JP2006177812A - 二次元分光輝度計 - Google Patents

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Abstract

【課題】 小型化、低コスト化を図り、測定時間を短縮する。
【解決手段】 二次元光源Lの光束Laを取り込み、光像(第1像2a及び第2像6a)を形成する光学系(対物光学系2やリレーレンズ6)と、光束Laの透過部位に応じて透過波長が異なる分光透過特性を有するWBPF12(透過波長変化型フィルタ)と、光像を形成する光路中にWBPF12を走査可能に保持する走査WBPF10と、WBPF12の各走査ステップ位置においてWBPF12を透過した光束Laにより形成される第2像6aを撮像し、各走査ステップ位置毎に各画素の分光感度が異なる複数の画像を取得する撮像素子7とを備える。
【選択図】 図1

Description

本発明は、測定対象である二次元光源の各画素の分光強度を得るとともに、これを輝度、色度などのインデックスの二次元分布に変換して出力する二次元分光輝度計に関する。
従来、二次元光源の輝度、色度は、フィルターを用いた三刺激値型の二次元測色計が用いられてきたが、近年各種ディスプレーやLED応用機器など単色に近い(スペクトル幅の狭い)発光スペクトルを有する面光源が増えつつあり、これらの輝度、色度を精度良く測定するという要請から、分光型の二次元輝度計の必要性が高くなっている。この分光型の二次元輝度計(二次元分光輝度計)は、以下のマルチフィルター方式、或いはスリット分散像方式をとるものが多い。
<マルチフィルター方式>
回転円板等に円環状に取り付けられた中心波長の異なる複数のバンドパスフィルター(BPF;Band Pass Filter)を対象光学系の結像光束中に順次挿入し、これら各フィルターの透過波長帯の光束による像を、結像面に置かれた二次元撮像素子によって撮像することで二次元の分光特性情報を得る輝度計測方式(例えば、特許文献1参照)。
<スリット分散像方式>
測定対象である二次元光源の対物光学系による像を、結像面に置かれたスリットによって切り出す。切り出されたスリット状の像(スリット光源)の分散光学系による波長分散像を、結像面に置かれた二次元撮像素子によって撮像する。そして、測定対象又は測定系を、スリットと直交する方向に走査して二次元の分光特性情報を得る輝度計測方式(例えば、特許文献2参照)。
特開平6−201472号公報 特開平8−50057号公報
波長分解能より空間分解能が遙かに高い人間の眼との互換性という観点では、マルチフィルター方式に合理性があるものの、この場合、結像光束をカバーするサイズのバンドパスフィルターが波長毎に必要となり、また、それらを順次光路に挿入する機構も大きくなる。一方、スリット分散像方式では、測定対象又は測定系を所要の画像分解能で走査するための機構が必要となる。この場合、測定対象又は測定系のいずれを走査するにせよ、大きな負荷を必要な空間分解能により走査することになる。このように、いずれの方式も、装置の大型化、コストアップが避けられず、また、走査時間、即ち測定時間が長くなるといった問題がある。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、小型化、低コスト化を図ることができるとともに、測定時間が短縮され、ひいては使い易い二次元分光輝度計を提供することを目的とする。
本発明の請求項1に係る二次元分光輝度計は、測定対象からの光を取り込み光像を形成する光学系と、前記光の透過部位に応じて透過波長が異なる分光透過特性を有する透過波長変化型フィルタと、前記光像を形成する光路中に、透過波長変化型フィルタを走査可能に保持する走査手段と、前記透過波長変化型フィルタの各走査位置において該透過波長変化型フィルタを透過した光により形成される前記光像を撮像し、各走査位置毎に各画素の分光感度が異なる複数の画像を取得する撮像手段とを備えることを特徴とする。
上記構成によれば、光学系によって測定対象からの光が取り込まれて光像が形成され、透過波長変化型フィルタは光の透過部位に応じて透過波長が異なる分光透過特性を有しており、走査手段によって、光像を形成する光路中に当該透過波長変化型フィルタが走査可能に保持される。そして、撮像手段によって、透過波長変化型フィルタの各走査位置において該透過波長変化型フィルタを透過した光により形成される光像が撮像され、各走査位置毎に各画素の分光感度が異なる複数の画像が取得される。
このように、各走査位置毎に各画素の分光感度が異なる複数の画像が取得される、すなわち、各走査位置において撮像手段によって取得される各画像の各画素は、同じ透過波長つまり同じ分光特性の光ではなく、透過部位(各走査位置)に応じて異なる分光特性の光によってつくられることから、1個の透過波長変化型フィルタを走査することで各画素の必要な波長域の分光特性情報を得る、すなわち1個の透過波長変化型フィルタを用いて異なる分光感度を有する複数の画像を得ることが可能となる。これにより、必要なフィルタの個数が大幅に削減され、これに伴って走査手段の負荷、或いは移動距離(走査距離)が小さくなるため、二次元分光輝度計の小型化、低コスト化を図ることができるとともに、測定時間を短縮でき、ひいては使い易い二次元分光輝度計を実現することができる。
請求項2に係る二次元分光輝度計は、請求項1において、前記走査手段は、前記光路を形成する光に対し、透過波長変化型フィルタを光像の像面内の一方向に沿って移動させることで前記走査を行うことを特徴とする。この構成によれば、走査手段によって、光路を形成する光に対して透過波長変化型フィルタが光像の像面内の一方向に沿って移動されることで走査が行われるため、透過波長変化型フィルタを用いて異なる分光感度を有する複数の画像を得ることを、透過波長変化型フィルタを光像の像面内の一方向に沿って移動させるといった簡易な構成で実現することができ、且つ走査時間(測定時間)のさらなる短縮を図ることができる。
請求項3に係る二次元分光輝度計は、請求項1又は2において、前記光学系は、測定対象からの光を取り込み第1の光像を形成する対物光学系と、該第1の光像をリレーして第2の光像を形成するリレー光学系とを備えたものであって、前記透過波長変化型フィルタは第1の光像の像面近傍に配置され、前記撮像手段は第2の光像の像面に配置されることを特徴とする。この構成によれば、透過波長変化型フィルタが、対物光学系による第1の光像の像面近傍に配置され、撮像手段が、リレー光学系による第2の光像の像面に配置されるため、透過波長変化型フィルタを撮像手段から分離(離間)させることが可能となり、透過波長変化型フィルタと撮像手段との面間反射による迷光を抑えることができるとともに、透過波長変化型フィルタとの干渉を配慮することなく撮像手段を構成することができる。
請求項4に係る二次元分光輝度計は、請求項1〜3のいずれかにおいて、前記透過波長変化型フィルタは、該透過波長変化型フィルタの走査方向における左右側又はいずれか一方側に、前記撮像手段における光像の撮像域を遮光するための遮光部を備えることを特徴とする。この構成によれば、透過波長変化型フィルタの走査方向における左右側又はいずれか一方側に、撮像手段における光像の撮像域を遮光するための遮光部が備えられているため、走査手段によって透過波長変化型フィルタを走査するのと同時に、この透過波長変化型フィルタに備えた遮光部により遮光(遮蔽)された各画素情報を暗画像として取り込むことが可能となり、別途、暗画像補正を行なうための遮光手段及びこの遮光手段を走査するための走査手段を備えることなく、装置の簡素化を図ることができる。
請求項5に係る二次元分光輝度計は、請求項1〜4のいずれかにおいて、前記透過波長変化型フィルタは、該透過波長変化型フィルタの各部位の中心波長が走査方向に沿って連続的に変化するウェッジバンドパスフィルタであることを特徴とする。この構成によれば、透過波長変化型フィルタは、各部位の中心波長が走査方向に沿って連続的に変化するウェッジバンドパスフィルタであるため、走査方向にフィルタを移動させることで、異なる分光感度を有する複数の画像を得るという構成を当該ウェッジバンドパスフィルタを用いて容易に実現することができる。
請求項6に係る二次元分光輝度計は、請求項5において、前記各走査位置において撮像手段により取得される各画像は、前記ウェッジバンドパスフィルタの走査方向に沿って連続的に変化する中心波長に対応して該画像の各画素列毎に異なる透過波長の情報を有したものであることを特徴とする。この構成によれば、各走査位置毎に取得される各画像は、該画像の各画素列毎に異なる透過波長の情報を有したものであるため、(行及び列の両方ではなく)画素列においてのみ変化する透過波長の情報に基づいた、より簡易(効率的)な演算方法によって分光感度の異なる画像を求めることが可能となり、ひいては当該演算処理の高速化を図ることができる。
請求項1記載の発明によれば、各走査位置において撮像手段によって取得される各画像の各画素は、同じ透過波長つまり同じ分光特性の光ではなく、透過部位(各走査位置)に応じて異なる分光特性の光によってつくられることから、1個の透過波長変化型フィルタを走査することで各画素の必要な波長域の分光特性情報を得る、すなわち1個の透過波長変化型フィルタを用いて異なる分光感度を有する複数の画像を得ることが可能となる。これにより、必要なフィルタの個数が大幅に削減され、これに伴って走査手段の負荷、或いは移動距離(走査距離)が小さくなるため、二次元分光輝度計の小型化、低コスト化を図ることができるとともに、測定時間を短縮でき、ひいては使い易い二次元分光輝度計を実現することができる。
