JP2006126341A - 光スイッチのミラー制御装置 - Google Patents

光スイッチのミラー制御装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2006126341A
JP2006126341A JP2004312375A JP2004312375A JP2006126341A JP 2006126341 A JP2006126341 A JP 2006126341A JP 2004312375 A JP2004312375 A JP 2004312375A JP 2004312375 A JP2004312375 A JP 2004312375A JP 2006126341 A JP2006126341 A JP 2006126341A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
output
mirror
array
input
mirror array
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2004312375A
Other languages
English (en)
Inventor
Yuji Ishii
祐二 石井
Kazuyuki Mori
和行 森
Tamotsu Akashi
保 赤司
Yoshio Sakai
良男 坂井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP2004312375A priority Critical patent/JP2006126341A/ja
Priority to US11/038,056 priority patent/US7466915B2/en
Publication of JP2006126341A publication Critical patent/JP2006126341A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/35Optical coupling means having switching means
    • G02B6/3586Control or adjustment details, e.g. calibrating
    • G02B6/3588Control or adjustment details, e.g. calibrating of the processed beams, i.e. controlling during switching of orientation, alignment, or beam propagation properties such as intensity, size or shape
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04QSELECTING
    • H04Q11/00Selecting arrangements for multiplex systems
    • H04Q11/0001Selecting arrangements for multiplex systems using optical switching
    • H04Q11/0005Switch and router aspects
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/35Optical coupling means having switching means
    • G02B6/351Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements
    • G02B6/3512Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements the optical element being reflective, e.g. mirror
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/35Optical coupling means having switching means
    • G02B6/354Switching arrangements, i.e. number of input/output ports and interconnection types
    • G02B6/35543D constellations, i.e. with switching elements and switched beams located in a volume
    • G02B6/3556NxM switch, i.e. regular arrays of switches elements of matrix type constellation
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04QSELECTING
    • H04Q11/00Selecting arrangements for multiplex systems
    • H04Q11/0001Selecting arrangements for multiplex systems using optical switching
    • H04Q11/0005Switch and router aspects
    • H04Q2011/0007Construction
    • H04Q2011/0026Construction using free space propagation (e.g. lenses, mirrors)
    • H04Q2011/003Construction using free space propagation (e.g. lenses, mirrors) using switches based on microelectro-mechanical systems [MEMS]
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04QSELECTING
    • H04Q11/00Selecting arrangements for multiplex systems
    • H04Q11/0001Selecting arrangements for multiplex systems using optical switching
    • H04Q11/0005Switch and router aspects
    • H04Q2011/0037Operation
    • H04Q2011/0039Electrical control
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04QSELECTING
    • H04Q11/00Selecting arrangements for multiplex systems
    • H04Q11/0001Selecting arrangements for multiplex systems using optical switching
    • H04Q11/0005Switch and router aspects
    • H04Q2011/0037Operation
    • H04Q2011/0043Fault tolerance

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)

