JP2006124834A - シリコン基板上にZnOナノ構造を堆積するための、ALDよるZnOシード層 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の方法においては、基板の表面の上に多結晶酸化亜鉛のシード層を形成することによって、金属触媒を使用することなく、酸化亜鉛のナノ構造を成長させる手法を提供する。シード層は原子層堆積法によって形成されることが出来る(102)。このシード層の上に、少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造の成長が引き起こされる(103)。シード層は、代替の方法として、有機金属堆積法、スプレイ熱分解法、RFスパッタリング法またはシード層の酸化などのスピンオン法によって形成されることが出来る。
【選択図】図1
Description
本発明はナノテクノロジーおよび/またはマイクロエレクトロニクスに関する。より詳細には、本発明はシリコン(Si)基板の上に酸化亜鉛(ZnO)のナノ構造を形成する方法に関する。
基板を提供することと、
該基板の表面の上に多結晶酸化亜鉛のシード層を形成することと、
該シード層の上に少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造の成長を引き起こすこと
を包含する、方法。
上記シード層を形成することにおいて、原子層堆積法を使用することによって多結晶酸化亜鉛の上記シード層が形成される、項目1に記載の方法。
上記シード層を形成することは、ジエチル亜鉛前駆物質と水蒸気との交互のパルスを使用することによって上記シード層を形成することを更に包含する、項目2に記載の方法。
上記シード層は少なくとも約0.5nmの厚さを有する、項目2に記載の方法。
少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造の成長を引き起こすことは、上記シード層を微量の酸素の存在下で亜鉛気体にさらすことを包含する、項目1に記載の方法。
少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造の成長を引き起こすことは、酸化亜鉛の炭素熱還元によって亜鉛気体を形成することをさらに包含する、項目5に記載の方法。
少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造の成長を引き起こす前に、上記シード層をアニールすることをさらに包含する、項目5に記載の方法。
上記シード層を形成することにおいて、スピンオン法を使用することによって多結晶酸化亜鉛の上記シード層が形成される、項目1に記載の方法。
上記シード層を形成することにおいて、有機金属堆積法にさらに基づいて多結晶酸化亜鉛の上記シード層が形成される、項目8に記載の方法。
少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造の成長を引き起こす前に、上記シード層をアニールすることをさらに包含する、項目9に記載の方法。
上記シード層を形成することにおいて、噴霧熱分解法、RFスパッタリング法およびシード層の酸化のうちの1つにさらに基づいて多結晶酸化亜鉛のシード層が形成される、項目8に記載の方法。
酸化亜鉛のナノ構造であって、
基板を提供することと、
該基板の表面の上に多結晶酸化亜鉛のシード層を形成することと、
該シード層の上に少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造の成長を引き起こすこと
によって形成される、酸化亜鉛のナノ構造。
上記シード層を形成することにおいて、原子層堆積法を使用することによって多結晶酸化亜鉛の上記シード層が形成される、項目12に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
上記シード層の形成は、ジエチル亜鉛前駆物質と水蒸気との交互のパルスを使用することによって上記シード層を形成することをさらに包含する、項目13に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
上記シード層は少なくとも約0.5nmの厚さを有する、項目13に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造の成長を引き起こすことは、上記シード層を少量の酸素の存在下で亜鉛気体にさらすことを包含する、項目12に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造の成長を引き起こすことは、酸化亜鉛の炭素熱還元によって亜鉛気体を形成することをさらに包含する、項目16に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造の成長を引き起こす前に、上記シード層をアニールすることをさらに包含する、項目16に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
上記シード層を形成することにおいて、スピンオン法を使用することによって多結晶酸化亜鉛の上記シード層が形成される、項目12に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
上記シード層を形成することにおいて、有機金属堆積法にさらに基づいて多結晶酸化亜鉛の上記シード層が形成される、項目19に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造の成長を引き起こす前に、上記シード層をアニールすることをさらに包含する、項目20に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
上記シード層を形成することにおいて、噴霧熱分解法、RFスパッタリング法およびシード層の酸化のうちの1つにさらに基づいて多結晶酸化亜鉛のシード層が形成される、項目19に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
酸化亜鉛のナノ構造であって、
基板と、
該基板の表面の上に形成された多結晶酸化亜鉛のシード層と、
該シード層の上に形成された少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造と
を備える、酸化亜鉛のナノ構造。
上記シード層は、原子層堆積法によって形成される、項目23に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
上記シード層は、ジエチル亜鉛前駆物質と水蒸気との交互のパルスを使用することによって形成される、項目24に記載の上記酸化亜鉛のナノ構造。
上記シード層は少なくとも約0.5nmの厚さを有する、項目24に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造が、上記シード層を微量の酸素の存在下で亜鉛気体にさらすことによって形成される、項目23に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
上記亜鉛気体は、酸化亜鉛の炭素熱還元によって生成される、項目27に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造が成長させられる前に、上記シード層がアニールされる、項目27に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
上記シード層は、スピンオン法によって形成される、項目23に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
上記シード層の形成において、有機金属堆積法にさらに基づいて多結晶酸化亜鉛のシード層が形成される、項目30に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
上記シード層は、噴霧熱分解法、RFスパッタリング法およびシード層の酸化のうちの1つによって形成される、項目30に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
