JP2006156727A - 放熱板の製造方法 - Google Patents

放熱板の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2006156727A
JP2006156727A JP2004345395A JP2004345395A JP2006156727A JP 2006156727 A JP2006156727 A JP 2006156727A JP 2004345395 A JP2004345395 A JP 2004345395A JP 2004345395 A JP2004345395 A JP 2004345395A JP 2006156727 A JP2006156727 A JP 2006156727A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
kneaded material
thermosetting resin
metal plate
inorganic filler
heat sink
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004345395A
Other languages
English (en)
Inventor
Tetsuya Tsumura
哲也 津村
Michihiro Miyauchi
美智博 宮内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2004345395A priority Critical patent/JP2006156727A/ja
Publication of JP2006156727A publication Critical patent/JP2006156727A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

【課題】本発明は電子部品を実装した際に、放熱効果が高く、絶縁性を確保する放熱板を提供する目的のものである。
【解決手段】本発明の放熱板の製造方法は、無機フィラー1b,1cと熱硬化性樹脂1aとからなる、絶縁性の混練物1と金属板2とを、真空中で積層することを特徴とするものである。これにより、接合強度が高まり、発熱電子部品からの熱を混練物1を介して、効率よく金属板2に伝達し、放熱することができるものである。
【選択図】図1

