JP2006189285A

JP2006189285A - 透明層の検査装置

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Publication number: JP2006189285A
Application number: JP2005000414A
Authority: JP
Inventors: Toshiaki Fukui; 俊明福井; Kenji Fujino; 憲二藤野
Original assignee: TAIYO DENKI KK; TAIYO ELECTRIC Manufacturing
Current assignee: TAIYO DENKI KK; TAIYO ELECTRIC Manufacturing
Priority date: 2005-01-05
Filing date: 2005-01-05
Publication date: 2006-07-20

Abstract

【課題】２つの透明層を有する被検査物について簡単な構成で検査を行うことができる、透明層の検査装置を提供する。
【解決手段】第１の透明層１２に対して所定の第１の入射角α_１で、照射位置１８ａを変えながら、Ｐ波の第１のレーザビーム２０を照射する、第１の投光部と、第１の透明層１２に照射された第１のレーザビーム２０により、第１の透明層１２で直ちに反射する表面反射光２２と、第１の透明層１２に一端入射した後、第１の透明層１２と第２の透明層１４との界面１３で反射して第１の透明層１２から出射する界面反射光２６との間で発生させた干渉光の強度又は干渉縞を検出して信号を出力する干渉光受光部と、第１の投光部が照射する第１のレーザビーム２０の照射位置１８ａと、干渉光受光部から出力される信号とに基づいて、第１の透明層１２の不均一部分を検出する第１の検出部とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、透明層の検査装置に関する。

従来、筒状部材の外周面に屈折率の異なる２つの透明層が形成されているコピー機の感光ドラムは目視検査されている。

透明層の検査に関して、例えば、特許文献１には、全反射ミラーで反射した反射光とフィルム材料で反射した反射光との間で干渉光を発生させて、フィルム材料の膜厚を測定する装置が開示されている。特許文献２には、シリコンウエハ上に形成した透明膜を検査するため、直線縞パターンの平行光を照射することが提案されている。
特開平６−９４４２４号公報特開２００３−２３２６２０号公報

コピー機の感光ドラムのように２つの透明層を有する被検査物は、透明層の表面や裏面、透明層間の界面で反射が起こる。そのため、検査の自動化を行うことができなかった。

本発明は、かかる実情に鑑み、２つの透明層を有する被検査物について簡単な構成で検査を行うことができる、透明層の検査装置を提供しようとするものである。

本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した透明層の検査装置を提供する。

透明層の検査装置は、ベース層上に屈折率が異なる透明な第１及び第２の透明層を有し、前記第１の透明層が前記第２の透明層上に形成され、前記第２の透明層が前記ベース層上に形成された被検査物について、前記第１の透明層を検査するタイプのものである。検査装置は、前記第１の透明層に対して所定の第１の入射角で、照射位置を変えながら、Ｐ波の第１のレーザビームを照射する、第１の投光部と、前記第１の透明層に照射された前記第１のレーザビームにより、前記第１の透明層で直ちに反射する表面反射光と、前記第１の透明層に一端入射した後、前記第１の透明層と前記第２の透明層との界面で反射して前記第１の透明層から出射する界面反射光との間で発生させた干渉光の強度又は干渉縞を検出して信号を出力する干渉光受光部と、前記第１の投光部が照射する前記第１のレーザビームの前記照射位置と、前記干渉光受光部から出力される前記信号とに基づいて、前記第１の透明層の不均一部分を検出する第１の検出部とを備える。

上記構成によれば、第１のレーザビームの照射位置によって、表面反射光と界面反射光との間で発生する干渉光の強度又は干渉縞がどのように変化するかによって、第１の透明層の不均一部分を検出することができる。例えば、厚みが変化した不均一部分では、干渉光の強弱の変化の周波数又は干渉縞の密度が高く。このような干渉光の強度又は干渉縞の変化によって、不均一部分を検出することができる。

上記構成において、第１のレーザビームについての第１の入射角（第１の透明層の表面の法線方向と第１のレーザビームとがなす角度）は、表面反射光と界面反射光との強度がバランスし、干渉光の強度変化を検出することができる適切な角度の範囲内（例えば、７０°以上、８０°以下）に設定する。すなわち、第１の透明層に対する第１のレーザビームの入射角が適切な角度より小さい場合（例えば、７０°より小さい場合）には、表面反射光が弱くなり、表面反射光と界面反射光との間の干渉光を検出することが困難となる。適切な角度より大きい場合（例えば、８０°より大きい場合）には界面反射光が弱くなり、表面反射光と界面反射光との間の干渉光を検出することが困難となる。

