JP2006128421A - 粘着剤層付き電磁波シールドフィルタ - Google Patents

Abstract

【課題】 粘着剤層付き電磁波シールドフィルタ同士を巻取り等として重ねた時に発生する、粘着剤層の厚みの局所的変形である「段差ムラ」を防ぐ。
【解決手段】 透明基材１の表面側にメッシュ層２、平坦化樹脂層３が形成され、裏面側には粘着剤層４が形成され更に剥離シート５が仮積層され、平坦化樹脂層はメッシュ部２Ａと非メッシュ部２Ｂのうち少なくともメッシュ部に形成された積層体に対して、平坦化樹脂層側の表面に、更に保護シート６を剥離可能に仮積層した粘着剤層付き電磁波シールドフィルタ１０とする。フィルタ形状が製造時に連続帯状のウェブで、また非メッシュ部がメッシュ部を囲繞する額縁状でも、メッシュ部と非メッシュ部との境界で発生する段差ムラを防げる。
【選択図】図１

Description

本発明は、粘着剤層付きの電磁波シールドフィルタに関する。

ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）、ＣＲＴ（ブラウン管）ディスプレイ、等の各種ディスプレイから発生する電磁波をシールドする為に、ディスプレイ前面に配置する電磁波シールドフィルタが知られている。この様な用途に用いる電磁波シールドフィルタでは電磁波シールド性能と共に光透過性も要求される。しかし、透明基材の全面にＩＴＯ（酸化スズインジウム）膜を設けたものでは、十分な電磁波シールド性能と十分な透明性との両立が得られない。そこで、樹脂フィルムからなる透明基材に接着剤で貼り合わせた銅箔等の金属箔をエッチングでメッシュ化してメッシュ状導電体層としたもの等が知られている（特許文献３、等参照）。また、金属層等からなるメッシュ状導電体層のみのメッシュ層でも良いが、金属光沢や錆びが気になるので、通常は更にメッシュ状導電体層の表面に防錆層や黒化層等も設けた構成のメッシュ層することも知られている。

また、ディスプレイの前面に配置する前面フィルタ等では、電磁波シールド機能以外に、ディスプレイから放射する不要な光（例えばＰＤＰではネオン発光による波長５９０ｎｍ付近の光）を遮断し画像の色相調整を行い色再現性を向上させる機能、外光の不要な反射を抑える機能、ディスプレイからの不要な赤外線放射を抑え赤外線利用機器の誤動作を防ぐ機能等が求められることがある。また、前面フィルタには軽量、薄さも要求される。そこで実際の前面フィルタでは、電磁波シールドフィルタが電磁波シールド機能のみを有する場合には、更に、他のフィルタ機能を有するフィルタ、例えば、反射防止フィルタ、着色フィルタ、赤外線吸収フィルタ等を粘着剤層により積層一体化したり、或いは粘着剤層付きとしたものとして積層一体化したりすることがある（特許文献１、特許文献２、等参照）。

ただ、メッシュ層上に直接にフィルタ等の他層を積層すると、メッシュ層の開口部による凹部に、積層時に気泡が残留し欠陥となる。この為、特にメッシュ層側の面に他層を積層する場合には、残留気泡防止、メッシュ層の細線の外力からの機械的保護等の目的で、前記凹部を埋めて表面を平坦面に近づける平坦化樹脂層を、メッシュ層上に設けておくことが多い（特許文献３）。なお、平坦化樹脂層に形成位置が類似の樹脂層として、エッチングでメッシュ状導電体層とする銅箔等を接着剤層で透明基材にラミネートして積層した構成では、メッシュ層の開口部で露出した接着剤層部分が表面粗面だと、光透過性が低下するので、該開口部を樹脂で埋めて透明化を図る透明化樹脂層がある（特許文献４）。透明化樹脂層も表面を平坦に形成すれば（透明化も兼用した）平坦化樹脂層となる。

また、他のフィルタ等の他層を電磁波シールドフィルタに積層する場合、上述の如く粘着剤層付きとしたフィルタを積層する以外に、逆に電磁波シールドフィルタ側を粘着剤層付きとすることもある。電磁波シールドフィルタを粘着剤層付きとすることで、電磁波シールドフィルタ自体を、ディスプレイの前面板等に貼り付けるのも容易となり、また粘着剤層面には剥離シート（離型シート、セパレータ等とも呼ばれる）を仮積層しておくことで、貼り付け時まで粘着剤層面を保護できる（特許文献５）。

特開２００１−２１０９８８号公報 特開２００２−９４８４号公報（〔００１４〕） 特開２００２−３１１８４３号公報（〔請求項２〕） 特許第２９７９０２０号公報（〔請求項１〕） 特許２０００−２３６１９４号公報（〔請求項１〕、〔００１４〕）

しかし、粘着剤層付きとした電磁波シールドフィルタを、生産性が良い点で、連続帯状のウェブで製造すると、剥離シートで粘着剤層が保護されているにも拘わらず、粘着剤層の厚みが局所的に変形し、それが見える「段差ムラ」という不良が生じることがあった。
具体的には、例えばディスプレイ用途では、図１（Ｂ）の平面図に様に、枚葉（シート状）で四角形状の粘着剤層付き電磁波シールドフィルタ１０に設けたメッシュ層は、中央部ではメッシュによる開口部を多数隣接配置して光透過性を確保したメッシュ部２Ａとするが、その外側四方は光透過性が不要なので、アース部等とする為に該メッシュ部２Ａを囲繞した額縁状の非メッシュ部２Ｂを設けるのが普通である。この様な場合の粘着剤層付き電磁波シールドフィルタ１０をウェブで製造する際に、非メッシュ部のウェブ上での並び具合を例示したものが図２（Ａ）の平面図である。同図の如く、額縁状の非メッシュ部２Ｂは、ウェブの流れ方向に伸びる部分となる、流れ方向非メッシュ部２Ｂｍと、ウェブの幅方向に伸びる部分となる、幅方向非メッシュ部２Ｂｔとからなると捉えることができる。

そして、この様なウェブが巻き取られ、粘着剤層付き電磁波シールドフィルタがその粘着剤層４を巻取内側にして上下に積層された状態を概念的に示すのが図６の部分断面図である。同図の場合、従来の粘着剤層付き電磁波シールドフィルタ２０は、その粘着剤層４はそれを保護する剥離シート５を介して、（図面）下側の粘着剤層付き電磁波シールドフィルタ２０の上面と接することになる。しかし、剥離シート５で保護されているにも拘わらず、粘着剤層４には段差ムラｄが、該粘着剤層４に対して下側に重なった粘着剤層付き電磁波シールドフィルタ２０のメッシュ部２Ａと非メッシュ部２Ｂとの境界部分に現れる。巻取り状態では、円周長は直径と共に変化するので、メッシュ部２Ａと幅方向非メッシュ部２Ｂｔとの境界の位置を上下のウェブ同士で常に重ね合わせる事はできず、その結果、メッシュ部２Ａの領域で生じた段差ムラｄが、図２（Ａ）等での境界形状の場合で言えば直線状に見えてしまい、不良となる。
本発明者らが原因を究明した結果、図１（Ａ）の断面図からもわかるように、通常、平坦化樹脂層３は接地の必要上、非メッシュ部の少なくとも一部は露出させる必要がある。通常、図１（Ａ）の如く、平坦化樹脂層３の端末部を非メッシュ部２Ｂより内周側に設定することが多い。この場合、図示の如く、非メッシュ部２Ｂの内周端部、及び平坦化樹脂層３の外周の端末部に段差が存在し、これらが巻取時の圧力で粘着剤層に賦形されることが原因と見出された。

なお、例示した図６の粘着剤層付き電磁波シールドフィルタ２０では、メッシュ層２による表面凹凸を平坦化する平坦化樹脂層３が、メッシュ部２Ａと非メッシュ部２Ｂと境界近傍は残してメッシュ部２Ａ（の領域内部）に形成されている形態だが、驚くことに、該境界を越えて非メッシュ部２Ｂにまではみ出して平坦化樹脂層３を設け該境界を被覆した形態でも（図４参照）、同じ様に段差ムラが該境界部分で発生した。なお、図４の様に非メッシュ部の一部にまで平坦化樹脂層を形成した時、該平坦化樹脂層の縁では段差ムラは起きない。それは、塗膜の縁は塗料が流れて、図４の様になだらかになっている為と思われる。
なお、これについても、発明者らが究明した結果、図４の如く平坦化樹脂層３の、メッシュ部と非メッシュ部との境界近傍に段差が生じる為と判明した。これは、開口部への樹脂流入有無に起因する段差である。