Abstract

【課題】 光スイッチにおける入力と出力との光信号による接続試験を、高精度、且つ高い信頼性で実現可能なミラー制御装置を提供する。
【解決手段】 光スイッチを用いて光通信を行う際に用いる光路と同一光路に光信号を通過させる信号発生器(10,82,83)と、光信号がティルトミラー(111,123)及び出力コリメータアレイ(14)の少なくとも一方により散乱された散乱光を検出する画像解析装置(15,16,81)とを備えており、画像解析装置は、散乱光に基づいて光ビーム映像の位置を制御位置(121,141,85)として検出し、検出した制御位置とティルトミラー及び出力コリメータアレイの少なくとも一方の上の予め定められている所望位置である目標位置(122,142,84,86)とが一致するようにティルトミラーを制御する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、波長分割多重 (WDM: Wavelength Division Multiplexing)通信などの光クロスコネクト (OXC: Optical Cross-Connect)システムにおける光スイッチのミラー制御装置に関し、特にMEMS(Micro Electro Mechanical System)ミラーを用いた光スイッチに用いて好適なミラー制御装置に関する。
MEMSミラーを用いた光スイッチの光接続方式としては以下の特許文献1及び2が公開されている。
特許文献1では、光スイッチに用いられるMEMSミラーの角度ずれを自動的に補正して光損失を低減した光スイッチの制御装置および制御方法が提案されている。この中で光信号の一部をミラーなどで反射することにより分岐して、この分岐光についての位置情報を得ることでミラーの角度ずれを検出する方式と、出力ポートから出力される光信号のパワーを検出して角度ずれを検出する方式が説明されている。
特許文献2では、光スイッチ内で用いられるMEMSミラー素子の回転ドリフトを検出する装置と方法が提案されている。この中でミラーの回転ドリフトを光学的に検出するために、光通信を行っている光学パスとは別にテスト光をミラーに照射し、光学監視デバイス(カメラなど)を用いてミラーのドリフトを検出する方式が説明されている。
特開2002−236264 特開2001−174723
特許文献1に記載の技術では、光信号の一部を分岐して、この分岐光についての位置情報を得ることでミラーの角度ずれを検出している。分岐光によりミラーの角度ずれの検出は可能であるが、出力光を分岐するので光スイッチとしての挿入損失が増加するという課題がある。挿入損失は光スイッチの性能の重要な要素であるので、挿入損失が増加しない光スイッチ制御装置が求められる。
また、同特許文献1に記載の技術においては、出力ポートから出力される光信号のパワーを検出して角度ずれを検出している。したがって、光出力がなければ制御できないので、例えば光接続中でない初期状態や、何らかのマクロ変動が発生した場合には、光接続制御を行う事ができなくなるという課題がある。
さらに、特許文献1に記載の技術では、入力コリメータから入力された光信号は入力ミラーで反射され、その後出力ミラーで反射され所望の出力コリメータから光信号が出力され、その出力された光信号をフォトダイオードなどで光出力レベルを監視することで最適点制御、またはレベル制御が行われる。しかし、初期角度のずれが大きい場合、出力コリメータからは光信号が出力されず、フォトダイオードなどを使用した光出力レベル監視ができないという課題がある。
特許文献2においては、ドリフトを検出する技術が開示されている。この特許文献2に記載の技術によれば、実際の運用で使用している光信号の光路とは別のテスト信号用光路を用いて監視しなければならず、入力ファイバの異常等の光信号の障害や入力光とテスト信号の角度誤差などが発生した場合の異常が検出できないという課題がある。光スイッチをWDM伝送用途で使用する場合、非常に高い信頼性が要求されるが、MEMSミラーはまだまだ信頼性への課題が多く、上記のような実際の光信号の光路とは別のテスト信号用光路を用いる特許文献2に記載の技術では上記課題は解決されない。また、MEMSミラー列の位置を評価するものであって、実際の光信号(ミラーによりスイッチ可能な光路を通る光信号)との関係を評価するものではない。
本発明の目的は、上記従来技術における課題を解決するために、実際の運用で使用している光信号の光路と同一光路(スイッチ可能な光路)の光信号をカメラでモニタすることにより、光スイッチにおける入力と出力との光信号による接続試験(接続確認)を、高精度かつ高い信頼性で実現することが可能となる、光スイッチのミラー制御装置を提供することにある。
上記の目的を達成するために、本発明の第1の態様により提供されるものは、光スイッチを用いて光通信を行う際に用いる光路と同一光路に光信号を通過させる信号発生手段と、光信号がティルトミラー及び出力コリメータアレイの少なくとも一方により散乱された散乱光を検出する画像解析手段とを備えており、画像解析手段は、散乱光に基づいて光ビーム映像の位置を制御位置として検出し、検出した制御位置とティルトミラー及び出力コリメータの少なくとも一方の上の予め定められている所望位置である目標位置とが一致するようにティルトミラーを制御することを特徴とする、光スイッチのミラー制御装置である。
本発明の第2の態様においては、光スイッチは、ミラーアレイに含まれる入力ミラーアレイ及び出力ミラーアレイと、入力ミラーアレイに対応して配置された入力コリメータアレイと、出力ミラーアレイに対応して配置された出力コリメータアレイとを備えており、画像解析手段は、第1の画像解析装置と第2の画像解析装置とを備えており、第1の画像解析装置は、信号発生手段から出力された光信号が入力コリメータアレイを通った後に入力ミラーアレイにより反射され、次いで出力ミラーアレイにより散乱された散乱光に基づいて得られる出力ミラーアレイ上の光ビーム映像の位置を第1の制御位置として検出し、検出した第1の制御位置と、出力ティルトミラーの予め定められている所望の位置である第1の目標位置とが一致するように入力ミラーアレイ上のティルトミラーを制御するものであり、第2の画像解析装置は、光ビーム映像が出力ミラーアレイにより反射されて出力コリメータアレイにより散乱された散乱光に基づいて得られる出力コリメータアレイ上の光ビーム映像の位置を第2の制御位置として検出し、検出した第2の制御位置と出力コリメータアレイの予め定められている所望の位置である第2の目標位置とが一致するように出力ミラーアレイ上のティルトミラーを制御するものである。
本発明の第3の態様においては、光スイッチは、第2の態様と同様の入力ミラーアレイ及び出力ミラーアレイと、入力コリメータアレイと、出力コリメータアレイとを備えており、信号発生手段は、第1の光信号発生器と第2の光信号発生器とを備えており、画像解析手段を構成する単一の画像解析装置は、第1の信号発生器から出力された光信号が入力コリメータアレイを通った後に入力ミラーアレイにより反射されて出力ミラーアレイにより散乱された散乱光を検出することにより出力ミラーアレイ上に照射された光ビーム映像の位置を第1の制御位置として検出し、検出した第1の制御位置と第2の信号発生器により出力コリメータアレイを通して出力ミラーアレイに照射された光の位置である第1の所望目標位置とが一致するように入力ミラーアレイ上のティルトミラーを制御するとともに、第2の信号発生器から出力された光信号が出力コリメータを通った後に出力ミラーアレイにより反射されて入力ミラーアレイにより散乱された散乱光に基づいて入力ミラーアレイ上に照射された光ビーム映像の位置を第2の制御位置として検出し、検出した第2の制御位置と第1の信号発生器により入力コリメータアレイを通して入力ミラーアレイに照射された光の位置である第2の所望目標位置とが一致するように出力ミラーアレイ上のティルトミラーを制御するものである。
