JP2006120916A - Transparent conductive laminate, and filter for display using the same - Google Patents

Transparent conductive laminate, and filter for display using the same Download PDF

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Yukinori Asakawa
浅川  幸紀
Tomoyuki Okamura
友之 岡村
Shin Morohashi
諸橋  慎
Tomoaki Ito
智章 伊藤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transparent conductive laminate wherein low surface resistivity and a good reflective characteristic are made compatible with each other. <P>SOLUTION: The transparent conductive laminate is such a laminate that, on the principal surface of a transparent substrate (A), there is formed a transparent conductive layer wherein a high-refractive-index transparent thin-film layer (B) and a metal thin-film layer (C) containing at least silver are laminated repeatedly four to seven times while using (B)/(C) as a repeated unit, and thereon, a transparent conductive layer having the laminated high-refractive-index transparent thin-film layers (B) is so formed as to form further at least a transparent-material layer on the transparent conductive layer. When projecting on the laminate a standard light source (C) with at an incident angle of 60° from the side of the transparent-material layer, an L*a*b* colorimetric system C* value measured from the transparent-material layer is made not larger than 20. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は透明導電性積層体およびその用途に関する。詳しくは、プラズマディスプレイ(PDP)、ブラウン管(CRT)、液晶表示装置(LCD)等の表示装置から発生する電磁波を効率良く低減させることのできる透明導電性積層体およびそれを用いたディスプレイ用フィルタに関する。   The present invention relates to a transparent conductive laminate and its use. More specifically, the present invention relates to a transparent conductive laminate capable of efficiently reducing electromagnetic waves generated from a display device such as a plasma display (PDP), a cathode ray tube (CRT), a liquid crystal display device (LCD), and a display filter using the same. .

近年の社会情勢にみられる高度情報化に伴い、マンーマシンインターフェイスの役割を担う表示装置の重要性が高まっている。その中でテレビジョン用、パーソナルコンピュータ用、駅や空港などの案内表示用その他各種の情報提供用に用いられる大画面表示装置には高画質化、高効率化、薄型化が要求される。   With the advancement of information technology in recent social situations, the importance of display devices that play the role of man-machine interface is increasing. Among them, large-screen display devices used for televisions, personal computers, guidance displays such as stations and airports, and other various information provisions are required to have high image quality, high efficiency, and thinning.

現在、次世代大画面フラットパネルディスプレイとして、プラズマディスプレイパネル(以下、PDPと記す。)が注目されており、既に市販されている。しかしながら、PDPにはその原理上の問題から強度の漏洩電磁界を発生するという問題点を有している。漏洩電磁界は他の電気電子機器等の誤作動、通信障害などを引き起こし、最近では人体に対する影響も懸念されている。特にPDP装置は、そのプラズマ中の励起原子から発生する近赤外線光がコードレスフォン、リモコン等の電子機器に作用する問題がある。   Currently, plasma display panels (hereinafter referred to as PDPs) are attracting attention as next-generation large-screen flat panel displays, and are already commercially available. However, the PDP has a problem that a strong leakage electromagnetic field is generated due to a problem in principle. Leaked electromagnetic fields cause malfunctions of other electrical and electronic devices and communication failures, and recently there are concerns about the effects on the human body. In particular, the PDP device has a problem that near infrared light generated from excited atoms in the plasma acts on electronic devices such as cordless phones and remote controllers.

そのため、一般的にディスプレイ装置、特にPDPには、漏洩電磁界および近赤外光をシールドするためのフィルタ(以下、電磁波フィルタ)が用いられている。一般的な電磁波フィルタの構成は、支持板の片面に電磁波シールド層を形成し、支持板の他の片面および電磁波シールド層が形成されたフィルム表面に反射防止層が形成されたものが挙げられる。これらの部材を貼り合わせ、塗布等の手法で組み合わせてPDP光学フィルタとして用いられる。   For this reason, a filter (hereinafter referred to as an electromagnetic wave filter) for shielding a leakage electromagnetic field and near-infrared light is generally used for a display device, particularly a PDP. The structure of a general electromagnetic wave filter includes an electromagnetic wave shielding layer formed on one side of a support plate, and an antireflection layer formed on the other side of the support plate and the film surface on which the electromagnetic wave shielding layer is formed. These members are used in combination as a PDP optical filter by bonding and coating.

電磁波フィルタの近赤外線および電磁界のシールド材料としては現在のところ大きく分けて1)アースした金属メッシュまたは、合成樹脂または金属繊維のメッシュに金属を被覆したものと近赤外線を吸収する色素とを組み合わせたもの、2)アースした酸化インジウム−錫(ITO)に代表される透明導電性薄膜と(場合によっては)近赤外線を吸収する色素とを組み合わせたものがある。   Near-infrared and electromagnetic shielding materials for electromagnetic filters are broadly classified as follows: 1) A combination of a grounded metal mesh or synthetic resin or metal fiber mesh coated with metal and a dye that absorbs near-infrared rays 2) A combination of a transparent conductive thin film typified by grounded indium oxide-tin (ITO) and (in some cases) a dye that absorbs near infrared rays.

