JP2006142186A - 紫外線照射装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】紫外線を照射する光源として紫外線発光ダイオードを用いる紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】 紫外線領域の波長の光を照射する紫外線発光ダイオード7からなる光源2と、伸縮自在の先端部が光源2に当接して光源2と電気的に接続するコンタクトプローブ14と、光源2を支持する支持台3と、支持台3とで光源2を保持しつつコンタクトプローブ14を有する保持機構とを備えたことを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】 紫外線領域の波長の光を照射する紫外線発光ダイオード7からなる光源2と、伸縮自在の先端部が光源2に当接して光源2と電気的に接続するコンタクトプローブ14と、光源2を支持する支持台3と、支持台3とで光源2を保持しつつコンタクトプローブ14を有する保持機構とを備えたことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、紫外線照射装置に関する。
従来より、紫外線の照射に感応する性質を有する紫外線感応型樹脂が周知となっている。このような紫外線感応型樹脂は、紫外線領域の光に高感度に反応して硬化したり、粘着力が低下したりするため、様々な領域で活用されている。
その一例としては、半導体の製造工程で半導体ウエハを支持する構造において、半導体ウエハの裏面に貼着される粘着テープが挙げられる。半導体ウエハはその裏面に紫外線感応型樹脂からなる粘着テープを貼着してフレームに支持されるようになっている。このようなウエハ支持構造体(以下、「ワーク」とする)を固定して半導体ウエハの切断を行い、切断後の工程においてはワークから切断された半導体ウエハを剥離する。ここで、半導体ウエハは紫外線感応型の粘着テープで支持されているので、ワークに紫外線を照射することにより、粘着テープの粘着力を低下させて、半導体ウエハを粘着テープから剥離させることができる。
このような工程において、ワークなどに紫外線を照射する紫外線照射装置としては、従来より、高圧水銀ランプが光源として用いられていた。しかしながら、高圧水銀ランプによる紫外線照射には高電圧が必要とされるため、回路が複雑になり、消費電力の増大や発熱による照度低下を招くおそれがあった。そこで、特許文献1に記載されているような紫外線照射装置においては、紫外線を照射させる紫外線ランプと、紫外線の照度を検出する照度センサと、照度センサの検出結果に基づいて紫外線照射装置を算出して紫外線ランプの照射時間の制御を行う照射時間制御手段と、を備えている。このような構成にすることにより、光源の照度に応じて紫外線照射時間を制御させることができるので、照度低下の制約を受けずに光量の過不足を防止することができる。
特開平6−196555号公報
しかしながら、高圧水銀ランプは寿命が短いうえに高価であるため、定期的な光源の点検が必要であるとともに、光源交換のための時間と費用がかかっていた。また、高圧水銀ランプからは紫外線領域以外の光も発生するため、発熱が起こり他の部品を傷めるおそれがあった。さらに、高圧水銀ランプは点灯してから照度が安定するまでに時間がかかるので、点灯直後から所定時間は紫外線を照射させることができないという問題があった。
またさらに、光源として高圧水銀ランプを使用する場合、光源に対向する位置に放物面鏡などを設置して、紫外線を集光させて光ファイバーで照射部に送り、被照射物に紫外線を照射させるという構成をとっていた。そのため、装置全体が大型化されてしまい、高価なものとなっていた。また、放物面鏡は劣化しやすく、装置自体の寿命が短かった。さらに、光ファイバーの太さ及び長さは規定されており、被照射物の位置の制約が大きかった。
そこで、本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、紫外線を照射する光源として紫外線発光ダイオードを用いつつ簡易な構成からなる紫外線照射装置を提供することを目的とするものである。
前記課題を解決するために、請求項1に記載の発明は、紫外線照射装置において、
紫外線領域の波長の光を照射する紫外線発光ダイオードを有する光源と、
伸縮自在の先端部が前記光源に当接し、前記光源と電気的に接続するコンタクトプローブと、
を備えたことを特徴とする。
紫外線領域の波長の光を照射する紫外線発光ダイオードを有する光源と、
