JP2006170912A - 形状測定機 - Google Patents
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Abstract
【課題】 測定速度の向上及び傾斜の大きな被測定物に対する測定精度の向上を図る。
【解決手段】 被測定物18に対して、プローブ14を備えた測定部15を移動可能に支持するスライド8からなるガイド手段を設ける。スライド8を駆動することにより測定部15を移動させるアクチュエータ7を設ける。測定部15の位置を検出するスケールヘッド17及びガラススケール16からなる位置検出手段を設ける。アクチュエータ7とスライド8とを、衝撃吸収部材13a、13bを介して接続する。
【選択図】 図1
【解決手段】 被測定物18に対して、プローブ14を備えた測定部15を移動可能に支持するスライド8からなるガイド手段を設ける。スライド8を駆動することにより測定部15を移動させるアクチュエータ7を設ける。測定部15の位置を検出するスケールヘッド17及びガラススケール16からなる位置検出手段を設ける。アクチュエータ7とスライド8とを、衝撃吸収部材13a、13bを介して接続する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、プローブにより被測定物の形状を測定する形状測定機に関する。
一般に、作動軸の先端に設けられた接触又は非接触のプローブを用いて被測定物の形状を測定する形状測定機が多く知られている。この形状測定機は、プローブと被測定物とを相対的に移動させながらプローブの位置及び走査位置を検出し、それらの値から被測定物の形状を求める構造になっている。ところで、この種の形状測定機では、非常に高精度な測定を行うため、アクチュエータの送り精度や振動が測定結果に影響することを防がなくてはならない。
そのための送り装置として、図4に示すような送り装置がある(例えば、特許文献1参照)。この送り装置は、モータ101で送りネジ102を回転させることによりサブスライダ103を駆動させるようになっている。このサブスライダ103には、駆動軸と平行にワイヤ104が張られ、このワイヤ104を介して移動テーブル105が接続されている。そして、この送り装置では、ワイヤ104を介したことで、駆動軸方向に高い剛性を保ちつつ、駆動軸に平行でない運動成分及び振動を吸収し、高精度なテーブル送りができるようになっている。
特開平5−288254号公報
そのための送り装置として、図4に示すような送り装置がある(例えば、特許文献1参照)。この送り装置は、モータ101で送りネジ102を回転させることによりサブスライダ103を駆動させるようになっている。このサブスライダ103には、駆動軸と平行にワイヤ104が張られ、このワイヤ104を介して移動テーブル105が接続されている。そして、この送り装置では、ワイヤ104を介したことで、駆動軸方向に高い剛性を保ちつつ、駆動軸に平行でない運動成分及び振動を吸収し、高精度なテーブル送りができるようになっている。
しかしながら、この構成の送り装置ではワイヤ104を介して接続しているため、ワイヤ104の軸方向の不要な運動成分や振動を吸収することができず、これが測定精度に影響してしまう。また、一般に、送り速度を速くした場合、モータなどの駆動源の振動も速度に従って大きくなるため、測定精度を維持するためには送り速度(測定速度)を速くできないという課題がある。特に、接触式のプローブの場合は被測定物へのダメージを小さくするため、数mgf〜数十mgfの非常に小さい測定力が用いられている。このため、振動があるとプローブが跳ねやすく、測定結果に与える影響は顕著になる。
ここで、図5(a)及び図5(b)に、この送り装置にプローブ108を有する測定部106を搭載した状態を示す。このように駆動軸(X軸)に対する被測定物面107の傾斜角αが大きく(45度以上)なった場合、駆動軸方向の振動幅Aは、プローブ108の軸方向では変位Bの大きさに拡大されて検出される。よって、駆動軸方向に振動があることは、傾斜角の大きな被測定物を測定する場合、振動による外乱が拡大され、精度が著しく低下することもあって、測定自体困難なものとなるという課題もある。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、アクチュエータからの振動伝達を遮断することで測定速度を向上させ、かつ、傾斜の大きな被測定物の測定精度を向上させた形状測定機を提供することを目的としている。
