JP2006170859A - 金属接合体の検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 一方が三次元網目構造を有する金属多孔質体とされるとともに、他方が金属体とされた金属接合体の接合状態を検査する。
【解決手段】 一方が三次元網目構造を有する金属多孔質体2とされるとともに、他方が金属体3とされた金属接合体1の前記他方側から加熱、若しくは冷却したときにおける、金属多孔質体2の表面の温度を検出することにより、該金属多孔質体2と金属体3との接合状態を検査する。
【選択図】 図1
【解決手段】 一方が三次元網目構造を有する金属多孔質体2とされるとともに、他方が金属体3とされた金属接合体1の前記他方側から加熱、若しくは冷却したときにおける、金属多孔質体2の表面の温度を検出することにより、該金属多孔質体2と金属体3との接合状態を検査する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、一方が三次元網目構造を有する金属多孔質体とされるとともに、他方が金属体とされた金属接合体の接合状態を検査する金属接合体の検査方法に関するものである。
この種の金属接合体は、液中で使用される電極や、例えば下記特許文献1に示されるような、燃料電池のセパレータ兼用ガス拡散電極、あるいは水蒸気等を発生させる蒸発促進部材等といった様々な用途に適用されている。近年、このような金属接合体の需要が増大しており、これに伴い金属多孔質体と金属体との接合状態を検査する検査方法の確立が要求されるようになっている。
特開2004−273359号公報
社団法人 溶接学会編「溶接・接合便覧」丸善株式会社、平成2年9月30日
このような検査方法として、例えば前記非特許文献1に示されるような、放射線透過試験や超音波探傷試験を適用することが考えられるが、これらの場合、金属接合体の一方が三次元網目構造を有する金属多孔質体とされているので、該三次元網目も検出されるととなり、前記接合状態を検査することはできない。
一方、前記特許文献1に示されるように、金属接合体を加圧した状態で、金属多孔質体と金属体の電気抵抗を測定することにより、前記接合状態を検査することも考えられるが、やはり金属多孔質体が三次元網目構造を有するため、金属多孔質体の、金属体との接合部分が点若しくは線となり、その接触が安定せず検査精度に限界がある。逆に、金属接合体を加圧した状態で前記電気抵抗を測定するので、金属多孔質体と金属体とが良好に接合されていない状態にあっても、前記加圧により金属多孔質体と金属体とが電気的に接続され、電気抵抗値が所定値より小さくなる、つまり接合不良品が良品と判定されるおそれがある。
本発明は、以上の課題に鑑みてなされたもので、一方が三次元網目構造を有する金属多孔質体とされるとともに、他方が金属体とされた金属接合体の接合状態を検査することができる金属接合体の検査方法を提供することを目的とする。
このような課題を解決して、前記目的を達成するために、本発明の金属接合体の検査方法は、一方が三次元網目構造を有する金属多孔質体とされるとともに、他方が金属体とされた金属接合体の前記他方側から加熱、若しくは冷却したときにおける、前記金属多孔質体の表面の温度を検出することにより、該金属多孔質体と前記金属体との接合状態を検査することを特徴とする。
本発明によれば、金属体側から加熱、若しくは冷却したときにおける金属多孔質体の表面の温度を検出することにより、前記接合状態を検査するので、該検査を高精度に実施することが可能になる。すなわち、金属多孔質体と金属体とが接合されていない、あるいは接合面積が小さい接合不良の状態にある場合には、金属多孔質体は、その三次元網目構造に起因して、金属体と点、若しくは線接触することになるが、面接触することはないため、金属体を加熱、若しくは冷却しても、金属多孔質体の温度は変化し難いことになる。したがって、金属多孔質体と金属体との接合の良否を確実に検査することができる。
ここで、金属多孔質体は、その三次元網目構造に起因して、一般に内部を熱が伝達し難い性質を有する。したがって、金属多孔質体の金属体側を例えば加熱した場合において、金属多孔質体の、金属体と接合している部分に伝達された熱を、面方向に伝達することを最小限に抑制しつつ厚さ方向に伝達させることが可能になる。このため、温度を検出する金属多孔質体の表面において、金属体と接合している部分に対応する部分と、接合していない部分に対応する部分とで、その温度に差を生じさせることが可能になる。このような作用は金属体側を冷却する場合も同様に奏されるものである。したがって、金属多孔質体と金属体との接合界面において、接合されている部分と接合されていない部分とがあるような、不均一な接合状態をも検出することが可能になり、前記接合を高精度に検査することができる。
