JP2006203084A - 液剤注入方法及び液剤注入装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 注入チャンバー2内の液剤容器3に液剤Lを溜め、表面張力により盛り上げて液剤容器3の縁より溢れ出ない状態で突出させ、突出した部分が積層ウエハ11,12の周縁に沿った形状で全周状に連ならなるようにする。注入チャンバー2を真空圧力とし、積層ウエハ11,12の周縁の全周を、突出し全周状に連なる部分の液剤Lに接触させ、周縁開口を塞ぐ。この際、積層ウエハ11,12の外面に沿って液剤Lが広がらないよう堰止め具61,62が外面に密着する。その後、注入チャンバー2内を大気圧にしてウエハ間に液剤を注入する。
【選択図】 図1
Description
一つのウエハの上に多層の回路を集積し、各層を層間配線でつないで一つの素子が形成したものも三次元集積回路であるが、工程の簡略化や歩留まりの向上等のため、複数のウエハを貼り合わせて三次元集積回路を実現する技術が研究されている。例えば特開平11−261001号公報に、この技術が開示されている。
尚、二枚のウエハに限らず、三枚又はそれ以上の枚数のウエハを貼り合わせることもある。以下の説明では、このように重ね合わされた複数のウエハから成るものを、「積層ウエハ」と呼ぶ。
まず、貼り合わせるウエハの対向面にそれぞれ堰(公報では「壁」と呼ばれている。)を形成する。堰は、多数のマイクロバンプが形成された領域(各ウエハのうちデバイスの産出に利用される領域)を取り囲むようにして周状に形成され、一箇所だけ堰が途切れた所を作っておく。そして、二枚のウエハを重ね合わせ、真空チャンバー内に配置する。真空チャンバー内には、接着剤を溜めた容器が設けられており、堰の途切れた所(開口)を接着剤に浸ける。この状態で、真空チャンバー内をベントして大気圧に戻す。これにより、圧力差により接着剤が開口から注入されて堰の内側の空間に満ちる。また、堰の外側の空間にも、毛細管現象により接着剤が注入される。
まず、注入に先立ち予め堰を作っておかなければならない面倒さがある。堰自体は素子の構造に不要なものであり、このようなもののために工程が増えることは、工程の簡略化の要請に反し、生産性の点で問題がある。
また、接着剤が入っていく箇所が堰の開口に限定されている関係で、注入に時間が掛かる。この点でも、生産性を高くできない問題がある。
本願の発明は、かかる課題を解決するためになされたものであり、三次元集積回路の製作の際に行われる接着剤注入のようなウエハ間への液剤注入において、積層ウエハの外面への接着剤の付着が低減され、注入の効率が高く、また完全に注入が行えるようにする技術的意義を有している。
真空チャンバー内に設けられている液剤容器に液剤を溜め、表面張力により液剤を盛り上げて液剤容器の縁より溢れ出ない状態で突出させ、且つその突出した部分が積層ウエハの周縁に沿った形状で全周状に連ならなるようにする液溜めステップと、
真空チャンバー内を所定の真空圧力にした状態で、積層ウエハの周縁の全周を、液剤容器の縁より突出し全周状に連なる部分の液剤に接触させる接触ステップと、
接触ステップの後、真空チャンバー内を大気圧にしてウエハ間に液剤を注入する注入ステップと
を備えているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項2記載の発明は、前記請求項1の構成において、前記接触ステップにおいて積層ウエハの周縁が液剤に接触した際、積層ウエハの外面に沿って液剤が広がらないよう堰止め具を積層ウエハの周縁付近の外面に密着させて堰止めるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項3記載の発明は、前記請求項1又は2の構成において、前記液溜めステップでは、液剤容器は中心軸が垂直になるよう配置され、液剤容器の縁より突出した液剤は水平方向において全周状に連なっており、