上記課題を解決するために、本発明の形状測定機は、プローブ又は被測定物を移動可能に支持するガイド手段と、前記ガイド手段を駆動することにより前記プローブと前記被測定物とを相対的に移動させるアクチュエータと、前記ガイド手段の位置を検出する位置検出手段とを有し、前記アクチュエータと前記ガイド手段とは、弾性部材を介して接続されていることを特徴とする。
そして、この発明に係る形状測定機によれば、弾性部材がアクチュエータの不要な運動成分や振動のガイド手段への伝達を抑え、測定速度と、傾斜の大きな被測定物の測定精度を向上させることができる。
また、本発明は、前記プローブが、接触式であっても良い。つまり、アクチュエータの振動を受けやすい接触式プローブの測定機においても、測定速度と、傾斜の大きな被測定物の測定精度を向上させることができる。
さらに、前記弾性部材は、ゲル状物質あるいは引張りバネからなることが好ましい。これにより、測定速度の向上と、傾斜の大きな被測定物に対する測定精度の向上を安価に実現することができる。
本発明の形状測定機によれば、測定速度を向上させ、かつ、傾斜の大きな被測定物に対する測定精度を向上させることができる。
以下、本発明の実施形態に係る形状測定機について説明する。
(第1実施形態)
まず、本発明の第1実施形態に係る形状測定機について、図面を参照して説明する。
図1は、第1実施形態に係る形状測定機の構造を説明する概略平面図である。
図1に符号1で示すのは、本実施形態における形状測定機である。この形状測定機1のベース2上には、駆動源としてのモータ3と、モータ3により駆動される送りネジ4と、図示しない送りネジナットに取り付けられた駆動テーブル5と、駆動テーブル5を送りネジ4の軸方向に移動可能に支持するガイド6a、6bとが設けられている。これにより、モータ3の駆動で駆動テーブル5を送りネジ4の軸方向に移動するアクチュエータ7を構成している。
(第1実施形態)
まず、本発明の第1実施形態に係る形状測定機について、図面を参照して説明する。
図1は、第1実施形態に係る形状測定機の構造を説明する概略平面図である。
図1に符号1で示すのは、本実施形態における形状測定機である。この形状測定機1のベース2上には、駆動源としてのモータ3と、モータ3により駆動される送りネジ4と、図示しない送りネジナットに取り付けられた駆動テーブル5と、駆動テーブル5を送りネジ4の軸方向に移動可能に支持するガイド6a、6bとが設けられている。これにより、モータ3の駆動で駆動テーブル5を送りネジ4の軸方向に移動するアクチュエータ7を構成している。
さらに、ベース2上には、送りネジ4の軸方向に対して平行に延びるスライド8(ガイド手段)が設けられている。このスライド8は、スライド軸9と、スライド軸受10とで構成されている。スライド軸9には圧縮空気が供給され、スライド軸受10を非接触に浮上させることで摺動抵抗の無いスムーズな作動を可能としている。
このスライド軸受10のアクチュエータ7方向の側面には、突出部11が設けられている。一方、アクチュエータ7上の駆動テーブル5には、接続部材12が取り付けられており、この先端部の二股部12a、12bの内側に設けられたゲル状の衝撃吸収部材13a、13b(弾性部材)で、突出部11を挟みこんでいる。つまり、接続部材12により、スライド軸9の軸線方向両側からゲル状の衝撃吸収部材13a、13bを介して突出部11を挟み込んでいる。この構成により、アクチュエータ7の駆動で、スライド軸受10がその軸方向(X軸方向)に移動可能になっている。
さらに、このスライド軸受10上には、プローブ14を有する測定部15が取り付けられている。そして、この測定部15により、プローブ14の軸方向(Z軸方向、つまりスライド軸9の軸線方向と直交する方向)の位置が検出される。また、スライド軸受10の側面にはガラススケール16が、ベース2上にはスケールヘッド17が、それぞれ設けられており、これにより、スライド軸受10の軸方向位置(X軸方向位置)を検出する位置検出手段を構成している。つまり、スライド軸受10上にプローブ14を有する測定部15が取り付けられているから、位置検出手段によりプローブ14のX軸方向位置を検出することができる。
そして、上記構造の形状測定機1では、測定時にプローブ14が被測定物18の表面に当接する位置におかれる。この状態でアクチュエータ7の駆動で測定部15を移動し、それぞれの位置におけるプローブ14のX軸方向位置、Z軸方向位置を検出し、それらの値から被測定物18の形状を求めることができる。