また、本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した透明層の検査装置を提供する。

透明層の検査装置は、ベース層上に屈折率が異なる透明な第１及び第２の透明層を有し、前記第１の透明層が前記第２の透明層上に形成され、前記第２の透明層が前記ベース層上に形成された被検査物について、前記第２の透明層を検査するタイプのものである。透明層の検査装置は、前記第１の透明層に対して所定の第２の入射角で、照射位置を変えながら、Ｐ波の第２のレーザビームを照射する、第２の投光部と、前記第１の透明層に照射された前記第２のレーザビームにより、前記第１の透明層に入射し、さらに前記第２の透明層に入射し、前記第２の透明層と前記ベース層との界面で反射して前記第１の透明層に再び入射した後、前記第１の透明層から出射する透過光の強度を検出して信号を出力する透過光受光部と、前記第２の投光部が照射する前記第２のレーザビームの前記照射位置と、前記透過光受光部から出力される前記信号とに基づいて、前記透明層の不均一部分を検出する第２の検出部とを備える。

上記構成において、第２のレーザビームについての第２の入射角（第１の透明層の表面の法線方向と第２のレーザビームとがなす角度）は、大略、第１の透明層のブルースター角より大きくなるように設定することが好ましい。すなわち、第１の透明層に対する第２のレーザビームの入射角を、第１の透明層のブルースター角近傍（例えば、４０°以上、５０°以下）より大きくすることで、第１の透明層での表面反射をほとんど、あるいは完全に無くし、第２のレーザビームを透過光として効率よく用い、検査精度を高めることができる。

第２の入射角は、第２のレーザビームが第１の透明層に入射した後、第１の透明層と第２の透明層との界面において反射せずにすべて第２の透明層に入射すように設定することが最も好ましいが、第１の透明層と第２の透明層との界面で反射が発生する場合でも、できるだけ反射が少なくなるように設定することが好ましい。

上記構成によれば、第２のレーザビームの照射位置によって、透過光の強度がどのように変化するかによって、第１および第２の透明層の一方又は両方の不均一部分を検出することができる。例えば、第１の透明層又は第２の透明層の厚みが変化する不均一部分を透過すると、不均一部分での減衰率の違いや透過光の進行方向の違いなどのために透過光の強度が変化する。このような透過光の強度の変化を検出することによって、不均一部分を検出することができる。

適宜な方法で第１の透明層の不均一部分（例えば、厚みの変化）を検出することができれば、それを考慮する（例えば、厚み変化分を差し引く）ことにより、透過光の強度の変化から第２の透明層の厚み変化を検出することができる。

特に、第２の透明層の減衰率が相対的に大きく、第１の透明層を透過するときの減衰が相対的に小さく、第１の透明層を透過するときの減衰を実質的に無視できる場合には、透過光の強度変化から第２の透明層の不均一部分を直ちに検出することができる。第１の透明層の減衰率が相対的に大きく、第２の透明層を透過するときの減衰が相対的に小さく、第２の透明層を透過するときの減衰を実質的に無視できる場合には、透過光の強度が変化から第１の透明層の不均一部分を直ちに検出することができる。

また、本発明は、以下のように構成した透明層の検査装置を提供する。

透明層の検査装置は、ベース層上に屈折率が異なる透明な第１及び第２の透明層を有し、前記第１の透明層が前記第２の透明層上に形成され、前記第２の透明層が前記ベース層上に形成された被検査物について、前記各透明層を検査するタイプのものである。透明層の検査装置は、前記第１の透明層に対して所定の第１の入射角で、照射位置を変えながら、Ｐ波の第１のレーザビームを照射する、第１の投光部と、前記第１の透明層に照射された前記第１のレーザビームにより、前記第１の透明層で直ちに反射する表面反射光と、前記第１の透明層に一端入射した後、前記第１の透明層と前記第２の透明層との界面で反射して前記第１の透明層から出射する界面反射光との間で発生させた干渉光を検出して信号を出力する干渉光受光部と、前記第１の投光部が照射する前記第１のレーザビームの前記照射位置と、前記干渉光受光部から出力される前記信号とに基づいて、前記第１の透明層の厚み変化を検出する第１の検出部と、前記第１の透明層に対して所定の第２の入射角で、照射位置を変えながら、Ｐ波の第２のレーザビームを照射する、第２の投光部と、前記第１の透明層に照射された前記第２のレーザビームにより、前記第１の透明層に入射した後さらに前記第２の透明層に入射し、前記第２の透明層と前記ベース層との界面で反射して前記第１の透明層から出射する透過光を検出して信号を出力する透過光受光部と、前記第２の投光部が照射する前記第２のレーザビームの前記照射位置と、前記透過光受光部から出力される前記信号とに基づいて、前記透明層の不均一部分を検出する第２の検出部とを備える。