前記接触ステップ及び前記注入ステップでは、液剤は積層ウエハの周縁で形成された開口の全周から水平方向に広がってウエハ間に満ちるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項4記載の発明は、重ね合わせた複数のウエハから成る積層ウエハのウエハ間に液剤を注入するウエハ間液剤注入装置であって、
積層ウエハを出し入れすることができ、所定の真空圧力と大気圧とを交互に繰り返すことができる真空チャンバーと、
真空チャンバー内に設けられ、注入する液剤を溜める液剤容器とを備えており、
液剤容器は、表面張力により液剤が盛り上がって縁より突出し、且つ突出し部分が積層ウエハの周縁に沿った形状で全周状に連なるよう液剤を溜めることができるものであり、
さらに、
容器の縁より突出し全周状に連なる液剤に、積層ウエハの周縁の全周が接触するよう積層ウエハを位置させるウエハ配置手段と、
真空チャンバー内が真空圧力の状態でウエハ配置手段が上記位置に積層ウエハを位置させた後、真空チャンバー内を真空圧力から大気圧にする制御部と
が設けられているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項5記載の発明は、前記請求項4の構成において、前記配置手段が積層ウエハの周縁を液剤に接触させた際、液剤が積層ウエハの外面に付着しないようにする付着防止手段が設けられているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項6記載の発明は、前記請求項5の構成において、前記付着防止手段は、前記配置手段が積層ウエハの周縁を液剤に接触させた際、積層ウエハの周縁付近の外面に密着して外面に沿った液剤の広がりを堰止める堰止め具を備えているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項7記載の発明は、前記請求項6の構成において、前記堰止め具は、積層ウエハの外面の周縁に沿って全周状に延びるリング状の部材であって弾性を有する部材であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項8記載の発明は、前記請求項6又は7の構成において、前記付着防止手段が備える堰止め具は、積層ウエハのうちの下側のウエハに密着する下側堰止め具と、上側のウエハに密着する上側堰止め具であり、少なくとも一方の堰止め具を駆動して当該堰止め具を非密着状態から密着状態とする駆動機構が設けられているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項9記載の発明は、前記請求項4乃至8いずれかの構成において、前記液剤容器は、突出した液剤が水平方向において全周状に連なるよう配置されており、
前記ウエハ配置手段は、積層ウエハを水平な姿勢とし、液剤が積層ウエハの周縁で形成された開口の全周から水平方向に広がってウエハ間に満ちるよう積層ウエハを配置するものであるという構成を有する。
また、請求項2又は5記載の発明によれば、上記効果に加え、液剤が積層ウエハの外面に付着するのが防止されるので、付着した液剤を注入後に除去する手間が無く、この点でも生産性が高い。また、液剤の無駄が発生しないので、コストの面でも優れている。
また、請求項3又は9記載の発明によれば、注入の進行具合に重力が影響しないので、この点でより均一な注入を行うことができる。
また、請求項8記載の発明によれば、上記効果に加え、堰止めのための密着状態にするための動きがスムーズにできる。
図1は、第一の実施形態に係るウエハ間液剤注入装置の主要部の正面断面概略図である。図1に示すウエハ間液剤注入装置は、重ね合わせされた二枚のウエハから成る積層ウエハ11,12を出し入れすることができる注入チャンバー2と、注入する液剤Lを溜めた液剤容器3とを備えている。
注入チャンバー2は、排気系21によって排気される気密な真空チャンバーであり、不図示のゲートバルブを通して積層ウエハ11,12が出し入れされるようになっている。排気系21は、ドライポンプ等の真空ポンプを備えており、注入チャンバー2内を数Pa程度の到達圧力まで排気できるようになっている。