請求項2記載の発明によれば、透過波長変化型フィルタを用いて異なる分光感度を有する複数の画像を得ることを、透過波長変化型フィルタを光像の像面内の一方向に沿って移動させるといった簡易な構成で実現することができ、且つ走査時間(測定時間)のさらなる短縮を図ることができる。
請求項3記載の発明によれば、透過波長変化型フィルタを撮像手段から分離(離間)させることが可能となり、透過波長変化型フィルタと撮像手段との面間反射による迷光を抑えることができるとともに、透過波長変化型フィルタとの干渉を配慮することなく撮像手段を構成することができる。
請求項4記載の発明によれば、走査手段によって透過波長変化型フィルタを走査するのと同時に、この透過波長変化型フィルタに備えた遮光部により遮光(遮蔽)された各画素情報を暗画像として取り込むことが可能となり、別途、暗画像補正を行なうための遮光手段及びこの遮光手段を走査するための走査手段を備えることなく、装置の簡素化を図ることができる。
請求項5記載の発明によれば、走査方向にフィルタを移動させることで、異なる分光感度を有する複数の画像を得るという構成を当該ウェッジバンドパスフィルタを用いて容易に実現することができる。
請求項6記載の発明によれば、画素列においてのみ変化する透過波長の情報に基づいた、より簡易(効率的)な演算方法によって分光感度の異なる画像を求めることが可能となり、ひいては当該演算処理の高速化を図ることができる。
以下、図面に基づいて、本発明の実施形態につき説明する。
(二次元分光輝度計の全体的な説明)
図1は、本発明に係る二次元分光輝度計1の一例を示す概略構造図である。二次元分光輝度計1は、対物光学系2、副透過帯除去フィルタ3、第1コンデンサーレンズ4、第2コンデンサーレンズ5、リレーレンズ6、撮像素子7、画像信号処理部8、主制御部9、及び走査ウェッジバンドパスフィルタ10を備えて構成されている。対物光学系2は、測定対象である二次元光源Lからの光束Laを入射させ、第1像面2bに第1像2aを作る光学レンズ(レンズ群)である。副透過帯除去フィルタ3は、後述のWBPF12の副透過帯透過光を除去するフィルターである。具体的には、このWBPF12は入射光の中心波長の1/2倍及び2倍の波長位置に副透過帯を有するものとされている(例えば、中心波長を約400nmとすると、約200nm及び800nmの波長位置に副透過帯を有している)が、副透過帯除去フィルタ3は、このような副透過帯を有したWBPF12に対する、例えば約380nm以下及び720nm以上の波長の光を遮断することで当該副透過帯透過光の除去を行う。副透過帯除去フィルタ3は、第1コンデンサーレンズ4の前方に配置されている。
第1コンデンサーレンズ4及び第2コンデンサーレンズ5は、光束Laを絞る、即ち集光(集束)するためのレンズである。第1コンデンサーレンズ4は、対物光学系2からの光束LaがWBPF12に対して発散するのを防ぎ、対物光学系2からの光束Laを第1像面2bに集光させる。第2コンデンサーレンズ5も同様に、WBPF12を透過した光束Laをリレーレンズ6に集光させる。
リレーレンズ6は、第1像2aを作った光束La(光像)を撮像素子7へ向けて等倍でリレーするレンズであり、第2像面6bにおいて第2像6aをつくる。ところで、第1コンデンサーレンズ4の焦点は、対物光学系2の後方主点近傍にあり、対物光学系2から射出して第1像2aの各画素をつくって収束する光束Laの主光線を、入射部位に拘わらず光軸と略平行(平行光束)にして、後述のWBPF12(干渉BPF)がもつ中心波長の入射角依存性の影響を抑制している。また、第2コンデンサーレンズ5の焦点はリレーレンズ6の前方主点近傍にあり、WBPF12を通過した光束Laを有効にリレーレンズ6に入射させる。
撮像素子7は、第2像面6bに配置され、すなわち該撮像素子7の撮像面(受光面)が第2像面6bと重なる位置となるよう配置され、第2像6aを作る光束Laを受光(結像)して該第2像6aを撮像するものである。撮像素子7は、例えば1000×1000画素で約7.4mm角(1辺が7.4mm)の2次元の撮像域(撮像面)を有しており、撮像域に光束Laが結像されると、当該撮像域における約7.4μm角の画素毎に電気信号に変換(光電変換)し、画像信号処理部8へこの画像信号を出力する。
画像信号処理部8は、撮像素子7から送出される画像信号に対して所定の信号処理(アナログ信号処理及びデジタル信号処理)を施すものである。画像信号処理部8は、アナログ信号からデジタル信号へA/D変換を行う機能を備えており、当該デジタル信号を主制御部9へ送信する。
主制御部9は、各制御プログラム等を記憶するROM(Read Only Memory)、演算処理や制御処理用のデータを格納するRAM(Random Access Memory)、及び当該制御プログラム等をROMから読み出して実行するCPU(中央演算処理装置)等からなり、二次元分光輝度計1全体の動作制御を司るものである。
主制御部9は、後述の走査WBPF10による各走査ステップに応じて撮像素子7により撮像された画像(画素列毎に異なる透過波長情報を有する画像)を画像信号処理部8を介して分光感度が異なる複数の画像として取り込み、上記RAM等に予め記憶しておいた後述のレスポンス画像情報や所定の係数(例えば校正係数や重価係数)等の情報に基づいて、当該画像に対する迷光補正や輝度補正を行なったり、後述の三刺激値を求めるといった各種演算処理を行う機能も備えている。なお、主制御部9は、取り込んだ各画像を記憶しておくための専用の記憶部(例えば画像メモリ)を別途備えていてもよい。
走査ウェッジバンドパスフィルタ(Wedge Band Pass Filter:WBPF)10は、波長(WBPF12の中心波長)の異なる単色光(分光透過光)を取り出すものである。走査WBPF10は、該走査WBPF10における後述のWBPF12(フィルター保持板11)を、各レンズの光軸に対して垂直方向(x方向)に所定距離ずつ複数の走査ステップで順に移動(スライド移動)させることで、相対的にWBPF12を光束Laによって走査するようにして当該波長の異なる単色光を取り出す。なお、走査WBPF10は、第1像面2b近傍(走査WBPF10の入射面が第1像面2bと重なる位置となる場合も含む)に配置される構成となっている。また、走査WBPF10による「走査」とは、(位置固定された)光束Laに対して、上記WBPF12(フィルター保持板11)を走査方向(x方向)に沿って移動させる動作を示すものとする。走査WBPF10の詳細については後述する。
二次元光源Lから放射された光束Laは、対物光学系2に入射し、副透過帯除去フィルタ3を通って副透過帯透過光が除去された後、第1コンデンサーレンズ4によって走査WBPF10(WBPF12)に集光され第1像面2bに第1像2aを形成(結像)する。第1像2aを形成した光束Laは、走査WBPF10(WBPF12)を通って分光され、この分光された光束Laは 第2コンデンサーレンズ5を通ってリレーレンズ6に入り、リレーレンズ6によって(光束Laによる第1像2aが)等倍でリレーされ、第2像面6bに第2像6aを形成する。そして、この第2像6aが撮像素子7によって撮像され、この撮影画像(信号)は、画像信号処理部8に送信されてA/D変換等の信号処理が施された後、主制御部9へ送信される。そして、主制御部9において当該撮影画像から迷光画像を除去するといったことに関する各種演算処理が行われる。
ここで、図2を用いて走査WBPF10について詳述する。図2に示すように、走査WBPF10は、フィルター保持板11、WBPF12及び走査駆動部13を備えて構成されている。フィルター保持板11は、WBPF12を保持するためものである。フィルター保持板11は外形が略長方形状の板状体(WBPF12の枠体)であり、その略中央部には開口部111が形成されている。この開口部111は、例えばx方向(走査方向)に約20mm、これと直交するy方向に約9mmの長さ(縁)を有したサイズに形成さており、この開口部111に、WBPF12が嵌合されるなどして設けられている。WBPF12内に図示された点線枠は、撮像素子7に結像させるための光束Laが通過する箇所(この箇所は位置固定されている)、すなわち、上記WBPF12上に結像される第1像2aを示しており、この点線枠のサイズ及び形状は、撮像素子7の撮像面に対応した、例えば上記約7.4mm角の正方形状となっている。
フィルター保持板11は、x方向における開口部111を挟んだその両端部(左右端部)の領域に、第1遮光部112及び第2遮光部113を備えている。これら第1及び第2遮光部112、113は、少なくとも上記点線枠に示す第1像2aのサイズを有しており、フィルター保持板11のx方向における移動によって、第1遮光部112又は第2遮光部113が第1像2a(撮像域)の位置にきた場合には、当該遮光部により撮像素子7に対する光束Laの遮光(遮蔽)が行われる構成となっている。このように、フィルター保持板11に第1及び第2遮光部112、113が併設されていることで、フィルター保持板11が撮像素子7に対する遮光を行うための所謂シャッターとしての機能を兼ね備えることになる(これによりシャッターを別途設けなくともよく、構成の簡易化が図れる)。
