JP2006156945A - 外周処理装置及び処理方法 - Google Patents
外周処理装置及び処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006156945A JP2006156945A JP2005195965A JP2005195965A JP2006156945A JP 2006156945 A JP2006156945 A JP 2006156945A JP 2005195965 A JP2005195965 A JP 2005195965A JP 2005195965 A JP2005195965 A JP 2005195965A JP 2006156945 A JP2006156945 A JP 2006156945A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- nozzle
- outer periphery
- suction nozzle
- annular surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【解決手段】
ウェハWを、外周部を突出させた状態でステージ10にセットする。このウェハWの外周部の裏側に吹出しノズル21と吸引ノズル22が位置するようにする。吹出しノズル21の先端部の吹出し軸L21は、ほぼウェハWの周方向に向ける。吸引ノズル22を、吹出しノズル21と前記周方向に対向するように配置する。吹出しノズル21と吸引ノズル22の間のウェハ外周部には、輻射加熱器50からの輻射熱を照射する。
【選択図】図1
Description
そこで、例えば特許文献1(特開平10−189515号公報)等では、ウェハの外周部の裏面にプラズマガスを吹き付け、不要付着物をエッチングして除去している。
ウェハの外周部に被膜された不要物を除去する方法であって、
不要物除去のための反応性ガスの吹出しノズルからウェハ外周部への吹出し方向を、ほぼウェハの周方向(被処理位置での接線方向)に向けることを特徴とする。
また、本発明は、
ウェハの外周部に被膜された不要物を除去する装置であって、
不要物除去のための反応性ガスを吹出す吹出しノズルを含み、この吹出しノズルの吹出し方向が、前記ウェハの外周部が位置されるべき環状面の近傍においてほぼ前記環状面の周方向(被処理位置での接線方向)に向くように配置されることを特徴とする。
これによって、反応性ガスがウェハの外周に沿って流れるようにすることができ、反応性ガスがウェハ外周に接触する時間を長くでき、反応効率を向上させることができる。
前記吹出しノズルの先端部(吹出し軸)は、前記環状面に向けて傾けられていることが望ましい。これによって、反応性ガスをウェハに確実に当てることができる。
前記吹出しノズルの先端部(吹出し軸)が、前記環状面の半径方向内側へ向けて傾けられていることが望ましい。これによって、反応性ガスがウェハの表側に回り込むのを防止でき、表側にダメージが及ぶのを防止することができる。
勿論、吹出しノズルの先端部(吹出し軸)をウェハの周方向(接線方向)にまっすぐ向けてもよい。
前記吸引ノズルは、前記環状面の周方向(接線方向)にほぼ沿って吹出しノズルと対向するように配置されるのが好ましい。
これによって、反応性ガスの流れ方向をウェハの周方向に確実に沿うように制御することができ、処理すべきでない部位に反応性ガスが及ぶのを確実に防止することができる。そして、吹出しノズルからほぼ接線方向に吹出され、反応後、処理済みとなったガス(パーティクル等の反応副生成物を含む)をそのままウェハの接線方向に沿ってほぼまっすぐ流して、吸引ノズルで吸引し排気することができ、ウェハ上にパーティクルが堆積するのを防止することができる。
前記吹出しノズルが、前記環状面の裏側に配置される場合には、吸引ノズルも裏側に配置される。この場合、前記吸引ノズルの先端部(吸引軸)は、前記環状面に向けて傾けられていることが望ましい。これによって、ウェハに沿って流れて来た反応性ガスを確実に吸引することができる。
吸引ノズルの先端部(吸引軸)を、吹出しノズルの先端部(吹出し軸)と一直線をなすようにウェハの周方向(接線方向)にまっすぐ向けてもよい。
これにより、吹出しノズルから吹出され、反応後、処理済みとなったガス(パーティクル等の反応副生成物を含む)をウェハ上から速やかに半径外側へ出し、吸引・排気することができ、ウェハ上にパーティクルが堆積するのを防止することができる。
これにより、吹出しノズルから吹出されたガスを、ウェハ外周の吹出しノズル配置側の面から外端面を経て吸引ノズル配置側の面へ流すことができ、ウェハの外端面の不要膜を確実に除去することができる。そして、処理済みとなったガス(パーティクル等の反応副生成物を含む)を吸引ノズルに吸込んで排気することができ、ウェハ上にパーティクルが堆積するのを防止することができる。
