JP2006156921A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 薄膜トランジスタの半導体層にSi1−XGeXを適用する。さらに水素を含むSiN膜を形成し、熱処理することにより、プロセス時間を短縮することができる。
【効果】 本発明の薄膜トランジスタは、半導体層にGeを含有するSi膜を適用することによりの水素終端化の効率が向上する。これに水素を含むSiN膜を適用することにより、水素終端化のための熱処理プロセス時間を短縮でき、生産性が向上するため、低コストの薄膜トランジスタを提供できる。
【選択図】 図1
Description
このため、短時間で終端化処理することができ、生産性良く薄膜トランジスタを形成することができる。
まず絶縁基板1上に下地層2を形成する。下地層2の形成方法として、PECVD法により、原料ガスとして、SiH4とNH3、N2の混合ガスを用いて成膜した。
この上にSi1−XGeX膜(X=0.1)を形成した。Si1−XGeX膜はPECVD法により成膜した。原料ガスとしてSiH4、GeH4及びH2を用いた。成膜した膜は、450℃に加熱し脱水素化した後、レーザアニールにより結晶化した。ついで、ホトリソグラフィー工程を用いて島状に加工した。
ついで、保護膜10として水素を含むSiN膜をプラズマCVD法で成膜した。原料ガスとしてSiH4、GeH4及びH2を用いた。
この後、400℃で30分アニールし水素終端化した。作製したTFTの移動度は50cm2V−1S−1と良好な特性を示すことが分かった。
移動度のアニール時間依存性を図2に示す。図には半導体層としてp−Siを適用したTFTの結果も併せて示した。図からSi1−XGeX膜の場合、移動度の向上を短時間で達成できることがわかる。
実施例2
まず、絶縁基板1上にゲート電極配線3を形成した。ゲート電極配線としてはCr膜をスパッタリング法により形成した。フォトリソグラフィー工程を用いパターニングし、ゲート電極配線を形成した。
実施例3
まず絶縁基板1上に下地層2を形成する。この上にゲート電極配線5を形成した。ゲート電極配線5としてはMoW膜をスパッタリング法により形成した。フォトリソグラフィー工程を用いパターニングし、ゲート電極配線を形成した。この上に、ゲート絶縁層を形成した。ゲート絶縁層4には、SiO2膜をPECVD法によりTEOS、O2を原料ガスとして形成した。半導体層3はSi1−XGeX膜(X=0.05)を用いた。Si1−XGeX膜は、反応熱CVD法によりSi2H6とGeF4とHeを用いて形成した。ついで、フォトリソグラフィー法により半導体層3を島状に加工した。
Claims (4)
- 基板上にゲート電極、ソース電極、ドレイン電極、ゲート絶縁膜、半導体層、水素供給層を具備し該半導体層がGeを含有するSiであり半導体層がゲート絶縁層の上に形成され、水素供給層が半導体層の上に形成されていることを特徴とした薄膜トランジスタ。
- 請求項1において半導体層がSi1−XGeX(0.01≦X≦0.3)であることを特徴とした薄膜トランジスタ。
- 請求項1において水素供給層が水素を含む窒化シリコンであることを特徴とした薄膜トランジスタ。
- 基板上にゲート電極を形成した後、ゲート絶縁膜を形成し反応熱CVD法によりGeを含むSi膜を成膜し加工した後、ソース電極、ドレイン電極を形成し、その後水素供給層を形成することを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法。
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