本発明の第4の態様においては、入力光信号を反射面の角度が可変なミラーアレイで反射して複数の出力のうちのいずれかの出力に選択的に導く光スイッチについて反射面の角度を制御する制御装置において、ミラーアレイのいずれかのミラーで反射される光信号の該ミラーへの照射位置をミラーアレイを反射される光信号のメイン光路外からモニタすることで検出するカメラを備え、検出した照射位置に基づいて反射面の角度を制御することを特徴とする光スイッチのミラー制御装置が提供される。
本発明の第5の態様においては、入力光信号を反射面の角度が可変なミラーアレイで反射して複数の出力のうちのいずれかの出力に選択的に導く機能を備え、導く過程で光信号が照射される複数の光学部品を備えた光スイッチについて、反射面の角度を制御する制御装置において、光スイッチにおいて入力光信号が照射される光学部品を入力光信号のメイン光路外でモニタして、入力光信号の照射位置を検出するカメラを備え、検出した照射位置に基づいて前記反射面の角度を制御することを特徴とする光スイッチのミラー制御装置が提供される。
本発明の第1の態様によれば、実際の運用で使用している光信号の光路と同一光路を通過した光信号を用いてティルトミラーを制御するようにしたので、実際の運用で使用する光信号の光路とは別の光路を用いる従来技術と比較して、高精度かつ高い信頼性で光スイッチを制御可能になるという効果が得られる。
本発明の第2の態様によれば、実際の運用で使用している光信号の光路と同一光路を通過した光信号を用いて、出力ミラーアレイ上の制御位置が目標位置に重なるように入力ミラーアレイのティルトミラーを制御し、出力コリメータ上の制御位置が目標位置に重なるように出力ミラーアレイのティルトミラーを制御するようにしたので、両ミラーアレイのティルトミラーを高精度に制御できるという効果が得られる。
本発明の第3の態様によれば、出力ミラーアレイ上の目標位置は第1の光信号発生器により照射され、入力ミラーアレイ上の目標位置は第2の光信号発生器により照射されるので、目標位置を予め計算したり登録したりする手間が省略できるという効果が得られる。また、単一の画像解析手段で済むので、光スイッチの制御装置の構成が簡単になり、低価格化に貢献することができるという効果も得られる。
本発明の第4の態様によれば、ミラーへの照射位置を、ミラーアレイを反射される光信号のメイン光路外からモニタすることにより、高精度かつ高い信頼性で光スイッチの反射面の角度を制御可能になるという効果が得られる。
本発明の第5の態様によれば、光信号が照射される複数の光学部品を入力光信号のメイン光路外でモニタして、入力光信号の照射位置を検出することにより、様々な光学部品が入力と出力の間に存在している場合でも、高精度かつ高い信頼性で光スイッチの反射面の角度を制御可能になるという効果が得られる。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。全図を通じて同一参照番号は同一物を表す。
図1は本発明の実施例1による光スイッチの制御装置の全体構成を示す概略図である。図1において、光スイッチの制御装置は、光スイッチを用いて光通信を行う際に用いる光路と同一光路に例えばテスト用光信号等の光信号(以下の説明ではテスト用光信号とする)を通過させるテスト用光信号発生器(信号発生手段)10と、テスト用光信号が出力ティルトミラー123及び出力コリメータアレイ14により散乱された散乱光をそれぞれ検出する画像解析装置(画像解析手段)15、16とを備えており、画像解析装置15、16は、散乱光に基づいて光ビーム映像の位置を制御位置121,141として検出し、検出した制御位置121、141と出力ティルトミラー123及び出力コリメータアレイ14の上の予め定められている所望位置である目標位置122、142とが一致するようにティルトミラー111、123を制御するものである。
より詳細には、図1に示した光スイッチは、ミラーアレイとして入力ミラーアレイ11及び出力ミラーアレイ12を含んでおり、入力ミラーアレイ11に対向して配置された入力コリメータアレイ13と、出力ミラーアレイ12に対向して配置された出力コリメータアレイ14とを備えている。入力ミラーアレイ11と出力ミラーアレイ12とは例えば屋根型折り返しミラーを構成する配置となっている。画像解析手段としては、第1の画像解析装置15と第2の画像解析装置16とを備えている。
第1の画像解析装置15は、テスト用光信号発生器10から出力されたテスト用光信号が入力コリメータアレイ13を通った後に入力ミラーアレイ11により反射され、次いで出力ミラーアレイ12により散乱された散乱光に基づいて得られる出力ミラーアレイ12上の光ビーム映像の位置を第1の制御位置121として検出し、検出した第1の制御位置121と、出力ティルトミラー12の予め定められている所望の位置である第1の目標位置122とが一致するように入力ミラーアレイ11上のティルトミラー111を制御する。
第2の画像解析装置16は、光ビーム映像が出力ミラーアレイ12により反射されて出力コリメータアレイ14により散乱された散乱光に基づいて得られる出力コリメータアレイ14上の光ビーム映像の位置を第2の制御位置141として検出し、検出した第2の制御位置141と出力コリメータアレイの予め定められている所望の位置である第2の目標位置142とが一致するように出力ミラーアレイ12上のティルトミラー123を制御する。
具体的な制御方式としては、出力ミラーアレイ12の位置及び出力コリメータアレイ14の位置は、それぞれの幾何学的配列から既知である。第1の目標位置122は、例えば、出力ミラーアレイ12の四隅のティルトミラー123の位置をカメラ151で予め撮像しておき、画像解析処理部152にてそれら四隅のティルトミラー21の位置に基づいて、試験に必要な全てのティルトミラーの位置を演算により求めて格納しておく。これに替えて、画像解析装置15を使用して出力ミラーアレイ12の全体を撮像しておき、その全体像から各ティルトミラーの位置をマウス等を用いて事前登録させることも可能である。
第2の目標位置142についても、同様に、例えば出力コリメータアレイ14の四隅の穴の上のレンズの位置をカメラ151で予め撮像しておき、画像解析処理部162にてそれら四隅のレンズの位置に基づいて、試験に必要な全てのレンズの位置を演算により求めて格納しておく。これに替えて、画像解析装置162を使用して出力コリメータアレイ14の全体を撮像しておき、その全体像から各レンズの位置をマウス等を用いて事前登録させることも可能である。
なお、各ティルトミラーは反射面が極めて滑らかでありほぼ全反射するものであるが、実際には、酸化および防塵対策のために、窒素などの気体を多層膜フィルタで封止してある。この多層膜フィルタは特定の波長に関しては無反射で透過するように設計されているが、ごく微小の光散乱が発生する。また、特定波長以外ではより多くの光散乱が発生し、本発明の実施例で運用される使用帯域内の1510nm,1520nm,…の波長ではより多くの光拡散が発生する。よって、ディルトミラーで全反射した場合でも、ティルトミラーの真上の多層膜フィルタで微小な光散乱が発生するので、カメラ151に赤外線フィルタを設けることにより光のビームスポットを上記散乱光としてモニタすることが可能となる。
同様に、出力コリメータアレイ14上の各レンズからも微小な光散乱が発生するので、カメラ161に赤外線フィルタを設けることにより光のビームスポットを上記散乱光としてモニタすることが可能となる。
