JP2006147594A - 排気装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】排気ヘッド1の外周部に環状に前記冷却部5が形成されると共に、前記冷却部に対向した内周面に内側に突出した金属リング6が設けられ、かつ前記金属リングに前記弾性変形部材8が取り付けられ、前記エアー入出通路部7を介して弾性変形部材にエアーを導入することにより、弾性変形部材8を膨張させ、また前記エアー入出通路部7を介して弾性変形部材8のエアーを排出することにより、弾性変形部材8を収縮させ、元の状態に戻す。
【選択図】図1
Description
前記公報に示された排気装置を図4に示し、その図に基づいて、従来技術を説明する。図に示すように、回転ねじ締め金具31の外周部に歯車状凹凸32が設けられ、排気ヘッド筒部33に支持金具34が取り付けられて、前記支持金具34によって、回転軸35が回転可能に支持され、回転軸35に歯車36が取り付けられ、前記歯車状凹凸32と歯車36とが噛み合っている。
そして排気が完了したのちに、真空ポンプを停止し、排気管37を封着切断し、往復回転エアーモ−タを反対方向に作動すれば、回転ねじ締め金具31が緩め方向に回転するから、弾性変形部材39が元の形状に戻り、弾性変形部材39の内側部が排気管37から離れる。
更に、一般的に、前記排気管はガラス管によって形成され、排気が完了したのち、排気管を溶着切断する。このとき弾性変形部材の近傍のガラス管を溶着するために、その熱が弾性変形部材に伝達され、弾性変形部材はかなりの高温になる。
その結果、弾性変形部材には熱変形等が発生し、弾性変形部材の耐久性を弱める原因となっていた。この課題を解決するために、弾性変形部材の材質等について検討したが、その費用などから新たな課題が生じ、満足したものは得られていない。
特に、前記排気ヘッドの外周部に環状に冷却部が形成されると共に、前記冷却部に対向した内周面に内側に突出した金属リングが設けられ、前記金属リングに前記弾性変形部材が取り付けられているため、弾性変形部材は充分に冷却される。
また、回転ねじ金具のような回転部材を用いていないため、弾性変形部材の回転方向の変形(ねじれ)が生ずることはなく、前記排気管の外周部に対して、より均一な力を作用させることができ、前記 ガラス管からなる排気管を破損させしまうこともない。
図1において、1は排気ヘッドであり、この排気ヘッド1は排気ヘッド本体2、底壁部3、締め付けキャップ4とから構成されている。前記排気ヘッド本体2は円筒状に形成され、その内部には環状に冷却部5が形成され、また排気ヘッド本体2の底面部には、冷却水が供給、排出される供給口5a、排出口5bが設けられている。
したがって、前記供給口5aから導入された冷却水は、前記冷却部5を経て、前記排出口5bから排気ヘッド本体2の外に排出される。
そのため、排気ヘッド本体2の底面部の開口7aからエアー入出通路部7、前記エアー入出通路部7の上記開口7bを経て、金属リング体6の内側にエアーが供給され、また前記金属リング体6のエアー入出口6aから前記エアーが弾性変形部材8に供給され、前記弾性変形部材8は排気ヘッド本体2の内周側に膨張するように構成されている。
この取り付け状態において、締め付けキャップ4の中央部分4aの下面は、前記弾性変形部材8に接した状態となる。なお、締め付けキャップ4の中央部分4aの下面に、弾性変形部材8を押える押え部材を介装し、締め付けキャップ4の中央部分4aの下面はその押え部材に接し、押え部材の下面が弾性変形部材8に接した状態となるように構成しても良い。
このように傾斜面4cが形成されているため、排気管10を前記挿入穴4bに挿入する際、傾斜面4cによって案内されるため、容易に排気管10を挿入穴4bに挿入することができる。
この取り付け状態において、底壁部3の上面は、前記弾性変形部材8に接した状態となる。なお、底壁部3上面に、弾性変形部材8を押える押え部材を介装し、底壁部3上面はその押え部材に接し、前記押え部材の上面が弾性変形部材8に接した状態となるように構成しても良い。
その結果、前記排気ヘッド1は排気装置の基台16に対して、揺動自在に取り付けられ、排気管10が所定の位置から位置ずれした時に、その位置ずれを吸収できるように構成されている。また上記したように、フレキシブル管11b、12b、13b、14b が接続されているため、排気ヘッド1の揺動を阻害することもない。
したがって、前述したエアー入出通路部7からのエアーが導入されると、図中2点鎖線で示すように、排気管挿入穴8aを狭める方向に膨張する。その結果、排気管10と弾性変形部材8は密着した状態となる。また前述したエアー入出通路部7からのエアーが排出されると、弾性変形部材8は元の状態に復帰する。
このとき、弾性変形部材8が過大な変形(収縮)をすると、弾性変形部材8の側壁は金属リング体6に当接し、その変形は防止される。その結果、弾性変形部材8の変形量は、一定の範囲に限られるため、長期間の使用にも耐えられる。
なお、弾性変形部材8の材質は弾性変形するものであれば、特に限定されないが、耐熱性に優れた弾性変形部材であることがより好ましい。