以上の如く、本発明の課題は、粘着剤層付き電磁波シールドフィルタ同士を重ねた時に発生する、粘着剤層の厚みの局所的変形である「段差ムラ」を防げる、粘着剤層付き電磁波シールドフィルタを提供することである。

上記課題を解決すべく、本発明の粘着剤層付き電磁波シールドフィルタは、透明基材の表面上に、メッシュ状導電体層を含むメッシュ層が形成され、更に該メッシュ層の開口部による表面凹凸を平坦化する平坦化樹脂層が少なくとも該開口部に形成され、前記透明基材の裏面側には粘着剤層が形成され、更に該粘着剤層の裏面に剥離シートが仮積層された、粘着剤層付き電磁波シールドフィルタにおいて、前記メッシュ層が、メッシュ状の多数の開口部により光透過性を有するメッシュ部と、該メッシュ部の外周部の少なくとも一部に存在する非メッシュ部とを有し、前記平坦化樹脂層がメッシュ部と非メッシュ部のうち少なくともメッシュ部に形成された積層体に対して、該平坦化樹脂層形成面側の表面に、保護シートを剥離可能に仮積層した構成とした。

この様な構成とすることで、粘着剤層付き電磁波シールドフィルタを、連続帯状のウェブで巻き取る等、該フィルタ同士を一時的に重ね合わせたとき、粘着剤層の裏面側には剥離シートに加えて保護シートも存在して、粘着剤層を変形から保護するので、裏面側に重なった粘着剤層付き電磁波シールドフィルタのメッシュ部と非メッシュ部との境界に該当する粘着剤層部分での段差ムラ発生を防げる。その結果、生産性に優れた連続帯状のウェブでの大量生産が支障無く行える。また、保護シートは、粘着剤層付き電磁波シールドフィルタを使用時まで剥がさずに仮積層しておき、平坦化樹脂層面等の表面側を塵や傷から保護する目的での保護シートとしても利用できるので、品質的にも有利である。

なお、本発明の粘着剤層付き電磁波シールドフィルタのより好ましい構成は、形状が連続帯状のウェブのものであり、また、非メッシュ部の形状がメッシュ部の四方全周囲を囲繞する額縁状であるものである。
これにより、段差ムラ解消による顕著な作用効果として、生産性に優れるウェブでの製造が段差ムラの発生無く行えるフィルタとなり、また、非メッシュ部の形状がウェブ幅方向に伸びる部分がある額縁状でも、段差ムラを防いでウェブ製造可能なフィルタとなる。

本発明による粘着剤層付き電磁波シールドフィルタによれば、粘着剤層付き電磁波シールドフィルタを、連続帯状のウェブで巻き取る等、一時的に重ね合わせたときに、裏面側に重なった粘着剤層付き電磁波シールドフィルタのメッシュ部と非メッシュ部との境界に該当する粘着剤層部分での段差ムラ発生を防げる。その結果、生産性に優れた連続帯状のウェブでの大量生産が、非メッシュ部の形状がウェブ幅方向に伸びる部分がある額縁状等でも、支障無く行える。

以下、図面を参照しながら本発明を実施するための最良の形態を説明する。

なお、図１は、本発明による粘着剤層付き電磁波シールドフィルタをその一形態で概念的に例示する部分断面図（Ａ）と平面図（Ｂ）である。なお、図１（Ａ）は図１（Ｂ）のＡ−Ａ線部分でのメッシュ部２Ａと非メッシュ部２Ｂとの境界部分を主体とした部分断面図である。
図２は、連続帯状のウェブに於ける非メッシュ部２Ｂの形状例として、額縁状（Ａ）と帯状（Ｂ）の２例を示す平面図である。
図３は、本発明による粘着剤層付き電磁波シールドフィルタの別の形態例として２例を例示する断面図である。
図４は、本発明による粘着剤層付き電磁波シールドフィルタの別の形態例を概念的に例示する部分断面図である。
図５は、平坦化樹脂層３の形成部分の外縁と、メッシュ部２Ａと非メッシュ部２Ｂとの位置関係の一例を示す拡大断面図である。
図６は、従来の粘着剤層付き電磁波シールドフィルタを重ね合わせたときに発生する段差ムラを、概念的に説明する部分断面図である。

〔概要〕
本発明では、その一形態を例示する図１（Ａ）の部分断面図、及び図１（Ｂ）の平面図に示す粘着剤層付き電磁波シールドフィルタ１０の如く、該フィルタの表側の面に、剥離可能な保護シート６を設けた構成とする。

すなわち、図１（Ａ）の部分断面図で例示される粘着剤層付き電磁波シールドフィルタ１０では、透明基材１の表面上に、メッシュ状導電体層を含むメッシュ層２が形成され、更に該メッシュ層２の開口部に平坦化樹脂層３が形成され、透明基材１の裏面側には粘着剤層４が形成され、更に粘着剤層４の裏面には剥離シート５が剥離可能に仮積層され、更にそのメッシュ層２は、図１（Ｂ）の平面図の如く、メッシュ状の多数の開口部により光透過性を有するメッシュ部２Ａと、該メッシュ部２Ａ以外の部分である非メッシュ部２Ｂとからなり、平坦化樹脂層３はメッシュ部２Ａの領域内にメッシュ部２Ａと非メッシュ部２Ｂとの境界近傍は残す様に形成してある。そして、この様な構成からなる積層体に対して、その平坦化樹脂層形成面側の該積層体表面に対して保護シート６を、剥離可能に仮積層した構成である。保護シートを表側に設けることで、粘着剤層付き電磁波シールドフィルタ同士を巻き取り等として一時的に重ね合わせた時に、粘着剤層は剥離シートと共に保護シートでも粘着剤層の裏面側が機械的に外力による変形から保護される結果、粘着剤層裏面側に重ね合わさった粘着剤層付き電磁波シールドフィルタのメッシュ部と非メッシュ部との境界部分に対応した粘着剤層部分で発生した段差ムラを防げることになる。

なお、本明細書にて、「表側」、「表面」、「裏側」及び「裏面」とは、透明基材に対してメッシュ層が形成された側（「表側」とする）と同じ向きとなる面（図面上方の面でもある）を「表面」と言い、「裏側」及び「裏面」とはこの逆で、透明基材に対して粘着剤層が形成された側（これを「裏側」とする）と同じ向きとなる面（図面下方の面でもある）を「裏面」と言うことにする。
また、ディスプレイ用途等に適用した場合に於いて、観察者側の面が常に本発明で定義する表面では無く裏面の場合もあり得る。

以下、本発明による粘着剤層付き電磁波シールドフィルタについて、透明基材から順に説明する。

〔透明基材〕
透明基材１は、一般的に機械的強度が弱いメッシュ層を補強する為の層である。従って、機械的強度と共に光透過性を有すれば、その他、耐熱性、絶縁性等も適宜勘案した上で、用途に応じたものを選択使用すれば良い。透明基材の具体例としては、例えば、樹脂板、樹脂シート（乃至はフィルム、以下同様）、ガラス板等である。

樹脂板、樹脂シート等として用いる透明樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、テレフタル酸−イソフタル酸−エチレングリコール共重合体、テレフタル酸−シクロヘキサンジメタノール−エチレングリコール共重合体などのポリエステル系樹脂、ナイロン６などのポリアミド系樹脂、ポリプロピレン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィン系樹脂、ポリメチルメタクリレートなどのアクリル系樹脂、ポリスチレン、スチレン−アクリロニトリル共重合体などのスチレン系樹脂、トリアセチルセルロースなどのセルロース系樹脂、イミド系樹脂、ポリカーボネート樹脂等が挙げられる。
なお、これら樹脂は、樹脂材料的には、単独、又は複数種類の混合樹脂（ポリマーアロイを含む）として用いられ、また層的には、単層、又は２層以上の積層体として用いられる。また、樹脂シートの場合、１軸延伸や２軸延伸した延伸シートが機械的強度の点でより好ましい。
また、これら樹脂中には、必要に応じて適宜、紫外線吸収剤、充填剤、可塑剤、帯電防止剤などの添加剤を加えても良い。