基板の表面の上に多結晶酸化亜鉛のシード層を形成することにより、金属触媒を使用することなく、酸化亜鉛のナノ構造が成長させられる。
202、402 シード層
203、403 ナノ構造
Claims (32)
- 酸化亜鉛のナノ構造を形成する方法であって、
基板を提供することと、
該基板の表面の上に多結晶酸化亜鉛のシード層を形成することと、
該シード層の上に少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造の成長を引き起こすこと
を包含する、方法。 - 前記シード層を形成することにおいて、原子層堆積法を使用することによって多結晶酸化亜鉛の前記シード層が形成される、請求項1に記載の方法。
- 前記シード層を形成することは、ジエチル亜鉛前駆物質と水蒸気との交互のパルスを使用することによって前記シード層を形成することを更に包含する、請求項2に記載の方法。
- 前記シード層は少なくとも約0.5nmの厚さを有する、請求項2に記載の方法。
- 少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造の成長を引き起こすことは、前記シード層を微量の酸素の存在下で亜鉛気体にさらすことを包含する、請求項1に記載の方法。
- 少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造の成長を引き起こすことは、酸化亜鉛の炭素熱還元によって亜鉛気体を形成することをさらに包含する、請求項5に記載の方法。
- 少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造の成長を引き起こす前に、前記シード層をアニールすることをさらに包含する、請求項5に記載の方法。
- 前記シード層を形成することにおいて、スピンオン法を使用することによって多結晶酸化亜鉛の前記シード層が形成される、請求項1に記載の方法。
- 前記シード層を形成することにおいて、有機金属堆積法にさらに基づいて多結晶酸化亜鉛の前記シード層が形成される、請求項8に記載の方法。
- 少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造の成長を引き起こす前に、前記シード層をアニールすることをさらに包含する、請求項9に記載の方法。
- 前記シード層を形成することにおいて、噴霧熱分解法、RFスパッタリング法およびシード層の酸化のうちの1つにさらに基づいて多結晶酸化亜鉛のシード層が形成される、請求項8に記載の方法。
- 酸化亜鉛のナノ構造であって、
基板を提供することと、
該基板の表面の上に多結晶酸化亜鉛のシード層を形成することと、
該シード層の上に少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造の成長を引き起こすこと
によって形成される、酸化亜鉛のナノ構造。 - 前記シード層を形成することにおいて、原子層堆積法を使用することによって多結晶酸化亜鉛の前記シード層が形成される、請求項12に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
- 前記シード層の形成は、ジエチル亜鉛前駆物質と水蒸気との交互のパルスを使用することによって前記シード層を形成することをさらに包含する、請求項13に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
- 前記シード層は少なくとも約0.5nmの厚さを有する、請求項13に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
- 少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造の成長を引き起こすことは、前記シード層を少量の酸素の存在下で亜鉛気体にさらすことを包含する、請求項12に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
- 少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造の成長を引き起こすことは、酸化亜鉛の炭素熱還元によって亜鉛気体を形成することをさらに包含する、請求項16に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
- 少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造の成長を引き起こす前に、前記シード層をアニールすることをさらに包含する、請求項16に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
- 前記シード層を形成することにおいて、スピンオン法を使用することによって多結晶酸化亜鉛の前記シード層が形成される、請求項12に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
- 前記シード層を形成することにおいて、有機金属堆積法にさらに基づいて多結晶酸化亜鉛の前記シード層が形成される、請求項19に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
- 少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造の成長を引き起こす前に、前記シード層をアニールすることをさらに包含する、請求項20に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
- 前記シード層を形成することにおいて、噴霧熱分解法、RFスパッタリング法およびシード層の酸化のうちの1つにさらに基づいて多結晶酸化亜鉛のシード層が形成される、請求項19に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
- 酸化亜鉛のナノ構造であって、
基板と、
該基板の表面の上に形成された多結晶酸化亜鉛のシード層と、
該シード層の上に形成された少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造と
を備える、酸化亜鉛のナノ構造。 - 前記シード層は、原子層堆積法によって形成される、請求項23に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
- 前記シード層は、ジエチル亜鉛前駆物質と水蒸気との交互のパルスを使用することによって形成される、請求項24に記載の前記酸化亜鉛のナノ構造。
- 前記シード層は少なくとも約0.5nmの厚さを有する、請求項24に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
- 少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造が、前記シード層を微量の酸素の存在下で亜鉛気体にさらすことによって形成される、請求項23に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
- 前記亜鉛気体は、酸化亜鉛の炭素熱還元によって生成される、請求項27に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
- 少なくとも1つの酸化亜鉛のナノ構造が成長させられる前に、前記シード層がアニールされる、請求項27に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
- 前記シード層は、スピンオン法によって形成される、請求項23に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
- 前記シード層の形成において、有機金属堆積法にさらに基づいて多結晶酸化亜鉛のシード層が形成される、請求項30に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
- 前記シード層は、噴霧熱分解法、RFスパッタリング法およびシード層の酸化のうちの1つによって形成される、請求項30に記載の酸化亜鉛のナノ構造。
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