WBPF12は、走査方向において異なった中心波長を有する透過光を得るためのフィルタである。具体的には、WBPF12は、WBPF12の各部位(座標(x、y)の位置)における透過光の中心波長λ(中心波長λc(x、y))が、y方向に沿って一定で、且つx方向に沿って約17nm/mmで連続的に(滑らかに)変化する所謂干渉バンドパスフィルタ(BPF)である。WBPF12の中心波長は、x座標を後述の走査ステップ毎の移動幅d(=0.296mm)を用いて表現すると、x=0〜64d(0〜18.9mm)の走査範囲において約390〜710nmまで連続的に変化する。このように部位に応じて中心波長の異なるWBPF12は、例えば図3に示すWBPF12のように、走査方向(x方向)に膜厚が(直線的に)変化する所謂楔型の干渉フィルターとされている。
走査駆動部13は、フィルター保持板11を走査方向(x方向)に沿って移動させることで、光束La(第1像2a)に対する、WBPF12並びに第1及び第2遮光部112、113の走査(走査駆動)を行うものである。走査駆動部13は、ステッピングモータ14、回転軸15、連結部材16及び駆動回路17を備えて構成されている。ステッピングモータ14は、回転軸15を回転駆動させるモータであり、パルス信号(デジタル信号)が入力されるごとに所定の回転速度で一定角度ずつ回転する。連結部材16は、回転軸15とフィルター保持板11とを平行移動可能に連結するためのものであり、フィルター保持板11に対して固設されている。ここでは、連結部材16は、例えば第1遮光部112側の一端部においてフィルター保持板11と一体的に設けられている。なお、連結部材16は、フィルター保持板11がx方向に移動(走査)可能となるのであれば、フィルター保持板11に対する任意の位置(例えば第2遮光部113側でもよい)及び任意の構成で設けられてもよい。
回転軸15は、連結部材16と連結した状態で該連結部材16を移動させるもの(軸体)であり、例えばその全長に亘って螺子部が形成されてなり、これによって連結部材16と螺合されている。回転軸15は、ステッピングモータ14の回転軸をなすものであり、ステッピングモータ14の回転駆動に応じて回転することで連結部材16を走査方向(x方向)に移動させる構成となっている。駆動回路17は、ステッピングモータ14の駆動を制御するものであり、ステッピングモータに応じたパルス信号を出力して、ステッピングモータ14の回転駆動(回転角度、回転速度)を制御する。なお、駆動回路17によるステッピングモータ14の回転駆動制御は、主制御部9からの走査駆動制御指示信号に基づいて行われる。
このように走査駆動部13は、主制御部9の走査駆動制御指示に応じて、駆動回路17によりステッピングモータ14を駆動させ、回転軸15及び連結部材16を介してフィルター保持板11をx方向(正方向又は負方向)に移動させる。ただし、この移動による走査は、WBPF12の中心波長5nmピッチに相当する約0.296mm(上述したWBPF12の中心波長が約17nm/mmで変化することに基づき算出)の移動幅を有する走査ステップで行われるよう制御される。
なお、当該走査駆動部13によるフィルター保持板11の移動に関し、上述したように副透過帯除去フィルタ3はWBPF12と別に設けられているため、走査駆動部13による当該移動は、WBPF12及びフィルター保持板11のみ行えばよいことから、走査駆動部13による走査負荷及び移動距離を小さくすることができるので、走査駆動部13の小型化やコスト低減、或いは走査時間(測定時間)の短縮が可能となる。
また、本実施形態では、各走査ステップにおいて、第2像6a(撮像素子7の撮像域)の各画素に順次設定される5nmピッチのBPFの分光透過特性を荷重積算して、国際照明委員会(CIE)が推奨する2°視野の等色関数x(λ)、y(λ)、z(λ)を合成するが、WBPF12の中心波長の半値幅を、合成精度が高くなる15nm程度とするため(15nmというように半値幅がある程度大きい方が合成精度が高められる)、WBPF12には1次の干渉BPFが採用されている。なお、一般的に、1次の干渉BPFは、上述したように中心波長の1/2倍及び2倍の波長域に副透過帯を有している。
次に、走査WBPF10(走査駆動部13)による実際の走査動作について説明する。
先ず、以下の説明で用いる記号をここに纏める。
x:第1像面2b及び第2像面6bの走査方向(x方向)の座標(x=0〜7.4mm)
y:第1像面2b及び第2像面6bの走査方向に直交する方向(y方向)の座標(y=0 〜7.4mm)
s:走査ステップで表したWBPF12の走査位置(s=0〜65)
i,j:第1像面2b及び第2像面6bの画素単位のx、y座標(i,j=1〜1000)
j’:WBPF12面の画素単位のx座標(j’=1〜2560)
ij:画像情報
(IijS:走査ステップsでの画像情報
上述のように、走査WBPF10におけるフィルター保持板11(WBPF12)の走査は、5nmに相当するd=40*7.4μm=0.296mm(40画素列相当)のステップ幅で行われるので、WBPF12における可視域390〜710nmの波長幅320nm(=710−390nm)は、64(=320/5)ステップの移動(64*0.296=18.9mm;64*40=2560画素列に相当)でカバーすることができる。しかしながら、撮像素子7の撮像域はx方向に1000画素列、つまり25ステップ相当の長さを有しているため、この撮像素子7の全画素(1000画素列)を、上記波長幅320nm(WBPF12)で走査するためには、すなわち、撮像域の全ての画素が全ての波長域(390〜710nm)をカバーするためには、少なくとも、この25ステップ分を含めた89(=64+25)ステップの移動(走査)が必要となる。なお、走査(移動)が開始される前の初期位置を走査ステップs=0(ゼロ)とする。
これについて図4及び図5を用いて説明する。図4は、撮像素子7の撮像域における、各走査ステップsに対応した撮影画像(露光状態)について説明する概念図である。図5は、各走査ステップsにおいて走査方向(x方向)に移動したフィルター保持板11の各部(WBPF12及び第1、第2遮光部112、113)と、撮像素子7における撮像域との位置関係について説明する概念図である。図4に示すように、走査開始前(二次元分光輝度計1による分光輝度計測開始前)には、フィルター保持板11(WBPF12)は初期位置(s=0)に位置し、この位置において、第1像面2bの撮像域(結像域)がフィルター保持板11の第1遮光部112によって遮光された(覆われた)状態となっている。この状態は、図5では符号501に示すフィルター保持板11(s=0)の位置に相当し、第1遮光部112に、撮像域T(上記j=1〜1000の画素列の幅に相当)が位置している。
走査が開始されると、走査ステップs=0の位置で、図4に示す最前面の画像401(=画像(Iij0)が撮像素子7により暗画像(ノイズ画像又はオフセット画像)として取り込まれる。続いて、走査駆動部13がフィルター保持板11をx方向における正方向に1走査ステップ(1s)だけ平行移動し(図5における符号502に示すフィルター保持板11の移動位置に相当)、当該s=1において最初の画像402(=画像(Iij1)が取り込まれる。この画像(Iij1では、該画像内の符号403に示す第1画素列(j=1)(図5における符号503に示す位置の画素列に相当)に、中心波長390nmの単色光が入射し、他の画素列(j=2〜1000)は遮光された状態となっている。
以降、1走査ステップ毎に画像が取り込まれるが、この1走査ステップ毎に中心波長390nmの単色光が入射する画素列jは、右方(x方向の正方向側)へ移動し、第1画素列(j=1)に入射する光束の波長は約5nmずつ増加する。それに伴い、第1遮光部112によって遮光された画素列は減少し、走査ステップがs=25となると、第1遮光部112は撮像域外に出る。s=25において取り込まれる画像404に示す画像(Iij25では(図5における符号504に示すフィルター保持板11の移動位置に相当)、第1〜第1000画素列(j=1〜1000)に入射する単色光の中心波長は、390nmから515nmまで連像的に変化したものとなっている。
走査ステップsが進み、s=64において取り込まれる画像405に示す画像(Iij64では(図5における符号505に示すフィルター保持板11の移動位置に相当)、第1〜第1000画素列に対応する中心波長は585nmから710nmまで変化したものとなる。次のs=65では、画像406の符号407に示す第1画素列(j=1)(前記符号403に示す第1画素列と同じ画素列;図5では符号506に示す位置の画素列に相当)が第2遮光部113によって遮光され、さらに走査ステップsが進むと、第2遮光部113による遮光域(遮光される画素列)が増加し、最終の走査ステップs=90においては(図5では符号507に示すフィルター保持板11の移動位置に相当)、画像408(画像401と同様の暗画像)に示すように全撮像域(全画素列j=1〜1000)が第2遮光部113によって遮光された状態となる。このように、走査WBPF10(走査駆動部13)によってフィルター保持板11及びWBPF12が走査方向にステップ移動され、走査ステップ毎に撮像素子7による撮影画像が取り込まれる(ただし、上記ステップs=90での撮影画像の取り込みは行われなくともよい)。
上述で説明したことからも、各走査ステップsで撮像された画像は、該画像の各画素をつくる単色光の中心波長が走査ステップsと画素のx座標とに依存しており、中心波長がx(列番号j)方向に沿って連続的に変化するとともに、y(行番号i)方向に沿っては略一定となるものとなっている。
(分光画像情報の処理)
