JP2006180454A - 圧電振動子とその製造方法、発振器、電子機器及び電波時計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第1のウエハを中央にして第2のウエハ、第3のウエハを互いに陽極接合し、所定の位置で切断して複数の圧電振動子を製造する圧電振動子の製造方法であって、第1のウエハに陽極接合のための接合膜を形成する振動子片枠体形成工程と、第2のウエハまたは第3のウエハのいずれか一方に、外部電極用のスルーホールを形成するスルーホール形成工程と、を有し、スルーホールの端部と位置合せされる第1のウエハの接合膜の一部に、スルーホール端部の面積より小さい面積の無接合膜領域を形成し、陽極接合後に該無接合膜領域を分割するように切断する圧電振動子の製造方法とした。
【選択図】 図2
Description
2 枠体
3a 第1接合膜
3b 第2接合膜
4 第1のウエハ(圧電体ウエハ)
5 第2のウエハ(リッドウエハ)
5a 第2のウエハの接合面側
5b 第2のウエハの非接合面側
6 第3のウエハ(ベースウエハ)
6a 第3のウエハの接合面側
6b 第3のウエハの非接合面側
7 リッド
7a 面取り
8 ベース
8a 面取り
9 第1凹部(リッド側凹部)
10 第2凹部(ベース側凹部)
11 スルーホール
12 外部電極膜
13 外部接続部
14 スルーホールの接合面側端部の円の面積から、無接合膜領域の面積を差し引いた領域(接合膜を有した領域)
15 スルーホールの接合面側端部の円内の無接合膜領域
16 スルーホールの接合面側端部の円
17 スルーホールの非接合面側端部の円
18 長辺方向の切断線
19 短辺方向の切断線
20 切断線の交点
21 フルカット用ダイシングブレード
22 フルカットで切断される領域
24 フルカット用ダイシングブレードの回転方向
25 フルカット時の切断方向
26 フルカットで4分割された無接合膜領域
27 フルカットで4分割された接合膜の領域
30 ダイシング用テープ
41 音叉型水晶振動子(圧電振動子)
42 基板
43 集積回路
44 電子部品
101 電源部
102 制御部
103 計時部
104 通信部
104a 無線部
104b 音声処理部
104c 増幅部
104d 音声入力部
104e 着信音発生部
104f 切替部
104g 呼制御メモリ部
104h 電話番号入力部
105 電圧検出部
106 電源遮断部
107 表示部
201 アンテナ
202 アンプ
203、204 水晶振動子(圧電振動子)
205 フィルター部
206 検波、整流回路
207 波形整形回路
208 CPU
209 RTC
Claims (15)
- 第1のウエハを中央にして、接合面と非接合面とを有する第2のウエハ及び第3のウエハの3枚のウエハを位置合せして重ね合わせ、互いに陽極接合し、所定の位置で切断して複数の圧電振動子を製造する圧電振動子の製造方法であって、
前記第1のウエハに振動子片と、該振動子片の一端に接続され該振動子片を囲む枠体とを一体に形成し、該枠体の両面に前記陽極接合のための接合膜を形成する振動子片枠体形成工程と、
前記第2のウエハまたは前記第3のウエハのいずれか一方に、前記接合面と前記非接合面とを貫通する外部電極用のスルーホールを形成するスルーホール形成工程と、を有し、
前記スルーホールの前記接合面側端部と位置合せされる前記第1のウエハの前記接合膜の一部に、前記スルーホールの前記接合面側端部の面積より小さい面積の無接合膜領域を形成し、前記陽極接合後に該無接合膜領域を分割するように切断することを特徴とする圧電振動子の製造方法。 - 第1のウエハを中央にして、接合面と非接合面とを有する第2のウエハ及び第3のウエハの3枚のウエハを位置合せして重ね合わせ、互いに陽極接合し、所定の位置で切断して複数の圧電振動子を製造する圧電振動子の製造方法であって、
前記第1のウエハに振動子片と、該振動子片の一端に接続され該振動子片を囲む枠体とを一体に形成し、該枠体の両面に前記陽極接合のための接合膜を形成する振動子片枠体形成工程と、
前記第2のウエハまたは前記第3のウエハのいずれか一方に、前記接合面と前記非接合面とを貫通する外部電極用のスルーホールを形成するスルーホール形成工程と、を有し、
前記3枚のウエハを所定の位置で切断する際に、切断用の刃具の前記3枚のウエハに対するせん断力が、前記スルーホールが形成されているウエハ側から前記スルーホールが形成されていないウエハ側に向かって加わるように切断することを特徴とする圧電振動子の製造方法。 - 第1のウエハを中央にして、接合面と非接合面とを有する第2のウエハ及び第3のウエハの3枚のウエハを位置合せして重ね合わせ、互いに陽極接合し、所定の位置で切断して複数の圧電振動子を製造する圧電振動子の製造方法であって、
前記第1のウエハに振動子片と、該振動子片の一端に接続され該振動子片を囲む枠体とを一体に形成し、該枠体の両面に前記陽極接合のための接合膜を形成する振動子片枠体形成工程と、