伸縮自在の先端部が前記光源に当接し、前記光源と電気的に接続するコンタクトプローブと、
を備えたことを特徴とする。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の紫外線照射装置において、
前記光源を支持する支持台と、
前記支持台とで前記光源を保持し、前記コンタクトプローブを有する保持機構と、
を備えたことを特徴とする。
前記光源を支持する支持台と、
前記支持台とで前記光源を保持し、前記コンタクトプローブを有する保持機構と、
を備えたことを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の紫外線照射装置において、
外部から前記保持機構の内部に空気を送り込む送風機構と、前記保持機構内部の空気を排出する排気口と、からなる冷却装置を備えたことを特徴とする。
外部から前記保持機構の内部に空気を送り込む送風機構と、前記保持機構内部の空気を排出する排気口と、からなる冷却装置を備えたことを特徴とする。
請求項4に記載の発明は、請求項1〜3のいずれか一項に記載の紫外線照射装置において、
前記光源からの光を集光して焦点を調節する非球面レンズを、前記光源の照射経路上に移動自在に備えたことを特徴とする。
前記光源からの光を集光して焦点を調節する非球面レンズを、前記光源の照射経路上に移動自在に備えたことを特徴とする。
請求項5に記載の発明は、請求項1〜4のいずれか一項に記載の紫外線照射装置において、
前記光源は、前記紫外線発光ダイオードを備えるとともに照射位置確認のための可視光発光ダイオードを備えることを特徴とする。
前記光源は、前記紫外線発光ダイオードを備えるとともに照射位置確認のための可視光発光ダイオードを備えることを特徴とする。
本発明によれば、紫外線を照射する光源として紫外線発光ダイオードを用いる紫外線照射装置において、簡易な構成で光源の保持及び電力供給が可能であるので、光源の取り付け・交換を容易にかつ正確に行うことができる。
以下に、本発明の紫外線照射装置に係る実施の形態について、図面を参照して説明する。ただし、発明の範囲を図示例に限定するものではない。
図1は本実施形態の紫外線照射装置1の斜視図であり、図2は紫外線照射装置1の正面図である。本実施形態の紫外線照射装置1は、紫外線を照射する光源2と、光源2を下方から支持する支持台3と、光源2の上方から光源2を支持台3に押圧する保持機構と、これらを収納するとともに光源2を冷却する冷却装置を備えた筒状の筐体4と、からなる。筐体4の下方には、紫外線の被照射物であるワーク(図示せず)が対向するようになっている。以下、各構成について説明する。
図3に示すように、光源2は略直方体形状に形成されている。図3(a)は光源2の下方からの斜視図であり、図3(b)は光源2の上方からの斜視図である。光源2には下方に向けて紫外線領域の波長の光を照射する紫外線発光ダイオード(以下、「UV−LED」とする)2aが備えられている。また、光源2の上面にはUV−LED2aの電極部2cが設けられている。ここで、UV−LED2aは、従来用いられていた高圧水銀ランプに比べて、安価で寿命が長いので、装置全体としてのコストを抑えることができる。また、UV−LED2aからは紫外線以外の光の発生量が少ないので、熱線による被照射物の発熱を抑えることができ、装置の劣化を防止することができる。さらに、UV−LED2aは点灯直後から紫外線を照射することができるので、光源2は紫外線照射の際のみ点灯させればよく、点灯と消灯とを繰り返すようになっている。
図4は支持台3の斜視図である。支持台3には、光源2からの光が通過する貫通孔3aが上下方向に形成されている。また、支持台3の上面には光源2の形状に係合する係合凸部3bが設けられている。さらに、支持台3の両側面には凹部3cが二つずつ配設されており、筐体4の下端に固定させるための固定ピン5が挿通されるようになっている。
図5は支持台3の縦断面図である。支持台3の貫通孔3aには、光源2からの光を集光して焦点を調節する非球面レンズとして凸型の集光レンズ6が備えられている。貫通孔3aの内面には雌ねじ部が設けられており、集光レンズ6は雌ねじ部に螺合する雄ねじ部を有する円筒状のレンズホルダ7に保持されている。従って、レンズホルダ7と貫通孔3aとの螺合部を上下に移動させることによって、集光レンズ6の位置を調整するようになっている。この際、集光レンズ6の移動に伴って、焦点位置が移動されるようになっている。具体的には、図5(a)においては、集光レンズ6は光源2に近づけられており、紫外線照射装置1から焦点までの距離は大きくなる。図5(b)においては、集光レンズ6は光源2から遠ざけられており、紫外線照射装置1から焦点までの距離は小さくなる。