図2は出力ミラーアレイ12の拡大図である。同図において、出力ミラーアレイ12上の制御位置121と目標位置122が示されている。これらの制御位置121と目標位置122が一致するように第1の画像解析装置15は入力ミラーアレイ11上のティルトミラー111の反射角度を制御する。
図3は出力コリメータアレイ14の拡大図である。同図において、出力コリメータアレイ14上の制御位置141と目標位置142が示されている。これらの制御位置141と目標位置142が一致するように第2の画像解析装置16は出力ミラーアレイ12上のティルトミラーの反射角度を制御する。
図4は図1における第1の画像解析装置15とその周辺の装置を示す概略ブロック図である。同図において、第1の画像解析装置15は画像解析ボードと画像フィルタからなるブロック41とフィードバック制御アルゴリスムを実行する演算処理部42とを備えている。第1の画像解析装置15の出力は電圧制御装置43に接続されている。
図4に示したシステムの動作を簡単に説明する。カメラ151により出力ミラーアレイ12上の一つのティルトミラー上に照射された光ビームの中心座標である制御位置121が撮影され、その撮像信号はNTSC画像信号としてブロック41に入力される。光ビームの中心座標は、ブロック41において、光ビームとビーム周辺の映像の輝度の差、又はビームのパターン認識、2値化、画像フィルタリングなどの処理を行う事で検出可能である。こうして、ブロック41によりNTSC画像信号から座標情報が抽出される。その座標信号は演算処理部42に入力されて、予め算出又は登録されている目標位置122と比較する後に詳述するフィードバック制御のアルゴリズムによって、制御位置121が目標位置122に重なるようにする制御情報が算出される。その制御情報は電圧制御装置43に与えられ、電圧制御装置43の出力に入力ミラーアレイ11のティルトミラー111の角度を制御するための駆動電圧が得られる。
第2の画像解析装置16とその周辺の装置及びその動作も図4に示したものと同様なので、図示及び説明を省略する。
図5は図4に示した演算処理部42におけるフィードバック制御のアルゴリズムを説明するフローチャートである。同図において、まず、ステップS501にて目標座標122と制御座標121との間の距離(Z=√(X*X+Y*Y))を求める。その後、ステップS502にて入力ミラーをx(+)方向に制御して再度、ステップS503にて目標座標122と制御座標121の間の距離(Z’=√(X’*X’+Y’*Y’))を求める。次いで制御後の距離が制御前の距離より近くなったかを判定する。この判定でイエスであれば、入力ミラーの制御方向(x(+)方向)は正しいと言えるので、ステップS502に戻り目標座標122と制御座標121の間の距離がさらに短くなるように制御する。またこの判定で、制御後の距離が制御前の距離より遠いと判定されると、入力ミラーの制御方向は間違っているため、ステップS505にて制御方向をx(-)方向に反転して、ステップ506及び507にてステップS503及び504と同様の制御を繰り返す。上記動作を繰り返す事でx方向の最適点が求められる。
その後、ステップS508〜ステップS513にて、y方向にも同様の制御を行い目標座標122と制御座標121の間の距離を近づけていく。このようにして、出力ミラーアレイ12上の所望のティルトミラーの位置と出力ミラーアレイ12に照射された光ビームの位置が合致した後は、出力ミラーアレイ12上のティルトミラーを制御して所望の出力コリメータ位置(目標座標142)と出力コリメータに照射される出力ミラーの反射光(制御座標141)を図5に示した方法と同様の方法で近づけていく。
図6は上記実施例1における制御位置を目標位置に近づける制御を分りやすく説明する図である。同図において、(a)は初期状態を示しており、(b)は制御中の状態を示している。(a)に示すように、初期状態では出力ミラーアレイ12上の制御位置121と目標位置122とは離れており、出力コリメータアレイ149上の制御位置141も目標位置142から離れている。(b)に示す制御中になると、制御位置121は目標位置122に近づき、最終的には制御位置121と目標位置122とは重なる。同様に、制御位置141は目標位置142に近づき、最終的には制御位置141と目標位置142とは重なる。この場合、制御位置141は一旦は141aとなって目標位置142に近づいたが、依然として目標位置142から離れているので、制御を一回戻して制御位置を制御位置141bとすることで、次第に目標位置142に接近していき、最終的には制御位置141と目標位置142とは重なる、というような制御を行う。制御位置121の制御も制御位置141の制御と同様である。この結果、入力コリメータアレイ13から入力された光信号は入力ミラーアレイ11により反射され、その後出力ミラーアレイ12により反射され、最終的に出力コリメータアレイ14の所望の位置から光信号が出力される。
以上に説明した本発明の実施例1において、テスト用光信号発生器10は試験中に常時テスト用光信号を発生するものとして記載してきたが、テスト用光信号として実際に運用中の光信号を使用してもよい。実際に運用中の光信号を用いて試験を行う場合、パケット通信などで光信号が断となった場合は、制御位置のモニタが不可能になるのでティルトミラーの制御がその間は不可能になり、次のパケット信号が入力された時に正常に光が導通しない場合がある。これを解決するために、本発明により以下の実施例1の変形例を提供する。
図7は実施例1の変形例示すブロック図である。
この変形例では、実際の運用形態での光信号が停止されている状態でも入力ミラーアレイ11のティルトミラーの各々の角度、出力ミラーアレイ12のティルトミラーの各々の角度の最適化、及び入力ミラーアレイ11、出力ミラーアレイ12の動作保証を可能とするものである。以下具体例を示す。
上記実施例1における入力ミラーアレイ11、出力ミラーアレイ12、入力コリメータアレイ13、出力コリメータアレイ14、第1の画像解析装置15、及び第2の画像解析装置16に加えて、入力コリメータアレイ13に入力される運用中の光信号(実データ)と別にテスト光信号を生成する光源71と、運用中の実データとテスト光信号とを合成する合波器72と、テスト信号が出力コリメータアレイ14から出力され運用中の後段装置に影響を及ぼさないようにテスト信号を運用中の光信号から分離する分離器73と、分離器73の出力を受けるフォトダイオードアレイ(PD)74とを備えている。
運用中の光信号はWDMなどで波長多重されている場合が多く、使用帯域は通常850nm〜1625nm程度であり、テスト信号としては運用中の光信号が使用していない帯域(図では700nm)の光信号を使用することで実データへの影響をなくすことが可能となる。特に、実際の運用形態での光信号が停止されている状態でもテスト信号での画像解析が可能となり、入力ミラー角度、出力ミラー角度の最適化、及び入力ミラー、出力ミラーの動作保証が可能となる。
図8は本発明の実施例2による光スイッチの制御装置の全体構成を示す概略図である。図8において、図1との相違点は、本実施例においては、単一の画像解析装置81が設けられていること、及び第1のテスト用光信号発生器(第1の信号発生器)81と第2のテスト用光信号発生器(第2の信号発生器)82とを備えていることである。画像解析装置81はカメラ811と画像処理部812とを備えている。カメラ811は入力ミラーアレイ11上の光ビーム映像と出力ミラーアレイ12上の光ビーム映像とを撮像する。屋根型折り返しミラーのように入力ミラーアレイ11と出力ミラーアレイ12とが接近して配置されている場合は、入力ミラーアレイ11からの散乱光と出力ミラーアレイ12からの散乱光とは1台のカメラで撮像が可能であるので、画像解析装置も1台で済む。