また、ガラス板のガラスとしては、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、ソーダライムガラスなどがあり、より好ましくは熱膨脹率が小さく寸法安定性および高温加熱処理における作業性に優れ、また、ガラス中にアルカリ成分を含まない無アルカリガラス等が挙げられ、ディスプレイの前面基板等とする電極基板と兼用することもできる。

なお、透明基材の厚さは、用途に応じたものとすれば良く特に制限は無く、透明樹脂から成る場合は、通常１２〜１０００μｍ程度であるが、好ましくは５０〜７００μｍ、より好ましくは１００〜５００μｍが望ましい。一方、透明基材がガラス板である場合には、通常１〜５ｍｍ程度が好適である。いずれの材料に於いても、上記未満の厚さとなると機械的強度が不足して反りや弛み、破断などが起こり、上記を超える厚さとなると過剰性能でコスト高となる上、薄型化が難しくなる。

なお、透明基材としては、これらの無機材料、有機材料等からなる、シート（乃至はフィルム）、板などが適用でき、また、透明基材は、前面基板及び背面基板等からなるディスプレイ本体の一構成要素である前面基板と兼用しても良いが、前面基板の前に配置する前面フィルタとして粘着剤層付き電磁波シールドフィルタを用いる形態では、薄さ、軽さの点で、板よりもシートの方が優れており、また割れない等の点でも、ガラス板よりも樹脂シートが優れていることは言うまでもない。
また、粘着剤層付き電磁波シールドフィルタを連続的に製造し生産性を向上できる点では、透明基材は、生産性の点で連続帯状のシート（つまりウェブ）の形態で取り扱うのが好ましい。しかも、連続帯状のウェブで取り扱い時に、本発明による段差ムラ解消の利点がより効果的に享受できる。

この様な点で、透明基材としては樹脂シートが好ましい材料であるが、樹脂シートのなかでも、特に、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル系樹脂シート、セルロース系樹脂シートが、透明性、耐熱性、コスト等の点で好ましく、より好ましくはポリエチレンテレフタレートシートが最適である。なお、透明基材の透明性は高いほどよいが、好ましくは可視光線透過率で８０％以上となる光透過性が良い。

なお、樹脂シート等の透明基材は、適宜その表面に、コロナ放電処理、プラズマ処理、オゾン処理、フレーム処理、プライマー処理、予熱処理、除塵埃処理、蒸着処理、アルカリ処理、などの公知の易接着処理を行ってもよい。

〔メッシュ層：メッシュ状導電体層〕
メッシュ状導電体層２１は、電磁波シールド機能を担う層であり、またそれ自体は不透明性であっても、メッシュ状の形状で開口部が存在することにより、電磁波シールド性能と光透過性を両立させており、メッシュ状の形状をしているメッシュ層２の必須の層である。なお、メッシュ層２には、メッシュ状導電体層２１以外にも、メッシュ層の形状的特徴の元となるメッシュ状導電体層が有するメッシュ状の形状が維持される点で、後述する防錆層２２や黒化層２３等も、メッシュ層の構成層として捉える（図３参照）。従って、図１（Ａ）や図４等の断面図では、層構成の内訳は明示せずただ単にメッシュ層２として描いてあるが、必要に応じ設ける防錆層や黒化層を有する場合のメッシュ層も含めた概念的な図面である。

メッシュ状導電体層２１のメッシュ状としての形状は、任意で特に限定されないが、そのメッシュの開口部の形状として、正方形が代表的である。開口部の平面視形状は、例えば、正三角形等の三角形、正方形、長方形、菱形、台形等の四角形、六角形、等の多角形、或いは、円形、楕円形などである。メッシュはこれら形状からなる複数の開口部を有し、開口部間は通常幅均一のライン状のライン部となり、通常は、開口部及び開口部間は全面で同一形状同一サイズである。具体的サイズを例示すれば、開口率及びメッシュの非視認性の点で、開口部間のライン部の幅は２５μｍ以下、好ましくは２０μｍ以下が良い。また、開口部サイズは〔ライン間隔或いはラインピッチ〕−〔ライン幅〕であるが、この〔ライン間隔或いはラインピッチ〕で言うと１５０μｍ以上、好ましくは２００μｍ以上とするのが、光透過性の点で好ましい。
なお、バイアス角度（メッシュのライン部と粘着剤層付き電磁波シールドフィルタの外周辺との成す角度）は、ディスプレイの画素ピッチや発光特性を考慮して、モアレが出難い角度に適宜設定すれば良い。

以上の様にして、メッシュ状の多数の開口部により光透過性を電磁波シールド性と共に確保した部分がメッシュ部２Ａである〔図１（Ｂ）参照〕。メッシュ部２Ａは、面として少なくとも光透過性が必要な領域（面）に設ければ良い。一方、非メッシュ部２Ｂは、前記メッシュ部２Ａ以外の部分であり、光透過性が面として必要でない領域となる。通常、メッシュ部２Ａの外周部に非メッシュ部２Ｂを設ける。また、非メッシュ部２Ｂは通常アースを取るのに利用される。その一例が、図１（Ｂ）の平面図で例示の、四角形状の粘着剤層付き電磁波シールドフィルタ１０であり、同図では、メッシュ部２Ａの４辺周囲の画像表示に影響しない部分を額縁状の非メッシュ部２Ｂとしてある。この様な額縁状の非メッシュ部２Ｂは、アースを取るのに利用できる。アースに利用する非メッシュ部は通常、四辺全周囲に額縁状とする。また、額縁状の非メッシュ部は、ディスプレイ画像等のメッシュ部を透して見る画像に対して、その周囲を（例えば黒枠等として）額縁状に囲って該画像を引き立たせ見栄えを良くする外枠としても利用できる。なお、非メッシュ部はアースを取る場合は少なくともその一部を露出させるのが好ましい。

なお、非メッシュ部はその目的に応じた任意の形とすれば良く、従って、非メッシュ部は全周囲でなくても、対向する二辺或いは一辺のみ等でも良い。
例えば、図２の平面図は、形状が連続帯状のウェブ状態に於ける、粘着剤層付き電磁波シールドフィルタ１０について、非メッシュ部２Ｂの形状例を例示する図面であり、図２（Ａ）は非メッシュ部２Ｂが額縁状（流れ方向非メッシュ部２Ｂｍと幅方向非メッシュ部２Ｂｔからなる）の場合であり、図２（Ｂ）では非メッシュ部が幅方向非メッシュ部２Ｂｔの四角形状の場合である。
なお、メッシュ部２Ｂの具体的大きさは使われ方によるが、額縁状でアース部や外枠とする場合、額縁の幅は１５〜１００ｍｍ程度で、なかでも３０〜４０ｍｍとするのが一般的である。

また、非メッシュ部２Ｂは、通常、開口部が全く無い面部分となるが、多少の開口部が在る面部分の場合もある。例えば、額縁状等の形状の非メッシュ部に対して、その領域内部に品番の文字情報等の情報を、複数の開口部の集合で表現する場合等である。例えば、その部分は、スクリーン印刷の為のスクリーン版の文字印刷部分の様な感じである。但し、この場合、その部分が面積的にも小さく且つ面として光透過性を確保するのが目的ではないので、集合を構成する複数の開口部をメッシュ状に設けた部分が在ったとしても、それは非メッシュ部となる。

メッシュ状導電体層２１は、一般的には金属箔のエッチングで形成した物が代表的であるが、これ以外のものでも、電磁波シールド性能に於いては意義を有する。従って、本発明では、メッシュ状導電体層の材料及び形成方法は特に限定されるものでは無く、従来公知の光透過性の電磁波シールドフィルタに於ける各種メッシュ状導電体層を適宜採用できるものである。例えば、印刷法やめっき法等を利用して透明基材上に最初からメッシュ状の形状でメッシュ状導電体層を形成したもの、或いは、最初は透明基材上に全面に、めっき法で導電体層を形成後、エッチング等でメッシュ状の形状にしてメッシュ状導電体層としたもの等でも構わない。