注入チャンバー2を大気圧に戻すためのものとして、ベントガス導入系22が設けられている。ベントガスとしては、窒素のような不活性ガスが使用される。
液剤容器3は、液溜め部32の部分において積層ウエハ11,12の周縁に沿ったリング状となっている。ウエハは円形であり、従って、液溜め部32は円管状である。液溜め部32は、図1に示すように、凹状の断面形状となっており、内部に液剤Lを収容して溜めるようになっている。
ウエハ配置手段は、搬入されたウエハ11,12が載せられる受け具と、受け具を昇降させてウエハ11,12を所定の位置に位置させる昇降機構51とから主に構成されている。受け具としては、本実施形態では、複数のリフトピン52が採用されている。図2に示すように、本実施形態ではリフトピン52は3本設けられており、均等間隔(120度間隔)に配置されている。リフトピン52は2本でも良いし、四本又はそれ以上でも良い。
尚、液剤容器3のベース部31には、リフトピン52が挿通されたピン挿通孔が設けられている。ピン挿通孔は、リフトピン52の数だけ設けられており、それぞれにリフトピン52が挿通されている。
付着防止手段としては、重ねられたうちの下側のウエハ(以下、下側ウエハ)11の外面(下面)への液剤Lの付着を防止する手段と、重ねられたうちの上側のウエハ(以下、上側ウエハ)12の外面(上面)への液剤Lの付着を防止する手段とが設けられている。
下側ウエハ11の外面への液剤Lの付着を防止する手段(以下、下側防着手段)は、上記のように突出した液剤Lに下側ウエハ11の周縁の全周が接触した際、液剤Lが下側ウエハ11の外面に回り込んで外面に沿って広がるのを堰き止める下側堰止め具61と、下側堰止め具61を保持した下側ホルダとから主に構成されている。
本実施形態では、下側ホルダは、液剤容器3が兼用されている。液剤容器3のベース部31には、下側堰止め具61を装着するための堰止め具用溝が形成されている。図1に示すように、堰止め具用溝は、液溜め部32のすぐ内側に形成されている。下側堰止め具61は、この堰止め具用溝に嵌め込まれて設けられている。堰止め具用溝は、液溜め部32に沿って円周状に全周に延びており、従って下側堰止め具61は円環状であって、液溜め部32と同軸である。下側堰止め具61の直径は、ウエハ11,12より僅かに小さい。
上側堰止め具62は、ブラケット65と同程度の径の円環状であり、ブラケット65の下端に固定されている。上側堰止め具62には、下側堰止め具61と同様、Oリングが用いられており、下側堰止め具61と同軸である。
制御部は、予め排気系21を動作させ、注入チャンバー2内を数Pa程度の真空圧力に排気しておく。昇降機構51は、リフトピン52を上限位置に位置させており、この位置がスタンバイ位置である。また、液剤供給系4は、所定量の液剤Lを液剤容器3に供給しており、前述したように液溜め部32の縁から液剤Lが突出した状態となっている。
上記説明から解るように、本実施形態のウエハ間液剤注入方法又は装置によれば、注入に先立って積層ウエハ11,12の間に堰を形成しておくことは不要である。従って、工程が簡略化され、生産性が高い。
また、注入口が堰の開口のような特定の一箇所に限定されておらず、積層ウエハ11,12の周縁開口の全周から液剤Lが注入される。このため、注入が完了するまでの時間が短くなり、この点でも生産性は高い。
図4は、付着防止手段を改良した第二の実施形態の主要部を示す正面断面概略図である。
図1に示す実施形態において、下側ウエハ11が下限位置に位置して下側堰止め具61が下側ウエハ11に密着する際、下側堰止め具61の下側ウエハ11への密着よりも先に下側ウエハ11の液剤Lへの接触が生ずると、下側堰止め具61が下側ウエハ11に密着する前に液剤Lが下側ウエハ11の外面上を広がってしまうことがあり得る。この場合、下側堰止め具61の密着によりこの広がりはすぐに遮断されるものの、下側ウエハ11の外面に液剤Lが僅かに付着・残留してしまうことがあり得る。図4に示す実施形態は、この点を改善したものである。