上記構成において、一つのレーザ光源からのレーザビームを分割して、第１及び第２の投光部で用いれば、構成を簡単にすることができる。

上記構成によれば、第１及び第２の透明層について、それぞれの不均一部分を検出することができる。

第１の透明層の不均一部分は、第１の投光部、干渉光受光部、及び第１の検出部を用い、表面反射光と界面反射光との間で発生させた干渉光の強度又は干渉縞によって検出することができる。

第２の透明層の不均一部分については、第２の透明層の減衰率が相対的に大きく、第１の透明層の減衰率が相対的に小さく、第１の透明層を透過するときの光の減衰を実質的に無視できる場合には、第２の投光部、透過光受光部、及び第２の検出部を用い、透過光の強度変化から直ちに検出することができる。透過光の強度変化から第２の透明層の厚み変化を直ちに検出することができない場合でも、表面反射光と界面反射光との間で発生させた干渉光の強度又は干渉縞から第１の透明層の不均一部分を検出し、それを考慮することにより、透過光の強度変化から第２の透明層の不均一部分を検出することができる。

上記構成によれば、第１及び第２の透明層の両方を検査することができる。

本発明の透明層の検査装置は、２つの透明層を有する被検査物について簡単な構成で検査を行うことができる。

以下、本発明の実施の形態について、図１〜図４を参照しながら説明する。

まず、本発明の透明層の検査装置の基本原理について、図１及び図２を参照しながら説明する。

被検査物１０は、ベース層１６上に屈折率が異なる２以上の透明層１２，１４を有する。以下では、第１の透明層１２が第２の透明層１４上に形成され、第２の透明層１４がベース層１６上に形成された場合について説明するが、ベース層１６上の３層以上の透明層を備えていてもよい。

第１の透明層１２について検査を行う場合、図１に示すように、Ｐ波の第１のレーザビーム２０を、第１の透明層１２に対して所定の第１の入射角（照射位置１８ａにおいてレーザビーム２０と第１の透明層１２の表面１１の法線１７ａとがなす角度）α_１で照射する。第１の透明層１２に照射された第１のレーザビーム２０は、第１の透明層１２の表面１１で直ちに反射する光２２（以下、「表面反射光２２」という。）と、第１の透明層１２に入射する光２４とに分割される。第１の透明層１２に入射した光２４のうち、符号２５で示すように第１の透明層１２と第２の透明層１４との界面１３で反射し、符号２６で示すように第１の透明層１２の表面１１から出射する光２６（以下、「界面反射光２６」という。）と、表面反射光２２との間で、位相差により干渉現象が起こるようにして、干渉光の強度又は干渉縞を検出する。レーザビーム２０の照射位置１８ａを２次元的に変えながら、干渉光を検出し、レーザビーム２０の照射位置１８ａに対応する２次元画像を形成する。例えば、干渉光の強度を適宜な閾値を用いて二値化して、干渉縞の２次元画像を形成する。

このとき、第１の透明層１２に対するレーザビーム２０の入射角α_１、レーザビーム２０の照射位置１８ａや干渉光検出位置などの相対位置関係を一定に保ちながら、レーザビーム２０の照射位置１８ａを移動させる。第１の透明層１２の厚みや光学的特性（密度や透過率など）が均一な正常状態では、理論上、干渉光の検出レベルは変化しない。実際には、相対位置関係に多少の誤差が生じるため、干渉光の検出レベルが変動し、干渉縞が形成されることがあるが、干渉光の検出レベルが変動周波数や干渉縞の密度は低い。

一方、第１の透明層１２の厚みや光学的特性が変化した不均一部分があると、その不均一部分では、レーザビーム２０の照射位置１８ａの僅かな移動によって、干渉光の検出レベルが頻繁に強弱の変動を繰り返すため、干渉光の検出レベル変動周波数が高くなり、正常状態の場合と比べて密度の高い干渉縞が形成される。

