JP2006189399A - 接触式測定機 - Google Patents
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Abstract
【課題】高精度測定を実現できる接触式測定機を提供すること。
【解決手段】ベース4に立設された支柱5に沿って昇降するスライダ6と、モータ73の回転によってスライダ6を昇降させる駆動手段7と、スライダ6に接触検知手段8を介して設けられた測定子9と、測定子9の変位を検出する変位検出手段10とを備えた接触式測定機において、変位検出手段10は、測定子9に設けられたスケール101と、ベース4に設けられた検出器102と、この検出器102の信号を増幅するLHS用アンプ103とを含んで構成され、モータ73およびLHS用アンプ103は、スケール101および検出器102から隔離された熱源隔離ケース151に収納されている。
【選択図】 図2
Description
本発明は、測定子をワークに接触させ、ワークの厚み寸法などを測定する接触式測定機に関する。
従来、測定子とワークとを一定の測定力を持って接触させ、この接触によって生じる測定子の変位から、ワークの外形を測定する接触式測定機が知られている。接触式測定機は、測定子およびワークの少なくとも一方を駆動させることで、測定子とワークとを接触させる。
特許文献1に記載の接触式測定機は、ワークを載置するテーブルと、テーブルの上方に配置された測定子と、この測定子を昇降させる駆動手段と、測定子の変位を検出する変位検出手段と、駆動手段を制御し、かつ、測定値を表示する制御手段とを含み構成されている。さらに、異物の混入や衝撃による故障を防止するために、変位検出手段および駆動手段は、内部装置として装置筐体に収納されている。
駆動手段には、回転によって測定子を昇降させるモータが利用されており、モータは、制御手段からの制御信号によって作動される。このため、モータには、この制御信号を増幅する信号増幅器が接続されている。
変位検出手段には、スケール、および、これに対応する検出器が利用されており、検出器によって検出された測定値は、電気信号として表示手段に出力され、表示される。このため、検出器には、この電気信号を増幅する信号増幅器が接続されている。
このような、モータによる測定子の昇降や、測定値のデジタル処理は、接触式測定機の測定精度、操作性および読取性の向上のために、近年よく採用されている。
駆動手段には、回転によって測定子を昇降させるモータが利用されており、モータは、制御手段からの制御信号によって作動される。このため、モータには、この制御信号を増幅する信号増幅器が接続されている。
変位検出手段には、スケール、および、これに対応する検出器が利用されており、検出器によって検出された測定値は、電気信号として表示手段に出力され、表示される。このため、検出器には、この電気信号を増幅する信号増幅器が接続されている。
このような、モータによる測定子の昇降や、測定値のデジタル処理は、接触式測定機の測定精度、操作性および読取性の向上のために、近年よく採用されている。
しかし、ワークが、マスタなど超高精度部品である場合、接触式測定機には、高精度かつ低測定力を実現できる測定能力が求められる。このため、例えば、接触式測定機を構成する測定子、駆動手段、変位検出手段、および、これらを支持する部材に、低熱膨張性の素材を用いるなどの工夫が行われている。
特許文献1の接触式測定機において、作動中のモータおよび各信号増幅器では、内部の抵抗によって熱が生じる。このため、測定を行うにつれて、装置筐体の内部温度が上昇する。
装置筐体内の温度が上昇すると、装置筐体に収納された駆動手段、変位検出手段、および、これらを支持する部材などに熱膨張が生じる恐れがある。特に、変位検出手段のスケールおよび検出器や、これらを支持する部材が膨張すると、目盛間隔が変形するなどして、測定精度の悪化や測定値のドリフトに繋がる。
低熱膨張性素材を用いている場合、各構成の膨張量が小さくなるので測定精度の悪化はある程度抑えられる。しかし、前述のように、接触式測定機に、高精度測定を実現できる測定能力が求められる場合では、熱膨張が僅かだとしても、この熱膨張による測定値の誤差は、無視できないほど大きいものとなる。
装置筐体内の温度が上昇すると、装置筐体に収納された駆動手段、変位検出手段、および、これらを支持する部材などに熱膨張が生じる恐れがある。特に、変位検出手段のスケールおよび検出器や、これらを支持する部材が膨張すると、目盛間隔が変形するなどして、測定精度の悪化や測定値のドリフトに繋がる。
低熱膨張性素材を用いている場合、各構成の膨張量が小さくなるので測定精度の悪化はある程度抑えられる。しかし、前述のように、接触式測定機に、高精度測定を実現できる測定能力が求められる場合では、熱膨張が僅かだとしても、この熱膨張による測定値の誤差は、無視できないほど大きいものとなる。
本発明の目的は、高精度測定を実現できる接触式測定機を提供することである。
本発明の接触式測定機は、ベースと、このベースに立設された支柱と、この支柱に沿って昇降自在に設けられたスライダと、モータを含み、このモータの回転によってスライダを昇降させる駆動手段と、スライダに接触検知手段を介して設けられた測定子と、この測定子の変位を検出する変位検出手段とを備えた接触式測定機において、変位検出手段は、ベースおよび測定子のいずれか一方に設けられたスケールと、ベースおよび測定子のいずれか他方に設けられた検出器と、この検出器の信号を増幅する信号増幅手段とを含んで構成され、モータおよび信号増幅手段は、スケールおよび検出器から隔離された熱源隔離ケースに収納されていることを特徴とする。
作動中のモータおよび信号増幅手段は、内部抵抗によって熱を発生し、周囲の温度を上昇させる。しかし、このような構成によれば、モータおよび信号増幅手段は、スケールおよび検出器から隔離された熱源隔離ケースに収納されているので、スケールおよび検出器と、モータおよび信号増幅手段との間には、ある程度の距離、および、ケース壁が存在する。従って、スケールおよび検出器は、発生する熱の影響を受けにくくなる。これより、スケールおよび検出器の熱膨張は最小限に抑えられるので、接触式測定機の測定精度を向上させることができる。
また、モータから発生する熱量は、モータの回転量に応じて変動し、この熱量の変動による影響が測定値のドリフトとなって表れる場合がある。しかし、前述のように、スケールおよび検出器は、発生する熱の影響を受けにくいので、この熱量の変動による測定精度の変動を抑えることができる。
本発明の接触式測定機において、熱源隔離ケースは、連通窓によって支柱側と連通され、駆動手段は、スライダを支持するとともに回転によってスライダを昇降させる昇降機構と、連通窓に挿通された状態でモータおよび昇降機構を連結し、モータの回転を昇降機構に伝える回転伝達部材とを含み構成されていることが好ましい。
このような構成によれば、駆動手段は、スライダを支持するとともに回転によってスライダを昇降させる昇降機構と、連通窓に挿通された状態でモータおよび昇降機構を連結し、モータの回転を昇降機構に伝える回転伝達部材とを含み構成されているので、モータが他の駆動手段から隔離されている状態でも、比較的簡単な構成によって、モータの駆動力を、測定子の昇降に支障なく活用することができる。