ここで、赤外線サーモグラフィ法により前記金属多孔質体の表面の温度を検出することが望ましい。
この場合、金属多孔質体の表面(接合面と反対側の表面)の温度を非接触で検出することが可能になるので、高効率かつ高精度な検査を実現することができる。
この場合、金属多孔質体の表面(接合面と反対側の表面)の温度を非接触で検出することが可能になるので、高効率かつ高精度な検査を実現することができる。
また、前記金属接合体の前記他方側から加熱するに際し、前記金属体と非接触状態でランプ加熱することが望ましい。
この場合、金属体と非接触状態でランプ加熱するので、加熱される金属体の外表面の表面粗さや汚れに依存することなく、該表面を均一に加熱することが可能になり、高精度な検査を実現することができる。
この場合、金属体と非接触状態でランプ加熱するので、加熱される金属体の外表面の表面粗さや汚れに依存することなく、該表面を均一に加熱することが可能になり、高精度な検査を実現することができる。
以下、本発明の実施形態について、図を参照して説明する。まず、本発明に係る検査方法の検査対象としての金属接合体について図1を参照して説明する。
この金属接合体1は、一方が三次元網目構造を有する金属多孔質体2とされるとともに、他方が金属体3とされた概略構成とされている。本実施形態では、シート状の金属多孔質体2と、該多孔質体2より厚さの厚い板状の金属体3とが、例えば拡散接合、ろう付け、または圧着等により接合されてなる積層構造とされている。金属多孔質体2および金属体3は、例えば銅、ステンレス鋼、若しくはNi合金により形成され、金属接合体1の使用環境や求められる機能に応じて適宜選定される。金属多孔質体2は、側部に開口する気孔が各方向に連通していることにより通気性、吸水性を有し、軽量で表面積が大きいという特性を有しており、例えば金属粉末焼結体、金属不職布、または後述する製造方法により形成される発泡金属等が適用される。
この金属接合体1は、一方が三次元網目構造を有する金属多孔質体2とされるとともに、他方が金属体3とされた概略構成とされている。本実施形態では、シート状の金属多孔質体2と、該多孔質体2より厚さの厚い板状の金属体3とが、例えば拡散接合、ろう付け、または圧着等により接合されてなる積層構造とされている。金属多孔質体2および金属体3は、例えば銅、ステンレス鋼、若しくはNi合金により形成され、金属接合体1の使用環境や求められる機能に応じて適宜選定される。金属多孔質体2は、側部に開口する気孔が各方向に連通していることにより通気性、吸水性を有し、軽量で表面積が大きいという特性を有しており、例えば金属粉末焼結体、金属不職布、または後述する製造方法により形成される発泡金属等が適用される。
なお、金属多孔質体2および金属体3を純銅により形成し、かつこれら2、3を拡散接合する場合には、これら2、3を800℃以上1050℃以下とされた還元性雰囲気下に置いて、その厚さ方向にこれらの接合面の全域に亙って0.1kPa以上10kPa以下の圧力が作用するように加圧した状態で、約30分間保持する。
ここで、金属多孔質体2の一実施形態としての前記発泡金属の製造方法について図2に従い説明する。この金属多孔質体は、各種方法により製造することができるが、本実施形態では、金属粉末を含むスラリーSを、薄く成形して乾燥させたグリーンシートGを焼成することにより製造する方法を説明する。
まず、スラリーSは、金属粉末、有機バインダ(例えばメチルセルロースやヒドロキシプロピルメチルセルロース)、および溶媒(水)を含有する混合物とされ、必要に応じて、該混合物に加熱処理により昇華あるいは気化する発泡剤(例えば炭素数5〜8の非水溶性炭化水素系有機溶剤(例えばネオペンタン、ヘキサン、ヘプタン))や消泡剤(エタノール)等が添加される。
まず、スラリーSは、金属粉末、有機バインダ(例えばメチルセルロースやヒドロキシプロピルメチルセルロース)、および溶媒(水)を含有する混合物とされ、必要に応じて、該混合物に加熱処理により昇華あるいは気化する発泡剤(例えば炭素数5〜8の非水溶性炭化水素系有機溶剤(例えばネオペンタン、ヘキサン、ヘプタン))や消泡剤(エタノール)等が添加される。
