JP7201942B2 - 検出器及び真円度測定機 - Google Patents
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Description
図1は、真円度測定機10の全体構成を示す斜視図である。図1に示すように、真円度測定機10は、本体ベース12上に測定対象物となるワークWを載置する回転ステージ14が設けられている。回転ステージ14は、X方向微動つまみ(不図示)及びY方向微動つまみ(不図示)によって±X方向及び±Y方向に微動送りがされ、X方向傾斜つまみ(不図示)及びY方向傾斜つまみ(不図示)によって±X方向及び±Y方向に傾斜が調整されるようになっている。
〔検出器の構成〕
図3は、第1の実施形態に係る検出器24の内部構成を示す斜視図である。また、図4は、検出器24の内部構成を示す側面図であり、一部を透視した図である。
また、第3リンクメンバー36及び第4リンクメンバー38の長さ(有効リンク長)は、それぞれ第2長さL2である。即ち、第3リンクメンバー36の連結部40と連結部44との距離をLG、第4リンクメンバー38の連結部42と連結部46との距離をLBとすると、以下の式2が成り立つ。
このように、対向するリンクメンバーの長さ(有効リンク長)を等しく構成することにより、四節平行リンク30は、第1リンクメンバー32、第2リンクメンバー34、第3リンクメンバー36、及び第4リンクメンバー38のうちの1つのリンクメンバーを固定すると、固定したリンクメンバーに対向するリンクメンバーが、固定したリンクメンバーとの平行を維持した状態で円弧運動をする(平行リンク動作)。
図5は、測定力付与機構80を説明するための検出器24の概略図である。図5では、測定力付与ダイヤル82、及び測定力付与ダイヤル支持部84の図示は省略している。また、図5では、±X方向及び±Y方向を区別せず水平方向を±R方向と表記している。
図6は、リンク固定機構50を説明するための検出器24の概略図である。検出器24は、図2のF2Aに示すようにワークWの側面に接触子28を接触させて真円度を測定する場合には、第3リンクメンバー36を±R方向(第2方向の一例)に平行にして固定する。また、図2のF2Bに示すようにワークWの上面に接触子28を接触させて平面度を測定する場合には、第2リンクメンバー34を±Z方向(第1方向の一例)に平行にして固定する。
図7及び図8は、検出器24の作用を説明するための図である。
ここで、±R方向の変位を測定する場合と±Z方向の変位を測定する場合との変位センサ60の感度について考える。
S1R=L1/(L1+L3) …(式3)
S1Z=L1/L2 …(式4)
と表すことができる。
R/Z=S1R/S1Z=L2/(L1+L3) …(式5)
と表すことができる。
L2=L1+L3 …(式6)
の関係を満たせばよいことがわかる。
〔検出器の構成〕
図9は、第2の実施形態に係る検出器25の内部構成を示す図であり、一部を透視した図である。第1の実施形態に係る検出器24とは、変位センサ60の配置が異なっている。
図10及び図11は、検出器25の作用を説明するための図である。
第1の実施形態と同様に、±R方向の変位を測定する場合と±Z方向の変位を測定する場合との変位センサ60の感度について考える。なお、検出器25は、第1リンクメンバー32及び第2リンクメンバー34の長さ(有効リンク長)は、それぞれ第1長さL1である。また、第3リンクメンバー36及び第4リンクメンバー38の長さ(有効リンク長)は、それぞれ第2長さL2である。測定子27の長さ、即ち連結部42と接触子28との間の距離は第3長さL3である。
S2R=L2/(L1+L3) …(式7)
S2Z=1 …(式8)
と表すことができる。
R/Z=S2R/S2Z=L2/(L1+L3) …(式9)
と表すことができる。
L2=L1+L3 …(式10)
の関係を満たせばよいことがわかる。
図12は、真円度測定機10の電気的構成を示すブロック図である。真円度測定機10は、前述の回転ステージ14、キャリッジ18、アーム20、検出器24(図4参照)又は検出器25(図9参照)の変位センサ60の他、制御部100、校正部102、固定リンクメンバー検出部104、記憶部106、算出部108、及び出力部110を備えている。