したがって、実施例1では出力ミラーアレイ12の映像と出力コリメータアレイ14の映像とを取得するためにカメラが2台必要となるが、本実施例2では出力コリメータアレイ14からも光信号を入力しこの反射光を制御することでカメラが1台ですむメリットがある。
更に、図8においては以下具体的に説明する。
実施例2においては、単一の画像解析装置81は、実施例1と同様に、第1のテスト用光信号発生器82から出力されたテスト用光信号が入力コリメータアレイ13を通った後に入力ミラーアレイ11により反射されて出力ミラーアレイ12により散乱された散乱光を検出することにより出力ミラーアレイ12上に照射された光ビーム映像の位置を第1の制御位置121として検出する。
実施例2においては、検出した第1の制御位置121と第2のテスト用光信号発生器83により出力コリメータアレイ14を通して出力ミラーアレイ12に照射された光の位置である第1の所望目標位置84とが一致するように入力ミラーアレイ11上のティルトミラー111を制御する。
また、第2のテスト用光信号発生器83から出力されたテスト用光信号が出力コリメータ14を通った後に出力ミラーアレイ12により反射されて入力ミラーアレイ11により散乱された散乱光に基づいて入力ミラーアレイ11上に照射された光ビーム映像の位置を第2の制御位置85として検出し、検出した第2の制御位置85と第1のテスト用光信号発生器82により入力コリメータアレイ13を通して入力ミラーアレイ11に照射された光の位置である第2の所望目標位置86とが一致するように出力ミラーアレイ12上のティルトミラー123を制御する。
本実施例2により、2台のテスト用光信号発生器を採用して目標位置をテスト用光信号発生器により定めることによって、事前の入力ミラーアレイ11の位置の算出や事前登録が必要なくフレキシブルな制御が可能となる。制御位置72と目標位置73との距離を接近させる方法は実施例1で説明したものと同様である。
実施例2においては、出力コリメータアレイ14からも光信号を入力するので、実際に光信号通信の運用中に試験を行う場合には、実際の運用の光信号ソース側に出力コリメータアレイ14側からの光信号が漏れこむことが懸念される。この懸念に対処するためには、本実施例2は、運用前に行う入力ミラーアレイ11、出力ミラーアレイ12の初期角度試験などでの使用に効果がある。また、実際の運用で使用するためには以下の実施例2の変形例を提供する。
図9は実施例2の変形例を示すブロック図である。
この変形例では、実施例2において、実際に光信号通信の運用中に光スイッチの試験を行う場合、実際の運用形態での光信号が停止されている状態でも入力ミラーアレイ11のティルトミラーの各々の角度、出力ミラーアレイ12のティルトミラーの各々の角度の最適化、及び入力ミラーアレイ11、出力ミラーアレイ12の動作保証を可能とするものである。以下具体例を示す。
図9において、実施例2の本変形例における光スイッチの制御装置は、上記実施例2における第1のテスト用光信号発生器82、入力ミラーアレイ11、出力ミラーアレイ12、入力コリメータアレイ13、出力コリメータアレイ14、画像解析手段81、第2のテスト用光信号発生器83に加えて、出力側から入力されるテスト光信号を生成する光源91と、出力コリメータアレイ14から出力される運用中の光信号(実データ)と出力側から入力されるテスト光信号を合成する合波器92と、テスト信号が入力コリメータから出力され運用中の信号源に影響を及ぼさないようにテスト信号を運用中の光信号から分離する分離器93と、合成器92の出力を受けるフォトダイオードアレイ(PD)94とを備えている。
前述したとおり、運用中の光信号はWDMなどで波長多重されている場合が多いが、使用帯域は通常850nm〜1625nm程度である。テスト用光信号は運用中の光信号が使用していない帯域(図では700nm)を使用することで実データへの影響をなくすことが可能となる。実施例2では実際の運用系への影響が懸念されていたが、この方式を用いることで運用系への影響をなくすことが可能となる。
実施例3では、実施例1又は実施例2における入力コリメータアレイ13、または出力コリメータアレイ14から入力される光信号を一旦光拡散シート、またはレンズなどにより拡散させることで角度ずれなどが大きい場合でも光接続の接続範囲を拡大するものである。以下、具体例を示す。
図10は本発明の実施例3による光スイッチの制御装置の概略図である。同図において、図1又は図8に示した入力ミラーアレイ11、出力ミラーアレイ12、及び入力コリメータアレイ13に加えて、本実施例により、光拡散シート(光拡散手段)101が入力コリメータアレイ13の入力ミラーアレイ11に対向する側に設けられており、光拡散シート(光拡散手段)102が出力コリメータアレイ14の出力ミラーアレイ12に対向する側に設けられている。光拡散シートに替えて光拡散用のレンズを設けてもよい。
図11は図10に示した光拡散シートを設ける前の光スイッチの側面図、図12は図10に示した光拡散シートを設けた後の光スイッチの側面図である。
図12に示すように、光スイッチにおいて、光拡散シート101が入力コリメータアレイ13の入力ミラーアレイ11に対向する側に設けられており、光拡散シート102が出力コリメータアレイ14の出力ミラーアレイ12に対向する側に設けられている。このように光信号を拡散させることにより、角度ずれが大きい場合でも出力コリメータから僅かな光出力を得ることができ、その結果、フォトダイオードなどを使用した光出力レベルを監視を容易に行う事が可能になる。
本実施例3では、入力ミラーに入力される光信号を光拡散シート、またはレンズなど分散させることで角度ずれが大きい場合でも出力コリメータから僅かな光出力を得ることができ、この結果、フォトダイオードなどを使用した光出力レベルを監視を容易に行う事が可能になる。本実施例による初期角度は角度ずれが比較的少ないため、その後、光拡散シート、またはレンズを除去して再度この方式で取得した初期角度で光出力レベルを監視を行えば、最良な初期角度を得ることが可能となる。
上記の実施の形態及び実施例では、制御装置の出力が単一の場合を説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
例えば、本発明により入力光信号を反射面の角度が可変なミラーアレイで反射して複数の出力のうちのいずれかの出力に選択的に導く光スイッチについて反射面の角度を制御する制御装置において、ミラーアレイのいずれかのミラーで反射される光信号該ミラーへの照射位置をミラーアレイを反射される光信号のメイン光路外からモニタすることで検出するカメラを備え、検出した照射位置に基づいて反射面の角度を制御する、ことを特徴とする光スイッチのミラー制御装置も提供される。
また、本発明により、入力光信号を反射面の角度が可変なミラーアレイで反射して複数の出力のうちのいずれかの出力に選択的に導く機能を備え、導く過程で光信号が照射される複数の光学部品を備えた光スイッチについて、反射面の角度を制御する制御装置において、光スイッチにおいて入力光信号が照射される光学部品を入力光信号のメイン光路外でモニタして、入力光信号の照射位置を検出するカメラを備え、検出した照射位置に基づいて前記反射面の角度を制御する、ことを特徴とする光スイッチのミラー制御装置も提供される。
これにより、入力と出力の間にミラーアレイやコリメータアレイ以外の光学部品が存在していても本発明は適用される。