尚、液剤Lが各堰止め具61,62に付着する可能性を考慮すると、各堰止め具61,62についても、液剤Lの濡れ性が低い表面とすることが好ましい。より厳密には、積層ウエハ11,12の対向面に比べて低いということである。このようにすると、液剤Lは、各堰止め具61,62の表面に触れても、そこで撥ねられながら、ウエハ間隙間に次々に進入する。このため、各堰止め具61,62に付着・残留することがなくなる。
図5は、第三の実施形態に係るウエハ間液剤注入装置の平面断面概略図である。第一の実施形態は、一つの注入チャンバー2があってそれに対して積層ウエハ11,12の出し入れを行いながら注入を行う、スタンドアローンタイプの装置であった。この第三の実施形態の装置は、複数の注入チャンバー2を備え、複数の注入チャンバー2において同時進行的に液剤Lの注入を行う装置となっている。
このようにして、各注入チャンバー2で並行して液剤注入を行い、搬送ロボット8が各積層ウエハ11,12の出し入れを適切なタイミングで行う。ロードロックチャンバー800内の未注入用カセット801に当初あったすべての積層ウエハ11,12について注入が完了すると、ロードロックチャンバー800が開けられ、未注入の積層ウエハ11,12が交換して搬入される。
図7に示すように、各液剤容器3、各組のリフトピン52、各下側防着手段は、ターンテーブル92に対して取り付けられており、ターンテーブル92とともに一体に回転するようになっている。また、上側防着手段が、ターンテーブル92とは別に取り付けられており、回転しない。
各液剤容器3は、ターンテーブル92と同軸の円周上に沿って均等間隔で設けられている。各液剤容器3に対する各組のリフトピン52の位置関係、下側防着手段及び上側防着手段の位置関係は、図1に示す実施形態と同様である。
ターンテーブル92は、不図示の回転機構により1ストロークずつ回転する。この際、上記のように液剤容器3が給液位置に位置した際、給液ノズル93から液剤Lが供給される。そして、ターンテーブル92がもう1ストローク回転し、給液された液剤容器3がセット位置に位置すると、搬送ロボット8は、セット位置に位置した組のリフトピン52上に積層ウエハ11,12を載置する。即ち、各上側防着手段の止め具駆動機構64を動作させ、各上側堰止め具62を下降させて上側ウエハ12に密着させる。次に、上側堰止め具62とリフトピン52とを同期して下降させて所定位置で停止させ、積層ウエハ11,12の周縁の全周を液剤Lに接触させる。これにより、周縁の開口が液剤Lで封鎖される。また、これにより、下側堰止め具61が下側ウエハ11に密着する。尚、この積層ウエハ11,12の載置及び下降に並行して、給液位置に位置した次の液剤容器3に対し、給液ノズル93から給液が行われる。
所定時間経過して注入が完了すると、不図示のゲートバルブが開けられ、積層ウエハ11,12が一組ずつ取り出される。即ち、ターンテーブル92が1ストロークずつ回転し、搬送ロボット8が、セット位置に位置した組のリフトピン52から一組ずつ積層ウエハ11,12を取り去り、搬出する。全ての積層ウエハ11,12の搬出が終了すると、未注入の積層ウエハ11,12を再び注入チャンバー2に搬入し、同様の動作を繰り返す。
尚、各昇降機構51は同時に動作するので、一つの機構で兼用し、各組のリフトピン52が一体に昇降するようにしても良い。この点は、各上側防着手段の止め具駆動機構64も同様であり、各上側堰止め具62が一体に昇降する機構であっても良い。
図8に示す第五の実施形態の装置の動作について説明する。各液剤容器3に液剤Lが供給された後、搬送ロボット8により積層ウエハ11,12が順次搬入される。積層ウエハ11,12は、各組のリフトピン上にそれぞれ載置される。
また、本願発明において注入される液剤Lは、上述した接着剤以外の場合もあり得る。例えば、ウエハ同士の固定が他の方法で行われ、ウエハ間に充填されて機械的強度を確保するために熱硬化性樹脂が注入される場合もあり得る。本願発明は、このような場合も含め、ウエハ間隙間に均一性良く高速で液剤Lを注入するのに好適に用いることができる。