保持機構には、筐体4の上端で固定されるキャップ8が備えられている。また、キャップ8の下部には弾性素材からなる押圧バネ9が備えられている。さらに、押圧バネ9の下端には光源2を押圧する金属製のプッシャ10(図6参照)が備えられている。保持機構はこれらの構成を備えており、プッシャ10は押圧バネ9により支持されているので筐体4の内部で上下方向に移動自在となっている。
図6にはプッシャ10の斜視図を示し、図7(a)には側面図、図7(b)には正面図を示した。プッシャ10の側面には左右方向に貫通する第一孔部10aが形成されている。第一孔部10aには、棒状の支持軸11が貫通するようになっている。同様にプッシャ10の側面であって第一孔部10aの上方には、第二孔部10bが形成されている。第二孔部10bには、プッシャ10が引き上げられた際に、棒状の固定軸12が貫通するようになっている。
図6に示すように、プッシャ10の前面及び後面には、絶縁素材からなるプローブホルダ13が貼着されている。プローブホルダ13には、光源2に電力を供給する棒状のコンタクトプローブ14(図8参照)が貫通されている。コンタクトプローブ14にはバネが内蔵されているため伸縮自在となっており、その下端を光源2の上面の電極部2cに当接させるようになっている。なお、コンタクトプローブ14の下端はUV−LED2aの電極の形状に対応させるようになっている。図8に示すのはコンタクトプローブ14の例であり、電極がリード線状の場合には図8(a)に示すような先端が凹型形状のものを、電極が平板形状の場合には図8(b)に示すような先端が凸型形状のものを用いるようになっている。
キャップ8の上部には、筐体4の内部に外部の空気を圧縮して送り込む送風機構としてのエアーコネクタ15が備えられている。ここで、図9に示すように、筐体4の側面の上下方向の長さ寸法は、前面及び後面の長さ寸法よりも長くなるように形成されている。そのため、筐体4の前面及び後面の下端は開放されており排気口4aが形成されている。つまり、冷却装置はエアーコネクタ15により空気を筐体4の内部に取り込み、排気口4aから空気を排出させるようになっている。
筐体4の側面の四隅には、固定ピン5を貫通させる孔部4bが配設されている。従って、筐体4の側方から固定ピン5を挿通して、筐体4の下端に支持台3及び上端にキャップ8を固定するようになっている。
また、筐体4の側面であってプッシャ10の第一孔部10aに対向する位置には、移動孔部4cがその径が第一孔部10aの径より大きくなるように形成されている。よって、筐体4の移動孔部4c及びプッシャ10の第一孔部10aに支持軸11が貫されたまま上下方向に移動することができるようになっている。また、移動孔部4cの上方であってプッシャ10を引き上げた際に第二孔部10bが対向する位置には、固定軸12が貫通される固定孔部4dが形成されている。
また、筐体4の側面であってプッシャ10の第一孔部10aに対向する位置には、移動孔部4cがその径が第一孔部10aの径より大きくなるように形成されている。よって、筐体4の移動孔部4c及びプッシャ10の第一孔部10aに支持軸11が貫されたまま上下方向に移動することができるようになっている。また、移動孔部4cの上方であってプッシャ10を引き上げた際に第二孔部10bが対向する位置には、固定軸12が貫通される固定孔部4dが形成されている。
次に、本実施形態の紫外線照射装置1の作用について説明する。
まず、紫外線照射装置1に光源2を設置する方法について述べる。ここで、光源2が設置されていない際、筐体4の内部であって支持台3の上面には、プッシャ10及びコンタクトプローブ14が当接している。
まず、紫外線照射装置1に光源2を設置する方法について述べる。ここで、光源2が設置されていない際、筐体4の内部であって支持台3の上面には、プッシャ10及びコンタクトプローブ14が当接している。
はじめに、支持軸11を筐体4の移動孔部4c及びプッシャ10の第一孔部10aに貫通させる。そして、支持軸11を移動孔部4c内で上に引き上げると、筐体4の内部で押圧バネ9が圧縮されながらプッシャ10が上に引き上げられる。すると、プッシャ10の下面は支持台3の上面から離れる。さらに支持軸11を引き上げると、コンタクトプローブ14の下端が最長の長さ寸法まで伸張し、支持台3から離れる。すると、固定孔部4dに第二孔部10bが対向する。その状態で固定孔部4d及び第二孔部10bに、固定軸12を貫通させ、プッシャ10を係止させる。つまり、支持軸11はプッシャ10を引き上げた状態で係止されるので、支持台3の上方には間隙が生じる。
