JP2006164989A - 静電マイクロリレー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固定基板10の固定電極12と、固定基板10に弾性支持部を介して支持した可動基板20の可動電極23との間に発生させる静電引力に基づいて可動基板20を駆動し、固定基板10に形成した少なくとも2つの信号線13,14にそれぞれ設けた固定接点13a,14aに、可動基板20に絶縁膜を介して形成した可動接点28を接離することにより、信号線13,14を電気的に開閉する。信号線13,14は、固定接点13a,14aが所定間隔で隣接するように同一直線上に形成する。可動電極23は、少なくとも信号線13.14に対向する部分を除去する。
【選択図】図1
Description
12…固定電極
12a1、12a2、12a3、12a4…配線
12b1、12b2、12b3、12b4…接続パッド
13、14…信号線
13a、14a…固定接点
13b、14b…接続パッド
15a…配線
15b…接続パッド
20…可動基板
21a,21b…アンカ
22…第1弾性支持部
23…可動電極
24…第2弾性支持部
28…可動接点
Claims (7)
- 固定基板の固定電極と、固定基板に弾性支持部を介して支持した可動基板の可動電極との間に発生させる静電引力に基づいて可動基板を駆動し、固定基板に形成した少なくとも2つの信号線にそれぞれ設けた固定接点に、前記可動基板に絶縁膜を介して形成した可動接点を接離することにより、前記信号線を電気的に開閉するようにした静電マイクロリレーにおいて、
前記信号線は、同一直線上で固定接点が所定間隔で隣接するように形成し、
前記可動電極は、少なくとも信号線に対向する部分を除去してなる構成としたことを特徴とする静電マイクロリレー。 - 前記固定電極は、前記信号線の長手方向の両側に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の静電マイクロリレー。
- 前記固定電極は、高周波GND電極と共用したことを特徴とする請求項2に記載の静電マイクロリレー。
- 前記固定電極を、前記固定基板の固定接点の間で電気的に接続したことを特徴とする請求項2に記載の静電マイクロリレー。
- 前記固定基板をガラスで構成する一方、前記可動基板を単結晶シリコンで構成したことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の静電マイクロリレー。
- 前記信号線の幅と、信号線及び固定電極の距離との比を、0.04〜2.00としたことを特徴とする請求項5に記載の静電マイクロリレー。
- 前記可動基板に第二の弾性支持部を形成し、該弾性支持部に絶縁膜を介して可動接点を形成したことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の静電マイクロリレー。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000352943A (ja) * | 1999-06-07 | 2000-12-19 | Xerox Corp | 超精密電気機械式シャッタ・アセンブリ及び同形成方法 |
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- 2005-12-12 JP JP2005357907A patent/JP3852479B2/ja not_active Expired - Lifetime
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JP2000352943A (ja) * | 1999-06-07 | 2000-12-19 | Xerox Corp | 超精密電気機械式シャッタ・アセンブリ及び同形成方法 |
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Publication number | Publication date |
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