例えば、メッシュ状導電体層のメッシュ形状をエッチングで形成する場合は、透明基材に積層した金属層をエッチングでパターンニングして開口部を空けてメッシュ状にすることで形成できる。透明基材に金属層を積層するには、金属箔として用意した金属層を接着剤で透明基材にラミネートしたり、或いはラミネート用接着剤は用いずに、金属層を蒸着、スパッタ、めっき等の１或いは２以上の物理的或いは化学的形成手法を用いて透明基材上に積層したりすることもできる。なお、エッチングによるメッシュ状導電体層は、透明基材に積層前の金属箔単体をエッチングでパターンニングしてメッシュ状のメッシュ状導電体層とすることも可能である。この層単体のメッシュ状導電体層は、接着剤等で透明基材に積層する。これらのなかでも、機械的強度が弱いメッシュ状導電体層の取扱が容易で且つ生産性にも優れる等の点で、金属箔を接着剤で透明基材に積層した後、エッチングでメッシュ状に加工して、透明基材上に接着剤を介して積層された形態となる、メッシュ状導電体層が望ましい。

メッシュ状導電体層は、電磁波シールド性能を発現するに足る導電性を有する物質であれば、特に制限は無いが、通常は、導電性が良い点で金属層が好ましく、金属層は上記の如く、蒸着、めっき、金属箔ラミネート等により形成することができる。金属層乃至は金属箔の金属材料としては、例えば、金、銀、銅、鉄、ニッケル、クロム等が挙げられる。また金属層の金属は合金でも良く、金属層は単層でも多層でも良い。例えば、鉄の場合には、低炭素リムド鋼や低炭素アルミキルド鋼などの低炭素鋼、Ｎｉ−Ｆｅ合金、インバー合金、等が好ましい。一方、金属が銅の場合は、銅や銅合金となるが、銅箔としては圧延銅箔や電解銅箔があるが、薄さ及びその均一性、黒化層との密着性等の点からは、電解銅箔が好ましい。

なお、金属層による導電体層の厚さは、１〜１００μｍ程度、好ましくは５〜２０μｍである。厚さがこれより薄くなり過ぎると電気抵抗上昇により十分な電磁波シールド性能を得難くなり、厚さがこれより厚くなり過ぎると高精細なメッシュ形状が得難くなり、開口率低下により光透過性や、メッシュ側面が邪魔してディスプレイの視野角が低下する。

また、メッシュ状導電体層となる金属層の表面は、透明接着剤層等の隣接層との密着性向上の為に粗面である事が好ましい。例えば、銅箔の場合、黒化処理による黒化層の形成と同時にその表面（黒化層の表面）に粗面が得られる。なお、その粗面の程度は、１０点平均粗さＲｚ〔ＪＩＳ−Ｂ０６０１準拠（１９９４年版）〕で、０．１〜１０μｍ程度が良く、より好ましくは１．５μｍ以下、さらに好ましくは０．５〜１．５μｍである。粗さがこれ未満では、粗面化の効果が十分に得られず、またこれより大きくなると、接着剤やレジスト等の塗布時に気泡を抱き込んだりし易くなる。

〔メッシュ層：防錆層〕
メッシュ層２はメッシュ状導電体層２１だけでも良いが、金属層からなるメッシュ状導電体層は製造時、取扱時等に錆びて変質し電磁波シールド性能の低下を来すことがあるので、錆びを防ぐ必要がある場合には、防錆層２２でメッシュ状導電体層の表面を被覆すると良い。また、後述する黒化層が錆び易い場合には、黒化層も含めて被覆するのが好ましい。防錆層の被覆は、メッシュ状導電体層の表面、裏面、側面の各面のうち必要な１以上の面の中から製造コスト等を勘案して選んだ面について行えば良い。従って、防錆層の被覆は、表面だけ、裏面だけ、表裏両面〔例えば図３（Ａ）参照〕、側面（両側或いは片側）だけ、表面と両側面、裏面と両側面、表裏両面と両側面等である。

防錆層は、それで被覆するメッシュ状導電体層よりも錆び難いものであれば、金属等の無機材料、樹脂等の有機材料、或いはこれらの組合せ等、特に限定されるものではない。また場合によっては、黒化層をも防錆層で被覆することで、黒化層の粒子の脱落や変形を防止し、黒化層の黒さを高めることもできる。この点では、メッシュ状導電体層を金属箔で形成する場合、透明基材上の金属箔に黒化処理で黒化層を設けておく場合には、該黒化層の脱落や変質防止の意味で、透明基材と金属箔との積層前に設けておくのが好ましい。

防錆層２２は、従来公知のものを適宜採用すれば良く、例えば、クロム、亜鉛、ニッケル、スズ、銅等の金属乃至は合金、或いは金属酸化物の金属化合物の層等である。これらは、公知のめっき法等で形成できる。ここで、防錆効果及び密着性等の点で好ましい防錆層の一例を示せば、亜鉛めっきした後、クロメート処理して得られるクロム化合物層が、挙げられる。また、このクロム化合物層による防錆層は、後述する銅−コバルト合金粒子層からなる黒化層、及び透明接着剤層７（特に２液硬化型ウレタン樹脂系の接着剤）との密着性にも優れる。

なお、クロムの場合はクロメート（クロム酸塩）処理等でもよい。なお、クロメート処理は、処理面にクロメート処理液を接触させて行うが、該接触は、ロールコート、カーテンコート、スクイズコート、かけ流し法（以上片面接触）等の塗布法の他、静電霧化法、浸漬法等によれば両面接触も可能である。また、接触後は水洗せずに乾燥すればよい。なお、クロメート処理液にはクロム酸を含む水溶液を通常使用し、具体的には、「アルサーフ（登録商標）１０００」（日本ペイント株式会社製）、「ＰＭ−２８４」（日本パ−カライジング株式会社製）等の処理液を利用できる。
また、クロメート処理は、該処理前に亜鉛めっきするのが、密着性、防錆効果の点で好ましい。また、防錆層中には、エッチングや酸洗浄時の耐酸性向上の為に、シランカップリング剤等のケイ素化合物を含有させることもできる。
なお、防錆層の厚さは通常０．００１〜１０μｍ程度、好ましくは０．０１〜１μｍである。

〔メッシュ層：黒化層〕
黒化層２３により、ディスプレイの明室時の画像のコントラストを向上できる。なお、黒化層の中には、上述した如く該層表面が粗面となり密着強化を図れるものもある。黒化層はディスプレイ画像のコントラスト向上の点では、観察者から見えるメッシュ層（メッシュ状導電体層自体、或いは防錆層等形成済みのメッシュ状導電体層）の全ての面に設けることが好ましいが、そのうち、表面、裏面、側面の各面のうち１以上の面に設ければ相応の効果が得られる。従って、設ける面は、本粘着剤層付き電磁波シールドフィルタとディスプレイとの配置関係にもよるが、表面だけ、裏面〔例えば図３（Ａ）参照〕だけ、表裏両面、側面（両側或いは片側）だけ、表面と両側面〔例えば図３（Ｂ）参照〕、裏面と両側面、表裏両面と両側面等である。

いずれにしても、黒化層としては、黒等の暗色を呈する層であれば良く、密着性等の基本的物性を満足するものであれば良く、公知の黒化層を適宜採用し得る。
従って、黒化層としては、金属等の無機材料、黒着色樹脂等の有機材料等を用いることができ、例えば無機材料としては、金属、合金、金属酸化物、金属硫化物の金属化合物等の金属系の層として形成する。金属系の層の形成法としては、従来公知の各種黒化処理法を適宜採用できる。なかでも、めっき法による黒化処理は密着性、均一性、容易性等で好ましい。めっき法の材料は、例えば、銅、コバルト、ニッケル、亜鉛、モリブデン、スズ、クロム等の金属や金属化合物等を用いる。これらは、密着性、黒さ等の点でカドミウム等による場合よりも優れている。