ところで、二次元分光輝度計1は、上記各走査ステップsで取り込まれた画像(IijSから三刺激値画像を求めて出力するようになっている。一般的に、マルチバンド測色計では、異なる分光感度を適切な重価係数を乗じて積算する処理を行うことで上記CIEが推奨する2°視野の等色関数x(λ)、y(λ)、z(λ)の合成が行われるが、二次元分光輝度計1のような二次元測定器においては当該処理が各画素に対して実行される。
この画像(IijSからの三刺激値画像の算出について以下に説明する。
各走査ステップsで得られた画像(IijSを、後述の輝度軸校正で既知となっている各画素の輝度校正係数(CijSを用いて輝度画像(LijSに変換する。三刺激値を求めるために輝度画像(LijSに与える重価係数をそれぞれWxS,j、WyS,j、WzS,jとすると、三刺激値Xij、Yij、Zijは、以下の式(1-1)〜(1-3)により算出される。
ij=ΣSWxS,j*(LijS …(1-1)
ij=ΣSWyS,j*(LijS …(1-2)
ij=ΣSWzS,j*(LijS …(1-3)
一般的に、マルチフィルター方式(背景技術参照)による分光輝度計測では、1つの画像における全画素に同じ波長帯の光束が入射するため、全画素に同じ重価係数が適用されるのに対し、本実施形態の方式では、走査ステップs毎、画素列毎に入射光の透過波長帯が異なるため、これに伴って各画素に対する重価係数も異なるものとなる。
なお、上記輝度校正係数(CijSと重価係数WxS,j、WyS,j、WzS,jとから、各走査ステップにおける取得画像の画素毎の重価係数WxS,ij、WyS,ij、WzS,ijを予め求めておき、以下の式(2-1)〜(2-3)によって三刺激値Xij、Yij、Zijを算出することも可能である。これによって、当該三刺激値の算出に対する演算時間のさらなる短縮を図ることができる。
ij=ΣSWxS,ij*(IijS …(2-1)
ij=ΣSWyS,ij*(IijS …(2-2)
ij=ΣSWzS,ij*(IijS …(2-3)
前記積算は走査ステップ毎に行われ、走査終了時に三刺激値画像が得られる。この三刺激値画像は、主制御部9(RAM等)に保存(記憶)される。なお、この方法は、上記5nmピッチによる撮像により取得した89個(図4に示す走査ステップs=1〜89での撮影画像)の単色光画像を全て保存しておき、走査終了後に纏めて三刺激値画像へ変換する方法に比べ、必要なデータ記憶容量を大幅に低減することができる。
図11は、二次元分光輝度計1による三刺激値画像の測定に関する動作の一例を示すフローチャートである。先ず、主制御部9(走査駆動部13)によって走査WBPF10(フィルター保持板11)が初期位置(s=0)にセット(移動)される(ステップS1)とともに、三刺激値Xij、Yij、Zijの初期値が0に設定され(ステップS2)、当該s=0において撮像素子7の撮像域が遮光された状態で暗画像(Ii,j0が画像信号処理部8を介して主制御部9に取り込まれる(ステップS3)。次に、同様に走査WBPF10(フィルター保持板11)が1走査ステップ分だけ移動され(ステップS4)、このs=1における画像(IijSが取り込まれる(ステップS5)。そして、主制御部9によって、この取り込まれた画像(IijSに対し、上記ステップS3において取り込まれた暗画像(Iij0を用いた暗画像補正((IijS=(IijS−(Iij0)が行われ(ステップS6)、さらに、この暗画像補正が行われた画像(IijSに対し、(後述の輝度軸校正で算出され保存されている)輝度校正係数(CijSを用いた輝度補正((LijS=(CijS*(IijSが行われて輝度画像(LijSに変換される(ステップS7)。
そして、この輝度画像(LijSに対し、走査ステップs毎に、撮影画像の画素列毎に異なる各刺激値の重価係数WxS,j、WyS,j、WzS,jが乗算されて積算される(Xij=Xij+WxS,j*(LijS、Yij=Yij+WyS,j*(LijS、Zij=Zij+WzS,j*(LijS)(ステップS8)。主制御部9によって走査ステップsが89より大きくないと判別された場合には(ステップS9のNO)、上記ステップS4に戻って、さらに1走査ステップ分だけ移動され次の走査ステップsに対するステップS5〜S8の動作が繰り返される。ただし、この繰り返しにおけるステップS8では、前回の走査ステップにおいて得られた三刺激値Xij、Yij、Zijに対する更なる積算(積算値の更新)が行われる。走査ステップsが89より大きいと判別された場合には(ステップS9のYES)、当該全走査ステップsに亘って積算されて得られた三刺激値画像(Xij、Yij、Zij)が所定のデータ記憶部(主制御部9のRAM等)に記憶され(ステップS10)、フロー終了となる。
なお、上記フローチャートに示す実施形態では、取り込んだ画像(IijSに対して後述の迷光補正を行っていないが、この迷光補正を行わない場合においても、各走査ステップs毎の画像(IijSを記憶しておき、各画素の輝度校正係数(CijSを用いて輝度画像(LijSに変換した後(後述の式(6-1))、後述の波長軸校正において既知となっている各画素列jの相対分光感度SS,j(λ)を用い、公知の演算処理によって後述の分光輝度画像Lij(λ)を求めてもよい。
ところで、二次元分光輝度計1では、予め(例えば出荷時に)WBPF12に対する波長軸校正及び輝度軸校正を行い、この校正により求めた例えば上記の感度校正係数(CijSといった演算用データを主制御部9(RAM等)に設定(記憶)しておき、実際の分光輝度計測時には、当該演算用データを用いて、撮影画像(観察画像)を輝度画像に変換(輝度補正)するといったことが行われる。以下、この波長軸校正及び輝度軸校正について説明する。
<波長軸校正>
WBPF12に対する波長軸の校正は、例えば図6に示す校正システム30を用いて参照強度Mλを求め、この参照強度Mλに基づいて二次元分光輝度計1での各走査ステップsにおける各画素列jの分光感度を求めることによって実施される。すなわち、校正システム30において、基準単波長光源31は、制御用PC(パーソナルコンピュータ)32によって制御され、例えば2nmピッチで350から750nmまで、合計201個の十分狭い半値幅の単波長光束31aを、積分球33の入射開口331に出力する。この単波長光束31aは、積分球33内で多重拡散反射して、積分球33の出力開口332に均一輝度面をつくる。校正が行われる二次元分光輝度計1としての被校正二次元分光輝度計34は、この均一輝度面を測定することで、単波長光束31a毎の画像情報(単波長画像)を取得し、これを制御用PC32に送信(出力)する。各単波長光束31aに対する上記均一輝度面は、スポット型の基準分光輝度計35によっても測定されており、この基準分光輝度計35の測定によって得られた参照強度Mλの情報は、制御用PC32に送信される。なお、校正システム30の符号36に示すものは、後述の輝度軸校正において、基準単波長光源31の単波長光束31aの代わりに積分球33へ入射させる白色光の光束36aを出力する白色光源(白色光源36)であり、この波長軸校正においては使用されない(この場合、白色光源36や積分球33の入射開口333は備えてなくともよい)。
ところで上記図4、5で説明したように、WBPF12の走査方向の有効域は2560画素列(j’=1〜2560)に相当し、1000画素列(j=1〜1000)をもつ撮像素子7の撮像域よりも大きいサイズであるため、1つの走査ステップ位置での撮像によってWBPF12の全有効域を測定することはできない。したがって、上記基準単波長光源31からの単波長光束31a(均一輝度面からの光束)による走査を、走査ステップs=25、45及び65の3つの走査ステップ位置で行うことで、当該WBPF12の全有効域における分光感度を(画素毎に)求めるようにしている。
まず、被校正二次元分光輝度計34において、WBPF12(フィルター保持板11)を走査ステップs=25の位置で固定して基準単波長光源31を波長走査し、撮像した201個の単波長画像の各画素列の積算値を上記参照強度Mλで基準化して、WBPF12における、上記撮像域の1000の画素列(j=1〜1000)に相当する画素列j’=1〜1000の範囲の相対分光感度を求める。同様に、走査ステップs=45及び65の位置で固定して波長走査した単波長画像群の画素列積算値から、それぞれWBPF12の画素列j’=801〜1800及びj’=1601〜2560に相当する範囲の相対分光感度を求める。そして、これらs=25、45、65の各走査ステップ位置での相対分光感度から、WBPF12の全有効域の画素列(j’=1〜2560)に対する2nmのピッチの相対分光感度Sj'(λ)を求める。ただし、s=25、45、65それぞれの場合の画素列範囲、つまり上記画素列j’=1〜1000、801〜1800、1601〜2560から、1つの全有効域の画素列(j’=1〜2560)における相対分光感度を作成する場合、これら各範囲に互いに(約1/3ずつ)重なる領域が存在するが、当該重なり合っている領域の2つのデータ(相対分光感度情報)は、その何れのデータを採用してもよい。