特に、昇降機構が自身の回転によってスライダを昇降させることから、回転伝達部材は、モータの駆動力を回転という形のまま昇降機構に伝えればよいので、例えば、ベルト等の簡単な部材でよく、連通窓に挿通させやすい。このため、連通窓を小さく形成できるので、熱源隔離ケース内で発生する熱を支柱側へ伝わりにくくすることができる。
特に、昇降機構が自身の回転によってスライダを昇降させることから、回転伝達部材は、モータの駆動力を回転という形のまま昇降機構に伝えればよいので、例えば、ベルト等の簡単な部材でよく、連通窓に挿通させやすい。このため、連通窓を小さく形成できるので、熱源隔離ケース内で発生する熱を支柱側へ伝わりにくくすることができる。
本発明の接触式測定機において、熱源隔離ケースには、弾性接着剤を介して、内部の空気を排気するファンが取付けられていることが好ましい。
このような構成によれば、モータおよび信号増幅手段から発生される熱によって暖められた熱源隔離ケース内の空気が、ファンによって外部へ排気されるので、熱源隔離ケース内の温度上昇を小さくすることができる。従って、周囲の空気の温度上昇が信号増幅手段の作動に与える影響を小さくすることができる。
モータおよび信号増幅手段が1つの室内に配置されていることから、ファンによる排気を効率的に行うことができる。
熱源隔離ケースの表面温度の上昇も抑えることができるため、熱源隔離ケース表面から、スケールおよび検出器側の空気へ与える熱量も小さくすることができる。これらにより、接触式測定機の測定精度を向上させることができる。
また、ファンは、弾性接着剤を介して取付けられていることから、ファンの振動を熱源隔離ケース、つまり、接触式測定機へ伝わりにくくすることができる。
モータおよび信号増幅手段が1つの室内に配置されていることから、ファンによる排気を効率的に行うことができる。
熱源隔離ケースの表面温度の上昇も抑えることができるため、熱源隔離ケース表面から、スケールおよび検出器側の空気へ与える熱量も小さくすることができる。これらにより、接触式測定機の測定精度を向上させることができる。
また、ファンは、弾性接着剤を介して取付けられていることから、ファンの振動を熱源隔離ケース、つまり、接触式測定機へ伝わりにくくすることができる。
本実施形態の接触式測定機において、接触検知手段は、スライダと、このスライダの昇降方向に所定間隔を置いて互いに平行に配置されるとともに、中間部がスライダにそれぞれ回動自在に連結される第1、第2リンク部材と、これら第1、第2リンク部材の一端部にそれぞれ回動自在に連結され、測定子を有するホルダとを含んで構成される平行四辺形リンク機構と、この平行四辺形リンク機構の第1、第2リンク部材のいずれかの回動を検知し、接触検知信号を出力する回動検知手段とから構成されていることが好ましい。
このような構成によれば、平行四辺形リンク機構は、測定子を有するホルダとを含んで構成されているので、測定子がワークに当接すると、測定子がワークから受けた反力によって、平行四辺形リンク機構が反力と同じ方向へ回動する。これより、測定子は、ワークに当接している間において、一定の測定力を保つことができる。
また、回動検知手段によって、平行四辺形リンク機構の第1、第2リンク部材のいずれかの回動が検知され、測定子とワークの接触を伝える接触検知信号が出力されるので、測定子に接触検知信号を出力する回路等を付加する必要はなく、測定子の構成の簡素化、および、軽量化を図ることができる。つまり、測定子の精密性を向上させることができる。
平行四辺形リンク機構がどのように昇降および回動されても、ホルダは常にスライダと平行であるため、ホルダに設けられた測定子の姿勢も変わることはない。これより、測定子の変位方向は一定であるので、接触式測定機の測定精度が向上する。
また、回動検知手段によって、平行四辺形リンク機構の第1、第2リンク部材のいずれかの回動が検知され、測定子とワークの接触を伝える接触検知信号が出力されるので、測定子に接触検知信号を出力する回路等を付加する必要はなく、測定子の構成の簡素化、および、軽量化を図ることができる。つまり、測定子の精密性を向上させることができる。
平行四辺形リンク機構がどのように昇降および回動されても、ホルダは常にスライダと平行であるため、ホルダに設けられた測定子の姿勢も変わることはない。これより、測定子の変位方向は一定であるので、接触式測定機の測定精度が向上する。
本発明の接触式測定機において、平行四辺形リンク機構の他端側には、第1、第2リンク部材がほぼ水平姿勢を保つように設定された重錘が設けられていることが好ましい。
このような構成によれば、重錘によって、第1、第2リンク部材がほぼ水平姿勢を保つように設定されているので、測定子に働く付勢力を、零もしくは極めて小さいものにすることができる。これより、測定子の測定力も極めて小さくなるので、仮に、ワークが変形しやすい材質であっても、ワークを損傷させることなく正確に測定することができる。
このような構成によれば、重錘によって、第1、第2リンク部材がほぼ水平姿勢を保つように設定されているので、測定子に働く付勢力を、零もしくは極めて小さいものにすることができる。これより、測定子の測定力も極めて小さくなるので、仮に、ワークが変形しやすい材質であっても、ワークを損傷させることなく正確に測定することができる。
本発明の接触式測定機において、回動検知手段は、第1、第2リンク部材のいずれか一方の端部に取付けられた遮光部材と、スライダに設けられ、遮光部材の回動行路を挟んで対向配置された発光部および受光部と、この受光部が受光した光量を検知し、この光量が所定量範囲外であるときに接触検知信号を出力する光量検知部とを含み構成されていることが好ましい。
このような構成によれば、遮光部材が、第1、第2リンク部材のいずれか一方の端部に取付けられていることから、平行四辺形リンク機構が回動すると、これに伴い遮光部材が回動する。この回動によって、遮光部材と発光部および受光部の位置関係が変化する。例えば、回動によって、遮光部材が、発光部および受光部の間に侵入した場合、発光部と受光部との間で照射されていた光が遮光部材によって遮られる。そのため、受光部が受光する光量は、所定量範囲より少なくなる。また、回動によって、遮光部材が、発光部および受光部の間から進出した場合、受光部が受光する光量は、所定量範囲より多くなる。このように、受光部が受光する光量が所定量範囲外となると、光量検知部は、接触検知信号を出力する。
上のような回動検知手段の作用によって、第1、第2リンク部材のいずれか一方の回動を検知、つまり、測定子とワークとの接触が検知されるので、平行四辺形リンク機構は、回動検知手段から摩擦などの何らかの力を受けることはない。つまり、平行四辺形リンク機構の回動は滑らかに行われる。これより、測定子の変位は、ワークから与えられる反力を正確に反映させることができる。
本発明の接触式測定機において、熱源隔離ケースと、連通窓によって熱源隔離ケースと連通された本体収納室とを備え、本体収納室には、支柱と、スライダと、モータを除いた駆動手段と、接触検知手段と、信号増幅手段を除いた変位検出手段とが収納されるとともに、検出器近傍に、弾性接着剤を介して、内部の空気を排気するファンが取付けられていることが好ましい。
このような構成によれば、接触式測定機を構成する部品のうち、モータおよび信号増幅手段を除いた他の部品は本体収納室へ、熱を発生するモータおよび信号増幅手段は熱源隔離ケースへそれぞれ収納される。これより、熱源隔離ケース内で発生する熱を、本体収納室内へ伝わりにくくすることができる。