このような干渉光の検出レベルが変動周波数や干渉縞の密度の違いによって、第１の透明層１２の厚みや光学特性などが変化した不均一部分を検出することができる。

第２の透明層１４について検査を行う場合、図２に示すように、Ｐ波の第１のレーザビーム３０を、第１の透明層１２に対して所定の第２の入射角（照射位置１８ｂにおいてレーザビーム３０と第１の透明層１２の表面１１の法線１７ｂとがなす角度）β_１で照射し、第１および第２の透明層１２，１４を透過した光３５（以下、「透過光３５」という。）を検出する。すなわち、符号３１で示すように第１の透明層１２に入射し、さらに、符号３２で示すように第２の透明層１４に入射した後、符号３３で示すように、第２の透明層１４とベース層１６との界面１５で反射し、符号３４で示すように第１の透明層１２に再び入射した後、符号３５で示すように第１の透明層１２から出射した透過光３５を検出する。

入射角β_１は、大略、ブルースター角（Ｂｒｅｗｓｔｅｒ'ｓａｎｇｌｅ）と一致するように、あるいはブルースター角より大きくなるように設定する。入射角β_１をブルースター角に一致するように設定すれば、第１の透明層１２の表面１１で直ちに反射する光を完全に無くことができる。入射角β_１をブルースター角の近傍あるいはブルースター角よりも大きい角度に設定すれば、第１の透明層１２の表面１１で直ちに反射する光をほとんど無くことができる。これにより、透過光３５の検出レベルを高め、検査精度を向上することができる。

レーザビーム３０の照射位置１８ｂを２次元的に変えながら、透過光３５の強度を検出する。このとき、レーザビーム３０の強度や第１の透明層１２に対する入射角β_１、レーザビーム３０の照射位置１８ｂや透過光検出位置などの相対位置関係を一定に保ちながら、レーザビーム３０の照射位置１８ｂを移動する。第１の透明層１２や第２の透明層１４の厚みや光学的特性（密度や透過率など）が均一である正常状態では、理論上、透過光の検出レベルは変化しない。一方、第１の透明層１２や第２の透明層１４の厚みや光学的特性が変化した不均一部分があると、その不均一部分では、光の減衰や透過光３５の進行方向の変化などによって、透過光３５の検出レベルが変化する。このような透過光３５の検出レベルの変化によって、第１の透明層１２や第２の透明層１４の厚みや光学特性などの不均一部分を検出することができる。

次に、透明層の検査装置の構成について、図３及び図４を参照しながら説明する。

透明層の検査装置４０は、投光ユニット４４及び受光ユニット４６，４８と、投光ユニット４４及び受光ユニット４６，４８に接続された制御ユニット４２とを備える。投光ユニット４４および受光ユニット４６，４８と被検査物５０とは、相互の位置関係が一定に保たれるように配置される。

被検査物５０は、筒形状であり、その筒形状の中心軸５８と同心に回転駆動される。被検査物５０は、図４の要部断面図に示したように、筒状のベース材５６の外筒面に厚みが一定の第２の透明層５４が形成され、第２の透明層５４の外周面に厚みが一定の第１の透明層５２が形成されている。第１の透明層５２と第２の透明層５４とは、屈折率が異なる。

投光ユニット４４は、回転する被検査物５０に対して２つのレーザビーム４５ａ，４５ｂを照射する。投光ユニット４４は、それぞれのレーザビーム４５ａ，４５ｂごとにレーザ光源を備えてもよいが、一つのレーザ光源からのレーザビームをビームスプリッタなどで分割してレーザビーム４５ａ，４５ｂに用いるようにすれば、構成を簡単にすることができる。投光ユニット４４は、制御ユニット４２からの制御信号により、例えばポリゴンミラーなどの反射ミラーを駆動して、レーザビーム４５ａ，４５ｂをスキャンする。このとき、被検査物５０にレーザビーム４５ａ，４５ｂが照射される照射位置５０ａ，５０ｂが被検査物５０の中心軸５８と平行に移動するようにする。