測定時の走査ステップs位置における撮像素子7(撮像域)の各画素列jの相対分光感度SS,j(λ)は、図7に示すように、上述のように求めたWBPF12の全有効域の2560画素列の相対分光感度Sj'(λ)を、各走査ステップs位置に応じて平行移動させたSj'(λ)(ただし、j’=40*s−j+1)として与えられる。なお、図7の符号701、702、703…に示す相対分光感度波形は、それぞれ上記平行移動させて得られた各走査ステップsに対するものであり、各相対分光感度波形701、702、703…それぞれの間は、1走査ステップに相当する40画素分の間隔となっている。また、符号704に示す横軸は同一のものであり、中心波長350nm〜750nmにおける低波長域、中波長域及び高波長域の各相対分光感度波形を明示するべく、各グラフ710〜730を縦に並べて表している。ただし、画素列方向(y方向)では同じ分光感度(分光透過率)であるので、この画素列方向において平均化したものをその画素列の(相対)分光感度としている。
なお、上記式(1-1)〜(1-3)で用いられる画素列jの走査ステップ位置sに対する重価係数WxS,j、WyS,j、WzS,jは、相対分光感度SS,j(λ)を用いて、以下の式(3-1)〜(3-3)により算出される合成分光感度xj(λ)、yj(λ)、zj(λ)と、
j(λ)=ΣSWxS,j*SS,j(λ) …(3-1)
j(λ)=ΣSWyS,j*SS,j(λ) …(3-2)
j(λ)=ΣSWzS,j*SS,j(λ) …(3-3)
等色関数理論値x(λ)、y(λ)、z(λ)とによる、以下の式(4-1)〜(4-3)に示す波長毎の誤差の自乗和Exj、Eyj、Ezjが最小となる重価係数WxS,j、WyS,j、WzS,jとして求められる。
Exj=Σλ[xj(λ)−x(λ)]2 …(4-1)
Eyj=Σλ[yj(λ)−y(λ)]2 …(4-2)
Ezj=Σλ[zj(λ)−z(λ)]2 …(4-3)
図12は、波長軸校正に関する動作の一例を示すフローチャートである。先ず、積分球33がつくる均一輝度面に対向配置された被校正二次元分光輝度計34の走査WBPF10(フィルター保持板11)が初期位置(s=0)にセット(移動)され(ステップS21)、撮像素子7の撮像域が遮光された状態で暗画像(Iij0が取り込まれる(ステップS22)。次に、走査WBPF10がs=25の位置まで移動され(ステップS23、S24)、基準単波長光源31(又は制御用PC34)によって基準単波長(中心波長λ)が所定の初期値(例えば348nm)にセットされる(ステップS25)。そして、基準単波長光源31から上記初期セットされた中心波長λよりも2nm大きな中心波長を有する単波長光が出力され(ステップS26)、このステップS26において出力された中心波長λに対応する積分球33の均一輝度面の画像(IijS,λが取り込まれる(ステップS27)。
一方、スポット型の基準分光輝度計35により参照強度Mλが測定され(ステップS28)。そして、上記ステップS27において取り込まれた画像(IijS,λが、暗画像(Iij0を用いて暗画像補正((IijS,λ=(IijS,λ−(Iij0)され(ステップS29)、さらに、上記ステップS28において得られた参照強度Mλを用いて基準化((IijS,λ=(IijS,λ/Mλ)されて記憶される(ステップS30)。基準単波長光源31から出力される単色光の中心波長λが750nmより大きくない場合には(ステップS31のNO)、上記ステップS26に戻って、さらに2nm増加されて基準単波長光源31から出力された次の中心波長λの単色光に対する上記画像を取り込み、参照強度Mλの測定(検出)、暗画像補正及び基準化処理が行われる。このようにして、中心波長350nmから750nmに亘って2nmピッチで増加された単波長光が順次出力され、この単波長光に対する上記ステップS27〜S30の各動作が繰り返される。
基準単波長光源31から出力される中心波長λが750nmより大きい場合(ステップS31のYES)、次に、走査ステップsが65より大きくなければ(ステップS32のNO)、上記ステップS24に戻って、走査WBPF10(フィルター保持板11)を現在の走査ステップs位置からさらに走査ステップを「20」だけ走査方向(x方向の正方向)に移動させ、つまり最初のステップS24における走査ステップs=25の位置から走査ステップs=45の位置まで順に移動させ、2nmピッチで出力される中心波長λが350nmから750nmに至るまで上記ステップS26〜S30の動作が繰り返される。同様にして、さらに20走査ステップ分だけ移動された走査ステップs=65に対して上記ステップS26〜S30の動作が繰り返され、その結果、上記ステップS30において基準化された各走査ステップ25、45及び65に対する画像(Iij25,λ、(Iij45,λ及び(Iij65,λが得られて記憶される。
上記ステップS32において走査ステップsが65より大きくなった場合(ステップS32のYES)、すなわち測定終了後、上記記憶された画像(Iij25,λ、(Iij45,λ及び(Iij65,λから、WBPF12の全有効域の画素列(j’=1〜2560)に対する分光感度画像(Iij')λが算出される(ステップS33)。そして、さらに分光感度画像(Iij')λが画素行iについて積算され((Ij')λ=Σi(Iij')λ)、全画素列j’の分光感度画像(Ij')λが求められて保存される(ステップS34)。
<輝度軸校正>
次に、輝度軸校正について説明する。上述の波長軸校正によって校正されるのは、各走査ステップ位置での各画素列jの相対的な分光感度(相対分光感度)であるため(絶対的な輝度としての校正はなされておらず、感度ムラが補正されていないので)、ここで輝度軸(感度軸)の校正を行う。この輝度軸校正は、例えば上記図6に示す校正システム30を利用して行なわれる。ただし、波長軸校正の場合の基準単波長光源31に代えて、A光源などの白色光源36の光束を積分球33に入射させて出力開口332に均一輝度面をつくり、被校正二次元分光輝度計34でこの均一輝度面を測定する。この均一輝度面は、同時に基準分光輝度計35で測定され、参照分光輝度L0(λ)が求められる。
そして、相対分光感度SS,j(λ)を有する走査ステップsにおける画素列jの画素Pijが、参照分光輝度L0(λ)の光源を測定したときに得られるべき出力ΣλL0(λ)*SS,j(λ)と、上記輝度軸校正において実測により得られた出力(IijSとを用いて、走査ステップsでの画素Pijの感度校正係数(CijSが、以下の式(5-1)によって求められる。
(CijS=[ΣλL0(λ)*SS,j(λ)]/(IijS …(5-1)
二次元分光輝度計1による実際の測定(分光輝度計測)時には、この感度校正係数(CijSを用い、被測定対象となる二次元光源Lに対する走査ステップsでの画素Pijの出力(IijSを、以下の式(6-1)により輝度画像(LijSに変換して出力する。
(LijS=(CijS*(IijS …(6-1)
(迷光補正)
ところで、WBPF12は多層膜干渉フィルタであり、一般的に、透過波長帯以外の波長域における成分の光が反射されてしまう。このWBPF12で反射された成分は、さらに光学系のレンズ面やハウジング内面で反射され、所謂「迷光」となってWBPF12に再入射する。この入射位置の透過波長帯の成分はWBPF12を透過して撮像素子7に到達し、透過しない再入射光は再び入射され、上記過程を繰り返す。このようにして撮像素子7に到達した迷光による迷光画像は、本来の観察画像に重畳して観察画像の精度を劣化させてしまう。そこで、この観察画像(上述した各走査ステップsで取り込んだ画像(IijS)に対する当該迷光画像の影響をなくすべく、以下に述べるように、迷光補正を行ってもよい。
以下の迷光補正に関する説明に用いる記号を以下に整理しておく。
m,n:被測定光の第1像面2b及び第2像面6b入射位置の画素単位の座標(m,n =1〜1000)
I,J:第1像面2b及び第2像面6bの40×40画素のビニングをした画素セット座標(I,J=1〜25)
M,N:被測定光の第1像面2b及び第2像面6b入射位置の画素セット座標(M,N=1〜25)
ij(λ)或いはRIJ(λ):迷光画像が重畳されていない実画像(迷光が除去された画像)
R’ij(λ):実画像Rij(λ)の近似画像
ij(λ)或いはBIJ(λ):迷光画像
ij(λ)或いはOIJ(λ):迷光画像が重畳された観察画像(実際に測定される画像)、つまりOij(λ)=Rij(λ)+Bij(λ)或いはOIJ(λ)=RIJ(λ)+BIJ(λ)
(Fmnij(λ)或いは(FMNIJ(λ):レスポンス画像、画素Pmn或いは画素セットPMNに入射した単位強度の入射光によって得られる画像
IJ(λ):実画像に近似するべく推定される補正画像
O’IJ(λ):補正画像とレスポンス画像とから算出される擬似観察画像
図8に、上記実画像Rij(λ)、観察画像Oij(λ)及び迷光画像Bij(λ)の強度分布の一例を示す。ただし、この強度分布はj座標(x方向)に沿ったものである。同図に示すように、観察画像Oij(λ)は、実画像Rij(λ)に迷光画像Bij(λ)が重畳されたものとなっている。ただし、非結像であるこの迷光画像Bij(λ)の分布はなだらかであり(略一様であり)、その空間周波数は、結像によって得られる実画像Rij(λ)と比べて遙かに低いレベルとなっている。
(レスポンス画像)
ここで、上記レスポンス画像について説明する。
測定域、すなわち被測定光の第1像面2b及び第2像面6bにおける特定画素Pmnに入射する単位強度の光束(結像光束)が、撮像素子7の撮像域における全画素Pij上につくる画像のことを、レスポンス画像(Fmnijとする。このレスポンス画像(Fmnijは、入射位置の座標(m、n)に結像する点光源が、上記「迷光」の影響も含み、(i、j)という画像全体にどのような影響を与えるかということを示す関数であるとも言える。ところで、当該入射画素(或る1つの画素Pmn)以外の画素への入射光である迷光のレベルは、(1)結像光束が入射する部位(画素Pmn)、及び(2)迷光が入射する部位(画素Pij)に依存するとともに、(3)結像光束の波長λに依存するため(迷光が関与する反射・透過は一般に波長依存性を有するため)、上記レスポンス画像(Fmnijは、(Fmnij(λ)というように波長λの関数で表されることになる。