本体収納室の検出器近傍には、ファンが取付けられることから、検出器から発生される熱によって暖められた空気を、外部へ排気させることができる。従って、本体収納室内の温度上昇を小さくすることができる。これより、接触式測定機の測定精度を向上させることができる。
ファンは、弾性接着剤を介して取付けられていることから、ファンの振動を本体収納室、つまり、接触式測定機へ伝わりにくくすることができる。
本体収納室の検出器近傍には、ファンが取付けられることから、検出器から発生される熱によって暖められた空気を、外部へ排気させることができる。従って、本体収納室内の温度上昇を小さくすることができる。これより、接触式測定機の測定精度を向上させることができる。
ファンは、弾性接着剤を介して取付けられていることから、ファンの振動を本体収納室、つまり、接触式測定機へ伝わりにくくすることができる。
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図1〜図5は、本実施形態を説明するための図である。図1は、接触式測定機の全体斜視図、図2は、接触式測定機の装置本体を右側からみた断面図、図3は、装置本体の内部装置を上側から見た断面図、図4は、内部装置の一部を斜め前方から見た斜視図、図5は、内部装置の作用を説明するための模式図である。ここで、図1〜図5における右側、上側、前方とは、図1の接触式測定機を正面側から見た場合において定められる、左右方向、前後方向、上下方向によるものである。
図1〜図5は、本実施形態を説明するための図である。図1は、接触式測定機の全体斜視図、図2は、接触式測定機の装置本体を右側からみた断面図、図3は、装置本体の内部装置を上側から見た断面図、図4は、内部装置の一部を斜め前方から見た斜視図、図5は、内部装置の作用を説明するための模式図である。ここで、図1〜図5における右側、上側、前方とは、図1の接触式測定機を正面側から見た場合において定められる、左右方向、前後方向、上下方向によるものである。
本実施形態の接触式測定機は、図1に示すように、装置本体1と、装置本体1の駆動、および、装置本体1が検出した測定値の表示を行うカウンタ2とから構成される。
装置本体1は、低熱膨張鋳物から成型され、支持台11と、支持台11の上面中央に設置されたテーブル12と、支持台11の後方側に立設されたコラム部13と、底面が開口した箱形状であり、コラム部13の上面を覆って取付けられたヘッドカバー14と、コラム部13およびヘッドカバー14の背面を覆って取付けられた後部カバー15とから構成される。
テーブル12には、ワークが載置される。ヘッドカバー14には、上面に通気口が形成されている。
装置本体1は、低熱膨張鋳物から成型され、支持台11と、支持台11の上面中央に設置されたテーブル12と、支持台11の後方側に立設されたコラム部13と、底面が開口した箱形状であり、コラム部13の上面を覆って取付けられたヘッドカバー14と、コラム部13およびヘッドカバー14の背面を覆って取付けられた後部カバー15とから構成される。
テーブル12には、ワークが載置される。ヘッドカバー14には、上面に通気口が形成されている。
図2に示すように、コラム部13の上面とヘッドケース14によって本体収納室141が形成されている。また、コラム部13およびヘッドケース14の背面と、後部カバー15によって熱源隔離ケース151が形成されている。本体収納室141および熱源隔離ケース151は、コラム部13の背面上端に形成された連通窓142によって連通され、共に、内部装置3を収納する。
内部装置3は、ベース4と、このベース4に立設された支柱5と、この支柱5に沿って昇降自在に設けられたスライダ6と、後述のモータを含み、このモータの回転によってスライダ6を昇降させる駆動手段7と、スライダ6に接触検知手段8を介して設けられた測定子9と、この測定子9の変位を検出する変位検出手段10とを含み構成されている。
ベース4は、本体収納室141の底面に設置されており、前端には前側板41が立設されている。前側板41は、低熱膨張率素材のインバー材から成型され、さらに、断熱材層(図示省略)を含んでいる。支柱5には、上端に固定された天板51と、背面に長手方向に沿って取付けられたレール部材52とが設けられている。
スライダ6は、レール部材52に沿って摺動しながら、支柱5と平行に昇降する。
ベース4は、本体収納室141の底面に設置されており、前端には前側板41が立設されている。前側板41は、低熱膨張率素材のインバー材から成型され、さらに、断熱材層(図示省略)を含んでいる。支柱5には、上端に固定された天板51と、背面に長手方向に沿って取付けられたレール部材52とが設けられている。
スライダ6は、レール部材52に沿って摺動しながら、支柱5と平行に昇降する。
駆動手段7は、スライダ6の昇降方向と平行に設けられた送りねじ軸71、および、この送りねじ軸71に螺合され、スライダ6に取付けられたナット部材72を有する昇降機構と、モータ73と、連通窓142に挿通された状態で、モータ73の出力軸731および送りねじ軸71とを連結し、モータ73の回転を送りねじ軸71に伝える回転伝達部材としてのタイミングベルト74とを含み構成されている。
送りねじ軸71は、ベース4に下端を固定して支柱5と平行に立設し、上端を天板51の上部へ突出させている。ナット部材72は、前面にスライダ6を接合しており、スライダ6と一体的に昇降する。
送りねじ軸71は、ベース4に下端を固定して支柱5と平行に立設し、上端を天板51の上部へ突出させている。ナット部材72は、前面にスライダ6を接合しており、スライダ6と一体的に昇降する。
モータ73は、図2に示すように、天板51の上面から連通窓142を挿通して、後方へ延設されたモータ支持板732に釣り下げられており、モータ支持板732を貫通して上端が突出した出力軸731と、電気的に接続され、カウンタ2からの制御信号を増幅するVL変換アンプ733とが設けられている。VL変換アンプ733は、ヘッドケース14の背面に取付具734を介して取付けられている。モータ支持板732および取付具734は、低熱膨張率素材から成り、さらに、断熱材層(図示省略)を含んでいる。
タイミングベルト74は、ゴム製であり、送りねじ軸71の上端、および、モータ73の出力軸731にそれぞれタイミングギア75を介して接続されている。
モータ73およびVL変換アンプ733は、熱源隔離ケース151に収納されている。
タイミングベルト74は、ゴム製であり、送りねじ軸71の上端、および、モータ73の出力軸731にそれぞれタイミングギア75を介して接続されている。
モータ73およびVL変換アンプ733は、熱源隔離ケース151に収納されている。
接触検知手段8は、図3および図4に示すように、スライダ6と一体的に昇降し、かつ、スライダ6を支点に前後端が、スライダ6の昇降方向へ回動する平行四辺形リンク機構81と、平行四辺形リンク機構81に取付けられた重錘82(図2参照)と、平行四辺形リンク機構81のリンク部材の回動を検知し、接触検知信号を出力する回動検知手段83とから構成されている。
平行四辺形リンク機構81は、スライダ6と、このスライダ6の昇降方向に所定間隔を置いて互いに平行に配置されるとともに、中間部がスライダ6にそれぞれ回動自在に連結される第1、第2リンク部材84,85と、これら第1、第2リンク部材84,85の前端部にそれぞれ回動自在に連結されたホルダ86とによって、平行四辺形状に構成されている。