前記吸引ノズルが、前記吹出しノズルより2〜5倍の口径を有していることが好ましい。
前記吹出しノズルの口径は、例えば1〜3mm程度が好ましい。これに対し、前記吸引ノズルの口径は、例えば2〜15mm程度が好ましい。
これによって、処理済みのガスや反応副生成物が拡散するのを抑制でき、吸込み口に確実に吸い込んで排気することができる。
これによって、吹出しノズルと吸引ノズルの間に位置するウェハ外周部を局所的に加熱しながら反応性ガスを接触させることができる。高温なほどエッチングレートが高くなる膜(例えばフォトレジスト等の有機膜)を除去する場合に有効である。局所加熱であるので、処理すべきでない部位までもが加熱されるのを防止ないし抑制できる。また、非接触で加熱できるので、パーティクルの発生を確実に防止できる。
輻射加熱器は、レーザ加熱器を用いるのが望ましい。
これによって、ウェハの外周部の各処理ポイントを、吹出しノズルからの反応性ガスが当たりはじめてすぐに輻射加熱でき、その後の反応性ガスが当たり続ける期間の大半を通じて、残熱で高温を維持させることができ、処理効率を一層確実に向上させることができる。
ウェハの回転方向は上記とは逆にしてもよい。この場合、輻射加熱器の局所輻射位置を、前記吹出しノズルと吸引ノズルの間において吸引ノズル側に偏らせるとよい。
前記吹出しノズルと吸引ノズル間の距離は、回転手段の回転速度や輻射加熱器の加熱能力等を考慮して、適宜設定するのが望ましい。
これによって、ウェハの外周部より内側の処理すべきでない部分に熱が伝わって来ても、高温化するのを防止でき、ダメージが及ぶのを防止することができる。
はじめに、処理対象の半導体ウェハWについて説明する。図1の仮想線に示すように、ウェハWは円盤状をなしている。図3に示すように、ウェハWの上面(表側面)には、例えばフォトレジスト等の有機膜fが被膜されている。有機膜fは、ウェハWの上面全体を覆うだけでなく、外端面を経て裏面の外周部にまで達している。このウェハWの裏面外周部の有機膜faが、除去すべき不要物である。
オゾナイザー30は、フォトレジスト等の有機膜faを除去するのに好適な反応性ガスとしてオゾン(O3)を生成する。なお、オゾン(O3)は酸素分子と酸素原子(O2+O)に分解し、(O3)と(O2+O)の熱平衡状態になる。酸素原子ラジカル(O)の寿命は、温度に依存する。25℃付近では非常に長いが50℃付近になると半減する。
図1において仮想線に示すように、回転ステージ10の上面(ウェハ支持面)に、ウェハWが中心を一致させて水平にセットされるようになっている。この状態で、ウェハWの外周部が回転ステージ10より少し突出されるようになっている。すなわち、回転ステージ10の上面(ウェハ支持面)の外周を仮想的に囲む環状面CにウェハWの外周部が位置されるようになっている。このウェハWの突出量(環状面Cの幅)は、例えば3mm〜5mm程度である。
回転ステージ10の特に上板(ウェハWが当接される側の板)の材質には、熱伝導性の良好なもの(例えばアルミ)が用いられている。
詳述すると、吹出しノズル21の先端部分の吹出し軸L21は、ウェハWの周方向に略沿うとともに、ウェハWに向けて僅かに上へ傾けられ(図2及び図4(a))、かつ、回転ステージ10の側すなわちウェハWの半径方向内側へ向けて僅かに傾けられている(図1及び図4(b))。そして、先端の吹出し口が、ウェハWの裏面の近傍(環状面Cの近傍)に位置されている。吹出しノズル21の少なくとも先端部分は、透光性材料(例えば透光性テフロン(登録商標)、パイレックス(登録商標)ガラス、石英ガラス等)にて構成されている。
レーザ光源51には、例えば発光波長808nm〜940nmのLD(半導体)レーザ光源が用いられている。なお、レーザ光源は、LDに限られず、YAG、エキシマ等の種々の形式のものを用いてもよい。波長が不要膜faの吸収波長に合ったものを用いるとより好ましい。
レーザ照射ユニット52は、レーザ光源からのレーザ光を真上に向けて出射し、ウェハWの高さ付近に収束させるようになっている。これにより、レーザ加熱器50の光軸L50が真上に向けられ、吹出しノズル21と吸引ノズル22の間の吹出しノズル21寄りの部分と交差するようになっている。
処理すべきウェハWを回転ステージ10にセットする。ウェハWの外周部は、回転ステージ10より突出して環状面Cに位置され、吹出しノズル21と吸引ノズル22の先端部の直ぐ上側に被さることになる。
そして、オゾナイザー30のオゾンガスを、供給路31及び吹出しノズル21を順次経て、吹出し口から吹出し軸L21に沿って吹出す。これによって、オゾンガスがウェハWの外周部の裏面に吹き付けられる。図4(a)に示すように、吹出し軸L21が上向きに角度を付けられているので、オゾンガスをウェハWに確実に当てることができる。このオゾンガスは、ウェハWに当たった後もしばらくウェハWから離れることなく、その裏面上を周方向にほぼ沿って流れる。これによって、オゾンとウェハWの裏面の膜faとの反応時間を十分に長く確保することができ、膜faを効率的にエッチングし除去することができ、処理効率を向上させることができる。