レスポンス画像をこのように定義すると、二次元分光輝度計1によって実際に測定(観察)される観察画像Oij(λ)は、入射画素Pmnに入射されるべき光束の強度をもつ実画像Rmn(λ)によって重み付けした当該レスポンス画像(Fmnij(λ)を、全入射画素Pmnについて積算したものとなり、以下の式(7-1)で表される。
ij(λ)=Σmn[Rmn(λ)*(Fmnij(λ)] …(7-1)
(実画像の推定)
迷光補正においては、観察画像Oij(λ)から迷光の影響を除去することで実画像Rij(λ)が得られるのであるが、ここでは、観察画像Oij(λ)から、実画像Rij(λ)を推定することにつき説明する。
当該推定される実画像Rij(λ)として、上記式(7-1)に基づいて、観察画像Oij(λ)とレスポンス画像(Fmnij(λ)とから、迷光画像の影響を除去した実画像Rij(λ)に近似する補正画像を求める。まず、実画像Rij(λ)に近似する補正画像の初期値Rij(λ)(0)をOmn(λ)としする(Rij(λ)(0)=Omn(λ))。この初期値Rij(λ)(0)とレスポンス画像(Fmnij(λ)とから算出される擬似観察画像Σmn[Rij(λ)(0)*(Fmnij(λ)]と、実観察画像Oij(λ)との差画像Σmn[Rij(λ)(0)*(Fmnij(λ)]−Oij(λ)によって初期値Rij(λ)(0)を補正することで、1次(1次近似解)の補正画像Rij(λ)(1)を求める(以下の式(8-1))。
ij(λ)(1)=Rij(λ)(0)−a*[Σmn[Rij(λ)(0)*(Fmnij(λ)]−Oij(λ)] …(8-1)
さらに、この式の右辺のRij(λ)(0)をRij(λ)(1)に置き換えて、以下の式(9-1)に示す2次の補正画像Rij(λ)(2)が求められる。
ij(λ)(2)=Rij(λ)(1)−a*[Σmn[Rij(λ)(1)*(Fmnij(λ)]−Oij(λ)] …(9-1)
そして、このような計算が繰り返され、k次の補正画像Rij(λ)(k)が、Rmn(λ)(k-1)を用いて、以下の式(10-1)で与えられる。
ij(λ)(k)=Rij(λ)(k-1)−a*[Σmn[Rij(λ)(k-1)*(Fmnij(λ)]−Oij(λ)] …(10-1)
上記式(8-1)〜(10-1)における右辺第2項の記号「a」は、漸近の特性を与える定数であり、その値は(当該漸近式が収束するよう)実験的に選択される。以上のプロセスにより、補正項である右辺第2項の画素毎の自乗和(以下の式(11-1))が許容値以下となる最初のk次補正画像Rij(λ)(k)を以て近似画像R’ij(λ)とする。ただし、このk次補正画像Rij(λ)(k)(=近似画像R’ij(λ))は、上述した実画像Rij(λ)に近似する補正画像、つまり推定された実画像Rij(λ)を示している。
(k-1)=Σij[Σmn[Rij(λ)(k-1)*(Fmnij(λ)]−Oij(λ)]2 …(11-1)
なお、迷光画像は、上記k次補正画像Rij(λ)(k)を用いて、以下の式(12-1)におけるBij(λ)で与えられる(観察画像Oij(λ)から、推定された実画像Rij(λ)(k)を減じたものが迷光画像Bij(λ)となっている)。
ij(λ)=Oij(λ)−Rij(λ)(k) …(12-1)
(実際の演算)
上述の演算を、撮像素子7のもつ106の画素について行うと、1次の演算に1012のデータが関与することになり、データ量、演算時間ともに膨大となる。そこで、まず迷光画像を求め、上記の式(12-1)を変形した以下の(13-1)を用いて、観察画像Oij(λ)から迷光画像Gij(λ)(上記迷光画像Bij(λ)に相当)を減じて近似画像R’ij(λ)を得る手法をとる。
R’ij(λ)(k)=Oij(λ)−Gij(λ) …(13-1)
この手法を用いる背景は、上記図8で説明したように、迷光画像は高い空間周波数成分を含まず、低画素数の画像情報でも十分な精度を有しており、画素数を下げる(低画素数とする)ことで画像情報量と演算時間とを大幅に低減できることにある。また、当該求めた低画素数の迷光画像を、スムージングなどの公知の処理を行い元の画素数(全画素数)の迷光画像に変換し、(全画素数を有した)観察画像からこれを減じて得られる近似画像(実画像に近似する補正画像)も十分な精度を有するものとなる。
このことから、本実施形態では、図9に示すように40×40画素をビニング(積算)して、25×25(=I×J及びM×N)の画素セットによる画像情報を用いて迷光画像を求める。すなわち、上述の画素座標(i、j)及び(m、n)(i、j、m、n=1〜1000)を、画素セット座標(I、J)及び(M、N)(I、J、M、N=1〜25)に置き換え、これに伴って、観察画像Oij(λ)、実画像Rij(λ)、レスポンス画像(Fmnij(λ)及び迷光画像Bij(λ)を、40×40画素のビニング処理を行ったOIJ(λ)、RIJ(λ)、(FMNIJ(λ)及びBIJ(λ)に置き換えて扱う。なお、各演算において当該ビニングした情報を扱うことにより、画像情報量、演算時間を例えば10-4/256に縮小・短縮し、実用レベルにまで抑えることが可能となる。
(レスポンス画像の実測)
二次元分光輝度計1による分光輝度測定での演算においては、上述したように、観察画像Oij(λ)とレスポンス画像(Fmnij(λ)とから、迷光画像の影響を除去した実画像Rij(λ)に近似する補正画像(推定された実画像Rij(λ))を求めるのであるが、この演算で用いるレスポンス画像の情報は、予め(例えば出荷時に)実測によって求めておく。以下に、このレスポンス画像の実測について説明する。
レスポンス画像の実測は、例えば図10に示す校正システム30aを用いて行う。ただし、この校正システム30aは、上記図6に示す校正システム30に対してさらにピンホール板37及び移動台38を備えたものとなっている。図10に示すように、当該レスポンス画像の実測に際しては、まず、積分球33に白色光源36の光束36aを入射させ、積分球33の出力開口332の位置(近傍)にピンホール板37を配置して点光源を形成する。この点光源からの光(白色光)を、x方向及びy方向に(矢印A方向で見た場合の図(A視)における符号39に示す各方向に)移動可能に構成された移動台38上に設置した被校正二次元分光輝度計34によって測定する。この移動台38を制御用PC32によって制御することで、点光源の像を、第1像面2b及び第2像面6bの任意の座標(画素セット座標(M、N);M=1〜25、N=1〜25)における画素セット内につくるように(例えば図9に示す或る画素セット901内の点光源P参照)、被校正二次元分光輝度計34の位置を設定(移動)することができる。ピンホール板37のピンホールから放射される白色光の分光強度は、基準分光輝度計35で測定され、当該測定によるモニター出力から相対分光強度M(λ)が得られる。
図13は、このレスポンス画像の実測に関する動作の一例を示すフローチャートである。まず、制御用PC32により移動台38の位置が制御され、点光源が初期位置、すなわち第1像面2b(又は第2像面6b)の画素セット座標(M、N)が例えばM=1、N=1の位置にセット(移動)される(ステップS41)。点光源がその画素セット座標位置にあるときに、走査WBPF10における走査駆動部13によりフィルター保持板11(WBPF12)が走査ステップs=0の初期位置にセットされ(ステップS42)、この走査ステップs=0において撮像素子7により暗画像(Iij0が撮像され、画像信号処理部8を介して主制御部9に取り込まれる(ステップS43)。次に、走査ステップsが1ステップ移動され(ステップS44)、この走査ステップsにおいて同様に画像(IijS,MNが撮像されて取り込まれ(ステップS45)、画像(IijS,MNが暗画像補正されて保存される((IijS,MN=(IijS,MN−(Iij0))(ステップS46)。
走査ステップsが89より大きくない場合には(ステップS47のNO)、上記ステップS44に戻って次の走査ステップsに移動され、走査ステップs毎に画像(IijS,MNを取り込んで、暗画像補正を施して保存する動作が繰り返される。走査ステップsが89より大きい場合には(ステップS47のYES)、この暗画像補正されて保存された画像(IijS,MNが分光強度画像(IijMN(λ)に変換され(ステップS48)、この分光強度画像(IijMN(λ)が、40×40画素のビニングによってデータ数が削減された画素セット座標(I、J)の分光強度画像(IIJMN(λ)に変換されて保存される(ステップS49)。