Description

本発明は無機フィラーと熱硬化性樹脂の混練物により放熱性を向上させた放熱板の製造方法に関するものである。
近年、電子機器の高性能化、小型化の要求に従い、電子部品の高機能化と電子部品の高密度実装が必要になり、機器内における電子部品の温度上昇が大きな課題となってきている。
その結果、電子部品の放熱を高める方法が重要となってきており、電子部品の放熱性を高める技術として、電子部品の背面にアルミ製放熱板を実装し、電子部品の背面から熱を拡散する方式が知られていたが、この方式では、大電流が流れる電子部品に対しては絶縁が保てないという課題がさらにあった。
そこで、従来は、無機フィラーと熱硬化性樹脂とからなる絶縁性の混練物を金属板上に積層することによって前記課題を解決していた。金属板上に絶縁物が形成されているため、この絶縁層上に直接電子部品を取り付けることができ、また、絶縁物には無機のフィラーが高濃度に入っているため絶縁物の熱伝導率が大きくなっており、電子部品で発生した熱を効率よく金属板に伝達でき、電子部品の温度上昇を抑えることができるものであった。
この放熱板の製造方法を、図7を用いて説明する。図7において、101は無機フィラーと熱硬化性樹脂とからなる絶縁性の混練物であり、PETフィルム103上に所定の厚みにシート化されている。この混練物101の端部をアルミニウムなどからなる金属板102上に積層する。このとき、金属板102に対して、ローラー104を用い、混練物101をPETフィルム103を介して大気雰囲気中で端から順に押圧し、積層する。さらに、PETフィルム103を剥離した後、これに熱を加えて熱硬化性樹脂を硬化させ、放熱板を作成する。
尚、この先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
特開2003−152143号公報
しかしながら、前記従来の製造方法において、混練物101を金属板102に積層する際、混練物101は硬化する前の状態であるため、金属板102に接する面の平坦度は高いといえず、この状態で積層すると混練物101と金属板102の間に空気層(ボイド)が発生し、残存してしまう場合があった。
すなわち、熱伝導率を高めるためには混練物101に含まれる無機フィラーは高濃度にする方がよいが、砂のような粒状をしている無機フィラーの含有重量%を高くすると、混練物101の粘性が高くなり、平面にしたときの面の平坦度が低下してしまい、微細な凹凸も発生し、空気層発生の原因となってしまうものであった。
この空気層は、熱バリアとなり、混練物101の熱伝導率を著しく低下させ、リフロー炉などに通過させて加熱した場合には、空気層に含有する水分が温度上昇で水蒸気となって膨張し、金属板102から混練物101を剥離させてしまうという問題点を有していた。
したがって、放熱板において、混練物101と金属板102の間に空気層が存在すると放熱特性が大きく低下してしまうものである。
本発明は、前記課題を解決しようとするものであり、放熱板における混練物と金属板との界面での空気層の発生あるいは残存を防止することを目的とするものである。
前記従来の課題を解決するために、本発明の製造方法は無機フィラーと熱硬化性樹脂とからなる絶縁性の混練物と金属板とを真空雰囲気中で積層することを特徴とするものである。
混練物に含まれる絶縁物には無機フィラーが高濃度に混合されているため、絶縁物の熱伝導率が高くなっており、電子部品で発生した熱を無機フィラーによって速やかに放熱することができる。
また、混練物と金属板とを真空中で積層されるので接合強度が高まり、混練物からの熱を効率よく金属板に伝達し、放熱することができるものである。
したがって、本発明の製造法によれば、熱伝導率の高い放熱板を製造することができる。
(実施の形態1)
以下、本発明の実施の形態1における放熱板の製造方法について、図面を参照しながら説明する。
図1(a)〜(c)は本発明の実施の形態1における製造工程の図であり、図2は熱硬化性樹脂に無機フィラーを添加した状態の概念図である。
図1(a)において、1は無機フィラーと熱硬化性樹脂とからなる絶縁性の混練物であり、混練物1に占める下記無機フィラー1b,1cは70〜95重量%であるものとする。
本実施の形態では混練物1に占める無機フィラー1b,1cの添加率を90重量%とした。
無機フィラー1b,1cは、Al23,MgO,SiO2,BNおよびAlNから選ばれる少なくとも一つを含んでいる。これらの無機フィラーを用いると、何れのものも放熱性が優れ、特に、MgOを用いると線膨張係数を大きくでき、SiO2を用いると誘電率を小さくでき、BNを用いると線膨張係数を小さくできる。
2はアルミニウム、銅またはそれらを主成分とする合金からなる金属板である。3はポリエチレンテレフタレート(PET)などからなるフィルムであり、フィルム3上に所定の厚みに混練物1を積層する。本実施の形態においては0.6mm厚とした。フィルム3上に混練物1を積層することで、工程間の移送を容易にするものである(工程a)。
フィルム3上に混練物1を積層する方法としては、ドクターブレード法、コーター法、押し出し成形法、圧延法などでシート化してもよく、これにより、厚みの均一性を図ることができる。
また、同様にディスペンサー、モーノポンプ、あるいは押し出し成形機などを用いて混練物1を必要量塗布する方法でもよい。これにより、実装する電子部品の間隔に応じて混練物1の厚みを変化させることも可能となり、実装する電子部品の間隔によって必要量の変化する混練物の充填不足をなくすことができる。
図1(b)において、4はローラーであり、金属板2上へ混練物1を積層したものを、フィルム3を介して端から順に押圧し、積層するとともに、この工程は20000Pa以上50000Pa以下の圧力の真空雰囲気中において行うものとする(工程b)。