平行四辺形リンク機構81は、スライダ6と、このスライダ6の昇降方向に所定間隔を置いて互いに平行に配置されるとともに、中間部がスライダ6にそれぞれ回動自在に連結される第1、第2リンク部材84,85と、これら第1、第2リンク部材84,85の前端部にそれぞれ回動自在に連結されたホルダ86とによって、平行四辺形状に構成されている。
2本の第1リンク部材84は、支柱5を左右方向に挟んで並列しており、支柱5の前後において、連結軸811によって互いに平行に連結されている。各第1リンク部材84は、スライダ6に対し、ピボット812を介して回動自在に連結されている。
ピボット812は、スライダ6の左右側面において、昇降方向に所定間隔を置いて貫通された尖軸813の先端と、各第1リンク部材84の中間部内側面に凹設された軸受814とが係合することで構成されている。
2本の第2リンク部材85も、前述の第1リンク部材84と同様に、互いに連結され、それぞれスライダ6に回動自在に取付けられている。
ピボット812は、スライダ6の左右側面において、昇降方向に所定間隔を置いて貫通された尖軸813の先端と、各第1リンク部材84の中間部内側面に凹設された軸受814とが係合することで構成されている。
2本の第2リンク部材85も、前述の第1リンク部材84と同様に、互いに連結され、それぞれスライダ6に回動自在に取付けられている。
ホルダ86には、右側面に取付けられ前方に開閉する挟持片861と、下端に形成された測定子保持片(図示省略)とが設けられている。ホルダ86は、第1、第2リンク部材84,85に対し、ピボット815を介して回動自在に連結されている。
ピボット812は、昇降方向に所定間隔を置いて、ホルダ86を左右方向に貫通した尖軸813の先端と、第1、第2リンク部材84,85の前端部内側面に凹設された軸受814とが係合することで構成されている。
ホルダ86は、第1、第2リンク部材84,85の回動によって、支柱5と平行に昇降される。
ピボット812は、昇降方向に所定間隔を置いて、ホルダ86を左右方向に貫通した尖軸813の先端と、第1、第2リンク部材84,85の前端部内側面に凹設された軸受814とが係合することで構成されている。
ホルダ86は、第1、第2リンク部材84,85の回動によって、支柱5と平行に昇降される。
重錘82は、図2に示すように、第2リンク部材85の後方側の連結軸811に、ねじ軸816を介して回動可能に螺合されている。重錘82のねじ軸816に対する位置は、ロックナット817によって固定されている。重錘82の重量、および、ねじ軸816に対する螺合位置は、第1、第2リンク部材84,85が、次のような姿勢を保つように設定される。
つまり、第1、第2リンク部材84,85は、ピボット812を支点として、前端側に働く重力による反時計方向モーメントと、後端側に働く重力による時計方向のモーメントの差が微小であることから、反時計方向のモーメントが僅かに大きい状態で静止する姿勢を保っている。
すなわち、重錘82は、ホルダ86が僅かな付勢力で下方に付勢されるように、重量および螺合位置が設定されている。本実施形態では、この付勢力は1gfに調整されている。
つまり、第1、第2リンク部材84,85は、ピボット812を支点として、前端側に働く重力による反時計方向モーメントと、後端側に働く重力による時計方向のモーメントの差が微小であることから、反時計方向のモーメントが僅かに大きい状態で静止する姿勢を保っている。
すなわち、重錘82は、ホルダ86が僅かな付勢力で下方に付勢されるように、重量および螺合位置が設定されている。本実施形態では、この付勢力は1gfに調整されている。
回動検知手段83には、第1リンク部材84の後端部に取付けられた遮光部材としての遮光板831と、スライダ6に設けられ、遮光板831の回動行路を挟んで対向配置された発光部832および受光部833と、この受光部833が受光した光量を検知し、この光量が所定量範囲外であるときに接触検知信号を出力する光量検知部834とが設けられている。
遮光板831は、右方の第1リンク部材84の外側面から直交する姿勢で取付けられており、第1リンク部材84とともに一体的に昇降および回動する。
遮光板831は、右方の第1リンク部材84の外側面から直交する姿勢で取付けられており、第1リンク部材84とともに一体的に昇降および回動する。
発光部832、受光部833、および、光量検知部834は、スライダ6の右側面から後方へ向かって階段状に延設された支持片835の後端部内側面に設置されている。つまり、発光部832、受光部833、および、光量検知部834は、スライダ6とともに一体的に昇降する。支持片835は、スライダ6の右側面において、昇降方向に所定間隔を置いて貫通された2本の尖軸813の間に接合されている。
発光部832および受光部833は、遮光板831の回動行路を挟んで内側へ開口するコ字状のフォトインタラプタ836を形成している。フォトインタラプタ836では、発光部832から受光部833へ光が照射されている。
なお、スライダ6の左側面には、後方へ向かってL字状に延設された回動規制片837が接合されている。回動規制片837は、第1リンク部材84の後端部の回動行路上に延設されることで、第1リンク部材84の回動、つまり、平行四辺形リンク機構81の回動を所定範囲で規制する。
発光部832および受光部833は、遮光板831の回動行路を挟んで内側へ開口するコ字状のフォトインタラプタ836を形成している。フォトインタラプタ836では、発光部832から受光部833へ光が照射されている。
なお、スライダ6の左側面には、後方へ向かってL字状に延設された回動規制片837が接合されている。回動規制片837は、第1リンク部材84の後端部の回動行路上に延設されることで、第1リンク部材84の回動、つまり、平行四辺形リンク機構81の回動を所定範囲で規制する。
測定子9は、図4に示すように、ホルダ86の測定子保持片から、支柱5と平行に下方に向かって保持されており、ホルダ86とともに一体的に昇降する。測定子9は、ベース4に貫通された貫孔91に挿通されており、下端部は外部へ突出しテーブル12に対向している。
変位検出手段10は、図4に示すように、ホルダ86に保持されたスケール101と、スケール101に対向するように前側板41に固定された検出器102と、検出器102に電気的に接続され、検出器102が出力した電気信号を増幅する信号増幅手段としてのLHS用アンプ103(図2参照)とから構成される。
スケール101は、低熱膨張率素材のガラスから成型され、ホルダ86の挟持片861に支柱5と平行に挟持されており、ホルダ86および測定子9とともに一体的に昇降する。スケール101のスケール面と、測定子9の軸線とは、ホルダ86の昇降方向に沿って一直線に配置されている。
検出器102は、スケール101のスケール面に対向するインデックススケールを内蔵し、測定子9とともに昇降するスケール101の変位を検出する。
LHS用アンプ103は、図2に示すように、ヘッドケース14の背面に取付具734を介して取付けられ、熱源隔離ケース151に収納されている。取付具734は、低熱膨張率素材から成り、さらに、断熱材層(図示省略)を含んでいる。
