JP2006126144A - 測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 試験治具と基準治具とに実装した状態で、対応する少なくとも1つのポート(以下、「特定ポート」という。)について、少なくとも3種類の補正データ取得用試料50,52,54をそれぞれ測定し、特定ポートについて試験治具及び基準治具の測定値を関係付ける第1の数式を決定する。試験治具と基準治具とに実装した状態で、特定ポートと他のポートとの間を接続する補正データ取得用スルーデバイス46,48をそれぞれ測定し、他のポートについて試験治具及び基準治具の測定値を関係付ける第2の数式を決定する。任意の電子部品を試験治具に実装した状態で測定し、第1の数式と第2の数式とを用いて、当該電子部品を基準治具に実装して測定したならば得られるであろう電子部品の電気特性の推定値を算出する。
【選択図】図6
Description
GAKU KAMITANI(Murata manufacturing Co.,Ltd.) "A METHOD TO CORRECT DIFFERENCE OF IN−FIXTURE MEASUREMENTS AMONG FIXTURES ON RF DEVICES" APMC Vol.2, p1094−1097, 2003 J.P.DUNSMORE, L.BETTS (Agilent Technologies) "NEW METHODS FOR CORRELATING FIXTURED MEASUREMENTS" APMC Vol.1, p568−571, 2003
TD=TI・TC ・・・(2a)
この式(2a)の両辺に左から、伝送行列TIの逆行列TI −1をかけると、次式(3a)のようになり、上記式(1a)が導出される。
TI −1・TD=TI −1・TI・TC=TC ・・・(3a)
TD'=TC'・TI'・・・(2b)
この式(2b)の両辺に右から、伝送行列TI'の逆行列TI'−1をかけると、次式(3b)のようになり、上記式(1b)が導出される。
TD'・TI −1=TC'・TI'・TI'−1=TC' ・・・(3a)
TI・TC=TD ・・・(4)
この式(4)の両辺に左から、伝送行列TIの逆行列TI −1をかけると、次式(5)のようになる。
TC=TI −1・TD ・・・(5)
TC'・TI'=TD ・・・(7)
この式(4)の両辺に右から、伝送行列TI'の逆行列TI'−1をかけると、次式(8)のようになる。
TC'=TD・TI'−1 ・・・(8)
(試料) 不平衡−平衡出力2.4GHz帯LCフィルタ
(測定装置) E8364B(Agilent Technologies製 50GHz ネットワークアナライザ)
(周波数範囲) 500MHz〜3.5GHz
(データ点数) 801点
(IF帯域幅) 1kHz
(基準治具) 2ポート系で測定するために、ポート3にOPENを取り付けたもの。(試験治具) 基準治具に対し、治具間差異として、ポート1及びポート2にそれぞれ3dBのATTを接続したもの。
(標準試料) ポート1は、OPEN、SHORT、LOADの3種類の1ポート標準試料。ポート2は、ポート1とポート2を接続したスルーデバイス標準試料。
16 基準治具
26 基準治具
40,42,44 標準試料(補正データ取得用試料)
46,48 スルーデバイス(補正データ取得用スルーデバイス)
52 表示部
54 操作部
56 測定部(測定手段)
58 制御部
60 記憶部(記憶手段)
62 演算部(第1の数式決定手段、第2の数式決定手段、電気特性推定手段)
64 インターフェース部
Claims (9)
- 電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、測定誤差の補正方法であって、
前記試験治具に実装した状態と前記基準治具に実装した状態で、対応する少なくとも1つのポート(以下、「特定ポート」という。)について、少なくとも3種類の補正データ取得用試料をそれぞれ測定する第1のステップと、
前記第1のステップで得られた測定結果から、前記特定ポートについて前記試験治具及び前記基準治具の測定値を関係付ける第1の数式を決定する第2のステップと、
前記試験治具に実装した状態と前記基準治具に実装した状態で、前記特定ポートと前記特定ポート以外の他のポートとの間を接続する補正データ取得用スルーデバイスをそれぞれ測定する第3のステップと、
前記第2のステップで得られた前記第1の数式を用いて、前記第3のステップで得られた測定結果から、前記他のポートについて前記試験治具及び前記基準治具の測定値を関係付ける第2の数式を決定する第4のステップと、
任意の電子部品を前記試験治具に実装した状態で測定する第5のステップと、
前記第5のステップで得られた測定結果に基づいて、前記第2のステップで決定した前記第1の数式と前記第4のステップで決定した前記第2の数式とを用いて、当該電子部品を前記基準治具に実装して測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する第6のステップとを含むことを特徴とする、測定誤差の補正方法。 - 前記第4のステップで決定される前記第2の数式は、