これは、20000Pa以下では樹脂に内在する空気分が暴露されてしまい、硬化後、突起状のものが発生してしまうためである。50000Pa以上では空気層除去の効果が低減してしまうためである。
工程bを真空中で行うことが、本発明における特徴である。これは本実施の形態における無機フィラーは砂のような粒状をしているので、混練物1に含まれる無機フィラーが90重量%と高濃度であると、フィルム3上で平面にした混練物1の面としての平坦度を低くしてしまい、微細な凹凸となり、この混練物1を金属板2上へ積層する際に空気層を噛み込んでボイドが発生してしまうため、これを防ぐことができるものである。
なお、このとき図2に示す混練物1の材料温度と粘性係数との相関を示したグラフにあるように、混練物1の粘性が低く、安定な領域にある材料温度50〜90℃で行うものとする。これにより、金属板2への積層時に速やかに材料を積層できるものである。
図1(c)に示すように、フィルム3を剥離した後、これに熱を加えて、混練物1に含まれる熱硬化性樹脂を硬化させる(工程c)。
加熱の条件としては熱硬化性樹脂が完全硬化するまでとし、100〜200℃で1〜6時間行う。本実施の形態では170℃で3時間加熱した。これにより、混練物1中の熱硬化性樹脂が硬化し金属板2と一体化した放熱板として使用することができる。
なお、工程aにおいてフィルム3を用いて混練物1を金属板2へ積層したが、フィルム3を用いずに、混練物1をシート化する、もしくは塗布するなどして直接金属板2へ積層してもよいものとする。これにより、略平面形状でない金属板2などに対しても効率よく積層できるものである。
また、工程aにおいて用いられる下記無機フィラー1b,1cは略球形状で、その直径は0.1〜100μmであるが、粒径が小さいほど絶縁樹脂への添加率を向上でき、粒径の大きいものほど放熱性に優れる。
混練物1に占める下記無機フィラー1b,1cの添加率は、熱伝導率を上げるために、70〜95重量%と高濃度に添加している。この無機フィラー1b,1cの添加率と熱伝導率との関係を示したものが、図3である。
本実施の形態では、図3に示すように、混練物1に占める無機フィラー1b,1cの添加率を上げていくと熱伝導率も比例して増加していく。これが添加率70重量%を超えると、熱伝導率は急激に増加することから、添加率は70重量%以上とする。これは、ある添加率を超えると、添加される熱伝導性のよい無機フィラー1b,1cの粒子間の距離が短くなり、混練物1としての熱伝導率が急に高くなる領域が存在するということである。本発明では、この領域を利用することで混練物1の熱伝導率を高くすることができるというものである。
無機フィラー1b,1cの添加率をさらに上げていくと、熱伝導率は増加するが、95重量%を超えると、混練物1として形状を保持できなくなってしまうため、添加率は70〜95重量%とするものである。
次に、混練物1における無機フィラー1b,1cの状態について図4により説明する。
本実施の形態では、図4に示すように1aはエポキシ樹脂、フェノール樹脂およびシアネート樹脂の内、少なくとも1種類の樹脂を含んでいる熱硬化性樹脂であり、これらの樹脂は耐熱性や電気絶縁性に優れている。1bは粒径3μmのAl23製の無機フィラーであり、1cは粒径12μmのAl23製の無機フィラーであり、これら2種類を混合し、熱硬化性樹脂1a中に分散されている。この大小2種類の粒径の無機フィラー1b,1cを用いることによって、大きな粒径の無機フィラー1bの隙間に小さな粒径の無機フィラー1cを充填できるので、無機フィラー1b,1cを90重量%近くまで高濃度に充填できるものである。この場合、混練物1の熱伝導率は3W/mK程度となる。
また、工程bにおいて、混練物1は必要に応じ複数回積層してもよいものとする。
上記のようにして、得られた放熱板5の利用例について説明する。
図5は電子部品が実装された状態の放熱板5の外観斜視図であり、図6は放熱板5を筐体に取り付けた状態の外観斜視図である。
図5において、5は金属板2上に混練物1を積層し、混練物1に含まれる熱硬化性樹脂を硬化させた放熱板であり、放熱板5上に電子部品6を載置している。電子部品6からは上部に向かって、端子6aが取り出されている。
図6において、7は図4の放熱板5を取り付ける筐体の一部である。
本実施の形態によれば、放熱板5上で電子部品6を近接して並べることが可能となり、配線距離を短くすることができる。このことにより、配線インピーダンスが小さくなり、配線上の損失を少なくすることができる。
また、電源の発熱の主要部品である電子部品6を放熱板5上に図5、6のごとく実装することで、電源全体の発熱も抑えることができ、結果として電源の小型化と、電子部品の小型化が可能となるものである。
以上のように、本発明によると熱伝導の高い放熱板を製造することが可能となるので、電子部品を実装した際に、放熱効果が高くなるものである。
(a)〜(c)本発明の実施の形態1における放熱板の製造工程図 本発明の実施の形態1における混練物1の材料温度と粘性係数の相関グラフ 本発明の実施の形態1における混練物1の無機フィラー1b,1cの添加率と熱伝導率の相関グラフ 本発明の実施の形態1における混練物1中の無機フィラーと熱硬化性樹脂の模式図 本発明を利用した放熱板の外観斜視図 本発明を利用した筐体の外観斜視図 従来の放熱板の製造概要図
符号の説明
1 混練物
1a 熱硬化性樹脂
1b 粒径3μmの無機フィラー
1c 粒径12μmの無機フィラー
2 金属板
3 フィルム
4 ローラー
5 放熱板
6 電子部品
6a 端子
7 筐体