12 上側ウエハ
2 注入チャンバー
21 排気系
22 ベントガス導入系
3 液剤容器
31 ベース部
32 液溜め部
4 液剤供給系
51 昇降機構
52 リフトピン
61 下側堰止め具
62 上側堰止め具
8 搬送ロボット
81 搬送チャンバー
L 液剤
Claims (9)
- 重ね合わせた複数のウエハから成る積層ウエハのウエハ間に液剤を注入するウエハ間液剤注入方法であって、
真空チャンバー内に設けられている液剤容器に液剤を溜め、表面張力により液剤を盛り上げて液剤容器の縁より溢れ出ない状態で突出させ、且つその突出した部分が積層ウエハの周縁に沿って全周状に連ならなるようにする液溜めステップと、
真空チャンバー内を所定の真空圧力にした状態で、積層ウエハの周縁の全周を、液剤容器の縁より突出し全周状に連なる部分の液剤に接触させる接触ステップと、
接触ステップの後、真空チャンバー内を大気圧にしてウエハ間に液剤を注入する注入ステップと
を備えていることを特徴とするウエハ間液剤注入方法。 - 前記接触ステップにおいて積層ウエハの周縁が液剤に接触した際、積層ウエハの外面に沿って液剤が広がらないよう堰止め具を積層ウエハの周縁付近の外面に密着させて堰止めることを特徴とする請求項1記載のウエハ間液剤注入方法。
- 前記液溜めステップでは、液剤容器の縁より突出した液剤は水平方向において全周状に連なっており、
前記接触ステップ及び前記注入ステップでは、積層ウエハは水平な姿勢とされ、液剤は積層ウエハの周縁で形成された開口の全周から水平方向に広がってウエハ間に満ちることを特徴とする請求項1又は2記載のウエハ間液剤注入方法。 - 重ね合わせた複数のウエハから成る積層ウエハのウエハ間に液剤を注入するウエハ間液剤注入装置であって、
積層ウエハを出し入れすることができ、所定の真空圧力と大気圧とを交互に繰り返すことができる真空チャンバーと、
真空チャンバー内に設けられ、注入する液剤を溜める液剤容器とを備えており、
液剤容器は、表面張力により液剤が盛り上がって縁より突出し、且つ突出し部分が積層ウエハの周縁に沿った形状で全周状に連なるよう液剤を溜めることができるものであり、
さらに、
容器の縁より突出し全周状に連なる液剤に、積層ウエハの周縁の全周が接触するよう積層ウエハを位置させるウエハ配置手段と、
真空チャンバー内が真空圧力の状態でウエハ配置手段が上記位置に積層ウエハを位置させた後、真空チャンバー内を真空圧力から大気圧にする制御部と
が設けられていることを特徴とするウエハ間液剤注入装置。 - 前記配置手段が積層ウエハの周縁を液剤に接触させた際、液剤が積層ウエハの外面に付着しないようにする付着防止手段が設けられていることを特徴とする請求項4記載のウエハ間液剤注入装置。
- 前記付着防止手段は、前記配置手段が積層ウエハの周縁を液剤に接触させた際、積層ウエハの周縁付近の外面に密着して外面に沿った液剤の広がりを堰止める堰止め具を備えていることを特徴とする請求項5記載のウエハ間液剤注入装置。
- 前記堰止め具は、積層ウエハの外面の周縁に沿って全周状に延びるリング状の部材であって弾性を有する部材であることを特徴とする請求項6記載のウエハ間液剤注入装置。
- 前記付着防止手段が備える堰止め具は、積層ウエハのうちの下側のウエハに密着する下側堰止め具と、上側のウエハに密着する上側堰止め具であり、少なくとも一方の堰止め具を駆動して当該堰止め具を非密着状態から密着状態とする駆動機構が設けられていることを特徴とする請求項6又は7記載のウエハ間液剤注入装置。
- 前記液剤容器は、突出した液剤が水平方向において全周状に連なるよう配置されており、
前記ウエハ配置手段は、積層ウエハを水平な姿勢とし、液剤が積層ウエハの周縁で形成された開口の全周から水平方向に広がってウエハ間に満ちるよう積層ウエハを配置するものであることを特徴とする請求項4乃至8いずれかに記載のウエハ間液剤注入装置。
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