前記特定ポートが前記補正データ取得用スルーデバイスの測定を4端子網で表した場合における左手側のポート(以下、「Lポート」という。)であり、前記他のポートが前記補正データ取得用スルーデバイスの測定を4端子網で表した場合における右手側のポート(以下、「Rポート」という。)であるとき、前記試験治具の前記他のポートから前記基準治具の前記他のポートへの伝送行列を用いて表すことができ、該伝送行列の係数Tc22,Tc23,Tc32,Tc33は、
前記第3のステップで得られた測定結果から、前記第2のステップで決定された前記第1の数式を用いて算出した、前記基準治具の前記特定ポートから前記試験治具の前記他のポートへの伝送行列の係数T11I,T12I,T21I,T22Iと、
前記第3のステップで得られた測定結果から算出した、前記基準治具の前記特定ポートから前記基準治具の前記他のポートへの伝送行列の係数T11D,T12D,T21D,T22Dとを用いて、
前記特定ポートがRポートであり、前記他のポートがLポートであるとき、前記基準治具の前記他のポートから前記試験治具の前記他のポートへの伝送行列を用いて表すことができ、該伝送行列の係数Tc00,Tc01,Tc10,Tc11は、
前記第3のステップで得られた測定結果から、前記第2のステップで決定された前記第1の数式を用いて算出した、前記試験治具の前記他のポートから前記基準治具の前記特定ポートへの伝送行列の係数T11I',T12I',T21I',T22I'と、
前記第3のステップで得られた測定結果から算出した、前記基準治具の前記他のポートから前記基準治具の前記特定ポートへの伝送行列の係数T11D',T12D',T21D',T22D'とを用いて、
- 前記第3のステップにおいて測定する前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記特定ポートと前記他のポートとの間の伝達係数が−10dB以上であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の測定誤差の補正方法。
- 電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電子部品特性測定装置であって、
前記試験治具に実装した状態で前記電子部品を測定する測定手段と、
前記基準治具に実装した状態で、少なくとも1つのポート(以下、「特定ポート」という。)について、少なくとも3種類の補正データ取得用試料をそれぞれ測定した第1の測定結果と、前記基準治具に実装した状態で、前記特定ポートと前記特定ポート以外の他のポートとの間を接続する補正データ取得用スルーデバイスを測定した第2の測定結果とを格納する記憶手段と、
前記記憶手段に格納された前記第1の測定結果と、前記測定手段により、前記試験治具に実装した状態で、前記特定ポートについて、少なくとも3種類の前記補正データ取得用試料をそれぞれ測定した測定結果とから、前記特定ポートについて前記試験治具及び前記基準治具の測定値を関係付ける第1の数式を決定する第1の数式決定手段と、
前記記憶手段に格納された前記第2の測定結果と、前記測定手段により、前記試験治具に実装した状態で、前記補正データ取得用スルーデバイスを測定した測定結果とから、前記他のポートについて前記試験治具及び前記基準治具の測定値を関係付ける第2の数式を決定する第2の数式決定手段と、
前記測定手段により、任意の電子部品を前記試験治具に実装した状態で測定した測定結果に基づいて、前記第1の数式決定手段が決定した前記第1の数式と前記第2の数式決定手段が決定した前記第2の数式とを用いて、当該電子部品を前記基準治具に実装して測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電気特性推定手段とを備えたことを特徴とする、電子部品特性測定装置。 - 前記第2の数式決定手段が決定する前記第2の数式は、
前記特定ポートが前記補正データ取得用スルーデバイスの測定を4端子網で表した場合における左手側のポート(以下、「Lポート」という。)であり、前記他のポートが前記補正データ取得用スルーデバイスの測定を4端子網で表した場合における右手側のポート(以下、「Rポート」という。)であるとき、前記試験治具の前記他のポートから前記基準治具の前記他のポートへの伝送行列を用いて表すことができ、該伝送行列の係数Tc22,Tc23,Tc32,Tc33は、
前記記憶手段に格納された前記第2の測定結果と、前記試験治具に実装した状態で前記補正データ取得用スルーデバイスを前記測定手段により測定した測定結果とから、前記第1の数式決定手段が決定した前記第1の数式を用いて算出した、前記基準治具の前記特定ポートから前記試験治具の前記他のポートへの伝送行列の係数T11I,T12I,T21I,T22Iと、