スケール101は、低熱膨張率素材のガラスから成型され、ホルダ86の挟持片861に支柱5と平行に挟持されており、ホルダ86および測定子9とともに一体的に昇降する。スケール101のスケール面と、測定子9の軸線とは、ホルダ86の昇降方向に沿って一直線に配置されている。
検出器102は、スケール101のスケール面に対向するインデックススケールを内蔵し、測定子9とともに昇降するスケール101の変位を検出する。
LHS用アンプ103は、図2に示すように、ヘッドケース14の背面に取付具734を介して取付けられ、熱源隔離ケース151に収納されている。取付具734は、低熱膨張率素材から成り、さらに、断熱材層(図示省略)を含んでいる。
図2に示すように、本体収納室141には、モータ73と、VL変換アンプ733と、LHS用アンプ103とを除いた内部装置3が収納されている。
本体収納室141には、通気口が形成された上壁面に、弾性接着剤143を介して、ファン144が取付けられている。ファン144は、ケース内の空気を外部へ放出する。また、弾性接着剤143は、断熱性を有している。
熱源隔離ケース151には、モータ73と、VL変換アンプ733と、LHS用アンプ103とが収納されている。
熱源隔離ケース151には、モータ73およびLHS用アンプ103対向する後方壁面のやや上方に、L字金具155および弾性接着剤152を介して取付けられたファン153と、底面に下方に向かって貫通された引出孔154とが設けられている。ファン153は、ケース内の空気を外部へ放出する。また、弾性接着剤152は、断熱性を有している。引出孔154からは、VL変換アンプ733およびLHS用アンプ103と、カウンタ2とを接続する導線が外部へ引出されるとともに、熱源隔離ケース151内の空気を通気している。
本体収納室141には、通気口が形成された上壁面に、弾性接着剤143を介して、ファン144が取付けられている。ファン144は、ケース内の空気を外部へ放出する。また、弾性接着剤143は、断熱性を有している。
熱源隔離ケース151には、モータ73と、VL変換アンプ733と、LHS用アンプ103とが収納されている。
熱源隔離ケース151には、モータ73およびLHS用アンプ103対向する後方壁面のやや上方に、L字金具155および弾性接着剤152を介して取付けられたファン153と、底面に下方に向かって貫通された引出孔154とが設けられている。ファン153は、ケース内の空気を外部へ放出する。また、弾性接着剤152は、断熱性を有している。引出孔154からは、VL変換アンプ733およびLHS用アンプ103と、カウンタ2とを接続する導線が外部へ引出されるとともに、熱源隔離ケース151内の空気を通気している。
カウンタ2は、熱源隔離ケース151の引出孔154から引出された導線によって、内部装置3と電気的に接続されている。カウンタ2には、内部装置3のモータ73およびファン144,153の駆動を行うコントロールパネル21を有した制御部(図示省略)と、変位検出手段10が検出した測定値の表示を行う表示部(図示省略)とが設けられている。
図1、図2および図5を用いて、本実施形態の接触式測定機によってワークの寸法を測定する方法を説明する。
測定の開始にあたり、まず、接触式測定機の零点設定を行う。測定者は、テーブル12にワークを載置しない状態で、カウンタ2のコントロールパネル21を操作して内部装置3を作動させる。すると、駆動手段7のモータ73、および、ファン144,153が駆動する。
モータ73が回転すると、タイミングベルト74を介して送りねじ軸71が回転され、ナット部材72に取付けられたスライダ6が上昇される。これに伴い、平行四辺形リンク機構81、スケール101および測定子9が、スライダ6とともに一体的に上昇され、停止される。
このとき、平行四辺形リンク機構81の第1、第2リンク部材84,85は、図5(A)に示すように、ホルダ86側の重量、および、重錘82の重量バランスによって、前端側が下方へ僅かに傾斜した状態で停止されている。第1、第2リンク部材84,85がこのように傾斜しているため、回動検知手段83において、遮光板831は、フォトインタラプタ836内には進入されておらず、つまり、光量検知部834は、所定範囲内の光量を検知している。
測定の開始にあたり、まず、接触式測定機の零点設定を行う。測定者は、テーブル12にワークを載置しない状態で、カウンタ2のコントロールパネル21を操作して内部装置3を作動させる。すると、駆動手段7のモータ73、および、ファン144,153が駆動する。
モータ73が回転すると、タイミングベルト74を介して送りねじ軸71が回転され、ナット部材72に取付けられたスライダ6が上昇される。これに伴い、平行四辺形リンク機構81、スケール101および測定子9が、スライダ6とともに一体的に上昇され、停止される。
このとき、平行四辺形リンク機構81の第1、第2リンク部材84,85は、図5(A)に示すように、ホルダ86側の重量、および、重錘82の重量バランスによって、前端側が下方へ僅かに傾斜した状態で停止されている。第1、第2リンク部材84,85がこのように傾斜しているため、回動検知手段83において、遮光板831は、フォトインタラプタ836内には進入されておらず、つまり、光量検知部834は、所定範囲内の光量を検知している。
次に、測定者は、コントロールパネル21を操作してモータ73を逆転駆動させる。すると、スライダ6が下降され、スケール101および測定子9も一体的に下降される。
測定子9が下降する際には、スケール101および検出器102によって測定子9の変位量が検出されている。変位量つまり測定値は、検出器102からカウンタ2へ出力され、カウンタ2の表示部において表示されている。やがて、測定子9の下端がテーブル12の上面に当接される。
測定子9がテーブル12に当接された瞬間において、スライダ6は、モータ73によりそのまま下降方向に駆動されているため、スライダ6とホルダ83とが昇降方向に相対移動する。これより、第1、第2リンク部材84,85は、ピボット812を中心として時計方向へ回動し、図5(B)に示すように、第1、第2リンク部材84,85は水平方向に沿う姿勢へと近づく。
測定子9が下降する際には、スケール101および検出器102によって測定子9の変位量が検出されている。変位量つまり測定値は、検出器102からカウンタ2へ出力され、カウンタ2の表示部において表示されている。やがて、測定子9の下端がテーブル12の上面に当接される。
測定子9がテーブル12に当接された瞬間において、スライダ6は、モータ73によりそのまま下降方向に駆動されているため、スライダ6とホルダ83とが昇降方向に相対移動する。これより、第1、第2リンク部材84,85は、ピボット812を中心として時計方向へ回動し、図5(B)に示すように、第1、第2リンク部材84,85は水平方向に沿う姿勢へと近づく。
この第1リンク部材84の回動に伴い、第1リンク部材84の後端に取付けられた遮光板831も時計方向へ回動し、すぐさまフォトインタラプタ836内へ進入する。遮光板831が、フォトインタラプタ836内へ進入されると、発光部832から受光部833へ照射されていた光が遮られ、光量検知部834が検知する光量が所定量範囲よりも少なくなる。これにより、光量検知部834は、カウンタ2へ接触検知信号を出力する。
カウンタ2は、接触検知信号を受信すると、表示部において表示されていた測定値がホールドされるとともに、制御部においてモータ73が停止される。