一方の受光ユニット４６は、第１のレーザビーム４５ａにより、被検査物５０の第１の透明層５２の表面反射光と界面反射光との間で発生させた干渉光４５ｓを検出し、干渉光４５ｓの検出レベルに対応する信号を制御ユニット４２に出力する。他方の受光ユニット４８は、第２のレーザビーム４５ｂが被検査物５０の第１の透明層５２及び第２の透明層５４を透過した後の透過光４５ｔを検出し、透過光４５ｔの検出レベルに対応する信号を制御ユニット４２に信号出力する。例えば、干渉光４５ｓ，透過光４５ｔは、それぞれ、受光ユニット４６，４８に設けた開口部４７，４９を通り、内部に配置された不図示のライトガイドに入射し、不図示の光検出器に導かれる。光検出器は、検出した光の強度レベルに対応する信号を制御ユニット４２に送出する。

開口部４７，４９は、被検査物５０の中心軸５８と平行に延在するように形成され、レーザビーム４５ａ，４５ｂの照射位置が中心軸５８と平行に移動しても、干渉光４５ｓ又は透過光４５ｔを検出できるようになっている。

制御ユニット４２は、レーザビーム４５ａ，４５ｂの照射位置５０ａ，５０ｂと、受光ユニット４６，４８からの信号とに基づいて、被検査物５０の第１の透明層５２や第２の透明層５４について良否判定を行う。

上述したように、干渉光４５ｓによって、第１の透明層５２を検査することができる。第２の透明層５４の減衰率が相対的に大きく、第１の透明層５２を透過するときの光の減衰を実質的に無視できる場合には、透過光４５ｔによって、第２の透明層５４を直ちに検査することができる。第１の透明層５２を光が透過するときの減衰を無視できない場合でも、例えば、干渉光４５ｓによる検出結果を考慮すれば、透過光４５ｔから第２の透明層５４について検査することができる。

検査装置４０は、例えば、被検査物５０として、コピー機用の感光ドラムを検査することができる。この場合、ベース材５６はアルミニウム製の筒状部材であり、第１の透明層５２は無色透明なＣＴ膜であり、第２の透明層５４は緑色のＣＧ膜である。投光ユニット４４の光源には、波長６７０ｎｍ（赤色）の半導体レーザを用い、数十〜百μｍに集光して、被検査物５０に照射する。直径５〜３７ｍｍの被検査物５０を１秒に１回転し、走査幅４９０ｍｍ、走査周期７００μｓで、レーザビームを照射する。受光ユニット４６，４８の内部には、開口部４７，４９に対向するように、直径５０ｍｍ、長さ５５０ｍｍのライトガイドを配置し、ライトガイドの一端に、光検出器として光電子増倍管（フォトマル）を配置する。

第１のレーザビーム４５ａの入射角α_１を７５°、すなわち表面１１に対する角度α_２を１５°（図１参照）に設定することにより、ＣＴ膜（第１の透明層５２）について塗布ムラ（膜厚の不均一）を干渉縞の発生により捉えることができる。すなわち、干渉光から形成した２次元画像について、干渉縞の密度（単位面積あたりの本数）が高い部分を欠陥部位として抽出することができる。なお、入射角α_１が７０°〜７８°（角度α_２が１２°〜２０°）であれば、干渉縞で検査可能である。この範囲内であれば、第２の透明層５４に入射する光がほとんどない。角度α_２が２０°より大きくなると、表面反射が弱くなり、干渉縞を検出できなくなる。また、第２の透明層５４への入射が多くなる。

第２のレーザビーム４５ｂの入射角β_１を４５°（ブルースター角度）、すなわち表面１１に対する角度β_２を４５°（図２参照）に設定することにより、ＣＧ膜（第２の透明層５４）について塗布ムラを検出したり、表面欠陥（白斑、気泡、白スジ、異物付着など）を検出したりすることができる。すなわち、透過光４５ｔについて適宜な閾値を用いて２値化して、欠陥部位として抽出することができる。

第２のレーザビーム４５ｂの入射角β_１が４０°〜５０°であれば、レーザビーム４５ｂはＰ波であるため、第１の透明層５２の表面５１からの反射が非常に弱まり、表面反射光に邪魔されることなく、透過光４５ｔを検出することができる。

