JP2006165557A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガラス基板の表面に窒化アルミニウム膜を形成する。この窒化アルミニウム膜は、ヒートシンクとして機能し、ガラス基板表面に形成される素子(例えばTFT)から発生られる熱が局所的に集中しないように機能する。
【選択図】なし
Description
・光学的に可視光線に対しては透光性であるので、液晶表示装置のように光が装置中を透過する場合に利用しやすい。
・価格が安い。
といった有用性があるが、ガラス基板の耐熱温度で、熱処理温度の上限が制限されるという問題がある。
一方、基板を加熱処理する工程は、処理速度の問題から、基板を鉛直に複数枚立てて加熱炉内に配置されるのが普通であるが、基板の歪点温度以上の加熱処理においては基板の撓みが顕著になってしまう。
・ガラス基板の縮みの問題
・ガラス基板の撓み(たわみ)の問題
・TFTの動作時における発熱の問題
を解決することを発明の目的とする。
(2)後の加熱処理工程において、基板が片面側に反ってしまうことを防ぐことができる。
上記非晶質珪素膜の加熱による結晶化に先立ち、NiやPbを結晶化促進材料として、非晶質珪素膜の上面または下面に成膜したり、また前記材料をイオン注入方によって、非晶質珪素膜中に注入することによって、この結晶化材料を導入した領域から、基板に平行な方向に結晶成長をさせることができる。また、選択的に珪素イオンの注入を行なった場合にも、選択的な結晶成長を行なうことができる。
本実施例におけるガラス基板(コーニング7059)の縮みのデータを図3に示す。図3に示されているのは、基板を同一条件で前熱処理し、しかる後に下地膜を成膜し、さらに非晶質珪素膜を成膜し、異なる条件において、加熱結晶化を行なった際の基板の最終的な縮みを示したものである。
図3を見れば明らかなように、ガラス基板の転移点(この場合は628℃)以下での加熱処理、すなわち、少なくともガラス歪み点から上下100℃の範囲では冷却速度が大きい方が基板の縮みは小さいことが分かる。
この際、赤外光の照射によって、活性層205は800〜1300℃、代表的には900〜1200℃、例えば1100℃に加熱される。この温度はガラス上の実際の温度ではなく(ガラスは赤外光を透過するため)、モニターとして用いた珪素ウェハー上の温度である。ここでは、活性層の表面の状態を良くするために、照射はH2雰囲気中で行なう。本工程は、活性層を選択的に加熱することになるので、ガラス基板への加熱を最小限に抑えることができる。そして、活性層中の欠陥や不体結合手を減少させるのに非常に効果がある。(図2(B))
このゲイト絶縁膜となる酸化珪素膜206の成膜後に、前記赤外光の照射工程と同じ条件で可視・近赤外線の照射による光アニールを再度行なう。このアニールによって、主に酸化珪素膜206と珪素膜205との界面及びその近傍における準位を消滅させることができる。これは、ゲイト絶縁膜とチャネル形成領域との界面特性が極めて重要である絶縁ゲイト型電界効果半導体装置にとっては極めて有用である。
上記に示す回路は、PTFTとNTFTとを相補型に設けたCMOS構造であるが、上記工程において、2つのTFTを同時に作り、中央で切断することにより、独立したTFTを2つ同時に作製することも可能である。
その際には、図1に示す装置を用いて行えばよいことはいうまでもない。(図4(A))
次に、珪素膜をパターニングして、島状の活性層領域505および506を形成する。活性層のエッチングは垂直方向に異方性を有するRIE法によって行った。(図5A))
このようにして、相補型TFT回路を形成する。本実施例では可視・近赤外光照射の際に活性層の表面に保護膜が形成されており、表面の荒れや汚染が防止される。このため、本実施例のTFTの特性(電界移動度やしきい値電圧)および信頼性は極めて良好であった。また、本実施例からも明らかなように、本発明はガラス歪み点が550〜650℃の基板材料において、特に有効であった。さらに、本発明においては、徐冷工程を窒素、アンモニア、亜酸化窒素等の窒素系の気体を含む雰囲気中でおこなうと、ガラスを窒化させることになり、ガラスに含有される各種不純物元素がガラス表面に拡散、析出することを抑制できるので、半導体素子を形成するうえで、高い信頼性を得ることができた。
12 基板保持手段
13 基板
201 ガラス基板
202 下地膜(窒化アルミ膜)
203 珪素膜
204 酸化珪素膜
205 島状珪素膜(活性層)
206 ゲイト絶縁膜(酸化珪素膜)
207 ゲイト電極(アルミニウム)
208 陽極酸化層(酸化アルミニウム)
209 ゲイト電極
210 陽極酸化層
211 ソース(ドレイン)領域
212 チャネル形成領域
213 ドレイン(ソース)領域
214 ソース(ドレイン)領域
215 チャネル形成領域
216 ドレイン(ソース)領域
217 層間絶縁物
218 電極
219 電極
220 電極
Claims (4)
- ガラス基板上に形成された、酸素が0.001原子%〜10原子%混入した窒化アルミニウムを主成分とする被膜と、
前記被膜上の、ソース領域、ドレイン領域、チャネル形成領域を有する島状珪素膜と、
前記島状珪素膜上の酸化珪素膜と、
前記酸化珪素膜上の窒化アルミニウム膜と、
前記窒化アルミニウム膜上のゲイト電極とを有することを特徴とする半導体装置。 - ガラス基板上に形成された、酸素が0.001原子%〜10原子%混入した窒化アルミニウムを主成分とする被膜と、
前記被膜上の、ソース領域、ドレイン領域、チャネル形成領域を有する島状珪素膜と、
前記島状珪素膜上の酸化珪素膜と、
前記酸化珪素膜上の窒化アルミニウム膜と、
前記窒化アルミニウム膜上のゲイト電極とを有し、
前記被膜が形成されている前記ガラス基板の面と反対側の面に、酸素が0.001原子%〜10原子%混入した窒化アルミニウムを主成分とする被膜が形成されていることを特徴とする半導体装置。 - ガラス基板上に形成された、酸素が0.001原子%〜10原子%混入した窒化アルミニウムを主成分とする被膜と、
前記被膜上の、ソース領域、ドレイン領域、チャネル形成領域を有する島状珪素膜と、
前記島状珪素膜上の酸化珪素膜と、
前記酸化珪素膜上の窒化アルミニウム膜と、
前記窒化アルミニウム膜上のゲイト電極とを有し、
前記ガラス基板は600℃以下の熱処理後における急速な冷却において、50ppm以下の縮み特性を有することを特徴とする半導体装置。 - ガラス基板上に形成された、酸素が0.001原子%〜10原子%混入した窒化アルミニウムを主成分とする被膜と、
前記被膜上の、ソース領域、ドレイン領域、チャネル形成領域を有する島状珪素膜と、
前記島状珪素膜上の酸化珪素膜と、
前記酸化珪素膜上の窒化アルミニウム膜と、
前記窒化アルミニウム膜上のゲイト電極とを有し、
前記被膜が形成されている前記ガラス基板の面と反対側の面に、酸素が0.001原子%〜10原子%混入した窒化アルミニウムを主成分とする被膜が形成されており、
前記ガラス基板は600℃以下の熱処理後における急速な冷却において、50ppm以下の縮み特性を有することを特徴とする半導体装置。
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JP2009270127A (ja) * | 2008-04-30 | 2009-11-19 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 圧電体の製造方法および圧電素子 |
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2005
- 2005-12-05 JP JP2005350836A patent/JP4203066B2/ja not_active Expired - Fee Related
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