ここで、本実施の形態では、アクチュエータ7とスライド軸受10が衝撃吸収部材13a、13bにより接続されており、この間での全ての方向の振動伝達は遮断される。なお、弾性部材である衝撃吸収部材13a、13bで接続されることで、スライド軸受10の送り量は、アクチュエータ7の送り量とは完全に一致しない可能性もあるが、スライド軸受10の位置は、スライド軸受10に設けられたガラススケール16により直接検出されることから、測定精度に影響することはない。
以上の構成により、上記実施形態の形状測定機1によれば、測定速度の増加に伴ってアクチュエータ7の振動が増加しても、その振動が測定部15に伝わることが無く、測定精度を維持したまま、測定速度を向上させることができるという効果が得られる。また、傾斜角の大きな被測定物18に対しても、精度よく測定できるという効果が得られる。さらに、本実施の形態においては、非常に簡単かつ、安価にこれを実現することが可能である。
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態について、図面を参照して説明する。
なお、上記第1実施形態に記載の構成要素と同一構造部分については同一符号を付してその説明を省略する。
図2は、第2実施形態に係る形状測定機の構造を説明する概略平面図である。
次に、本発明の第2実施形態について、図面を参照して説明する。
なお、上記第1実施形態に記載の構成要素と同一構造部分については同一符号を付してその説明を省略する。
図2は、第2実施形態に係る形状測定機の構造を説明する概略平面図である。
図2に符号21で示すのは、本実施の形態における形状測定機であり、本実施の形態においては、アクチュエータ7とスライド軸受10の接続が次のように行われる。すなわち、突出部11と、接続部材12とは、引張りバネ22a、22b及び両端が球面軸受24a、24bで回転可能に支持されたダンパ23により接続されている。なお、ダンパ23は必ずしも必要な部材ではなく、可動部の摩擦力がダンパとして作用する場合には、省略することも可能である。
そして、この弾性部材では、ダンパ23の両端が球面軸受24a、24bにより支持されているため、X軸に直交する方向に対する剛性は非常に弱くなっており、アクチュエータ7がX軸に直交する方向に振動しても、その振動は測定部15には伝達されない。また、アクチュエータ7のX軸方向の振動は、引張りバネ22a、22b及びダンパ23によって吸収される。
そして、第2実施形態においては、引張りバネ22a、22bのバネ定数、ダンパ23の減衰係数を使用条件に合わせた任意の値に設定することができ、測定速度の向上及び大きな傾斜角をもつ被測定物18の測定精度の向上という効果をいっそう高めることができる。
(第3実施形態)
次に、本発明の第3実施形態について、図面を参照して説明する。
なお、上記第1実施形態に記載の構成要素と同一構造部分については同一符号を付してその説明を省略する。
図3は、第3実施形態に係る形状測定機の構造を説明する概略平面図である。
次に、本発明の第3実施形態について、図面を参照して説明する。
なお、上記第1実施形態に記載の構成要素と同一構造部分については同一符号を付してその説明を省略する。
図3は、第3実施形態に係る形状測定機の構造を説明する概略平面図である。
図3に符号31で示すのは、本実施の形態における測定機であり、本実施の形態においては、アクチュエータ32の構造及びアクチュエータ32とスライド軸受10の接続が次のような構成になっている。すなわち、駆動源となるモータ33には、第1のプーリ34が取り付けられている。さらに、ベース2上には、第2のプーリ35と第3のプーリ36がそれぞれ取り付けられている。
第1のプーリ34には、ワイヤ37aが巻き付けられており、このワイヤ37aは、第2のプーリ35及び第3のプーリ36に向かって引き出されている。第2のプーリ35方向に引き出されたワイヤ37aは、第2のプーリ35で突出部11方向に折り返される。この折り返されたワイヤ37aの端部には、ゲル状の衝撃吸収部材38a(弾性部材)が取り付けられている。さらに、この衝撃吸収材38aを介してワイヤ37bが取り付けられ、このワイヤ37bの他端が突出部11に固定されている。
第1のプーリ34から第3のプーリ36方向に引き出されたワイヤ 37aも同様である。すなわち、第3のプーリ36により突出部11方向に折り返されたワイヤ37aの端部には、ゲル状の衝撃吸収部材38b(弾性部材)が取り付けられ、この衝撃吸収部材38bからワイヤ37cが伸び、その端が突出部11に固定されている。これにより、モータ 33の駆動で、スライド軸受10をX軸方向に駆動するアクチュエータ32が構成されている。