次に、支持台3の上方の間隙に光源2を設置する。ここで、筐体4の下端には排気口4aが形成されているので、光源2は排気口4aから挿入させて支持台3の上面に搭載することができる。この際、光源2を支持台3の係合凸部3bに係合させることにより、光源2を正確な位置に設置することができる。
続いて、光源2を固定する。
まず、移動孔部4cに貫通された支持軸11を保持したまま、固定軸12を固定孔部4dから抜き出す。そして、支持軸11を保持しながらプッシャ10を移動孔部4c内で引き下ろすと、コンタクトプローブ14も追従して引き下ろされ、光源2の電極部2cにコンタクトプローブ14の下端が当接する。さらにプッシャ10を引き下ろすと、プッシャ10の下端が光源2の上面に当接する。そして、支持軸11を移動孔部4c及び第一孔部10aから抜き出すと、プッシャ10は押圧バネ9の押圧力及びその自重により光源2を押圧するとともに、コンタクトプローブ14も光源2を押圧して、光源2を固定する。
まず、移動孔部4cに貫通された支持軸11を保持したまま、固定軸12を固定孔部4dから抜き出す。そして、支持軸11を保持しながらプッシャ10を移動孔部4c内で引き下ろすと、コンタクトプローブ14も追従して引き下ろされ、光源2の電極部2cにコンタクトプローブ14の下端が当接する。さらにプッシャ10を引き下ろすと、プッシャ10の下端が光源2の上面に当接する。そして、支持軸11を移動孔部4c及び第一孔部10aから抜き出すと、プッシャ10は押圧バネ9の押圧力及びその自重により光源2を押圧するとともに、コンタクトプローブ14も光源2を押圧して、光源2を固定する。
プッシャ10及びコンタクトプローブ14は、それぞれバネの押圧力により光源2を押圧するので、一定範囲の押圧力を光源2に与える。また、プッシャ10は筐体4の内部で上下に移動させることができるので、光源2を交換することが容易にできる。さらに、支持台3の上面には、光源2を正確な位置に案内するための係合凸部3bが設けられているので、光源2の交換の際に光源2を正確な位置に固定することができる。またさらに、プッシャ10は金属製なので、光源2を押圧しつつ光源2の熱を吸収・発散させることができる。
光源2が固定されると、光源2の電極部2cにコンタクトプローブ14を介して電力が供給される。ここで、コンタクトプローブ14は絶縁素材のプローブホルダ13に保持されているので、光源2のみへの電力供給が可能である。よって、従来のような光源2への電気的接続のためのはんだ付けやネジ締めなどが不要になり、光源2の取り付け不良による緩み、断線及び光源2の破損を防止することができる。
紫外線照射装置1に光源2を取り付けてから、集光レンズ6の位置調整を行い焦点の位置を調整する。集光レンズ6はレンズホルダ7に保持されているので、レンズホルダ7を回転させて貫通孔3aとの螺合部を上下に移動させることにより、集光レンズ6の位置を移動させることができる。このようにして、集光レンズ6の位置を移動させることにより、光源2からの光の焦点位置が移動する。よって、被照射物の大きさ及び位置の制約を受けずに照射を行うことができる。
また、光源2の中心には、照射位置確認のために可視光領域の光を照射する可視光−LED2bを備えることとしてもよい。例えば、光源2の中央には可視光−LED2bを備えることにより、可視光−LED2bから照射される可視光経路上にUV−LED2aからの光が集光する。従って、可視光−LED2bを用いることにより、紫外線の集光位置を視認することができる。なお、集光位置の確認ができる限り、可視光−LED2bの数と設置位置は任意である。
光源2からの光の集光方法としては、図10に示すように、照射経路に凸型の集光レンズ6に加えて、集光レンズ6からの光を平行光線に変換する凹レンズ16を備える方法を用いてもよい。この場合、光源2の近傍に集光レンズ6を固定させるとともに、レンズホルダ7には凹レンズ16を保持させる。すると、凹レンズ16はレンズホルダ7とともに上下に移動し、集光レンズ6との距離を調整する。このような構成にすることにより、光源2からの光の照射スポットの大きさを調整することができる。具体的には、図10(a)では、凹レンズ16を集光レンズ6に近づけることにより、照射スポットが大きくなり、一方、図10(b)では、凹レンズ16を集光レンズ6から遠ざけることにより、照射スポットが小さくなる。