次に、点光源のM座標が1つ進められ(M=M+1、N=N)(ステップS50)、このMの座標値が25より大きくない場合には(ステップS51のNO)、この画素セット座標位置において、上記ステップS42に戻ってフィルター保持板11(WBPF12)が走査ステップs=0の初期位置にセットされ、同様に画像の取り込みや暗画像補正、ビニングが行なわれる。Mの座標値が25より大きな値となる場合には(ステップS51のYES)、点光源のM座標が1に戻されるとともにN座標が1つ進められる(M=1、N=N+1)(ステップS52)。このNの座標値が25より大きくない場合には(ステップS53のNO)、この画素セット座標位置において、上記ステップS42に戻って同様の動作が行なわれる。このようにして、画素セット座標(M、N)が、初期位置(1、1)から(25、25)まで順に移動され、当該各座標位置において上記ステップS42〜49の動作が繰り返される。Nの座標値が25より大きな値となり、全ての画素セット座標(M、N)への点光源の入射に対する分光強度画像(IIJMN(λ)が得られた場合には(ステップS53のYES)、スポット型の基準分光輝度計35によって点光源の相対分光強度M(λ)が測定される(ステップS54)。そして、分光強度画像(IIJMN(λ)がこの波長毎の相対分光強度M(λ)により基準化((FMNIJ(λ)=(IIJMN(λ)/M(λ))されてレスポンス画像(FMNIJ(λ)として保存され(ステップS55)、フロー終了となる。
(測定時の迷光補正)
ここで、二次元分光輝度計1の測定時に迷光補正を行なう場合の演算の一例について説明する(上記図11に示すフローチャートに示す場合の実施形態では、迷光補正を実施していないが、ここでの実施形態では、迷光補正を実施している)。当該測定時に迷光補正を行なう場合には、先ず走査WBPF10(WBPF12)の走査ステップs毎に二次元光源Lの光像を撮像して暗画像補正((IijS=(IijS−(Iij0)を行なった画像(IijSを観察画像(OijSとして保存しておく。走査終了後、この観察画像(OijSを分光画像である(波長λの関数としての)観察画像Oij(λ)に変換し、さらに観察画像Oij(λ)をビニングして40×40画素の画素セットによる観察画像OIJ(λ)に変換する。そして、上述の式(7-1)に準じ、以下の式(14-1)に示すように、当該ビニングした観察画像OIJ(λ)を補正画像QIJ(λ)と仮定し、この補正画像QIJ(λ)に対応するQMN(λ)(つまりM、N座標における入射画素セットに入射するべき光束の強度であるQMN(λ)) と、上記実測され保存されているレスポンス画像(FMNIJ(λ)とから、擬似観察画像O’IJ(λ)を算出する。
O’IJ(λ)=ΣMN[QMN(λ)*(FMNIJ(λ)] …(14-1)
次に、以下の式(15-1)に示すように、擬似観察画像O’IJ(λ)と観察画像OIJ(λ)との差[O’IJ(λ)−OIJ(λ)]によって補正画像QIJ(λ)を再補正し、これを新たに補正画像QIJ(λ)とする。
IJ(λ)=QIJ(λ)−a*[O’IJ(λ)−OIJ(λ)] …(15-1)
そして、以下の式(16-1)に示す擬似観察画像O’IJ(λ)と観察画像OIJ(λ)との画素毎の差の二乗和E(λ)が、予め設定された限界値Etより小さくなった最初の補正画像QIJ(λ)を最終補正画像として採用し、
E(λ)=ΣIJ[O’IJ(λ)−OIJ(λ)]2 …(16-1)
E(λ)が限界値Et以上の値をとる場合には、限界値Etより小さくなるまで上記式(14-1)、(15-1)及び(16-1)の演算を繰り返す。
最終補正画像QIJ(λ)が得られると、観察画像OIJ(λ)との差から迷光画像BIJ(λ)が求められる(以下の式(17-1))。
IJ(λ)=OIJ(λ)−QIJ(λ) …(17-1)
このBIJ(λ)は、上記ビニングした画素セットによる迷光画像であるため、スムージング処理を行うことによって、元の(ビニング前の)全画素からなる迷光画像Bij(λ)に変換する。上述したように迷光画像は空間周波数が低いので、迷光画像BIJ(λ)をスムージングした迷光画像Bij(λ)と全画素による式(12-1)の迷光画像との間に大きな誤差はなく、したがって、観察画像Oij(λ)から迷光画像Bij(λ)を差し引いて近似画像R’ij(λ)を求める(以下の式(18-1))。
R’ij(λ)=Oij(λ)−Bij(λ) …(18-1)
このように、二次元光源Lを走査ステップs毎に撮像した画像(IijS(観察画像Oij(λ))と、予め記憶されているレスポンス画像(FMNIJ(λ)とから、演算によって迷光画像Bij(λ)を算出し、さらに観察画像Oij(λ)からこれを差し引く演算を行なうことで迷光補正がなされ、近似画像R’ij(λ)が得られる。
ところで、前述の輝度補正を、さらにこの近似画像R’ij(λ)に対して施すことで後述の分光輝度画像Lij(λ)を得ることができる。当該輝度補正において用いる校正係数は、予め前記と同様の輝度軸校正によって求めておく必要がある。具体的には、上記(14-1)〜(18-1)での演算と同様にして、(図6において)白色光源36による均一輝度面の測定画像を取得し、この測定画像を迷光補正することで上記と同様の近似画像R’ij(λ)を算出する。一方で、スポット型の基準分光輝度計35により同時に測定画像を測定して基準分光輝度L0(λ)を求めておき、以下の式(19-1)に示すように、これら近似画像R’ij(λ)と基準分光輝度L0(λ)とから、波長λの関数としての校正係数Cij(λ)を求め、これを主制御部9等に保存しておく。
ij(λ)=L0(λ)/R’ij(λ) …(19-1)
二次元分光輝度計1による実際の測定時には、上記式(14-1)〜(18-1)によって二次元光源Lの測定画像を迷光補正して近似画像R’ij(λ)を求め、上記保存しておいた校正係数Cij(λ)を用いて分光輝度画像Lij(λ)に変換して出力する(以下の式(20-1))。
ij(λ)=Cij(λ)*R’ij(λ) …(20-1)
図14は、上述の二次元分光輝度計1による測定時に迷光補正を行なう場合の動作の一例を示すフローチャートである。まず、走査WBPF10(WBPF12)の走査ステップs毎に撮像されて暗画像補正((IijS=(IijS−(Iij0)された画像(IijSが観察画像(OijSとして保存され(ステップS61)、この観察画像(OijSが観察画像Oij(λ)に変換される(ステップS62)。次に、観察画像Oij(λ)がビニングされて40×40画素の画素セットによる観察画像OIJ(λ)に変換される(ステップS63)。そして、この観察画像OIJ(λ)が補正画像QIJ(λ)とされ(ステップS64)、上記式(14-1)によって、当該補正画像QIJ(λ)に対応するQMN(λ)と実測され保存されているレスポンス画像(FMNIJ(λ)とから擬似観察画像O’IJ(λ)が算出される(ステップS65)。
次に、上記式(16-1)に示す擬似観察画像O’IJ(λ)と観察画像OIJ(λ)との画素毎の差の二乗和E(λ)が求められ(ステップS66)、E(λ)の値が、予め設定された限界値Etより小さくない場合には(ステップS67のNO)、上記式(15-1)において、擬似観察画像O’IJ(λ)と観察画像OIJ(λ)との差(O’IJ(λ)−OIJ(λ))によって補正画像QIJ(λ)が再補正され、これが新たな補正画像QIJ(λ)とされて(ステップS68)、上記ステップS65に戻り、このE(λ)が限界値Etより小さくなるまで上記ステップS65〜S68の演算が繰り返される。E(λ)の値が限界値Etより小さくなった場合には(ステップS67のYES)、当該限界値Etより小さくなった最初の補正画像QIJ(λ)が最終補正画像として決定され、上記式(17-1)に示すように、観察画像OIJ(λ)からこの補正画像QIJ(λ)が差し引かれて迷光画像BIJ(λ)が算出される(ステップS69)。その後、迷光画像BIJ(λ)に対するスムージング処理が施され、元の全画素からなる迷光画像Bij(λ)に変換される(ステップS70)。そして、上記式(18-1)に示すように、観察画像Oij(λ)からこの迷光画像Bij(λ)が差し引かれて近似画像R’ij(λ)が求められる(ステップS71)。
以上のように本実施形態の二次元分光輝度計1によれば、光学系(対物光学系2、第1及及び第2コンデンサーレンズ4、5、リレーレンズ6等)によって測定対象である二次元光源Lからの光束La(光)が取り込まれて光像(第1像2a及び第2像6a)が形成される。WBPF12(透過波長変化型フィルタ)は光束Laの透過部位に応じて透過波長が異なる分光透過特性を有しており、走査WBPF10によって、第1像面2bの光路中(光束La中)に当該WBPF12が走査可能に保持される。そして、撮像素子7によって、WBPF12の各走査ステップs位置において該WBPF12を透過した光束Laにより形成される光像(第2像6a)が撮像され、当該各走査ステップs位置毎に各画素の分光感度が異なる複数の画像((IijS或いは画像(OijS)が取得される。
このように、各走査ステップs位置毎に各画素の分光感度が異なる複数の画像が取得される、すなわち、各走査ステップs位置において撮像素子7により取り込まれる各画像(IijSの各画素は、同じ透過波長(中心波長λの単色光)つまり同じ分光特性の光ではなく、光束Laの透過部位に応じて異なる分光特性の光によってつくられることから、1個のWBPF12を(各走査ステップで順に)走査することで各画素の必要な波長域の分光特性情報を得る、すなわち1個のWBPF12を用いて異なる分光感度(分光感度情報)を有する複数の画像を得ることが可能となる。これにより、必要なフィルタの個数が大幅に削減され、これに伴い、走査WBPF10における走査駆動に関する負荷、或いは走査における移動距離(走査距離)が小さくなるため、二次元分光輝度計1の(装置全体の大幅な)小型化、低コスト化を図ることができるとともに、測定時間を短縮することができ、ひいては、使い易い(操作性の高い)二次元分光輝度計1を実現することができる。