前記第2のウエハまたは前記第3のウエハのいずれか一方に、前記接合面と前記非接合面とを貫通する外部電極用のスルーホールを形成するスルーホール形成工程と、を有し、
前記スルーホールの前記接合面側端部と位置合せされる前記第1のウエハの前記接合膜の一部に、前記スルーホールの前記接合面側端部の面積より小さい面積の無接合膜領域を形成し、前記陽極接合後に該無接合膜領域を分割するように、かつ、切断用の刃具の前記3枚のウエハに対するせん断力が、前記スルーホールが形成されているウエハ側から前記スルーホールが形成されていないウエハ側に向かって加わるように切断することを特徴とする圧電振動子の製造方法。 - 請求項1または請求項3に記載の圧電振動子の製造方法において、前記無接合膜領域の中心を、各圧電振動子を分離する長辺方向及び短辺方向の切断線の略交点付近とし、前記無接合膜領域の形状を、交わる2本の前記切断線それぞれに対して略対称とすることを特徴とする圧電振動子の製造方法。
- 請求項1または請求項3または請求項4のいずれかに記載の圧電振動子の製造方法において、前記無接合膜領域の形状を2つの矩形の組合せとし、かつ、2つの前記矩形の中心を一致させて、互いの長辺を略90度の角度をなす形状とすることを特徴とする圧電振動子の製造方法。
- 請求項5記載の圧電振動子の製造方法において、2つの前記矩形のそれぞれの長辺寸法を共に前記スルーホールの底面の直径よりも短くし、かつ、2つの前記矩形のそれぞれの短辺寸法を、前記陽極接合後に使用される切断用の刃具の厚みよりも長い寸法とすることを特徴とする圧電振動子の製造方法。
- 請求項6記載の圧電振動子の製造方法において、2つの前記矩形のそれぞれの前記長辺寸法を共に略400μmよりも短くし、前記短辺寸法を共に略150μmより長くすることを特徴とする圧電振動子の製造方法。
- 請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の圧電振動子の製造方法により製造されたことを特徴とする圧電振動子。
- 振動子片と、
前記振動子片の一端と接続され該振動子片を囲むように一体に形成された枠体と、
前記枠体に第1の接合膜を介して陽極接合され、前記振動子片に対向する部位に凹部を有するリッドと、
前記枠体に第2の接合膜を介して前記リッドとは反対側に陽極接合され、前記振動子片に対向する部位に凹部を有するとともに、コーナー部に外部電極が設けられたベースと、を有し、
前記第2の接合膜の前記外部電極と当接する部位の一部に、無接合膜領域が形成されていることを特徴とする圧電振動子。 - 請求項8または請求項9記載の圧電振動子を発振子として集積回路に接続して用いることを特徴とする発振器。
- 圧電振動子を発振子として集積回路に接続した発振器であって、
前記圧電振動子は、
振動子片と、
前記振動子片の一端と接続され該振動子片を囲むように一体に形成された枠体と、
前記枠体に第1の接合膜を介して陽極接合され、前記振動子片に対向する部位に凹部を有するリッドと、
前記枠体に第2の接合膜を介して前記リッドとは反対側に陽極接合され、前記振動子片に対向する部位に凹部を有するとともに、コーナー部に外部電極が設けられたベースと、を有し、
前記第2の接合膜の前記外部電極と当接する部位の一部に、無接合膜領域が形成されていることを特徴とする発振器。 - 請求項8または請求項9記載の圧電振動子を計時部に接続して用いることを特徴とする電子機器。
- 圧電振動子を計時部に接続した電子機器であって、
前記圧電振動子は、
振動子片と、
前記振動子片の一端と接続され該振動子片を囲むように一体に形成された枠体と、
前記枠体に第1の接合膜を介して陽極接合され、前記振動子片に対向する部位に凹部を有するリッドと、
前記枠体に第2の接合膜を介して前記リッドとは反対側に陽極接合され、前記振動子片に対向する部位に凹部を有するとともに、コーナー部に外部電極が設けられたベースと、を有し、
前記第2の接合膜の前記外部電極と当接する部位の一部に、無接合膜領域が形成されていることを特徴とする電子機器。 - 請求項8または請求項9記載の圧電振動子をフィルター部に接続して用いることを特徴とする電波時計。
- 圧電振動子をフィルター部に接続した電波時計であって、
前記圧電振動子は、
振動子片と、
前記振動子片の一端と接続され該振動子片を囲むように一体に形成された枠体と、
前記枠体に第1の接合膜を介して陽極接合され、前記振動子片に対向する部位に凹部を有するリッドと、
前記枠体に第2の接合膜を介して前記リッドとは反対側に陽極接合され、前記振動子片に対向する部位に凹部を有するとともに、コーナー部に外部電極が設けられたベースと、を有し、
前記第2の接合膜の前記外部電極と当接する部位の一部に、無接合膜領域が形成されていることを特徴とする電波時計。
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