ここで、ワイヤ37a、37b、37cが緊張状態にあるとき、それらワイヤ37a、37b、37cは、プーリ35とプーリ36の間では、スライド軸9の軸線と略平行な同一線上に位置することとなる。
ここで、ワイヤ37a、37b、37cが緊張状態にあるとき、それらワイヤ37a、37b、37cは、プーリ35とプーリ36の間では、スライド軸9の軸線と略平行な同一線上に位置することとなる。
そして、上記構造の第3実施形態に係る形状測定機31によれば、モータ33に振動があっても、その振動は衝撃吸収部材38a、38b及びワイヤ37a、37b、37cの撓みとなって吸収され、測定部15に伝わることはない。これにより、第1実施形態と同様に、測定速度を向上させ、かつ、傾斜の大きな被測定物18に対する測定精度を向上させることができる。さらに、アクチュエータ32を非常に簡単な構成にできるため、さらに安価に実現することができるという効果が得られる。
1、21、31 形状測定機
7、32 アクチュエータ
8 スライド(ガイド手段)
13a、13b 衝撃吸収部材(弾性部材)
14 プローブ
16 ガラススケール(位置検出手段)
17 スケールヘッド(位置検出手段)
18、38 被測定物
22a、22b 引張りバネ(弾性部材)
23 ダンパ(弾性部材)
7、32 アクチュエータ
8 スライド(ガイド手段)
13a、13b 衝撃吸収部材(弾性部材)
14 プローブ
16 ガラススケール(位置検出手段)
17 スケールヘッド(位置検出手段)
18、38 被測定物
22a、22b 引張りバネ(弾性部材)
23 ダンパ(弾性部材)
Claims (4)
- プローブ又は被測定物を移動可能に支持するガイド手段と、前記ガイド手段を駆動することにより前記プローブと前記被測定物とを相対的に移動させるアクチュエータと、前記ガイド手段の位置を検出する位置検出手段とを有し、前記アクチュエータと前記ガイド手段とは、弾性部材を介して接続されていることを特徴とする形状測定機。
- 前記プローブは、接触式であることを特徴とする請求項1に記載の形状測定機。
- 前記弾性部材は、ゲル状物質からなることを特徴とする請求項1又は2に記載の形状測定機。
- 前記弾性部材は、引張りバネからなることを特徴とする請求項1又は2に記載の形状測定機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004366589A JP2006170912A (ja) | 2004-12-17 | 2004-12-17 | 形状測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004366589A JP2006170912A (ja) | 2004-12-17 | 2004-12-17 | 形状測定機 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006170912A true JP2006170912A (ja) | 2006-06-29 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004366589A Pending JP2006170912A (ja) | 2004-12-17 | 2004-12-17 | 形状測定機 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2006170912A (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05288254A (ja) * | 1992-04-09 | 1993-11-02 | Nippon Seiko Kk | テーブル送り装置 |
JPH1019504A (ja) * | 1996-07-02 | 1998-01-23 | Canon Inc | 3次元形状測定装置 |
JP2001004307A (ja) * | 1999-06-25 | 2001-01-12 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 測定ヘッド |
-
2004
- 2004-12-17 JP JP2004366589A patent/JP2006170912A/ja active Pending
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