同時に、吸引手段40を駆動して吸引ノズル22から吸引を行なう。したがって、オゾンガスは、拡散することなく吸引ノズル22へ向かって流れる。これによって、オゾンガスを周方向に確実に沿わせることができる。ひいては、ウェハWの表側に回り込むのを確実に防止でき、表側の膜fが特性変化等のダメージを受けるのを確実に防止することができる。また、膜faのエッチングによる副生成物を処理部位から速やかに排除することができる。この副生成物を含む処理済オゾンガスは、吸引ノズル22に吸い込まれ、排気される。
一方、ウェハWの外周裏面の各ポイントは、一旦加熱されると、輻射領域Rを通過後も熱がしばらく残り、高温になっている(図6の表面温度分布図を参照)。この高温になっている期間は未だ吹出しノズル21と吸引ノズル22の間のオゾンガスの通り道に位置しており、オゾンが接触し続けている。これによって、処理効率を一層向上させることができる。
しかも、輻射領域Rが、吹出しノズル21の側に偏っているので、ウェハWの外周裏面の各ポイントにオゾンが当たるとすぐに輻射加熱される。その後、このポイントは、輻射領域Rから離れるが、しばらく高温を維持し、その高温の期間中、オゾンと接触し続ける。これによって、処理効率をより一層向上させることができる。
同図(b)から明らかなように、輻射領域Rに入る前の部分でも、わずかな範囲ではあるが、輻射領域Rからの熱伝導で150℃以上になった。輻射領域Rに入ると一気に上昇し350℃〜790℃の温度分布になった。輻射領域Rを通過後は温度低下するが、しばらくは150℃以上であり、有機物の除去が可能な温度を維持した。これにより、回転と輻射加熱の組み合わせが有機物除去に有効であることが判明した。
輻射領域Rの温度を下げるためには、レーザ出力を下げたり、回転ステージの回転数を上げたりすることにより対応できる。逆に温度を上げるためには、レーザ出力を上げたり、回転ステージの回転数を下げたりすることで対応できる。
上記第1実施形態(図1及び図2)では、主にウェハの外周部の裏側の膜を除去するものであったが、図8及び図9に示す実施形態は、ウェハ外周部の表側の膜を主に除去するものである。この表側用のウェハ外周処理装置の処理ヘッド20は、ステージ10上のウェハWより上側に配置されている。吹出しノズル21と吸引ノズル22もウェハWより上側に配置されている。これらノズル21,22は、第1実施形態と同様に、平面視でウェハWのほぼ周方向(被処理位置P付近の接線方向)に沿って被処理位置Pを挟んで対向するように配置されている。
処理済みのガス(パーティクル等の反応副生成物を含む)は、吸引ノズル22の吸引と上記ウェハWの回転が相俟って上記吹出し時の流れ方向をほぼ維持しながら吸引ノズル22に吸込まれ、排気される。これによって、ウェハWの外周上にパーティクルが堆積するのを防止することができる。吸引ノズル22は、吹出しノズル21より口径が大きいので処理済みガスの漏れを抑制することができる。
吸引ノズル22は、ステージ10ひいてはウェハWの半径外側からウェハWのほぼ半径内側に向け、平面視で吹出しノズル21とほぼ直交するように配置されている。吸引ノズル22の先端の吸込み口の位置は、吹出しノズル21の先端の吹出し口よりウェハWの回転方向の順方向に少し離れて配置されている。吸引ノズル22の先端の上下方向の位置は、ステージ10の上面ひいてはウェハWとほぼ同じ高さに配置されている。
この構成によれば、吹出しノズル21から吹出され、反応後、処理済みとなったガス(パーティクル等の反応副生成物を含む)をウェハW上から速やかに半径外側へ出し、吸引ノズル22で吸込んで排気することができ、ウェハW上にパーティクルが堆積するのを防止することができる。
この構成によれば、図12の矢印に示すように、吹出しノズル22から吹出されたガスは、ウェハWの外周部の上面側から外端面に沿って下面側へ流れる。この過程でウェハWの外端面の不要膜faと反応を起こし、外端面の膜faを確実に除去することができる。そして、処理済みとなったガス(パーティクル等の反応副生成物を含む)は、下側の吸引ノズル22に吸い込まれ排気される。
例えば、反応性ガスとしてのオゾン供給源として、オゾン発生装置(オゾナイザー)に代えて、プラズマ放電装置を用いてもよい。プロセスガスとして酸素を用い、プラズマ放電を行なうことにより、オゾナイザーと同様にオゾンを生成することができる。
反応性ガスは、オゾンに限られず、除去すべき不要膜の成分に対応して種々のガスを選択することができる。
輻射加熱器として、レーザ加熱器に変えて、赤外線照射器を用いてもよい。