なお、メッシュ状導電体層が銅箔等、銅による場合、黒化層形成の為の黒化処理として好ましいめっき法には、銅からなるメッシュ状導電体層（メッシュ状とする前に行うのであればその前の導電体層）を、硫酸、硫酸銅及び硫酸コバルト等からなる電解液中で、陰極電解処理を行いカチオン性粒子を付着させるカソーディック電着めっき法がある。この方法によれば、カチオン性粒子の付着で黒色と同時に粗面も得られる。カチオン性粒子としては、銅粒子、銅合金粒子を採用できる。銅合金粒子としては、銅−コバルト合金粒子が好ましく、更にその平均粒子径は０．１〜１μｍが好ましい。銅−コバルト合金粒子により、銅−コバルト合金粒子層からなる黒化層が得られる。カソーディック電着法では、付着させるカチオン性粒子の平均粒子径０．１〜１μｍに揃えられる点でも好ましい。平均粒子径が上記範囲超過では、付着粒子の緻密さが低下し黒さの低下やムラが起こり、粒子脱落（粉落ち）が発生し易くなる。一方、平均粒子径が上記範囲未満でも、黒さが低下する。なお、カソーディック電着法は処理を高電流密度で行うことで、処理面がカソーディックとなり、還元性水素発生で活性化し、銅面とカチオン性粒子との密着性が著しく向上する。

また、黒化層として、黒色クロム、黒色ニッケル、ニッケル合金等も好ましく、該ニッケル合金としては、ニッケル−亜鉛合金、ニッケル−スズ合金、ニッケル−スズ−銅合金である。特に、ニッケル合金は黒色度合いと導電性が良い上、黒化層に防錆機能も付与でき（黒化層兼防錆層となる）、防錆層を省略することもできる。しかも、通常、黒化層の粒子は針状のために、外力で変形して外観が変化しやすいが、ニッケル合金による黒化層では粒子が変形し難く、後加工工程で外観が変化し難くい利点も得られる。なお、黒化層として、ニッケル合金の形成方法は、公知の電解または無電解メッキ法でよく、ニッケルメッキを行った後に、ニッケル合金を形成してもよい。

〔透明接着剤層〕
透明接着剤層７は、メッシュ状導電体層２１から少なくとも構成されるメッシュ層２を、透明基材１に接着固定するものであり、メッシュ状導電体層の形成法次第では不要で省略可能な層でもある。透明接着剤層７が必要となるメッシュ状導電体層を例示すれば、メッシュ状導電体層となる金属箔を透明基材に接着剤で接着固定する場合である。この場合、金属箔を透明基材に接着する接着剤としては、メッシュ状導電体層からなるメッシュ層の開口部から見える該接着剤が光透過性を損なわない様に、透明な接着剤を用いる必要がある。特に、金属箔を透明基材に積層してからエッチングで開口部を設けてメッシュ状に加工する場合には、該開口部の全領域で接着剤が露出するので接着剤の透明性が要求される。従って、金属箔によるメッシュ状導電体層２１は、透明な接着剤からなる透明接着剤層を介して透明基材に積層されている構成が好ましい。

なお、金属箔と透明基材との具体的な積層方法としては、特に限定されるものでは無く公知の積層法が適宜採用されるが、透明基材がそのなかでも代表的な樹脂シートである場は、ドライラミネーション法が一般的である。

透明接着剤層に用いる透明な接着剤も、特に限定されるものでは無く公知の接着剤を適宜採用すれば良い。例えば、ウレタン系接着剤、アクリル系接着剤、エポキシ系接着剤、ゴム系接着剤等が挙げられ、なかでも、ウレタン系接着剤が接着力等の点で好ましい。なお、この様なウレタン系接着剤としては、２液硬化型ウレタン樹脂系接着剤等があり、２液硬化型ウレタン樹脂系接着剤は、ポリエーテルポリオール、ポリエステルポリオール、アクリルポリオール等の各種ヒドロキシル基含有化合物と、トリレンジイソシアネートやヘキサメチレンジイソシアネート等の各種ポリイソシアネート化合物を含む２液硬化型ウレタン樹脂を利用した接着剤である。

なお、透明接着剤層は、透明な接着剤を、金属箔（メッシュ状とする前のものが良い）、透明基材の、何れか又は両方に公知の形成方法により施した後、これらを積層することで形成される。該塗工法としては、例えば、ロールコート、コンマコート、グラビアコート等の塗工法、スクリーン印刷、グラビア印刷等の印刷法が挙げられる。なお、透明接着剤層の厚み（乾燥時）は特に制限は無いが、通常０．１〜２０μｍであるが、接着力、コスト、作業性等の点でより好ましくは１〜１０μｍである。

〔平坦化樹脂層〕
平坦化樹脂層３は、透明基材上に積層されたメッシュ層の開口部による表面凹凸の凹部を埋めて、透明基材にメッシュ層が積層された積層体の該メッシュ層側の表面を、その凹凸面からより平坦面に近づける平坦化を図る透明な樹脂層である。平坦化樹脂層により、メッシュ層側の積層体の面に、保護シートを脱落せず且つ剥離可能に一時的に容易に仮積層でき、また、機械的に弱いメッシュ層のメッシュ部形状が、保護シートの積層・剥離時に変形するのを防げる。また、平坦化樹脂層により、保護シート剥離後は、該積層体の表面に、例えば別の光学フィルタや前面板等のディスプレイ自体の構成部品等の機能層を、適宜接着剤等を用いて積層したりする場合に、該面の凹凸による気泡抱込みや、光学的な像の歪み発生等を、防ぐ効果が得られる。

平坦化樹脂層に用いる樹脂としては、透明な樹脂であれば特に限定は無く、透明基材やメッシュ層等の隣接層との密着性等を勘案して公知の樹脂を適宜採用すれば良い。例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、電離放射線硬化性樹脂等である。例えば、熱可塑性樹脂としては、アクリル系樹脂、ポリエステル樹脂、熱可塑性ウレタン樹脂、酢酸ビニル系樹脂等であり、熱硬化性樹脂としては、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、硬化性アクリル樹脂等であり、電離放射線硬化性樹脂としては紫外線や電子線で硬化するアクリレート系樹脂等である。なかでも、メッシュ層による凹凸を埋め易い点では、無溶剤或いは無溶剤に近い状態で塗工形成したりできる、電離放射線硬化性樹脂は好ましい樹脂である。

なお、平坦化樹脂層中には、適宜必要に応じて、例えば、塗液やインキに於ける公知の各種添加剤を添加しても良い。該添加剤としては、例えば、紫外線吸収剤等の光安定剤、分散安定剤等である。
また、平坦化樹脂層中には、適宜必要に応じて、各種色素を添加しても良い。該色素としては、例えば、近赤外線吸収剤、ネオン光吸収剤、色調整用色素、外光反射防止用色素、等の電磁波シールドフィルタに於いて公知の色素である。なお、近赤外線吸収剤は、ディスプレイからの不要な近赤外線放射を抑え赤外線利用機器の誤動作を防ぐ。また、ネオン光吸収剤はＰＤＰから放射されるネオン発光を抑えて色再現性を向上させる。また、色調整用色素は、例えば、添加した近赤外線吸収剤用の色素が可視光領域にも吸収を持ち、その吸収が可視光領域で均一で無いために着色し画像のホワイトバランスが崩れるのを防ぐ為に、可視光領域全体で光吸収がニュートラル（無彩色）となる様にする色素で、可視光領域内のその他の部分に吸収を持つ色素を用いる。また、外光反射防止用色素は、不要な外光反射を抑える色素である。

平坦化樹脂層は、上記の如き樹脂と、通常は更に溶剤と、その他必要に応じ各種添加剤、色素等とを含む組成物を、塗液乃至はインキとして用いて、塗工法や印刷法等の公知の層形成法で形成することが出来る。具体的には、メッシュ層積層済みの透明基材の該メッシュ層側の面に対して、ロールコート、コンマコート、グラビアコート等の塗工法、或いは、スクリーン印刷、グラビア印刷等の印刷法を適宜採用して形成すれば良い。印刷法は任意形状での部分形成が容易であるが、塗工法でも間欠塗工で部分形成可能である。

なお、平坦化樹脂層は、図１（Ａ）に例示の様に、メッシュ層２のメッシュ部２Ａに於ける開口部も非開口部も含めた連続層として形成しても良いが、平坦化が図れる点では開口部のみを埋める様に形成したものでも良い。

