JP2006173033A - 電子銃 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 高電圧絶縁碍子4の大気側にウェネルト2と同電位にしたメタライズ電極16を設ける。
【選択図】 図1
Description
Claims (3)
- 真空チャンバと、
内面が前記真空チャンバの真空側に面し外面が大気側に面する絶縁碍子と、
熱電子放射用のフィラメントと、
前記フィラメントに対して負の電圧にバイアスされるウェネルトと、
前記ウェネルトに接続されて前記ウェネルトの前記絶縁碍子側に位置するガードリングと、
前記ウェネルトの外側に配置されたアノードと、
前記絶縁碍子を貫通して設置され、前記フィラメントに給電する第1の高圧導入接続ピンと、
前記絶縁碍子を貫通して設置され、前記ウェネルトに電位を与える第2の高圧導入接続ピンとを備え、
前記絶縁碍子の外面に前記第2の高圧導入接続ピンと電気的に接続されたメタライズ電極を設けたことを特徴とする電子銃。 - 請求項1記載の電子銃において、前記ガードリングは真空側の三重接合部を覆うような形状を有することを特徴とする電子銃。
- 請求項1又は2記載の電子銃において、前記メタライズ電極と前記ガードリングはほぼ同じ外径を有することを特徴とする電子銃。
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