前述の第1、第2リンク部材84,85の回動、および、モータ73の停止によるスライダ6の停止によって、平行四辺形リンク機構81は、第1、第2リンク部材84,85の姿勢が水平方向に沿う状態を保って停止される。
測定子9がテーブル12に当接してから、カウンタ2において測定値がホールドされるまでのタイムラグはごく微小である。
カウンタ2は、接触検知信号を受信すると、表示部において表示されていた測定値がホールドされるとともに、制御部においてモータ73が停止される。
前述の第1、第2リンク部材84,85の回動、および、モータ73の停止によるスライダ6の停止によって、平行四辺形リンク機構81は、第1、第2リンク部材84,85の姿勢が水平方向に沿う状態を保って停止される。
測定子9がテーブル12に当接してから、カウンタ2において測定値がホールドされるまでのタイムラグはごく微小である。
このように、測定子9の下端がテーブル12の上面に当接し、カウンタ2で表示された測定値がホールドされ、モータ73が停止された状態において、測定者は、コントロールパネル21を操作し、表示された測定値を零にリセットする。このようにして、接触式測定機の零点設定が行える。
次に、ワークの寸法測定を行う。測定者は、測定面を上方に向けて、ワークをテーブル12の上面に載置する。ワークの測定方法は、前述の零点設定と基本的に同様である。つまり、モータ73を制御して、スライダ6、平行四辺形リンク機構81、スケール101、および、測定子9を一旦上昇させ、次に、下降させる。測定子9がワークに当接すると、光量検知部834から接触検知信号が出力され、カウンタ2に表示された測定値がホールドされるとともに、モータ73が停止される。ホールドされた測定値は、測定子9が当接したワークの高さ寸法となる。測定者は、このホールドされた測定値を読み取るか、図示しないプリンタ等に出力して記録させる。
これら一連の測定において、モータ73、VL変換アンプ733、および、LHS用アンプ103では、通電により熱が発生している。各ファン144,153は、それぞれ、本体収納室141内,熱源隔離ケース151内の空気を外部へ排気している。
これら一連の測定において、モータ73、VL変換アンプ733、および、LHS用アンプ103では、通電により熱が発生している。各ファン144,153は、それぞれ、本体収納室141内,熱源隔離ケース151内の空気を外部へ排気している。
本実施形態の接触式測定機によるワークの寸法測定にあたり、第1、第2リンク部材84,85の回動は、極めて円滑に行われる。すなわち、スライダ6に対して測定子9を変位させるためには、ホルダ86側の重量と重錘82の重量との差に基づく回動力(付勢力)の他に、各ピボット812,815における摩擦トルクに抗し得る力が、測定子9に付与される必要があるが、本実施形態ではこれらの摩擦トルクは極めて小さいものである。具体的には、図4に示すように、スライダ6と第1、第2リンク部材84,85とを介するピボット812において、その回動中心から、発生する摩擦力の作用点までの距離、並びに、ホルダ86と第1、第2リンク部材84,85とを介するピボット815において、その回動中心から、発生する摩擦力の作用点までの距離は、ともに等しい。さらに、これらの距離は、ピボット812の回動中心から、ピボット815の回動中心までの距離Lに対し、極めて小さい。
従って、前記重量差による付勢力を超えて測定子9に付与される力、すなわち、各ピボット812,815において働く、第1、第2リンク部材84,85を時計方向へ回動させるモーメントが極めて小さくとも、このモーメントは、各ピボット812,815において生じる摩擦トルクよりは十分大きい。つまり、測定子9によるワークへの測定力を極めて小さくすることができる。
本実施形態によれば、次のような効果を期待することができる。
(1)モータ73、LHS用アンプ103、および、VL変換アンプ733は、コラム部13およびヘッドケース14の背面側に形成された熱源隔離ケース151に収納されているので、スケール101および検出器102と、モータ73、LHS用アンプ103、および、VL変換アンプ733との間には、ある程度の距離、および、ケース壁が存在する。従って、スケール101および検出器102は、発生する熱の影響を受けにくくなる。これより、スケール101および検出器102の熱膨張は極めて最小限に抑えられるので、接触式測定機の測定精度を向上させることができる。本実施形態では、10−5mmの測定精度を実現できる。
(2)(1)により、スケール101および検出器102は、発生する熱の影響を受けにくいので、モータ73の回転量に応じて変動する熱量による測定精度の変動を抑えることができる。
(1)モータ73、LHS用アンプ103、および、VL変換アンプ733は、コラム部13およびヘッドケース14の背面側に形成された熱源隔離ケース151に収納されているので、スケール101および検出器102と、モータ73、LHS用アンプ103、および、VL変換アンプ733との間には、ある程度の距離、および、ケース壁が存在する。従って、スケール101および検出器102は、発生する熱の影響を受けにくくなる。これより、スケール101および検出器102の熱膨張は極めて最小限に抑えられるので、接触式測定機の測定精度を向上させることができる。本実施形態では、10−5mmの測定精度を実現できる。
(2)(1)により、スケール101および検出器102は、発生する熱の影響を受けにくいので、モータ73の回転量に応じて変動する熱量による測定精度の変動を抑えることができる。
(3)駆動手段7は、スライダ6の昇降方向と平行に設けられた送りねじ軸71、および、この送りねじ軸71に螺合され、スライダ6に取付けられたナット部材72を有する昇降機構と、連通窓142に挿通された状態で、モータ73の出力軸731および送りねじ軸71とを連結し、モータ73の回転を送りねじ軸71に伝えるタイミングベルト74とを含み構成されているので、モータ73が他の駆動手段7から隔離されている状態でも、比較的簡単な構成によって、モータ73の駆動力を、測定子9の昇降に支障なく活用することができる。
(4)タイミングベルト74は、簡単な部材であるため連通窓142に挿通させやすい。このため、連通窓142を小さく形成できるので、熱源隔離ケース151内で発生する熱を本体収納室141内へ伝わりにくくすることができる。
(5)モータ73およびLHS用アンプ103、および、VL変換アンプ733から発生される熱によって暖められた熱源隔離ケース151内の空気が、ファンによって外部へ排気されるので、熱源隔離ケース151内の温度上昇を小さくすることができる。従って、周囲の空気の温度上昇がLHS用アンプ103、および、VL変換アンプ733の作動に与える影響を小さくすることができる。
(4)タイミングベルト74は、簡単な部材であるため連通窓142に挿通させやすい。このため、連通窓142を小さく形成できるので、熱源隔離ケース151内で発生する熱を本体収納室141内へ伝わりにくくすることができる。
(5)モータ73およびLHS用アンプ103、および、VL変換アンプ733から発生される熱によって暖められた熱源隔離ケース151内の空気が、ファンによって外部へ排気されるので、熱源隔離ケース151内の温度上昇を小さくすることができる。従って、周囲の空気の温度上昇がLHS用アンプ103、および、VL変換アンプ733の作動に与える影響を小さくすることができる。