以上のように構成された検出器24及び検出器25によれば、四節平行リンク30を使用し、第2リンクメンバー34又は第3リンクメンバー36を固定するリンク固定機構50を設けたので、固定するリンクメンバーにより、接触子28の運動方向が一意に制限される。これにより、多方向の運動自由度の影響を受けることがなく、高精度に測定することができる。
検出器24及び検出器25は、±R方向の変位の検出と±Z方向の変位の検出を行うことができる。また、±R方向として、±X方向の変位の検出と±Y方向の変位の検出とを切り替えることができる。したがって、3次元測定機に応用することが可能である。
12 本体ベース
14 回転ステージ
16 コラム
18 キャリッジ
20 アーム
22 検出器ホルダ
24 検出器
25 検出器
26 スタイラス
27 測定子
28 接触子
30 四節平行リンク
32 第1リンクメンバー
34 第2リンクメンバー
34D 窪み部
36 第3リンクメンバー
36D 窪み部
38 第4リンクメンバー
40 連結部
42 連結部
44 連結部
46 連結部
48 平行リンク支持部
49 支持部
50 リンク固定機構
52 第2リンクメンバー固定用ピン
54 第3リンクメンバー固定用ピン
60 変位センサ
62 ボビン
64 コア
66 ボビン支持部
68 コア支持部
80 測定力付与機構
82 測定力付与ダイヤル
84 測定力付与ダイヤル支持部
86 測定力付与レバー
86A 軸支側
86B 非軸支側
88 測定力付与バネ
90 自重キャンセルバネ
100 制御部
102 校正部
104 固定リンクメンバー検出部
106 記憶部
108 算出部
110 出力部
Claims (6)
- それぞれ第1長さの第1リンク部材及び第2リンク部材が対向し、それぞれ第2長さの第3リンク部材及び第4リンク部材が対向する四節平行リンクと、
前記第1リンク部材と平行な方向に伸延する測定子であって、一端が前記第1リンク部材又は前記第4リンク部材に支持され、他端に接触子を保持する測定子と、
前記第2リンク部材又は前記第3リンク部材を固定するリンク固定機構と、
前記第2リンク部材を固定した場合に前記第2リンク部材に平行な第1方向の変位量を検出し、前記第3リンク部材を固定した場合に前記第1方向に直交する第2方向の変位量を検出する変位センサと、
を備えた検出器。 - 前記変位センサはコア及びコイルを有するLVDT(Linear Variable Differential Transformer)センサであり、
前記LVDTセンサは、前記コアと前記コイルとの相対位置の変位量を検出する請求項1に記載の検出器。 - 一端が前記第1リンク部材又は前記測定子に接続され、他端がレバーに接続されたバネを有し、
前記第2リンク部材を固定した場合に前記レバーを前記第1方向に向け、前記第3リンク部材を固定した場合に前記レバーを前記第2方向に向けることで前記接触子に測定力を付与する測定力付与機構を備えた請求項1又は2に記載の検出器。 - 前記第2長さは、前記第1長さと前記測定子の長さとの和に等しい請求項1から3のいずれか1項に記載の検出器。
- 請求項1から4のいずれか1項に記載の検出器と、
測定対象物が載置され、回転軸を中心に前記測定対象物を回転させる回転ステージと、
を備え、
前記第1方向及び前記第2方向は、一方が前記回転ステージの回転軸と平行な方向であり他方が前記回転軸と垂直な方向である真円度測定機。 - 前記第1方向の変位量を検出する際の前記変位センサの第1校正値及び前記第2方向の変位量を検出する際の前記変位センサの第2校正値を記憶する記憶部と、
前記第2リンク部材を固定した場合には前記第1校正値を、前記第3リンク部材を固定した場合には前記第2校正値を適用して前記変位センサの出力値を校正する校正部と、
を備えた請求項5に記載の真円度測定機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2022028026A JP2022028026A (ja) | 2022-02-14 |
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Family
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP7201942B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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