このようなスラリーSは、グリーンシート製造装置30のホッパ31に貯蔵された後に、該ホッパ31から、ローラ32によって搬送されるキャリアシート33上に供給される。キャリアシート33上のスラリーSは、移動するキャリアシート33とドクターブレード34との間で延ばされ、所要の厚さに成形される。成形されたスラリーSは、さらにキャリアシート33によって搬送され、加熱炉35を通過する。そして、加熱炉35中で乾燥されることにより、前記金属粉末が有機バインダによって接合された状態のグリーンシートGが形成される。
なお、スラリーSに発泡剤が含まれる場合、キャリアシート33上に延ばされた状態のスラリーSを、乾燥前に、高湿度雰囲気下にて加熱処理し、発泡剤を発泡させて発泡スラリーとしてから、乾燥処理を行ってグリーンシートGを形成する。
このグリーンシートGは、キャリアシート33から取り外された後、図示しない真空炉にて脱脂、焼成されることにより、有機バインダが取り除かれ、金属粉末同士が焼結した金属多孔質体2となる。そして、この金属多孔質体2の外表面のうち、キャリアシート33の上面と当接していた裏面を、金属体3の表面に配置して、前述のようにこれらを接合することにより、金属接合体1が形成される。
このグリーンシートGは、キャリアシート33から取り外された後、図示しない真空炉にて脱脂、焼成されることにより、有機バインダが取り除かれ、金属粉末同士が焼結した金属多孔質体2となる。そして、この金属多孔質体2の外表面のうち、キャリアシート33の上面と当接していた裏面を、金属体3の表面に配置して、前述のようにこれらを接合することにより、金属接合体1が形成される。
次に、金属接合体の検査装置10の概略構成について説明する。この検査装置10は、金属接合体1を保持する図示されない保持手段と、該保持手段により保持された金属接合体1において、金属体3の裏面に対向配置された加熱手段11と、金属多孔質体2の表面に対向配置された温度検出手段12と、該温度検出手段12に接続され、予め設定された閾値および温度検出手段12により得られた検出結果に基づいて、金属体3と金属多孔質体2との接合状態の良否を判定する制御部13とを備える概略構成とされている。
本実施形態の加熱手段11は、金属接合体1を金属体3側から、該金属体3と非接触状態で加熱可能とされた加熱ランプとされている。
また、温度検出手段12は、金属多孔質体2の表面のうち、予め選択された検出領域、例えば約0.3mm〜0.4mm四方を1ポイントとした縦60ポイント×横60ポイント=3600ポイントの範囲において、各ポイントごとでの温度が検出可能された赤外線サーモグラフとされている。なお、1ポイントの大きさや検出領域の大きさは、検査対象としての金属接合体1の寸法等に応じて適宜変更することができる。
さらに、制御部13は、前記検出領域において、分割された複数の領域毎および全領域での平均温度をそれぞれ算出し、これらの算出値と予め設定された閾値とを対比して、前記接合状態を判定するようになっている。
また、温度検出手段12は、金属多孔質体2の表面のうち、予め選択された検出領域、例えば約0.3mm〜0.4mm四方を1ポイントとした縦60ポイント×横60ポイント=3600ポイントの範囲において、各ポイントごとでの温度が検出可能された赤外線サーモグラフとされている。なお、1ポイントの大きさや検出領域の大きさは、検査対象としての金属接合体1の寸法等に応じて適宜変更することができる。
さらに、制御部13は、前記検出領域において、分割された複数の領域毎および全領域での平均温度をそれぞれ算出し、これらの算出値と予め設定された閾値とを対比して、前記接合状態を判定するようになっている。
次に、以上のように構成された検査装置10により、金属接合体1の接合状態を検査する方法について説明する。
まず、加熱手段11により金属接合体1における金属体3の裏面側から所定のワット数で所定時間加熱する。この際に、温度検出手段12により、赤外線サーモグラフィ法によって、金属多孔質体2の表面のうち、前記検出領域における各ポイントごとでの温度を検出し、この検出データを制御部13に送信する。そして、制御部13は、前記検出領域において、分割された複数の領域毎および全領域での平均温度を前記検出データに基づいて算出し、この算出値と前記閾値とを対比して、全ての算出値が閾値以上であれば金属接合体1の接合状態が良好であると判定し、算出値が1つでも閾値より小さければ接合状態が不良であると判定する。