前記排気ヘッド1はスプリング15を介して、排気装置の基台16に対して揺動自在に取り付けられている。そして、排気装置の基台16の上面及び真空管17の載置台18の下面には、基台16と載置台18と距離を一定にする突出部16a、18aが形成されている。よって、排気装置の基台16を上昇させ、あるいは真空管17の載置台18を下降させ、排気管10を排気ヘッド1の排気管挿入穴4bに挿入する際、その挿入長さを一定にすることができる。
しかも、排気ヘッド1はスプリング15によって揺動自在に構成されているため、その位置づれを排気ヘッド1の移動によって吸収することができる。その結果、排気管10にはあまり外力が加わらず、その排気管10がガラス管等であっても、破損等することはない。
その後、前記真空管17からの排気終了後、溶着手段(図示せず)を用いて排気管10を溶着封止する。この溶着封止前には、冷却水供給管11から冷却部5に対して、冷却水を供給する共に、冷却水排出管12から冷却水を排出することによって、排気ヘッド1が所定温度以上に上昇しないようになされる。その結果、弾性変形部材8は溶着手段(図示せず)からの熱の影響を極力少なくすることができるため、長期間、使用することができる。
このとき弾性変形部材8は金属リング体6に当接し、その変形は防止される。その結果、弾性変形部材8の変形量は、一定の範囲に限られるため、長期間の使用にも耐えられる。そして、排気装置の基台16を下降させ、あるいは真空管17の載置台18を上昇させて、一連の排気装置の動作が終了する。
なお、上記実施形態にあっては、冷却部に供給するものとして、水を用いたが排気ヘッドを冷却できる媒体であれば、特に水に限定されない。
2 排気ヘッド本体
3 底壁部
3a 排気通路
4 締め付けキャップ
4b 挿入穴
5 冷却部
6 金属リング体
7 エアー入出通路部
8 弾性変形部材
8a 挿入穴
9 フィルター
10 排気管
11 冷却水供給管
12 冷却水排水管
13 真空排気用管
14 エアー管
15 スプリング
16 基台
17 真空管
18 載置台
Claims (3)
- 真空管の排気を行なう排気装置において、
真空管の排気管が挿入される挿入穴と、前記挿入穴を介して真空管の排気管が挿入される挿入穴を備える弾性変形部材と、前記挿入穴に対応して形成された排気通路と、前記弾性変形部材を膨張、収縮させるために、前記弾性変形部材に対してエアーを導入、排出するエアー入出通路部と、前記弾性変形部材を冷却する冷却部とを備えた排気ヘッドを備え、
前記排気ヘッドの外周部に環状に前記冷却部が形成されると共に、前記冷却部に対向した内周面に内側に突出した金属リング体が設けられ、かつ前記金属リング体に前記弾性変形部材が取り付けられ、
前記エアー入出通路部を介して弾性変形部材にエアーを導入することにより、弾性変形部材を膨張させ、また前記エアー入出通路部を介して弾性変形部材のエアーを排出することにより、弾性変形部材を収縮させ、元の状態に戻すことを特徴とする排気装置。 - 前記冷却部の供給口、排出口が排気ヘッドの底面に設けられ、また前記排気通路の開口が排気ヘッドの底面に設けられ、更に前記エアー入出通路部の開口が排気ヘッドの底面に設けられていること特徴とする請求項1記載の排気装置。
- 前記エアー入出通路部が冷却部の内周側に形成され、前記エアー入出通路部を介して、前記弾性変形部材にエアーを導入、排出することを特徴とする請求項1または請求項2記載の排気装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006011145A JP3966891B2 (ja) | 2006-01-19 | 2006-01-19 | 排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2006011145A JP3966891B2 (ja) | 2006-01-19 | 2006-01-19 | 排気装置 |
Related Parent Applications (1)
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JP (1) | JP3966891B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN101996832A (zh) * | 2009-08-20 | 2011-03-30 | 中外炉工业株式会社 | 真空排气装置 |
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2006
- 2006-01-19 JP JP2006011145A patent/JP3966891B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN101996832A (zh) * | 2009-08-20 | 2011-03-30 | 中外炉工业株式会社 | 真空排气装置 |
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JP3966891B2 (ja) | 2007-08-29 |
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