以上に説明した透明層の検査装置は、２つの透明層を有する被検査物について簡単な構成で検査を行うことができる。

なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、種々変更を加えて実施可能である。

例えば、被検査物は、円筒形状に限らず、平面や円筒面以外の曲面などの表面を有する形状であってもよい。

透明層の検査原理の説明図である。透明層の検査原理の説明図である。透明層の検査装置の構成図である。被検査物の要部断面図である。

符号の説明

１０被検査物
１２第１の透明層
１４第２の透明層
１６ベース層
２０第１のレーザビーム
２２表面反射光
２６界面反射光
３０第２のレーザビーム
３５透過光
４０検査装置
４２制御ユニット（第１の検出部、第２の検出部）
４４投光ユニット（第１の投光部、第２の投光部）
４５ａ第１のレーザビーム
４５ｂ第２のレーザビーム
４５ｓ干渉光
４５ｔ透過光
４６受光ユニット（干渉光受光部）
４８受光ユニット（透過光受光部）
５０被検査物
５２第１の透明層
５４第２の透明層
５６ベース材（ベース層）
α_１，β_１入射角

Claims

ベース層上に屈折率が異なる透明な第１及び第２の透明層を有し、前記第１の透明層が前記第２の透明層上に形成され、前記第２の透明層が前記ベース層上に形成された被検査物について、前記第１の透明層を検査する検査装置であって、
前記第１の透明層に対して所定の第１の入射角で、照射位置を変えながら、Ｐ波の第１のレーザビームを照射する、第１の投光部と、
前記第１の透明層に照射された前記第１のレーザビームにより、前記第１の透明層で直ちに反射する表面反射光と、前記第１の透明層に一端入射した後、前記第１の透明層と前記第２の透明層との界面で反射して前記第１の透明層から出射する界面反射光との間で発生させた干渉光の強度又は干渉縞を検出して信号を出力する干渉光受光部と、
前記第１の投光部が照射する前記第１のレーザビームの前記照射位置と、前記干渉光受光部から出力される前記信号とに基づいて、前記第１の透明層の不均一部分を検出する第１の検出部とを備えたことを特徴とする、透明層の検査装置。
ベース層上に屈折率が異なる透明な第１及び第２の透明層を有し、前記第１の透明層が前記第２の透明層上に形成され、前記第２の透明層が前記ベース層上に形成された被検査物について、前記第２の透明層を検査する検査装置であって、
前記第１の透明層に対して所定の第２の入射角で、照射位置を変えながら、Ｐ波の第２のレーザビームを照射する、第２の投光部と、
前記第１の透明層に照射された前記第２のレーザビームにより、前記第１の透明層に入射し、さらに前記第２の透明層に入射し、前記第２の透明層と前記ベース層との界面で反射して前記第１の透明層に再び入射した後、前記第１の透明層から出射する透過光の強度を検出して信号を出力する透過光受光部と、
前記第２の投光部が照射する前記第２のレーザビームの前記照射位置と、前記透過光受光部から出力される前記信号とに基づいて、前記透明層の不均一部分を検出する第２の検出部とを備えたことを特徴とする、透明層の検査装置。
ベース層上に屈折率が異なる透明な第１及び第２の透明層を有し、前記第１の透明層が前記第２の透明層上に形成され、前記第２の透明層が前記ベース層上に形成された被検査物について、前記各透明層を検査する検査装置であって、
前記第１の透明層に対して所定の第１の入射角で、照射位置を変えながら、Ｐ波の第１のレーザビームを照射する、第１の投光部と、
前記第１の透明層に照射された前記第１のレーザビームにより、前記第１の透明層で直ちに反射する表面反射光と、前記第１の透明層に一端入射した後、前記第１の透明層と前記第２の透明層との界面で反射して前記第１の透明層から出射する界面反射光との間で発生させた干渉光を検出して信号を出力する干渉光受光部と、
前記第１の投光部が照射する前記第１のレーザビームの前記照射位置と、前記干渉光受光部から出力される前記信号とに基づいて、前記第１の透明層の厚み変化を検出する第１の検出部と、
前記第１の透明層に対して所定の第２の入射角で、照射位置を変えながら、Ｐ波の第２のレーザビームを照射する、第２の投光部と、
前記第１の透明層に照射された前記第２のレーザビームにより、前記第１の透明層に入射した後さらに前記第２の透明層に入射し、前記第２の透明層と前記ベース層との界面で反射して前記第１の透明層から出射する透過光を検出して信号を出力する透過光受光部と、
前記第２の投光部が照射する前記第２のレーザビームの前記照射位置と、前記透過光受光部から出力される前記信号とに基づいて、前記透明層の不均一部分を検出する第２の検出部とを備えたことを特徴とする、透明層の検査装置。