Claims (6)

  1. 無機フィラーと熱硬化性樹脂とからなる絶縁性の混練物であって、前記無機フィラーは前記混練物の70〜95重量%とし、前記混練物と、金属板とを真空雰囲気中にて積層して必要形状に加工する積層工程と、前記熱硬化性樹脂を硬化させる硬化工程からなる放熱板の製造方法。
  2. 積層工程時の真空雰囲気を20000Pa以上50000Pa以下の圧力とする請求項1に記載の放熱板の製造方法。
  3. 無機フィラーと熱硬化性樹脂とからなる絶縁性の混練物であって、前記無機フィラーは前記混練物の70〜95重量%とし、前記混練物からシートを形成するシート形成工程と、前記シートと、金属板とを真空雰囲気中にて積層して必要形状に加工する積層工程と、前記熱硬化性樹脂を硬化させる硬化工程からなる放熱板の製造方法。
  4. シートを前記混練物がドクターブレード法、コーター法、押し出し成形法、圧延法のいずれかでシート化される請求項3に記載の放熱板の製造方法。
  5. シートがフィルム上に貼り付けられて供給されることを特徴とする請求項3記載の放熱板の製造方法。
  6. 無機フィラーと熱硬化性樹脂とからなる絶縁性の混練物であって、前記無機フィラーは前記混練物の70〜95重量%とし、前記混練物を、金属板上に真空雰囲気中にて塗布することにより積層して必要形状に加工する積層工程と、前記熱硬化性樹脂を硬化させる硬化工程からなる放熱板の製造方法。
JP2004345395A 2004-11-30 2004-11-30 放熱板の製造方法 Pending JP2006156727A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004345395A JP2006156727A (ja) 2004-11-30 2004-11-30 放熱板の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004345395A JP2006156727A (ja) 2004-11-30 2004-11-30 放熱板の製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006156727A true JP2006156727A (ja) 2006-06-15

Family

ID=36634624

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004345395A Pending JP2006156727A (ja) 2004-11-30 2004-11-30 放熱板の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006156727A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5114597B1 (ja) * 2012-03-27 2013-01-09 積水化学工業株式会社 積層体及び切断積層体
JP2014178447A (ja) * 2013-03-14 2014-09-25 Ricoh Co Ltd 現像装置、作像ユニット、プロセスユニット及び画像形成装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5114597B1 (ja) * 2012-03-27 2013-01-09 積水化学工業株式会社 積層体及び切断積層体
JP2014178447A (ja) * 2013-03-14 2014-09-25 Ricoh Co Ltd 現像装置、作像ユニット、プロセスユニット及び画像形成装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4046120B2 (ja) 絶縁シートの製造方法およびパワーモジュールの製造方法
JP6023474B2 (ja) 熱伝導性絶縁シート、金属ベース基板及び回路基板、及びその製造方法
JP2002033558A (ja) 回路基板とその製造方法
JP6559136B2 (ja) 絶縁シート
JP5424984B2 (ja) 半導体モジュールの製造方法
JP2010245563A (ja) 部品ユニット
WO2019112048A1 (ja) 積層体及び電子装置
JP2008010897A (ja) 絶縁シートおよびこれを用いたパワーモジュール
JP5749477B2 (ja) 放熱基板及び電子部品
JP7257104B2 (ja) 積層体
JP2006156727A (ja) 放熱板の製造方法
JP2006156721A (ja) 部品ユニット
JP4581656B2 (ja) 放熱板の製造方法
JP7291118B2 (ja) 積層体
JP2010080611A (ja) 半導体モジュール及び半導体モジュール製造方法
JP2006156721A5 (ja)
JP4581655B2 (ja) 放熱板
JP4636092B2 (ja) 部品ユニット
JP4013945B2 (ja) 部品ユニットの製造方法
JP4325329B2 (ja) 放熱実装体
JP2008041678A (ja) 放熱性配線基板およびその製造方法
JP2008098488A (ja) 熱伝導基板とその製造方法
JP2007015325A (ja) 熱伝導性基板の成型方法
JP2015026780A (ja) 絶縁放熱基板
JP2006156725A (ja) 放熱板の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060315

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20060412

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070921

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20071120

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080121

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20080311

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A02 Decision of refusal

Effective date: 20080701

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02