まず、加熱手段11により金属接合体1における金属体3の裏面側から所定のワット数で所定時間加熱する。この際に、温度検出手段12により、赤外線サーモグラフィ法によって、金属多孔質体2の表面のうち、前記検出領域における各ポイントごとでの温度を検出し、この検出データを制御部13に送信する。そして、制御部13は、前記検出領域において、分割された複数の領域毎および全領域での平均温度を前記検出データに基づいて算出し、この算出値と前記閾値とを対比して、全ての算出値が閾値以上であれば金属接合体1の接合状態が良好であると判定し、算出値が1つでも閾値より小さければ接合状態が不良であると判定する。
以上説明したように本実施形態の金属接合体の検査方法によれば、金属体3側から加熱したときにおける金属多孔質体2の表面の温度を検出することにより、前記接合状態を検査するので、該検査を高精度に実施することが可能になる。すなわち、金属多孔質体2は、その三次元網目構造に起因して、金属多孔質体2と金属体3とが接合されていない、あるいは接合面積が小さい場合には、金属体3と点、若しくは線接触することになるが、面接触することはないため、金属体3を加熱しても、金属多孔質体2の温度は変化し難い。したがって、金属多孔質体2と金属体3との接合の良否を確実に検査することができる。
ここで、金属多孔質体2は、その三次元網目構造に起因して、一般に内部を熱が伝達し難い性質を有する。したがって、金属多孔質体2の金属体3側を加熱した場合において、金属多孔質体2の、金属体3と接合している部分に伝達された熱が、面方向に伝達することを最小限に抑制しつつ厚さ方向に伝達させることが可能になる。このため、温度を検出する金属多孔質体2の表面において、金属体3と接合している部分に対応する部分と、接合していない部分に対応する部分とで、その温度に差を生じさせることが可能になる。したがって、金属多孔質体2と金属体3との接合界面において、接合されている部分と接合されていない部分とがあるような、不均一な接合状態をも検出することが可能になり、前記接合を高精度に検査することができる。
さらに本実施形態では、赤外線サーモグラフィ法により金属多孔質体2の表面の温度を検出するので、金属多孔質体2の表面(接合面と反対側の表面)の温度を非接触で検出することが可能になるので、高効率かつ高精度な検査を実現することができる。
さらにまた、金属接合体1を金属体3側から加熱するに際し、金属体3と非接触状態でランプ加熱するので、加熱される金属体3の裏面の表面粗さや汚れに依存することなく、該表面を均一に加熱することが可能になり、高効率かつ高精度な検査を実現することができる。
さらにまた、金属接合体1を金属体3側から加熱するに際し、金属体3と非接触状態でランプ加熱するので、加熱される金属体3の裏面の表面粗さや汚れに依存することなく、該表面を均一に加熱することが可能になり、高効率かつ高精度な検査を実現することができる。
なお、本発明の技術的範囲は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えば、前記実施形態では、金属接合体1を金属体3側から加熱する方法を示したが、例えば金属体3の裏面に冷媒を接触させることにより冷却する場合にも適用可能である。このような場合においても前記実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
また、前記実施形態の制御部13では、金属多孔質体2の表面のうち、前記検出領域において、分割された複数の領域毎および全領域での平均温度をそれぞれ算出し、これらの算出値と予め設定された閾値とを対比して、前記接合状態を判定する方法を示したが、前記分割された複数の領域毎、および全領域のいずれか一方の平均温度に基づいて判定するようにしてもよい。さらに、制御部13において、温度検出手段12により得られた検出結果から画像処理を施して、該処理結果に基づいて前記接合状態を判定するようにしてもよい。
さらにまた、前記実施形態では、金属多孔質体2がシート状とされ、金属体3が板状とされた金属接合体1を示したが、これら2、3の少なくとも一方が例えば塊状であってもよく、その形状は限定されるものではない。
さらにまた、前記実施形態では、金属多孔質体2がシート状とされ、金属体3が板状とされた金属接合体1を示したが、これら2、3の少なくとも一方が例えば塊状であってもよく、その形状は限定されるものではない。
また、前記実施形態では、加熱手段11として、金属接合体1を金属体3側から、金属体3と非接触状態で加熱可能とされた加熱ランプを示したが、これに代えて、図3に示すように、金属体3の裏面に接触して加熱する抵抗加熱ヒータ21(検査装置20)を採用してもよい。
ここで、図3に示す検査装置20を用いて、金属多孔質体2と金属体3との接合状態を検査し、前述した作用効果についての検証試験を実施した。
