JP2006147619A - 超伝導体積層構造及びその作製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板101の上に超伝導体層102が形成された後、アルミニウム単体を蒸着源とした蒸着法により、超伝導体層102の上に、膜厚1.4nm程度のアルミニウムの膜が形成された状態とし、ついで、アルミニウム膜の上に酸素ガスが供給された状態としてアルミニウム膜が酸化された状態とすることで、超伝導体層102の上にバリア層103が形成された状態とする。この後、Mg及びB単体各々を蒸着源とした電子ビーム共蒸着法により、バリア層103の上に超伝導体層104が形成された状態とする。
【選択図】 図1
Description
M.Garvich, M. A. Washington, H. A. Huggins, "High quality reflectory Josephson tunnel junction utilizing thin aluminum layers", Applied Physics Letters, Vol. 42, No.5, pp.472-474, (1983). A.Kawakami, Y.Uzawa, Z.Wang, "Development of epitaxial NbN/MgO/NbN-superconductor-insulator-superconductor mixers for operations over the Nb gap frequency", Applied Physics Letters, Vol. 83, No.19, pp.3954-3956, (2003). M.Naito, H.Yamamoto, H.Sato, "Intrinsic problem of cuprate Surface and interface: why good tunnel junction are difficult to fabricate", Physica C, Vol.335, No.1-4, pp.201-206, (2000). A.Saito, A.Kawakami, H.Shimakage, H.Terai, Z.Wang, "Josephson tunneling properties in MgB2/AlN/NbN tunnel junction", Journal of Applied Physics, Vol.92, No.12, pp.7369-7372, (2002). G.Garapella, N.Martucciello, G.Costabile, C.Ferdeghini, V.Ferrando, G.Grassano, "Josephson effect in Nb/Al2O3/Al/MgB2 large-area thin-film heterostructures", Applied Physics Letters, Vol.80, No.16, pp.2949-2951,(2002).
Claims (5)
- 基板の上にホウ化マグネシウムからなる第1超伝導体層が形成された状態とする工程と、
前記第1超伝導体層の上にAlを含む金属膜が形成された状態とする工程と、
前記金属膜を酸素に曝すことで酸化して前記第1超伝導体層の上にAlを含む金属酸化物からなるバリア層が形成された状態とする工程と、
マグネシウムとホウ素とを蒸着源とした共蒸着法により前記バリア層の上にホウ化マグネシウムからなる第2超伝導体層が形成された状態とする工程と
を少なくとも備えることを特徴とする超伝導体積層構造の作製方法。 - 請求項1記載の超伝導体積層構造の作製方法において、
マグネシウムとホウ素とを蒸着源とした共蒸着法により前記基板の温度が350℃以下とされた状態で前記バリア層の上にホウ化マグネシウムを堆積することで、前記バリア層の上に第2超伝導体層が形成された状態とする
ことを特徴とする超伝導体積層構造の作製方法。 - 請求項1または2記載の超伝導体積層構造の作製方法において、
前記金属膜は、Alに加えてZr,Hf,及びMgの少なくとも1つを含む
ことを特徴とする超伝導体積層構造の作製方法。 - 基板の上に形成されたホウ化マグネシウムからなる第1超伝導体層と、
Alを含む金属酸化物から構成されて前記第1超伝導体層の上に接して形成されたたバリア層と、
このバリア層の上に接して形成されたホウ化マグネシウムからなる第2超伝導体層と
から構成されたことを特徴とする超伝導体積層構造。 - 請求項4記載の超伝導体積層構造において、
前記バリア層は、Alに加えてZr,Hf,及びMgの少なくとも1つを含む金属酸化物である
ことを特徴とする超伝導体積層構造。
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CN114361325A (zh) * | 2021-12-21 | 2022-04-15 | 华东计算技术研究所(中国电子科技集团公司第三十二研究所) | 集成分子束外延的新型约瑟夫森结制备方法 |
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