(付記1)
複数のティルトミラーを配置したミラーアレイを備え、入力光信号を出力コリメータの所望位置に導く光スイッチにおける前記ティルトミラーの反射面の角度を制御する制御装置であって、
前記光スイッチを用いて光通信を行う際に用いる光路と同一光路に光信号を通過させる信号発生手段と、
前記光信号が前記ティルトミラー及び前記出力コリメータの少なくとも一方により散乱された散乱光を検出する画像解析手段とを備えており、
前記画像解析手段は、前記散乱光に基づいて光ビーム映像の位置を制御位置として検出し、前記検出した制御位置と前記ティルトミラー及び前記出力コリメータの少なくとも一方の上の予め定められている所望位置である目標位置とが一致するようにティルトミラーを制御することを特徴とする、光スイッチのミラー制御装置。
(付記2)
前記光スイッチは、前記ミラーアレイに含まれる入力ミラーアレイ及び出力ミラーアレイと、前記入力ミラーアレイに対向して配置された入力コリメータアレイと、前記出力ミラーアレイに対向して配置された出力コリメータアレイとを備えており、
前記画像解析手段は、第1の画像解析装置と第2の画像解析装置とを備えており、
前記第1の画像解析装置は、
前記信号発生手段から出力された光信号が前記入力コリメータアレイを通った後に前記入力ミラーアレイにより反射され、次いで前記出力ミラーアレイにより散乱された散乱光に基づいて得られる前記出力ミラーアレイ上の光ビーム映像の位置を第1の制御位置として検出し、前記検出した第1の制御位置と、前記出力ティルトミラーの予め定められている所望の位置である第1の目標位置とが一致するように前記入力ミラーアレイ上のティルトミラーを制御するものであり、
前記第2の画像解析装置は、前記光ビーム映像が前記出力ミラーアレイにより反射されて前記出力コリメータアレイにより散乱された散乱光に基づいて得られる前記出力コリメータアレイ上の光ビーム映像の位置を第2の制御位置として検出し、前記検出した第2の制御位置と前記出力コリメータアレイの予め定められている所望の位置である第2の目標位置とが一致するように前記出力ミラーアレイ上のティルトミラーを制御するものである、付記1に記載の光スイッチのミラー制御装置。
(付記3)
前記光スイッチは、前記ミラーアレイに含まれる入力ミラーアレイ及び出力ミラーアレイと、前記入力ミラーアレイに対向して配置された入力コリメータアレイと、前記出力ミラーアレイに対向して配置された出力コリメータアレイとを備えており、
前記信号発生手段は、第1の信号発生器と第2の光信号発生器とを備えており、
前記画像解析手段は単一の画像解析装置であり、
前記単一の画像解析装置は、
前記第1の信号発生器から出力された光信号が前記入力コリメータアレイを通った後に前記入力ミラーアレイにより反射されて前記出力ミラーアレイにより散乱された散乱光を検出することにより前記出力ミラーアレイ上に照射された光ビーム映像の位置を第1の制御位置として検出し、前記検出した第1の制御位置と前記第2の信号発生器により前記出力コリメータアレイを通して前記出力ミラーアレイに照射された光の位置である第1の所望目標位置とが一致するように前記入力ミラーアレイ上のティルトミラーを制御するとともに、
前記第2の信号発生器から出力された光信号が前記出力コリメータを通った後に前記出力ミラーアレイにより反射されて前記入力ミラーアレイにより散乱された散乱光に基づいて前記入力ミラーアレイ上に照射された光ビーム映像の位置を第2の制御位置として検出し、前記検出した第2の制御位置と前記第1の信号発生器により前記入力コリメータアレイを通して前記入力ミラーアレイに照射された光の位置である第2の所望目標位置とが一致するように前記出力ミラーアレイ上のティルトミラーを制御するようにしたことを特徴とする、付記1に記載のミラー制御装置。
(付記4)
前記入力コリメータアレイ及び前記出力コリメータアレイのいずれかの側から通信中の光信号で使用していない帯域のテスト波長信号を前記通信中の光信号に多重するテスト波長信号合成手段と、前記出力コリメータアレイ及び前記入力コリメータアレイのいずれかの側でそれぞれ前記多重化された信号から前記テスト波長信号のみを分離するテスト波長信号分離手段とを備えることを特徴とする、付記2又は3に記載のミラー制御装置。
(付記5)
前記入力コリメータアレイから前記入力ミラーアレイに出力される光ビームを拡散させる光拡散手段と、前記出力コリメータアレイから前記出力ミラーアレイに出力される光ビームを拡散させる光拡散手段との少なくとも一方を更に備えることをさせることを特徴とする、付記2から4のいずれかに記載の制御装置。
(付記6)
入力光信号を反射面の角度が可変なミラーアレイで反射して複数の出力のうちのいずれかの出力に選択的に導く光スイッチについて前記反射面の角度を制御する制御装置において、
前記ミラーアレイのいずれかのミラーで反射される光信号の該ミラーへの照射位置を前記ミラーアレイを該反射される光信号のメイン光路外からモニタすることで検出するカメラを備え、
該検出した照射位置に基づいて前記反射面の角度を制御する、
ことを特徴とする光スイッチのミラー制御装置。
(付記7)
入力光信号を反射面の角度が可変なミラーアレイで反射して複数の出力のうちのいずれかの出力に選択的に導く機能を備え、導く過程で光信号が照射される複数の光学部品を備えた光スイッチについて、前記反射面の角度を制御する制御装置において、
前記光スイッチにおいて入力光信号が照射される光学部品を該入力光信号のメイン光路外でモニタして、該入力光信号の照射位置を検出するカメラを備え、
該検出した照射位置に基づいて前記反射面の角度を制御する、
ことを特徴とする光スイッチのミラー制御装置。
本発明にかかる光スイッチの制御装置によれば、光信号の挿入損失を減少させることが可能となり、また、光接続中でない初期状態や、何らかのマクロ変動が発生した場合でも入力ミラーアレイおよび出力ミラーアレイの最適制御が可能となり、また入力ミラーアレイ11および出力ミラーアレイ12の動作保証が可能となる。
本発明の実施例1による光スイッチの制御装置の全体構成を示す概略図である。 出力ミラーアレイ12の拡大図である。 出力コリメータアレイ14の拡大図である。 図1における第1の画像解析装置15とその周辺の装置を示す概略ブロック図である。 図4に示した演算処理部42におけるフィードバック制御のアルゴリズムを説明するフローチャートである。 実施例1における制御位置を目標位置に近づける制御を分りやすく説明する図である。 実施例1の変形例示すブロック図である。 本発明の実施例2による光スイッチの制御装置の全体構成を示す概略図である。 実施例2の変形例を示すブロック図である。 本発明の実施例3による光スイッチの制御装置の概略図である。 図10に示した光拡散シートを設ける前の光スイッチの側面図である。 図10に示した光拡散シートを設けた後の光スイッチの側面図である。
符号の説明
10 テスト用光信号発生器(信号発生手段)
11 入力ミラーアレイ
12 出力ミラーアレイ
13 入力コリメータアレイ
14 出力コリメータアレイ
15 第1の画像解析装置
16 第2の画像解析装置
71 光源
72 合成器
73 分離器
81 画像解析装置
82 第1のテスト用光信号発生器(第1の信号発生器)
83 第2のテスト用光信号発生器(第2の信号発生器)
84 目標位置
85 制御位置
86 目標位置
91 光源
92 合成器
93 分離器
101 拡散シート(光拡散手段)
102 拡散シート(光拡散手段)
111 ティルトミラー
121 制御位置
123 ティルトミラー
122 目標位置
141 制御位置
142 目標位置