また、平坦化樹脂層は、メッシュ層の少なくとも開口部に設ければ平坦化が図れるので、少なくともメッシュ部２Ａに形成すれば良く、また更に延長して非メッシュ部２Ｂも含めて形成しても良い（図４）。また、メッシュ部２Ａに形成する場合でも、メッシュ部２Ａの全領域を隙間無く形成しても良いが、図１（Ａ）の様にメッシュ部２Ａと非メッシュ部２Ｂとの境界近傍は隙間を空けて形成しても良い。概念図である図１（Ａ）では一つの開口部の内部の一部が残る様に描いてあるが、実際この様にしても良いが、開口部のサイズが通常２００〜３００μｍ程度と通常の塗工乃至は印刷精度に対して小さい事から、現実的には、境界近傍を空ける場合は、通常、図５の拡大断面図に概念的に示す如く、メッシュ部２Ａと非メッシュ部２Ｂとの境界から数ｍｍ（１〜５ｍｍ程度）の間隙Ｌｇに於ける複数の開口部に対して、平坦化樹脂層を形成しなくても、平坦化樹脂層の形成目的は達成できる。

ところで、非メッシュ部２Ｂは通常アースを取るのに利用される。この為には、非メッシュ部２Ｂの一部領域或いは全領域はアースが取り易い様に露出させるのが好ましい。この点で、平坦化樹脂層を非メッシュ部にも形成する場合でも、非メッシュ部に露出された部分（露出部）が残る様に、例えば図４の断面図の様に形成するのが良い。

また、平坦化樹脂層は、メッシュ層の少なくとも開口部に設ければ平坦化が図れる関係上、メッシュ層が透明基材に該透明基材上の全面の透明接着剤層によって積層され、前記開口部で露出する該透明接着剤層の面が粗面である為に光透過性が低下する場合には、それを防ぐ透明化樹脂層として機能させることもできる。従って、平坦化と透明化を兼用する平坦化樹脂層としても良い。

なお、図１（Ａ）や図３等では、平坦化樹脂層３の表面は完全な平坦面となっているが、これら図面は層構成を例示する概念的なものであり、該表面は（図面の様に）完全な平坦面の事もあるし、多少の凹凸面であることもあり、これらを包含した形で、メッシュ層による凹凸面よりは平坦面に近いという意味で断面水平一直線の平坦面として描画したものである。
但し、平坦化樹脂層の表面は、凹凸面であると、それによって平坦化樹脂層の表面（他層を更に密着積層する場合は該他層との界面）で、開口部を通過した光の進路が曲げられという光学特性の点では、より完全に近い平坦面の方が好ましい。

なお、平坦面とは鏡面でも良いが鏡面で無くても良い。平坦面とは、少なくともメッシュ層の厚みの面（水平）方向分布に応じた（開口部は低く谷部となり非開口部は高く山部となる様な）凹凸が無く、またその様な凹凸、或いはその他の凹凸があったとしても、その表面に更に他の光学フィルタ等の機能層を積層する場合には、間に残留気泡を生じ無い程度の平面性があり、ディスプレイ用途に於いてはディスプレイ画像の歪曲や、光散乱による曇り（ヘイズ）等を生じ無い程度の平面性であれば良い。従って、平坦面でも、例えばメッシュ層に応じた緩慢な凹凸面で且つそれが鏡面やマット面である場合もあるし、メッシュ層に応じた緩慢な凹凸も急峻な凹凸も無く平坦であるが、細かいマット状の微細凹凸があるマット面である場合もある。つまり、平坦面と鏡面とは別の概念であり、鏡面と非鏡面は、平坦面と非平坦面よりも細かい微凹凸による区分である。

なお、表面をマット面とすると、別の機能層等の層を接着積層時の層間密着性向上等の利点が得られ、また、表面の微細凹凸により、層間界面で屈折率段差がある場合はそれを実質的に滑らかにして界面での不要な光反射を防止しても良い。

なお、平坦化樹脂層の厚みは、メッシュ層の厚み、必要とされる平坦化の程度等に応じて適宜な厚みとすれば良く、特に制限は無い。例えば、メッシュ層の全面に亙って平坦な表面を得る為には、図１（Ａ）に例示の様にメッシュ層の非開口部上も含めて平坦化樹脂層を形成してしまうのが容易であり、この様な場合では、平坦化樹脂層の厚みは、メッシュ層の開口部と非開口部では異なりメッシュ層の開口部ではメッシュ層の厚みの分だけ厚くなる。この場合、メッシュ層の非開口部上を平坦化樹脂層で確実に覆うには、例えばその部分が１μｍ以上となる様にすると良い。但し、いずれの場合でも、厚みが厚過ぎると、コスト高等となるので、最も厚い部分でも１００μｍ以下（メッシュ層の厚みも含む）とするのが好ましい。

〔粘着剤層〕
粘着剤層４は透明な層で、後述する剥離シートを剥離したときは剥離シートと離れ透明基材と積層一体化した状態となる層であり、粘着剤層付き電磁波シールドフィルタを他の物と積層一体化する為の層である。該粘着剤層としては、透明性が得られる公知の粘着剤を適宜採用すれば良い。粘着剤としては、例えば、アクリル系樹脂、シリコーン系樹脂、酢酸ビニル系樹脂、或いは、天然ゴム系、ブチルゴム、ポリイソプレン、ポリイソブチレン、ポリクロロプレン、スチレン−ブタジエン共重合樹脂などのゴム系樹脂等である。
粘着剤層は、これら樹脂等からなる粘着剤組成物を用いて、塗工法の公知の層形成法で形成することが出来る。なお、粘着剤層は、透明基材の裏面に、直接形成しても良いが、通常、粘着剤層の加熱乾燥を独立して十分に行える等の点で、後述する剥離シートの剥離面に形成してから、この粘着剤層付き剥離シートを、粘着剤層側の面で透明基材の裏面に加圧ローラ等でラミネートすることで、剥離シートと共に透明基材の裏面に積層するのが普通である。
なお、粘着剤層の厚みは、用途、要求物性等に応じたものとすれば良く特に制限は無いが、通常５〜５０μｍ程度である。薄すぎると粘着力が弱くなり、また厚すぎてもコスト高となる上、段差ムラも出やすくなる。

〔剥離シート〕
剥離シート５は、透明基材裏面に形成された粘着剤層の裏面を保護して、被着体等の他の物との接着積層させるときは、粘着剤層は透明基材側に残して、剥離シートのみを剥離可能に粘着剤層裏面に仮積層されるシートである。この様な、剥離シートとしては、公知の粘着フィルム等に於ける公知の剥離シートを適宜採用することができる。例えば、剥離シートとしては、シリコーン等で表面を離型処理した２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム等の樹脂シート等を用いることができる。

上記樹脂シートの樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、エチレングリコール−テレフタル酸−イソフタル酸共重合体、テレフタル酸−シクロヘキサンジメタノール−エチレングリコール共重合体などのポリエステル系樹脂、ナイロン６などのポリアミド系樹脂、ポリプロピレン、ポリメチルペンテン、環状ポリオレフィンなどのポリオレフィン系樹脂、イミド系樹脂、ポリカーボネートなどの樹脂が挙げられる。これらのなかでも、通常、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル系樹脂、ポリプロピレン、ポリノルボネンなどのポリオレフィン系樹脂が、機械的強度、腰、剥離性、耐熱性やコスト面から好適な樹脂である。また、特に機械的強度、腰が強いものは段差ムラ解消に有利であり、この様な点では、１軸延伸、２軸延伸等の延伸シートが好ましい。具体例を挙げれば、２軸延伸ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）シートが最適である。
剥離シートの厚みは、用いる樹脂シートの機械的強度や腰の強さ等を考慮すると通常１０〜２００μｍ程度とすると良い。なお、剥離シートの厚みを、例えば腰の有る２軸延伸ＰＥＴシートで２００μｍとすれば、表面側の保護シート無しでも段差ムラを防ぎ易いが、表面の傷付きや塵付着が防げず品質が低下してましう。