前記記憶手段に格納された前記第2の測定結果である、前記基準治具の前記特定ポートから前記基準治具の前記他のポートへの伝送行列の係数T11D,T12D,T21D,T22Dとを用いて、
前記特定ポートがRポートであり、前記他のポートがLポートであるとき、前記基準治具の前記他のポートから前記試験治具の前記他のポートへの伝送行列を用いて表すことができ、該伝送行列の係数Tc00,Tc01,Tc10,Tc11は、
前記記憶手段に格納された前記第2の測定結果と、前記試験治具に実装した状態で前記補正データ取得用スルーデバイスを前記測定手段により測定した測定結果とから、前記第1の数式決定手段が決定した前記第1の数式を用いて算出した、前記試験治具の前記他のポートから前記基準治具の前記特定のポートへの伝送行列の係数T11I',T12I',T21I',T22I'と、
前記記憶手段に格納された前記第2の測定結果である、前記基準治具の前記他のポートから前記基準治具の前記特定ポートへの伝送行列の係数T11D',T12D',T21D',T22D'とを用いて、
- 前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記特定ポートと前記他のポートとの間の伝達係数が−10dB以上であることを特徴とする、請求項4又は5に記載の電子部品特性測定装置。
- 電子部品を試験治具に実装した状態で測定した結果から、当該電子部品を基準治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電子部品特性測定装置であって、
前記試験治具に実装した状態で前記電子部品を測定する測定手段と、
前記基準治具に実装した状態で、少なくとも1つのポート(以下、「特定ポート」という。)について、少なくとも3種類の補正データ取得用試料をそれぞれ測定した第1の測定結果と、前記測定手段により、前記試験治具に実装した状態で、前記特定ポートについて、少なくとも3種類の前記補正データ取得用試料をそれぞれ測定した測定結果とから決定された、前記特定ポートについて前記試験治具及び前記基準治具の測定値を関係付ける第1の数式と、前記基準治具に実装した状態で、前記特定ポートと前記特定ポート以外の他のポートとの間を接続する補正データ取得用スルーデバイスを測定した第2の測定結果と、前記測定手段により、前記試験治具に実装した状態で、前記補正データ取得用スルーデバイスを測定した測定結果とから決定された、前記他のポートについて前記試験治具及び前記基準治具の測定値を関係付ける第2の数式とを記憶する数式記憶手段と、
前記測定手段により、任意の電子部品を前記試験治具に実装した状態で測定した測定結果に基づいて、前記数式記憶手段に記憶された前記第1の数式及び前記第2の数式を用いて、当該電子部品を前記基準治具に実装して測定したならば得られるであろう前記電子部品の電気特性の推定値を算出する、電気特性推定手段とを備えたことを特徴とする、電子部品特性測定装置。 - 前記数式記憶手段が記憶する前記第2の数式は、
前記特定ポートが前記補正データ取得用スルーデバイスの測定を4端子網で表した場合における左手側のポート(以下、「Lポート」という。)であり、前記他のポートが前記補正データ取得用スルーデバイスの測定を4端子網で表した場合における右手側のポート(以下、「Rポート」という。)であるとき、前記試験治具の前記他のポートから前記基準治具の前記他のポートへの伝送行列を用いて表すことができ、該伝送行列の係数Tc22,Tc23,Tc32,Tc33は、
前記試験治具に実装した状態で前記補正データ取得用スルーデバイスを前記測定手段により測定した測定結果から、前記数式記憶手段が記憶している前記第1の数式を用いて算出した、前記基準治具の前記特定ポートから前記試験治具の前記他のポートへの伝送行列の係数T11I,T12I,T21I,T22Iと、
前記第2の測定結果である、前記基準治具の前記特定ポートから前記基準治具の前記他のポートへの伝送行列の係数T11D,T12D,T21D,T22Dとを用いて、
前記特定ポートがRポートであり、前記他のポートがLポートであるとき、前記基準治具の前記他のポートから前記試験治具の前記他のポートへの伝送行列を用いて表すことができ、該伝送行列の係数Tc00,Tc01,Tc10,Tc11は、
前記試験治具に実装した状態で前記補正データ取得用スルーデバイスを前記測定手段により測定した測定結果から、前記第1の数式を用いて算出した、前記試験治具の前記他のポートから前記基準治具の前記特定のポートへの伝送行列の係数T11I',T12I',T21I',T22I'と、
前記第2の測定結果である、前記基準治具の前記他のポートから前記基準治具の前記特定ポートへの伝送行列の係数T11D',T12D',T21D',T22D'とを用いて、
- 前記補正データ取得用スルーデバイスは、前記特定ポートと前記他のポートとの間の伝達係数が−10dB以上であることを特徴とする、請求項7又は8に記載の電子部品特性測定装置。
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