まず、厚さが0.9mmとされたシート状の金属多孔質体2、および厚さが4.0mmとされた板状の金属体3をともに純銅により形成して、これら2、3を拡散接合により接合して金属接合体1を形成した。また、金属多孔質体2は、平均孔径が約100μmとされ、気孔率が約90%とされたものを採用した。このような金属接合体1を4つ製造し、これらのうち2つは、金属多孔質体2と金属体3とを接合するに際し、良品プロセスに対して加圧力を小さくしたり、予め形成しておく金属多孔質体2の厚さ小さくする等して、前記接合状態が不良のものとした。つまり、良品の金属接合体1を2つ、不良品の金属接合体1を2つそれぞれ形成した。
まず、厚さが0.9mmとされたシート状の金属多孔質体2、および厚さが4.0mmとされた板状の金属体3をともに純銅により形成して、これら2、3を拡散接合により接合して金属接合体1を形成した。また、金属多孔質体2は、平均孔径が約100μmとされ、気孔率が約90%とされたものを採用した。このような金属接合体1を4つ製造し、これらのうち2つは、金属多孔質体2と金属体3とを接合するに際し、良品プロセスに対して加圧力を小さくしたり、予め形成しておく金属多孔質体2の厚さ小さくする等して、前記接合状態が不良のものとした。つまり、良品の金属接合体1を2つ、不良品の金属接合体1を2つそれぞれ形成した。
一方、検査装置20においては、金属多孔質体2の表面と温度検出手段12の検出レンズとの距離を約200mmとし、金属多孔質体2の表面の中で、約0.3mm〜0.4mm四方を1ポイントとした、縦60ポイント×横60ポイント=3600ポイントの範囲を検出領域に設定した。また、加熱手段21の設定温度は60℃に設定した。さらに、制御部13は、前記検出領域の全範囲での平均温度を、温度検出手段12からの検出データに基づいて算出し、この算出値と前記閾値とを対比して閾値以上であれば金属接合体1の接合状態が良好であると判定し、算出値が閾値より小さければ接合状態が不良であると判定するようにした。
結果を図4に示す。この図から明らかなように、良品の金属接合体1においては、金属体3側からの熱が金属多孔質体2の表面に良好に伝達されて、その温度が早期に所定値(図示の例では50℃)以上となる反面、不良品の金属接合体1においては、金属多孔質体2の表面における温度が、加熱時間が長くても前記所定値に到達し難いことが確認された。また、前記検査した4つの金属接合体1において、金属多孔質体2と金属体3とを分離させようとすると、前記2つの不良品では、金属多孔質体2が金属体3の表面に残存せずにこれら2、3の接合部ごと剥れる一方、良品においては、これら2、3の接合部が剥れず、金属多孔質体2が金属体3の表面に残存するようにしてちぎれることが確認された。
以上により、本発明に係る検査方法により、金属接合体1の接合状態を高効率かつ高精度に検査できることが確認できた。
以上により、本発明に係る検査方法により、金属接合体1の接合状態を高効率かつ高精度に検査できることが確認できた。
一方が三次元網目構造を有する金属多孔質体とされるとともに、他方が金属体とされた金属接合体の接合状態を検査することができる。
1 金属接合体
2 金属多孔質体
3 金属体
10、20 金属接合体の検査装置
2 金属多孔質体
3 金属体
10、20 金属接合体の検査装置
Claims (3)
- 一方が三次元網目構造を有する金属多孔質体とされるとともに、他方が金属体とされた金属接合体の前記他方側から加熱、若しくは冷却したときにおける、前記金属多孔質体の表面の温度を検出することにより、該金属多孔質体と前記金属体との接合状態を検査することを特徴とする金属接合体の検査方法。
- 請求項1記載の金属接合体の検査方法において、
赤外線サーモグラフィ法により前記金属多孔質体の表面の温度を検出することを特徴とする金属接合体の検査方法。 - 請求項1または2に記載の金属接合体の検査方法において、
前記金属接合体の前記他方側から加熱するに際し、前記金属体と非接触状態でランプ加熱することを特徴とする金属接合体の検査方法。
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JP2018179749A (ja) * | 2017-04-13 | 2018-11-15 | 株式会社Vtsタッチセンサー | 検査装置および検査方法 |
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