さらに、光源2からの光を集光する別の構成として、図11に示すような、個々に集光レンズ6が備えられた複数のUV−LED2aを、凹面上に配置した構成も挙げられる。このような構成にすることにより、それぞれのUV−LED2aの照射経路が一点で交差(集光)するので、レンズホルダ7による集光位置の調整が不要となり、より簡易な構成で光源2からの光を集光させることができる。
紫外線照射装置1には冷却装置が備えられているので、少なくともUV−LED2aの点灯時には、筐体4の内部には継続的にエアーコネクタ15から空気が取り込まれるとともに、排気口4aから空気が排出されている。従って、光源2には継続的に冷却用の空気が送風されており、常時冷却されている。そのため、光源2の温度変化を抑えることができるので、照度変動やUV−LED2aの劣化を防止することができる。
なお、本実施形態の冷却装置は、常に作動されるようになっているが、プッシャ10の光源2との当接面近傍に、プッシャ10の熱を検出する温度センサを備えることとしてもよい。プッシャ10は金属製であり、光源2の熱を伝達させることができるので、温度センサの検出結果により光源2の温度を推定することができる。温度センサには、推定した光源2の温度が所定の範囲内か否かを判断する温度制御部が、電気的に接続されている。さらにこの場合、温度制御部には、冷却装置が電気的に接続されており、温度センサの検出結果により冷却装置を適宜作動させるように制御している。具体的には、温度センサの検出結果が所定温度よりも高い場合には、温度制御部は冷却装置を作動させ、筐体4に冷却空気を送り込み、光源2を冷却させる。
また、筐体4に空気を送り込む送風機構としてはエアーコネクタ15のような圧縮空気を送り込むものに限られず、図12に示すような、複数枚の羽を回転させて外部空気を送り込むファンモータ17など、簡易な構成のものを使用するものとしてもよい。
1 紫外線照射装置
2 光源
2a UV−LED
2b 可視光−LED
3 支持台
4 筐体
4a 排気口
6 集光レンズ
7 レンズホルダ
9 押圧バネ
10 プッシャ
14 コンタクトプローブ
15 エアーコネクタ
16 凹レンズ
2 光源
2a UV−LED
2b 可視光−LED
3 支持台
4 筐体
4a 排気口
6 集光レンズ
7 レンズホルダ
9 押圧バネ
10 プッシャ
14 コンタクトプローブ
15 エアーコネクタ
16 凹レンズ
Claims (5)
- 紫外線領域の波長の光を照射する紫外線発光ダイオードを有する光源と、
伸縮自在の先端部が前記光源に当接し、前記光源と電気的に接続するコンタクトプローブと、
を備えたことを特徴とする紫外線照射装置。 - 前記光源を支持する支持台と、
前記支持台とで前記光源を保持し、前記コンタクトプローブを有する保持機構と、
を備えたことを特徴とする請求項1に記載の紫外線照射装置。 - 外部から前記保持機構に空気を送り込む送風機構と、前記保持機構内部の空気を排出する排気口と、からなる冷却装置を備えたことを特徴とする請求項2に記載の紫外線照射装置。
- 前記光源からの光を集光して焦点を調節する非球面レンズを、前記光源の照射経路上に移動自在に備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の紫外線照射装置。
- 前記光源は、前記紫外線発光ダイオードを備えるとともに照射位置確認のための可視光発光ダイオードを備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の紫外線照射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publication Number | Publication Date |
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Family
ID=36622468
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WO2009150929A1 (ja) * | 2008-06-12 | 2009-12-17 | リンテック株式会社 | 光照射装置及び光照射方法 |
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-
2004
- 2004-11-18 JP JP2004334610A patent/JP2006142186A/ja active Pending
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