JP2006145367A - 加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加速度センサの自己診断回路側における昇圧回路部は、電圧リファレンス回路と印加電圧調整回路と昇圧回路とを備えており、電圧リファレンス回路は電圧検出用負荷140と電圧検出用負荷140に定電流を流す定電流回路150とを備えている。しかも、自己診断時にセンサチップの自己診断電極に印加される昇圧回路の出力電圧の温度特性がセンサチップの静電容量の温度特性及びセンサチップの信号処理回路の温度特性を相殺し得る様に、電圧リファレンス回路が出力するリファレンス電圧Vrefの温度特性が設定されている。
【選択図】図3
Description
図1は、本実施の形態に係る半導体加速度センサの構成例を示すブロック図である。同図に示す様に、加速度センサは、大別して、シリコン基板(図示せず)内に形成され且つ加速度を検出するセンサチップ110と、センサチップ110の電気信号を形成・増幅する等の信号処理を行う信号処理回路、即ち、信号処理ASIC(特定用途向け集積回路)120とから構成される。加速度センサは、センサチップ110の固定電極111a,111b間にある可動電極(質量体)113が加速度を受けて変位し、その結果、固定電極111a,111bと可動電極113との間で発生する静電容量変化を電気信号に変換して検出することにより、加速度の検出を行う。
本実施の形態は実施の形態1に於ける電圧リファレンス回路131Aの具体化に関するものであるため、実施の形態1に於ける図1及び図2とそれらの図面に関する記載とを援用する。
本実施の形態は、実施の形態2に於ける電圧リファレンス回路131Aの修正例に関するものである。図5は、本実施の形態に係る電圧リファレンス回路131Aの構成を示す図である。図5に示す様に、図3の負荷140は、正の極性又は負の極性の温度係数を有する第1抵抗素子R1と、第1抵抗素子R1に直列に接続され且つ第1抵抗素子R1の温度係数の極性とは逆の極性の温度係数を有する第2抵抗素子R2とから構成されている。本実施の形態では、リファレンス電圧Vrefは両抵抗素子R1,R2の和に比例しているため、リファレンス電圧Vrefの温度特性は両抵抗素子R1,R2の温度係数の大小関係に大きく依存することになる。従って、定電流の温度係数よりも、両抵抗素子R1,R2の温度係数の相間関係が、リファレンス電圧Vrefの温度特性の決定に対して支配的要因となる。
本実施の形態は、実施の形態3に於ける電圧リファレンス回路131Aの修正例に関するものである。図7は、本実施の形態に係る電圧リファレンス回路131Aの構成を示す図である。図7に示す様に、図5に於ける第1抵抗R1と第2抵抗R2とは、それぞれ第1可変抵抗体R3と第2可変抵抗体R4とに置き換えられている。そして、両可変抵抗体R3,R4の温度係数の極性は互いに逆の関係にある。勿論、第1及び第2可変抵抗体R3,R4の他に、一つ又は複数の固定の抵抗体又は可変抵抗体を両抵抗体R3,R4と直列にあるいは並列に更に付加しても良い。
以上、本発明の実施の形態を詳細に開示し記述したが、以上の記述は本発明の適用可能な局面を例示したものであって、本発明はこれに限定されるものではない。即ち、記述した局面に対する様々な修正や変形例を、この発明の範囲から逸脱することの無い範囲内で考えることが可能である。
Claims (4)
- センサチップの固定電極と可動電極との間の第1静電容量の変化を信号処理回路で電気信号に変換して加速度信号として出力すると共に、自己診断時に、前記信号処理回路で生成される自己診断開始信号の印加に応じて昇圧回路部から所定の電圧を前記可動電極と対向する自己診断電極に印加して、前記自己診断電極と前記可動電極との間の第2静電容量の変化を検出することで異常の有無を自己診断し得る様に構成された加速度センサにおいて、
前記昇圧回路部は、電圧リファレンス回路と、前記電圧リファレンス回路に接続された入力端と昇圧回路に接続された出力端とを有する印加電圧調整回路と、その出力が前記自己診断電極に印加される前記所定の電圧となる前記昇圧回路とを備えており、
前記電圧リファレンス回路は、
電圧検出用負荷と、
前記電圧検出用負荷に定電流を流す定電流回路とから成り、しかも、
前記所定の電圧の温度特性が前記第2静電容量の温度特性及び前記信号処理回路の温度特性を相殺し得る様に、前記電圧リファレンス回路が出力するリファレンス電圧の温度特性が設定されていることを特徴とする、
加速度センサ。 - 請求項1記載の加速度センサであって、
前記電圧検出用負荷は正又は負の温度係数を有する抵抗素子から成り、
前記定電流回路は前記抵抗素子の前記温度係数の極性とは逆の極性の温度特性を有することを特徴とする、
加速度センサ。 - 請求項1記載の加速度センサであって、
前記電圧検出用負荷は、
正又は負の温度係数を有する第1抵抗素子と、
前記第1抵抗素子に直列に接続され且つ前記第1抵抗素子の前記温度係数の極性とは逆の極性の温度係数を有する第2抵抗素子とを備えることを特徴とする、
加速度センサ。 - 請求項3記載の加速度センサであって、
前記第1抵抗素子及び前記第2抵抗素子は何れも可変抵抗体より成ることを特徴とする、
加速度センサ。
Priority Applications (1)
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2004
- 2004-11-19 JP JP2004335433A patent/JP2006145367A/ja active Pending
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