〔保護シート〕
保護シート６は、透明基材上にメッシュ層及び平坦化樹脂層が形成された積層体に対して、メッシュ層形成側の面である表面に対して、剥離可能に仮積層するシートである。そして、この保護シートをフィルタ表面側に仮積層しておくことで、フィルタ裏面側に前記剥離シートを積層しただけでは防げない様な、粘着剤層の段差ムラ発生を防げる。そして、保護シートは、もはや粘着剤層付き電磁波シールドフィルタを重ね合わせることが無く段差ムラ発生の懸念が無くなった後の不要になった時に剥がせば良く、例えば、該フィルタを製品として出荷し、客先で剥がす等である。この様に剥離が必要になったときに剥がす様にすれば、剥がすまでの間、フィルタ表面の傷付き、塵付着等も防げ品質上でも好ましい。

保護シートは、平坦化樹脂層を透明基材上に積層されたメッシュ層上に形成した後に、該平坦化樹脂層上に積層しても良いが、剥離可能に仮積層できる様な適度な接着力で平坦化樹脂層に容易に積層できる点で、平坦化樹脂層の形成時の塗膜段階で積層してしまう方法は好ましい積層方法である。すなわち、透明基材上に積層されたメッシュ層の上に、平坦化樹脂層を形成する為の塗液を施して塗膜が液状であるうちに、塗膜表面に保護シートを積層する。或いは、塗膜が固化後でも加熱により塑性変形する状態が発現するならば、固化後でも保護シートを被せて加熱ローラ等で加熱加圧して積層しても良い。これらの様にすると、平坦化樹脂層自体の自着性を活用して容易に剥離可能に仮積層できる。

この様な保護シートとしては、剥離可能に仮積層でき、また段差ムラを抑える点で機械的強度や腰が強いものが好ましく、この様な特性を有するシートであれば特に制限は無いが、なかでも、樹脂シートは代表的である。
上記樹脂シートの樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、エチレングリコール−テレフタル酸−イソフタル酸共重合体、テレフタル酸−シクロヘキサンジメタノール−エチレングリコール共重合体などのポリエステル系樹脂、ナイロン６などのポリアミド系樹脂、ポリプロピレン、ポリメチルペンテン、環状ポリオレフィンなどのポリオレフィン系樹脂、イミド系樹脂、ポリカーボネートなどの樹脂が挙げられる。これらのなかでも、通常、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル系樹脂、ポリプロピレン、ポリノルボネンなどのポリオレフィン系樹脂が、機械的強度、腰、剥離性、耐熱性やコスト面から好適な樹脂である。また、特に機械的強度、腰が強いものは段差ムラ解消に有利であり、この様な点では、１軸延伸、２軸延伸等の延伸シートが好ましい。具体例を挙げれば、２軸延伸ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）シートが最適である。
なお、樹脂シート単体では、その剥離面の剥離性が不足する場合には、剥離面に、シリコーン等の離型性物質からなる公知の離型層を形成したものを保護シートとすると良い。

保護シートの厚みは、用いる樹脂シートの機械的強度や腰の強さ等を考慮すると通常１０〜２００μｍ程度とすると良い。保護シートの厚みと前記剥離シートの厚みとの合計の総厚みが段差ムラ解消に作用し、これら材料の機械的強度及び腰の強さにもよるが、これらが強く且つ入手も容易な２軸延伸ポリエチレンテレフタレートシートを両シートに用いた場合、例えば総厚みが少なくとも７５μｍ以上では良好な結果が得られている。

また、保護シートは、平坦化樹脂層の表面を、平坦面、マット面、鏡面等と所望の凹凸形状とする為の、賦形シートとして利用しても良い。その為には、保護シートの剥離面（平坦化樹脂層に接する面）を、エンボス加工、型押し加工、樹脂シート中への粒子添加、ケミカルエッチングなどを利用して、所望の凹凸形状の面としておけばよい。
なお、賦形シートとして樹脂シート単体では、その賦形面の離型性が不足する場合には、賦形面に、シリコーン等の離型性物質からなる離型層を形成すると良い。

なお、保護シートの剥離面の剥離性を適度に（剥離性のみを考慮した場合に対してはそれを減らす方向で）調整することで、メッシュ層のメッシュ部では平坦化樹脂層を残して保護シートが剥離され、非メッシュ部では平坦化樹脂層と共に保護シートが剥離される様にすることもできる。これにより、一旦は非メッシュ部も含めて形成した平坦化樹脂層を非メッシュ部では保護シートと共に除去して非メッシュ部を露出させ、非メッシュ部でアースがとり易い様にできる。この様にする為の剥離性の調整は、例えば該剥離面の濡れ性を指標として、ぬれ張力を３５〜４５ｍＮ／ｍ（ＪＩＳ Ｋ−６７６８準拠）の範囲とすると良い。剥離面を適度な剥離性に調整する為には、例えば、コロナ放電処理、プラズマ処理、オゾン処理、フレーム処理、プライマー塗布処理、予熱処理、除塵埃処理、蒸着処理、アルカリ処理等の易接着処理を行ってもよい。

〔その他の層〕
本発明の粘着剤層付き電磁波シールドフィルタは、必要に応じ適宜、上述した以外の層を積層した構成としても良い。例えば、粘着剤層付き電磁波シールドフィルタの表面、裏面、層間の１以上の位置に、適宜、永続的な表面保護、機械的強度向上、光学特性改善等、上述した層構成からは実現できないその他の機能を更に付与する為の機能層である。該機能層は、例えば従来ディスプレイ用途等で公知の各種フィルタ等である。具体的に例示すれば、例えば、近赤外線吸収フィルタ、反射防止（含む防眩）フィルタ、色調調整フィルタ（ネオン光吸収フィルタ、色再現性向上フィルタ等）等の各種光学フィルタ、或いは、防汚染フィルム、ハードコートフィルム等の光学フィルタ機能以外の物等を、適宜接着剤等を用いて、或いは透明基材裏面の粘着剤層を利用して、積層しても良い。これらは市販品等、公知のものを適宜使用することができる。或いは、塗膜として形成しても良い。また、ディスプレイの前面基板と接着積層しても良い。この際、平坦化樹脂層を接着剤層として機能させても良い。もちろん、該平坦化樹脂層とは別に接着剤層を設けても良い。

以下、実施例及び比較例にて、本発明を更に具体的に説明する。なお、文中、「％」は
全て質量％である。

〔実施例１〕
図１、図２（Ａ）、及び図３（Ａ）に示す、粘着剤層付き電磁波シールドフィルタ１０を次の様にして作製した。先ず、メッシュ状導電体層２１とする金属箔として、一方の面に銅−コバルト合金粒子から成る黒化層２３が形成された厚さ１０μｍの連続帯状の電解銅箔を用意した。また、透明基材１として厚さ１００μｍで連続帯状のウェブである無着色透明な２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムを用意した。

そして、前記銅箔の両面に対して、亜鉛めっき後、ディッピング法にて公知のクロメート処理を行い、表裏両面に防錆層２２を形成した。次いで、この銅箔をその黒化層面側で上記透明基材に、透明な２液硬化型ウレタン樹脂系接着剤でドライラミネートした後、５０℃３日間養生して、銅箔（防錆層）と透明基材間に厚さ７μｍの透明接着剤層７を有する連続帯状のウェブとして銅貼積層シートを得た。

次いで、上記銅貼積層シートに対して、その銅箔（全面の、導電体層、黒化層及び防錆層）をフォトリソグラフィ法を利用したエッチングにより、防錆層２２、メッシュ状導電体層２１及び黒化層２３からなるメッシュ層２が透明基材１上に形成されたメッシュ積層シートを得た。
エッチングは、具体的には、カラーＴＶシャドウマスク用の製造ラインを利用して、連続帯状の上記銅貼積層シートに対してマスキングからエッチングまでを行った。すなわち、上記銅貼積層シートの導電体層面全面にエッチングレジストを塗布後、所望のメッシュパターンを密着露光し、現像、硬膜処理、ベーキング後、塩化第二鉄溶液で黒化層、防錆層を含めて銅箔をエッチングしてメッシュ状の開口部を形成し、次いで、水洗、レジスト剥離、洗浄、乾燥を順次行った。メッシュ層のメッシュの形状は、その開口部が正方形で非開口部となる線状部分のライン幅は１０μｍ、そのライン間隔（ピッチ）は３００μｍ、メッシュ部２Ａの長方形領域の長辺〔図１（Ｂ）参照〕に対する劣角として定義されるバイアス角度４９度である。また、メッシュ層のメッシュは、連続帯状のウェブを所望の大きさの枚葉の四角形のシートに切断した時に、その四辺外周に開口部が無い幅４０ｍｍの額縁状の非メッシュ部２Ｂ（幅方向非メッシュ部２Ｂｔの幅は２倍の８０ｍｍとなる）を残す様にエッチングした。