また、走査WBPF10によって、光路(光像)を形成する光束Laに対し、WBPF12が第1像面2b(或いは第2像面6b)内の一方向(ここではx方向)に沿って移動されることで走査が行われるため、WBPF12を用いて異なる分光感度を有する複数の画像を得ることを、WBPF12を第1像面2b内の一方向に沿って移動させるといった簡易な構成で実現することができ、且つ走査時間(測定時間)のさらなる短縮を図ることができる。
また、WBPF12が、対物光学系2によって形成される第1像2aの第1像面2b近傍に配置され、撮像素子7が、第2コンデンサーレンズ5やリレーレンズ6等のリレー光学系によって形成される第2像6aの第2像面6bに配置されるため、WBPF12を撮像素子7から分離(離間)させることが可能となり、WBPF12と撮像素子7との面間反射による迷光を抑えることができるとともに、WBPF12との干渉を配慮することなく(当該分離させない場合には、撮像素子7の直近(前方)において、該撮像素子7に対する高い位置精度を出しつつWBPF12を配置する必要がある)、撮像素子7を(より容易に)構成することができる。
また、WBPF12の走査方向における左右(前後)側又はこれらの何れか一方側に、撮像素子7における第2像6aの撮像域Tを遮光するための遮光部が備えられているため、走査手段によって透過波長変化型フィルタを走査するのと同時に、この透過波長変化型フィルタに備えた遮光部(ここではWBPF12の左右側に第1遮光部112及び第2遮光部113の2つの遮光部を備えている)により遮光(遮蔽)された各画素情報を暗画像(Ii,j0として取り込むことが可能となり、別途、暗画像補正を行なうための遮光手段及びこの遮光手段を走査するための走査手段を備えることなく、二次元分光輝度計の簡素化を図ることができる。
また、WBPF12は、各部位の中心波長が走査方向(x方向)に沿って連続的に変化するウェッジバンドパスフィルタであるため、走査方向にフィルタを移動させることで、異なる分光感度を有する複数の画像を得るという構成を当該ウェッジバンドパスフィルタを用いて容易に実現することができる。
さらに、各走査ステップs位置で取得される各画像(Ii,jSは、該画像の各画素列毎に異なる透過波長の情報を有したものであるため、(行及び列の両方ではなく)画素列においてのみ変化する透過波長の情報に基づいた、より簡易(効率的)な演算方法によって分光感度の異なる画像を求めることが可能となり、ひいては当該演算処理の高速化を図ることができる。
なお、本発明は、以下の態様をとることができる。
(A)上記実施形態は、光の透過部位に応じて透過波長が異なる分光透過特性を有する1個のウェッジバンドパスフィルタ(WBPF12)を走査(移動)させて撮像を行い、各画素の必要な波長域の分光特性情報を得るようにして、二次元分光輝度計1の小型化、低コスト化、及び測定時間の短縮化を実現しているが、この技術は、試料を照明する照明手段を備えることで、試料の二次元的な分光反射特性やそれに基づいて試料の二次元的な反射色特性を測定するシステム等に対しても応用できる。さらに、顕微分光システムや蛍光顕微分光システムに対しても応用でき、いずれの応用においても、装置の小型化、コストダウン、及び測定時間の短縮を図ることが可能となる。
(B)上記実施形態では、対物光学系2とリレー光学系(リレーレンズ6等)とを備えることで、第1像面2b及び第2像面6bの2つの像面を設け、これら各像面にそれぞれWBPF12(走査WBPF10)と撮像素子7とを配置して互いに分離(離間)させているが、当該リレー光学系を備えずに、単一の像面に対して撮像素子7とWBPF12とを配置する構成としてもよい。
(C)上記実施形態では、第1遮光部112(s=0)において暗画像を取り込んだ後、x方向の正方向に向けてフィルター保持板11(WBPF12)を走査ステップs毎に移動させる構成としてるが、逆に、第2遮光部113を走査ステップs=0の位置として暗画像を取り込み、x方向の負方向に向けてフィルター保持板11を当該走査移動させる構成としてもよい。
(D)上記実施形態では、レスポンス画像((FMNIJ(λ))は予め実測して求めたものを保存しているが、これに限らず、(実測して求める必要はなく)所定の推測演算等によって予め求めたものを保存してもよい。
(E)WBPF12の形状は、必ずしも、厚みが(走査方向に)直線的に変化する(前後の透過面が平面となっている)楔型でなくともよく、例えば当該厚みが曲線的に変化する(当該透過面が湾曲している)ような形状であってもよい。
(F)上記実施形態では、楔型のWBPF12を一方向に沿って移動させることで走査を行う構成であるが、例えば周方向に沿って厚み(透過波長)が変化する円環状(又は環状でない例えば半円といった円弧状)のBPFを用い、当該BPFを光束La(光路)に対して(回転走査ステップで)回転移動させて走査を行う構成としてもよい。
本発明に係る二次元分光輝度計の一例を示す概略構造図である。 図1に示す二次元分光輝度計における走査WBPFの一例を示す概略構成図である。 WBPFの一例を示す斜視図である。 撮像素子の撮像域における、各走査ステップに対応した撮影画像について説明する概念図である。 各走査ステップにおいて走査方向(x方向)に移動したフィルター保持板の各部と、撮像素子における撮像域との位置関係について説明する概念図である。 波長軸校正用の校正システムの一例を示す概略構成図である。 波長軸校正によるWBPFの相対分光感度の一例を示すグラフ図である。 実画像Rij(λ)、観察画像Oij(λ)及び迷光画像Bij(λ)の強度分布の一例を示すグラフ図である。 ビニングによる画像の画素セット座標について説明する概念図である。 レスポンス画像実測用のシステムの一例を示す概略構成図である。 二次元分光輝度計による三刺激値画像の測定に関する動作の一例を示すフローチャートである。 波長軸校正に関する動作の一例を示すフローチャートである。 レスポンス画像の実測に関する動作の一例を示すフローチャートである。 二次元分光輝度計による測定時に迷光補正を行なう場合の動作の一例を示すフローチャートである。
符号の説明
1 二次元分光輝度計
2 対物光学系(光学系)
2a 第1像(請求項1記載の透過波長変化型フィルタに対する光像、第1の光像)
2b 第1像面(請求項2記載の像面)
3 副透過帯除去フィルタ
4 第1コンデンサーレンズ(光学系)
5 第2コンデンサーレンズ(光学系、リレー光学系)
6 リレーレンズ(光学系、リレー光学系)
6a 第2像(第2の光像)
6b 第2像面
7 撮像素子(撮像手段)
8 画像信号処理部
9 主制御部(画像処理手段)
10 走査WBPF(走査手段)
11 フィルター保持板
12 WBPF(透過波長変化型フィルタ)
13 走査駆動部
14 ステッピングモータ
15 回転軸
16 連結部材
17 駆動回路
30、30a 校正システム
31 基準単波長光源
32 制御用PC
33 積分球
34 被校正二次元分光輝度計
35 基準分光輝度計
36 白色光源
37 ピンホール板
38 移動台
111 開口部
112 第1遮光部(遮光部)
113 第2遮光部(遮光部)
901 画素セット
L 二次元光源(測定対象)
La 光束(光)
T 撮像域

Claims (6)

  1. 測定対象からの光を取り込み光像を形成する光学系と、
    前記光の透過部位に応じて透過波長が異なる分光透過特性を有する透過波長変化型フィルタと、
    前記光像を形成する光路中に、透過波長変化型フィルタを走査可能に保持する走査手段と、
    前記透過波長変化型フィルタの各走査位置において該透過波長変化型フィルタを透過した光により形成される前記光像を撮像し、各走査位置毎に各画素の分光感度が異なる複数の画像を取得する撮像手段とを備えることを特徴とする二次元分光輝度計。
  2. 前記走査手段は、前記光路を形成する光に対し、透過波長変化型フィルタを光像の像面内の一方向に沿って移動させることで前記走査を行うことを特徴とする請求項1記載の二次元分光輝度計。
  3. 前記光学系は、測定対象からの光を取り込み第1の光像を形成する対物光学系と、該第1の光像をリレーして第2の光像を形成するリレー光学系とを備えたものであって、
    前記透過波長変化型フィルタは第1の光像の像面近傍に配置され、前記撮像手段は第2の光像の像面に配置されることを特徴とする請求項1又は2記載の二次元分光輝度計。
  4. 前記透過波長変化型フィルタは、該透過波長変化型フィルタの走査方向における左右側又はいずれか一方側に、前記撮像手段における光像の撮像域を遮光するための遮光部を備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の二次元分光輝度計。
  5. 前記透過波長変化型フィルタは、該透過波長変化型フィルタの各部位の中心波長が走査方向に沿って連続的に変化するウェッジバンドパスフィルタであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の二次元分光輝度計。
  6. 前記各走査位置において撮像手段により取得される各画像は、前記ウェッジバンドパスフィルタの走査方向に沿って連続的に変化する中心波長に対応して該画像の各画素列毎に異なる透過波長の情報を有したものであることを特徴とする請求項5記載の二次元分光輝度計。
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