(6)モータ73およびLHS用アンプ103、および、VL変換アンプ733が1つの室内に配置されていることから、ファン153による排気を効率的に行うことができる。
(7)(5)および(6)より、熱源隔離ケース151の表面温度の上昇も抑えることができるため、熱源隔離ケース151表面から、本体収納室141内へ与える熱量も小さくすることができる。これにより、接触式測定機の測定精度を向上させることができる。
(8)ファン153は、弾性接着剤152を介して取付けられていることから、ファン153の振動を熱源隔離ケース151、つまり、接触式測定機へ伝わりにくくすることができる。
(9)平行四辺形リンク機構81は、測定子9を有するホルダとを含んで構成されているので、測定子9がワークに当接すると、測定子9がワークから受けた反力によって、平行四辺形リンク機構81が反力と同じ方向へ回動する。これより、測定子9は、ワークに当接している間において、一定の測定力を保つことができる。
(7)(5)および(6)より、熱源隔離ケース151の表面温度の上昇も抑えることができるため、熱源隔離ケース151表面から、本体収納室141内へ与える熱量も小さくすることができる。これにより、接触式測定機の測定精度を向上させることができる。
(8)ファン153は、弾性接着剤152を介して取付けられていることから、ファン153の振動を熱源隔離ケース151、つまり、接触式測定機へ伝わりにくくすることができる。
(9)平行四辺形リンク機構81は、測定子9を有するホルダとを含んで構成されているので、測定子9がワークに当接すると、測定子9がワークから受けた反力によって、平行四辺形リンク機構81が反力と同じ方向へ回動する。これより、測定子9は、ワークに当接している間において、一定の測定力を保つことができる。
(10)平行四辺形リンク機構81がどのように昇降および回動されても、ホルダ86は常にスライダ6と平行であるため、ホルダ86に設けられた測定子9の姿勢も変わることはない。これより、測定子9の変位方向は一定であるので、接触式測定機の測定精度を向上させることができる。
(11)回動検知手段83によって、平行四辺形リンク機構81の第1、第2リンク部材84,85のいずれかの回動が検知され、測定子9とワークの接触を伝える接触検知信号が出力されるので、測定子9に接触検知信号を出力する回路等を付加する必要はなく、測定子9の構成の簡素化、および、軽量化を図ることができる。つまり、測定子9の精密性を向上させることができる。
(12)重錘82によって、第1、第2リンク部材84,85がほぼ水平姿勢を保つように設定されているので、測定子9に働く下方向の付勢力を、極めて小さいものにすることができる。これより、測定子9の測定力も極めて小さくなるので、仮に、ワークが変形しやすい材質であっても、ワークを損傷させることなく正確に測定することができる。
(11)回動検知手段83によって、平行四辺形リンク機構81の第1、第2リンク部材84,85のいずれかの回動が検知され、測定子9とワークの接触を伝える接触検知信号が出力されるので、測定子9に接触検知信号を出力する回路等を付加する必要はなく、測定子9の構成の簡素化、および、軽量化を図ることができる。つまり、測定子9の精密性を向上させることができる。
(12)重錘82によって、第1、第2リンク部材84,85がほぼ水平姿勢を保つように設定されているので、測定子9に働く下方向の付勢力を、極めて小さいものにすることができる。これより、測定子9の測定力も極めて小さくなるので、仮に、ワークが変形しやすい材質であっても、ワークを損傷させることなく正確に測定することができる。
(13)接触検知手段8の作用により、第1リンク部材84の回動、つまり、測定子9とワークとの接触が検知されるので、平行四辺形リンク機構81は、回動検知手段83から摩擦などの何らかの力を受けることはない。つまり、平行四辺形リンク機構81の回動は滑らかに行われる。これより、測定子9の変位は、ワークから与えられる反力を正確に反映させることができる。
(14)モータ73、LHS用アンプ103、および、VL変換アンプ733を除いた他の部品は本体収納室141へ、熱を発生するモータ73、LHS用アンプ103、および、VL変換アンプ733は熱源隔離ケース151へそれぞれ収納されるので、熱源隔離ケース151内で発生する熱を、本体収納室141内へ伝わりにくくすることができる。
(15)本体収納室141の検出器102近傍には、ファン144が取付けられることから、検出器102から発生される熱によって暖められた空気を、外部へ排気させることができる。従って、本体収納室141内の温度上昇を小さくすることができる。
(14)モータ73、LHS用アンプ103、および、VL変換アンプ733を除いた他の部品は本体収納室141へ、熱を発生するモータ73、LHS用アンプ103、および、VL変換アンプ733は熱源隔離ケース151へそれぞれ収納されるので、熱源隔離ケース151内で発生する熱を、本体収納室141内へ伝わりにくくすることができる。
(15)本体収納室141の検出器102近傍には、ファン144が取付けられることから、検出器102から発生される熱によって暖められた空気を、外部へ排気させることができる。従って、本体収納室141内の温度上昇を小さくすることができる。
(16)ファン144は、弾性接着剤143を介して取付けられていることから、ファン144の振動を本体収納室141、つまり、接触式測定機へ伝わりにくくすることができる。
(17)スケール101のスケール面と、測定子9の軸線とは、ホルダ86の昇降方向に沿って一直線に配置されていることから、つまり、ワークと接触する測定子9の先端と、スケール101および検出器102が対向して変位を検出する部分とか一直線上に配置されている。従って、いわゆるアッベの原理に従う測定系を構成しているので、接触式測定機の測定精度が向上する。
(18)駆動手段7において、タイミングベルト74が弾性を有することから、モータ73の振動をある程度吸収するので、振動を送りねじ軸71に伝わりにくくすることができる。
(17)スケール101のスケール面と、測定子9の軸線とは、ホルダ86の昇降方向に沿って一直線に配置されていることから、つまり、ワークと接触する測定子9の先端と、スケール101および検出器102が対向して変位を検出する部分とか一直線上に配置されている。従って、いわゆるアッベの原理に従う測定系を構成しているので、接触式測定機の測定精度が向上する。
(18)駆動手段7において、タイミングベルト74が弾性を有することから、モータ73の振動をある程度吸収するので、振動を送りねじ軸71に伝わりにくくすることができる。
(19)モータ73、LHS用アンプ103、VL変換アンプ733、検出器102、および、ファン144,153を支持する部材(モータ支持板732、取付具734、前側板41、弾性接着剤143,152)は、断熱材層または断熱性を有することから、それぞれモータ73、LHS用アンプ103、VL変換アンプ733、検出器102、および、ファン144,153から発生する熱を、装置本体1に伝わりにくくすることができる。
(20)装置本体1、前側板41、測定子9、および、スケール101に低熱膨張率素材を用いたことから、これら部材の熱膨張を抑えるので、接触式測定機の熱による精度悪化を小さくすることができる。