Claims (5)

  1. 複数のティルトミラーを配置したミラーアレイを備え、入力光信号を出力コリメータの所望位置に導く光スイッチにおける前記ティルトミラーの反射面の角度を制御する制御装置であって、
    前記光スイッチを用いて光通信を行う際に用いる光路と同一光路に光信号を通過させる信号発生手段と、
    前記光信号が前記ティルトミラー及び前記出力コリメータの少なくとも一方により散乱された散乱光を検出する画像解析手段とを備えており、
    前記画像解析手段は、前記散乱光に基づいて光ビーム映像の位置を制御位置として検出し、前記検出した制御位置と前記ティルトミラー及び前記出力コリメータの少なくとも一方の上の予め定められている所望位置である目標位置とが一致するようにティルトミラーを制御することを特徴とする、光スイッチのミラー制御装置。
  2. 前記光スイッチは、前記ミラーアレイに含まれる入力ミラーアレイ及び出力ミラーアレイと、前記入力ミラーアレイに対向して配置された入力コリメータアレイと、前記出力ミラーアレイに対向して配置された出力コリメータアレイとを備えており、
    前記画像解析手段は、第1の画像解析装置と第2の画像解析装置とを備えており、
    前記第1の画像解析装置は、
    前記信号発生手段から出力された光信号が前記入力コリメータアレイを通った後に前記入力ミラーアレイにより反射され、次いで前記出力ミラーアレイにより散乱された散乱光に基づいて得られる前記出力ミラーアレイ上の光ビーム映像の位置を第1の制御位置として検出し、前記検出した第1の制御位置と、前記出力ティルトミラーの予め定められている所望の位置である第1の目標位置とが一致するように前記入力ミラーアレイ上のティルトミラーを制御するものであり、
    前記第2の画像解析装置は、前記光ビーム映像が前記出力ミラーアレイにより反射されて前記出力コリメータアレイにより散乱された散乱光に基づいて得られる前記出力コリメータアレイ上の光ビーム映像の位置を第2の制御位置として検出し、前記検出した第2の制御位置と前記出力コリメータアレイの予め定められている所望の位置である第2の目標位置とが一致するように前記出力ミラーアレイ上のティルトミラーを制御するものである、請求項1に記載の光スイッチのミラー制御装置。
  3. 前記光スイッチは、前記ミラーアレイに含まれる入力ミラーアレイ及び出力ミラーアレイと、前記入力ミラーアレイに対向して配置された入力コリメータアレイと、前記出力ミラーアレイに対向して配置された出力コリメータアレイとを備えており、
    前記信号発生手段は、第1の信号発生器と第2の光信号発生器とを備えており、
    前記画像解析手段は単一の画像解析装置であり、
    前記単一の画像解析装置は、
    前記第1の信号発生器から出力された光信号が前記入力コリメータアレイを通った後に前記入力ミラーアレイにより反射されて前記出力ミラーアレイにより散乱された散乱光を検出することにより前記出力ミラーアレイ上に照射された光ビーム映像の位置を第1の制御位置として検出し、前記検出した第1の制御位置と前記第2の信号発生器により前記出力コリメータアレイを通して前記出力ミラーアレイに照射された光の位置である第1の所望目標位置とが一致するように前記入力ミラーアレイ上のティルトミラーを制御するとともに、
    前記第2の信号発生器から出力された光信号が前記出力コリメータを通った後に前記出力ミラーアレイにより反射されて前記入力ミラーアレイにより散乱された散乱光に基づいて前記入力ミラーアレイ上に照射された光ビーム映像の位置を第2の制御位置として検出し、前記検出した第2の制御位置と前記第1の信号発生器により前記入力コリメータアレイを通して前記入力ミラーアレイに照射された光の位置である第2の所望目標位置とが一致するように前記出力ミラーアレイ上のティルトミラーを制御するようにしたことを特徴とする、請求項1に記載のミラー制御装置。
  4. 入力光信号を反射面の角度が可変なミラーアレイで反射して複数の出力のうちのいずれかの出力に選択的に導く光スイッチについて前記反射面の角度を制御する制御装置において、
    前記ミラーアレイのいずれかのミラーで反射される光信号の該ミラーへの照射位置を前記ミラーアレイを該反射される光信号のメイン光路外からモニタすることで検出するカメラを備え、
    該検出した照射位置に基づいて前記反射面の角度を制御する、
    ことを特徴とする光スイッチのミラー制御装置。
  5. 入力光信号を反射面の角度が可変なミラーアレイで反射して複数の出力のうちのいずれかの出力に選択的に導く機能を備え、導く過程で光信号が照射される複数の光学部品を備えた光スイッチについて、前記反射面の角度を制御する制御装置において、
    前記光スイッチにおいて入力光信号が照射される光学部品を該入力光信号のメイン光路外でモニタして、該入力光信号の照射位置を検出するカメラを備え、
    該検出した照射位置に基づいて前記反射面の角度を制御する、
    ことを特徴とする光スイッチのミラー制御装置。
JP2004312375A 2004-10-27 2004-10-27 光スイッチのミラー制御装置 Withdrawn JP2006126341A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004312375A JP2006126341A (ja) 2004-10-27 2004-10-27 光スイッチのミラー制御装置
US11/038,056 US7466915B2 (en) 2004-10-27 2005-01-21 Mirror controller for optical switch