ウェハが静止して支持されるとともに、回転手段が吹出しノズルと吸引ノズルを上記ウェハの周りに回転させるようになっていてもよい。
21 吹出しノズル
22 吸引ノズル
23 吹出しノズル保持部材
23a 冷却路
30 オゾナイザー(反応性ガス供給源)
50 レーザ加熱器(輻射加熱器)
L21 吹出し軸
L22 吸引軸
L50 レーザ光軸
R 局所輻射領域
C 環状面
W ウェハ
Claims (11)
- ウェハの外周部に被膜された不要物を除去する方法であって、
不要物除去のための反応性ガスのウェハ外周部への吹出し方向を、ほぼウェハの周方向に向けることを特徴とするウェハ外周処理方法。 - ウェハの外周部に被膜された不要物を除去する装置であって、
不要物除去のための反応性ガスを吹出す吹出しノズルを含み、この吹出しノズルの吹出し方向が、前記ウェハの外周部が位置されるべき環状面の近傍においてほぼ前記環状面の周方向に向くように配置されることを特徴とするウェハ外周処理装置。 - 前記吹出しノズルが、前記環状面の裏側に配置されることを特徴とする請求項2に記載のウェハ外周処理装置。
- 前記環状面の周方向に沿って吹出しノズルと対向するように配置された吸引ノズルを更に含むことを特徴とする請求項2又は3に記載のウェハ外周処理装置。
- 前記環状面における吹出しノズルと吸引ノズルの間に局所的に輻射熱を照射する輻射加熱器を設けたことを特徴とする請求項4に記載のウェハ外周処理装置。
- 前記ウェハを前記吹出しノズル及び吸引ノズルに対して相対回転させる回転手段を備え、この相対回転方向を吹出しノズルから吸引ノズルへの順方向に向けたことを特徴とする請求項5に記載のウェハ外周処理装置。
- 前記輻射加熱器の局所輻射位置を、前記吹出しノズルと吸引ノズルの間において吹出しノズル側に偏らせたことを特徴とする請求項6に記載のウェハ外周処理装置。
- 前記環状面の内側に配置されたウェハ支持面を有し、ウェハの外周部を突出させた状態で前記ウェハ支持面にウェハの裏面を当接して支持するステージを備え、このステージに、ウェハ支持面から吸熱する吸熱手段を設けたことを特徴とする請求項2〜7の何れかに記載のウェハ外周処理装置。
- 前記吹出しノズルの先端部が、前記環状面に向けて傾けられていることを特徴とする請求項3に記載のウェハ外周処理装置。
- 前記吹出しノズルの先端部が、前記環状面の半径内側へ向けて傾けられていることを特徴とする請求項3又は9に記載のウェハ外周処理装置。
- 前記吸引ノズルの先端部が、前記環状面に向けて傾けられていることを特徴とする請求項4に記載のウェハ外周処理装置。
Priority Applications (12)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005195965A JP3802918B2 (ja) | 2004-10-26 | 2005-07-05 | 外周処理装置及び処理方法 |
KR1020067020754A KR101109912B1 (ko) | 2004-07-09 | 2005-07-08 | 베이스 외주 처리 방법 및 장치 |
EP05758323A EP1801861B1 (en) | 2004-07-09 | 2005-07-08 | Method and device for treating outer periphery of a substrate |
US11/631,795 US20080073324A1 (en) | 2004-07-09 | 2005-07-08 | Method For Processing Outer Periphery Of Substrate And Apparatus Thereof |
EP07012585A EP1833078B1 (en) | 2004-07-09 | 2005-07-08 | Apparatus and method for processing the outer periphery of a substrate |
CN2005800231965A CN101124663B (zh) | 2004-07-09 | 2005-07-08 | 用于处理基板的外周部的方法及设备 |
PCT/JP2005/012662 WO2006006526A1 (ja) | 2004-07-09 | 2005-07-08 | 基材外周処理方法及び装置 |
TW094123262A TWI284350B (en) | 2004-07-09 | 2005-07-08 | Method and device for treating outer periphery of base material |
KR1020077015490A KR101022616B1 (ko) | 2004-07-09 | 2005-07-08 | 베이스 외주 처리 방법 및 장치 |
