015206A JP4665242B2 (ja) | 2005-01-24 | 2005-01-24 | 輪郭振動圧電デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006203742A true JP2006203742A (ja) | 2006-08-03 |
JP4665242B2 JP4665242B2 (ja) | 2011-04-06 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4665242B2 (ja) |
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JP4665242B2 (ja) | 2011-04-06 |
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