次いで、一旦巻き取られた上記メッシュ積層シートを、巻き出してそのメッシュ層２の面に対して、平坦化樹脂層３を形成する為に、アクリル樹脂をメチルエチルケトンとトルエンの１対１質量比の混合溶剤に溶解した塗液を、間欠ダイコート法による間欠塗工によって、メッシュ層上に塗布した。塗工は、図１（Ａ）、及び図５の様に、メッシュ部２Ａと非メッシュ部２Ｂとの境界近傍は３ｍｍの隙間Ｌｇを空けて、メッシュ部２Ａの部分にに行った。平坦化樹脂層は、メッシュ層の開口部と共に非開口部上も含めてメッシュ層上に連続層として、開口部の厚みで１８μｍ、非開口部の厚みは８μｍとして形成された。

そして、上記塗布後、溶剤を乾燥後の塗膜に対して、平坦面も賦形できる保護シート６として、厚さ５０μｍで連続帯状の市販２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムをその易接着処理未処理面で塗膜にラミネートし仮積層した。保護シートを剥離すれば、表面が平坦面の平坦化樹脂層３が露出するが、まだ保護シートは剥離しない。

一方、剥離シート５とする厚さ３８μｍで連続帯状のウェブ形態で離型処理済みの市販２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムの離型処理面に対して、アクリル系樹脂の粘着剤を塗工し厚み２５μｍの粘着剤層４を形成し、更にこの粘着剤層４の面に、前記剥離シートと同様の樹脂フィルムだが剥離性がより良い第２の剥離シートをラミネートした粘着積層シートを用意した。
そして、この粘着積層シートの第２の剥離シートを剥がしつつ、露出した粘着剤層４側を、前記保護シートまで仮積層したものの透明基材の裏面にラミネートして積層し、これを保護シートを付けたままで巻き取った。以上の様にして、粘着剤層付き電磁波シールドフィルタを作製した。

なお、図３（Ａ）の粘着剤層付き電磁波シールドフィルタ１０の層構成は、裏面側から順に、剥離シート５／粘着剤層４／透明基材１／透明接着剤層７／メッシュ層２（防錆層２２／黒化層２３／メッシュ状導電体層２１／防錆層２２）／平坦化樹脂層３／保護シート６で、観察者側は透明基材１側となる構成である。なお、「／」はその左右の層が積層一体化されている事を示すが、剥離シートと保護シートの両シートだけは、剥離可能な仮積層である。

〔比較例１〕
実施例１において、保護シートは保護シートと言うよりは、平坦化樹脂層の表面の平坦化のみの賦形シートとして使い、剥離シート及び粘着剤層を透明基材裏面に積層する際は、保護シートは剥離除去した状態で積層し、そして、保護シート無しの状態で巻き取った他は、実施例１と同様にして、粘着剤層付き電磁波シールドフィルタを作成した。

〔比較例２〕
実施例１において、剥離シートの厚みを３８μｍから７５μｍに厚くし、一方、保護シートは保護シートと言うよりは、平坦化樹脂層の表面の平坦化のみの賦形シートとして使い、剥離シート及び粘着剤層を透明基材裏面に積層する際は、保護シートは剥離除去した状態で積層し、そして、保護シート無しの状態で巻き取った他は、実施例１と同様にして、粘着剤層付き電磁波シールドフィルタを作成した。

〔比較例３〕
実施例１において、平坦化樹脂層の形成部分を非メッシュ部２Ｂの四辺内周から外側に１０ｍｍの部分まで形成して、平坦化樹脂層がメッシュ部と非メッシュ部との境界部分も完全に被覆する様に形成し、且つ保護シートは保護シートと言うよりは、平坦化樹脂層の表面の平坦化のみの賦形シートとして使い、剥離シート及び粘着剤層を透明基材裏面に積層する際は、保護シートは剥離除去した状態で積層し、そして、保護シート無しの状態で巻き取った他は、実施例１と同様にして、粘着剤層付き電磁波シールドフィルタを作成した。

〔性能評価〕
実施例及び比較例の各粘着剤層付き電磁波シールドフィルタの巻取り（巻取長２００ｍ）を、２５℃５０％ＲＨ環境下で４日間保管した後、巻き戻して、保護シートが付いているものは剥離して、メッシュ部において段差ムラが発生したか否か、また、表面の傷付きや塵付着はどうか、各々目視で確認した。結果は表１に示す。

表１の如く、表面に保護シートを仮積層しておいた実施例１では、段差ムラも無く、また表面の傷付き、塵付着も無く、各良好で総合評価は良好であった。しかし、保護シートを仮積層しなかった比較例１及び比較例３は、巻取り時に下側に重なった粘着剤層付き電磁波シールドフィルタのメッシュ部と幅方向非メッシュ部との境界部分に対応したメッシュ部に段差ムラが発生し不良となり、また表面の傷付き、塵付着も有り不良となり、総合評価も不良であった。ただ、保護シートを仮積層しなかったが、剥離シートを７５μｍと厚くした比較例２は、上記の様な段差ムラについては発生せず良好だが、表面の傷付き、塵付着が有り不良となり、総合評価は不良となった。

本発明による粘着剤層付き電磁波シールドフィルタをその一形態で概念的に例示する部分断面図（Ａ）と平面図（Ｂ）。 連続帯状のウェブに於ける非メッシュ部２Ｂの形状例として、額縁状（Ａ）と帯状（Ｂ）の２例を示す平面図。 本発明による粘着剤層付き電磁波シールドフィルタの別の形態例として２例を例示する断面図。 本発明による粘着剤層付き電磁波シールドフィルタの別の形態例を概念的に例示する部分断面図。 平坦化樹脂層３の形成部分の外縁と、メッシュ部２Ａと非メッシュ部２Ｂとの位置関係の一例を示す拡大断面図。 従来の粘着剤層付き電磁波シールドフィルタを重ね合わせたときに発生する段差ムラを、概念的に説明する部分断面図。

符号の説明

１ 透明基材
２ メッシュ層
２Ａ メッシュ部
２Ｂ 非メッシュ部
２Ｂｍ 流れ方向非メッシュ部
２Ｂｔ 幅方向非メッシュ部
２１ メッシュ状導電体層
２２ 防錆層
２３ 黒化層
３ 平坦化樹脂層
４ 粘着剤層
５ 剥離シート
６ 保護シート
７ 透明接着剤層
１０ 粘着剤層付き電磁波シールドフィルタ
２０ 従来の粘着剤層付き電磁波シールドフィルタ
ｄ 段差ムラ
Ｌｇ 間隔

Claims (3)

1. 透明基材の表面上に、メッシュ状導電体層を含むメッシュ層が形成され、更に該メッシュ層の開口部による表面凹凸を平坦化する平坦化樹脂層が少なくとも該開口部に形成され、前記透明基材の裏面側には粘着剤層が形成され、更に該粘着剤層の裏面に剥離シートが仮積層された、粘着剤層付き電磁波シールドフィルタにおいて、
   前記メッシュ層が、メッシュ状の多数の開口部により光透過性を有するメッシュ部と、該メッシュ部の外周部の少なくとも一部に存在する非メッシュ部とを有し、前記平坦化樹脂層がメッシュ部と非メッシュ部のうち少なくともメッシュ部に形成された積層体に対して、該平坦化樹脂層形成面側の表面に、保護シートを剥離可能に仮積層した、粘着剤層付き電磁波シールドフィルタ。
2. 形状が連続帯状のウェブである、請求項１記載の粘着剤層付き電磁波シールドフィルタ。
3. 非メッシュ部の形状がメッシュ部の四方全周囲を囲繞する額縁状である、請求項１又は２に記載の粘着剤層付き電磁波シールドフィルタ。
   

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