TW095103091A TWI284369B (en) | 2004-07-09 | 2005-07-08 | Method and device for treating outer periphery of base material |
US11/779,142 US20080017613A1 (en) | 2004-07-09 | 2007-07-17 | Method for processing outer periphery of substrate and apparatus thereof |
US13/618,594 US20130008870A1 (en) | 2004-07-09 | 2012-09-14 | Method for processing outer periphery of substrate and apparatus thereof |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004311140 | 2004-10-26 | ||
JP2004311140 | 2004-10-26 | ||
JP2005195965A JP3802918B2 (ja) | 2004-10-26 | 2005-07-05 | 外周処理装置及び処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006156945A true JP2006156945A (ja) | 2006-06-15 |
JP3802918B2 JP3802918B2 (ja) | 2006-08-02 |
Family
ID=36634794
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005195965A Active JP3802918B2 (ja) | 2004-07-09 | 2005-07-05 | 外周処理装置及び処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3802918B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010230646A (ja) * | 2009-03-04 | 2010-10-14 | Avanstrate Inc | ガラス板端面のパーティクル測定方法および測定装置 |
JP2015106689A (ja) * | 2013-12-02 | 2015-06-08 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 被処理体に臨んだ位置で加熱する加熱ウェット処理装置およびその方法 |
WO2015083669A1 (ja) * | 2013-12-02 | 2015-06-11 | 独立行政法人 産業技術総合研究所 | ウェット処理装置 |
-
2005
- 2005-07-05 JP JP2005195965A patent/JP3802918B2/ja active Active
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010230646A (ja) * | 2009-03-04 | 2010-10-14 | Avanstrate Inc | ガラス板端面のパーティクル測定方法および測定装置 |
JP2015106689A (ja) * | 2013-12-02 | 2015-06-08 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 被処理体に臨んだ位置で加熱する加熱ウェット処理装置およびその方法 |
WO2015083669A1 (ja) * | 2013-12-02 | 2015-06-11 | 独立行政法人 産業技術総合研究所 | ウェット処理装置 |
KR20160084459A (ko) * | 2013-12-02 | 2016-07-13 | 고쿠리츠켄큐카이하츠호진 상교기쥬츠 소고켄큐쇼 | 웨트 처리 장치 |
KR101872417B1 (ko) * | 2013-12-02 | 2018-07-31 | 고쿠리츠켄큐카이하츠호진 상교기쥬츠 소고켄큐쇼 | 웨트 처리 장치 |
KR20190020851A (ko) * | 2013-12-02 | 2019-03-04 | 고쿠리츠켄큐카이하츠호진 상교기쥬츠 소고켄큐쇼 | 웨트 처리 장치 |
US10431446B2 (en) | 2013-12-02 | 2019-10-01 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Wet processing apparatus |