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004312375A JP2006126341A (ja) 2004-10-27 2004-10-27 光スイッチのミラー制御装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006126341A true JP2006126341A (ja) 2006-05-18

Family

ID=36206294

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004312375A Withdrawn JP2006126341A (ja) 2004-10-27 2004-10-27 光スイッチのミラー制御装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US7466915B2 (ja)
JP (1) JP2006126341A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011028235A (ja) * 2009-06-26 2011-02-10 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光スイッチ

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7734127B2 (en) * 2007-03-26 2010-06-08 Trex Enterprises Corp. Optical switch module
US20080031627A1 (en) * 2006-08-04 2008-02-07 Smith Irl W Optical communication system
JP5374266B2 (ja) * 2009-07-22 2013-12-25 株式会社シロク 光学式位置検出装置
JP2011069923A (ja) * 2009-09-24 2011-04-07 Fujitsu Ltd 光学装置の光軸調整システム及び光学装置の光軸調整方法
US10120111B2 (en) 2016-12-14 2018-11-06 Google Llc Thin ceramic imaging screen for camera systems
US10788658B2 (en) * 2018-01-10 2020-09-29 Futurewei Technologies, Inc. Optical cross connects including mirror monitoring

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6498668B1 (en) * 1999-03-11 2002-12-24 Astroterra Corporation Alignment system for laser communication beam
US6263123B1 (en) * 1999-03-12 2001-07-17 Lucent Technologies Pixellated WDM optical components
US6798992B1 (en) 1999-11-10 2004-09-28 Agere Systems Inc. Method and device for optically crossconnecting optical signals using tilting mirror MEMS with drift monitoring feature
JP4364459B2 (ja) 2000-12-07 2009-11-18 富士通株式会社 光信号交換器の制御装置および制御方法
US7236704B1 (en) * 2001-11-14 2007-06-26 Avanex Corporation Optical add/drop multiplexer utilizing variable optical attenuator

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011028235A (ja) * 2009-06-26 2011-02-10 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光スイッチ

Also Published As

Publication number Publication date
US20060088317A1 (en) 2006-04-27
US7466915B2 (en) 2008-12-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6775430B2 (ja) 照明装置及び照明装置を監視するための方法
JP5281923B2 (ja) 投射型表示装置
EP2317363B1 (en) Microscope connecting unit and microscope system
JP2008052212A (ja) Mems光スイッチ装置
KR20190029285A (ko) 라이다 시스템 및 그 동작방법
KR102119289B1 (ko) 샘플 검사 및 검수 시스템 및 방법
US20130242078A1 (en) Microscope
US7466915B2 (en) Mirror controller for optical switch
EP3092788B1 (en) Imaging device
US20190215441A1 (en) Focus detection device and image-capturing apparatus
JP2006227198A (ja) レーザ加工装置
US10684459B2 (en) Light observation device, imaging device used for same, and light observation method
JP6929549B2 (ja) 露光装置及び露光方法
WO2022160059A1 (en) Lidar systems with mems micromirrors and micromirror arrays
JP2007184706A (ja) 光無線伝送装置
JP2007101675A (ja) 可動ミラーを用いた光スイッチの制御装置および制御方法
JP5278890B2 (ja) 光捕捉追尾装置
JP2009217189A (ja) マスクレス露光装置
JP5570879B2 (ja) オートフォーカス機構及びこれを備えた光学式処理装置
JP2018125770A (ja) 撮像装置、撮像方法、プログラム及び記録媒体
JP2006106337A (ja) 走査型光学顕微鏡
JP2005021916A (ja) 欠陥修正機能付き顕微鏡装置
JP4904139B2 (ja) 光スイッチの光出力安定化方法および装置
KR100503378B1 (ko) 단층영상기의 자기진단방법
KR101133653B1 (ko) 기판 검사장치 및 이를 이용한 기판 검사방법

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070703

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20090202