(21)ファン144、153を、熱を発生する熱源(モータ73、LHS用アンプ103、VL変換アンプ733、検出器102)の上方にそれぞれ取付けたことから、これら熱源によって温められ上方へ移動する空気を排気しやすくなる。
(20)装置本体1、前側板41、測定子9、および、スケール101に低熱膨張率素材を用いたことから、これら部材の熱膨張を抑えるので、接触式測定機の熱による精度悪化を小さくすることができる。
(21)ファン144、153を、熱を発生する熱源(モータ73、LHS用アンプ103、VL変換アンプ733、検出器102)の上方にそれぞれ取付けたことから、これら熱源によって温められ上方へ移動する空気を排気しやすくなる。
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、本実施形態では、回転伝達部材としてタイミングベルト74を用いたが、本発明では、簡単な部材であればチェーンなどを用いてもよい。
例えば、本実施形態では、回転伝達部材としてタイミングベルト74を用いたが、本発明では、簡単な部材であればチェーンなどを用いてもよい。
本実施形態では、回動検知手段83において、フォトインタラプタ836を第1リンク部材84の下方に配置し、第1リンク部材84が時計方向に回動した際に接触検知信号が出力されるものとしたが、本発明では、例えば、フォトインタラプタ836を第1リンク部材84の下方に配置し、かつ、測定前において、遮光板831がフォトインタラプタ836に進入された状態で静止されているように配置してもよい。このようにすれば、測定子9がワークに当接し、平行四辺形リンク機構81が時計方向へ回動すると、遮光板831はフォトインタラプタ836から進出する。受光部833が受光する光量は所定量範囲より多くなるので、この際に、光量検知部834が接触検知信号を出力するように設定しておけばよい。
回動検知手段83には、光を利用するフォトインタラプタ836を用いたが、これに限らず、例えば、ロータリーエンコーダ、磁気センサや、レーザー光を利用したものを用いてもよい。
第1、第2リンク部材84,85は、それぞれ2枚1組となる板材としたが、本発明では、それぞれ1枚の板材としてもよい。
第1、第2リンク部材84,85は、それぞれ2枚1組となる板材としたが、本発明では、それぞれ1枚の板材としてもよい。
本発明は、測定子を電動機によって駆動させ、測定値をデジタル処理する接触式測定機に利用できる他、熱源を有する機器にも利用することができる。
3…内部装置、4…ベース、5…支柱、6…スライダ、7…駆動手段、8…接触検知手段、9…測定子、10…変位検出手段、71…送りねじ軸、72…ナット部材、73…モータ、74…タイミングベルト、81…平行四辺形リンク機構、82…重錘、83…回動検知手段、84,85…第1、第2リンク部材、86…ホルダ、101…スケール、102…検出器、103…LHS用アンプ、141…本体収納室、142…連通窓、143…弾性接着剤、144,153…ファン、151…熱源隔離ケース、152…弾性接着剤、731…出力軸、831…遮光板、832…発光部、833…受光部、834…光量検知部
Claims (7)
- ベースと、このベースに立設された支柱と、この支柱に沿って昇降自在に設けられたスライダと、モータを含み、このモータの回転によって前記スライダを昇降させる駆動手段と、前記スライダに接触検知手段を介して設けられた測定子と、この測定子の変位を検出する変位検出手段とを備えた接触式測定機において、
前記変位検出手段は、前記ベースおよび前記測定子のいずれか一方に設けられたスケールと、前記ベースおよび前記測定子のいずれか他方に設けられた検出器と、この検出器の信号を増幅する信号増幅手段とを含んで構成され、
前記モータおよび前記信号増幅手段は、前記スケールおよび前記検出器から隔離された熱源隔離ケースに収納されている
ことを特徴とする接触式測定機。 - 請求項1に記載の接触式測定機において、
前記熱源隔離ケースは、連通窓によって前記支柱側と連通され、
前記駆動手段は、前記スライダを支持するとともに回転によって前記スライダを昇降させる昇降機構と、前記連通窓に挿通された状態で前記モータおよび前記昇降機構を連結し、前記モータの回転を前記昇降機構に伝える回転伝達部材とを含み構成されている
ことを特徴とする接触式測定機。 - 請求項1または請求項2に記載の接触式測定機において、
前記熱源隔離ケースには、弾性接着剤を介して、内部の空気を排気するファンが取付けられている
ことを特徴とする接触式測定機。 - 請求項1〜請求項3のいずれかに記載の接触式測定機において、
前記接触検知手段は、前記スライダと、このスライダの昇降方向に所定間隔を置いて互いに平行に配置されるとともに、中間部が前記スライダにそれぞれ回動自在に連結される第1、第2リンク部材と、これら第1、第2リンク部材の一端部にそれぞれ回動自在に連結され、前記測定子を有するホルダとを含んで構成される平行四辺形リンク機構と、
この平行四辺形リンク機構の前記第1、第2リンク部材のいずれかの回動を検知し、接触検知信号を出力する回動検知手段とから構成されている
ことを特徴とする接触式測定機。 - 請求項4に記載の接触式測定機において、
前記平行四辺形リンク機構の他端側には、前記第1、第2リンク部材がほぼ水平姿勢を保つように設定された重錘が設けられている
ことを特徴とする接触式測定機。 - 請求項4または請求項5に記載の接触式測定機において、
前記回動検知手段は、前記第1、第2リンク部材のいずれか一方の端部に取付けられた遮光部材と、前記スライダに設けられ、前記遮光部材の回動行路を挟んで対向配置された発光部および受光部と、この受光部が受光した光量を検知し、この光量が所定量範囲外であるときに接触検知信号を出力する光量検知部とを含んで構成されている
ことを特徴とする接触式測定機。 - 請求項2〜請求項6のいずれかに記載の接触式測定機において、
前記熱源隔離ケースと、前記連通窓によって前記熱源隔離ケースと連通された本体収納室とを備え、
前記本体収納室には、前記支柱と、前記スライダと、前記モータを除いた前記駆動手段と、前記接触検知手段と、前記信号増幅手段を除いた前記変位検出手段とが収納されるとともに、前記検出器近傍に、弾性接着剤を介して、内部の空気を排気するファンが取付けられている
ことを特徴とする接触式測定機。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013545092A (ja) * | 2010-10-29 | 2013-12-19 | マーポス、ソチエタ、ペル、アツィオーニ | 圧電センサ及び断熱部を備えた接触式プローブ |
JP2022028026A (ja) * | 2018-02-01 | 2022-02-14 | 株式会社東京精密 | 検出器及び真円度測定機 |
CN115256049A (zh) * | 2022-07-29 | 2022-11-01 | 武汉理工大学 | 一种信号触发稳定性测量装置及其测量方法 |
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2005
- 2005-01-07 JP JP2005003048A patent/JP2006189399A/ja not_active Withdrawn
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