KR102048433B1 (ko) * | 2013-12-02 | 2019-11-25 | 고쿠리츠켄큐카이하츠호진 상교기쥬츠 소고켄큐쇼 | 웨트 처리 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3802918B2 (ja) | 2006-08-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3765826B2 (ja) | 基材外周処理方法及び装置 | |
JP3769583B1 (ja) | 基材処理装置及び方法 | |
JP3769584B2 (ja) | 基材処理装置及び方法 | |
EP2966673B1 (en) | Substrate processing device and substrate processing method | |
TWI374070B (en) | Laser processing apparatus and laser processing method as well as debris extraction mechanism and debris extraction method | |
WO2006006526A1 (ja) | 基材外周処理方法及び装置 | |
TWI520200B (zh) | A polymer removing device and a polymer removing method | |
JP2008128567A (ja) | 基板乾燥方法および基板乾燥装置 | |
JP3802918B2 (ja) | 外周処理装置及び処理方法 | |
WO2014157179A1 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP5016223B2 (ja) | 基材外周処理装置 | |
JP4704916B2 (ja) | 基材外周処理装置及び方法 | |
JP5118176B2 (ja) | スピン処理装置及びスピン処理方法 | |
JPS62290134A (ja) | フオトレジストの剥離装置 | |
US20060213615A1 (en) | Laser nozzle cleaning tool | |
TWI818119B (zh) | 基板處理方法、及基板處理裝置 | |
TW201411779A (zh) | 用於分離,至少部分乾燥與檢測電子元件的裝置與方法 | |
JP4870988B2 (ja) | 基材外周処理方法 | |
JP7245059B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP4896591B2 (ja) | 基材外周処理装置及び方法 | |
JP4594767B2 (ja) | 基材外周処理装置 | |
JP4772399B2 (ja) | 基材外周の処理方法及び処理装置 | |
WO2020012959A1 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JPH10242098A (ja) | ウエハ清浄化装置及びウエハ清浄化方法 | |
JPH07160007A (ja) | レジスト除去方法及びレジスト除去装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060316 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060411 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060428 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 3802918 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090512 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100512 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110512 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110512 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120512 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130512 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140512 Year of fee payment: 8 |