1)の例としては特開平9−330667号公報(特許文献1)に、透明樹脂板上に導電性ペーストをメッシュ状に塗布乾燥させて作成した電磁波シールド板が開示されている。2)の透明導電性薄膜を基板上に形成した例としては特開平10−73719号公報(特許文献2)などに記載された、透明高分子フィルムの一方の主面上に、高屈折率透明薄膜層(B)、金属薄膜層(C)が順次、(B)/(C)を繰り返し単位として4回以上繰り返し積層され、さらにその上に高屈折率透明薄膜層(B)、透明樹脂層が形成された調光フィルムが貼り合わされたディスプレイ用光学フィルタが挙げられる。これらの電磁波フィルタを用いると効率良くPDP(匡体)から発生する電磁波、および近赤外線をシールドすることが可能となる。特に2)の例にある電磁波シールド層として透明導電性薄膜を使用したフィルタは、1)の例と比較して、メッシュによる遮光部分の発生やモワレの発生がないという優れた特徴を有している。   As an example of 1), JP-A-9-330667 (Patent Document 1) discloses an electromagnetic wave shielding plate prepared by applying and drying a conductive paste in a mesh shape on a transparent resin plate. As an example in which the transparent conductive thin film of 2) is formed on a substrate, a high refractive index transparent film is formed on one main surface of a transparent polymer film described in JP-A-10-73719 (Patent Document 2). The thin film layer (B) and the metal thin film layer (C) are sequentially laminated four or more times with (B) / (C) as a repeating unit, and a high refractive index transparent thin film layer (B) and a transparent resin layer thereon. An optical filter for a display in which a light control film formed with is bonded. When these electromagnetic wave filters are used, it is possible to efficiently shield electromagnetic waves generated from the PDP (housing) and near infrared rays. In particular, the filter using the transparent conductive thin film as the electromagnetic wave shielding layer in the example of 2) has an excellent feature that there is no generation of a light-shielding part or moire due to the mesh compared to the example of 1). Yes.

これらの中でも、ITO等の金属酸化物等で形成された高屈折率薄膜層と銀を主成分とする金属薄膜層とを積層したものは、透明性が高く、表面抵抗率が低く、良好な電磁波シールド機能を有するため、好ましく用いることができる。   Among these, a laminate of a high refractive index thin film layer formed of a metal oxide such as ITO and a metal thin film layer mainly composed of silver has high transparency, low surface resistivity, and good Since it has an electromagnetic wave shielding function, it can be preferably used.

上記の透明導電性フィルムをプラズマディスプレイ(PDP)、ブラウン管(CRT)、液晶表示装置(LCD)等の表示装置に適用する場合、表示装置の色再現性を高めるため、反射防止フィルム、選択性吸収色素等を含む調光フィルムや粘着材等を組み合わせてフィルタの光学特性を制御できる。しかしながら、フィルタの反射特性は上記の導電性フィルムの各高屈折率薄膜層、金属薄膜層の積層膜厚構成によって決められるため予め最適化しておく必要がある。一般に従来のフィルタは正面から入射する外光の反射特性は好ましい特性、特に好ましい反射色に設計されているが、斜めから入射する外光の反射特性、特に反射色までは考慮されていなかった。また、斜めから入射する外光の反射色を最も好まれる無彩色にしようとすると、表面抵抗率が高くなってしまい、良好な電磁波シールド能を確保できなかった。
特開平9−330667号公報 特開平10−73719号公報
When the above transparent conductive film is applied to a display device such as a plasma display (PDP), a cathode ray tube (CRT), a liquid crystal display (LCD), etc., in order to improve the color reproducibility of the display device, an antireflection film, a selective absorption The optical characteristics of the filter can be controlled by combining a light control film containing a pigment or the like, an adhesive material, or the like. However, since the reflection characteristics of the filter are determined by the laminated film thickness structure of each high refractive index thin film layer and metal thin film layer of the conductive film, it is necessary to optimize in advance. In general, the conventional filter is designed to have a preferable reflection characteristic of external light incident from the front, particularly a preferable reflection color, but the reflection characteristic of external light incident from an oblique direction, particularly the reflection color, has not been considered. In addition, when the reflected color of external light incident from an oblique direction is set to the most preferred achromatic color, the surface resistivity is increased, and a satisfactory electromagnetic shielding ability cannot be ensured.
JP-A-9-330667 JP-A-10-73719

従って、本発明の目的は、従来の技術では解決することの困難であった低い表面抵抗率を有し、斜めから入射する外光の反射特性、特に反射色が無彩色の電磁波シールド用フィルタが得られる透明導電性フィルムを提供することにある。 Accordingly, the object of the present invention is to provide an electromagnetic wave shielding filter having a low surface resistivity, which is difficult to solve by the prior art, and a reflection characteristic of external light incident from an oblique direction, particularly an achromatic reflection color. It is providing the transparent conductive film obtained.

上記の課題を解決するために本発明者等は鋭意検討を重ねた結果、高屈折率透明薄膜層と少なくとも銀を主成分とする金属薄膜層を特定の構成で積層した透明導電性積層体が低い表面抵抗率と良好な反射特性を両立出来ることを見出し、本発明を完成させた。
すなわち本発明は
(1) 透明基板(A)の一方の主面上に高屈折率透明薄膜層(B)と少なくとも銀を含む金属薄膜層(C)を(B)/(C)を繰り返し単位として4回から7回繰り返し積層し、その上に高屈折率透明薄膜層(B)を積層して透明導電性積層体を形成したのち、さらに該透明導電層上に透明材層を少なくとも一層積層した透明導電性積層体であって、標準光源Cを該透明材層側から入射角60°で入射した場合、透明材層側から測定したL*a*b*表色系C*値が20以下であることを特徴とする透明導電性積層体であり、前記金属薄膜層(C)の片面または両面にキャップ層が形成されていることは好ましい態様である。
(2) 好ましくは、標準光源Cを透明材層側から入射角2°で入射した場合、透明材層側から測定した色度座標a*およびb*値が、それぞれ−15≦a*≦15および−40≦b*≦0であり、
(3) 好ましくは、透明導電層の表面抵抗値Rが0.1Ω/□≦R≦2.5Ω/□であり、かつ、可視域透過率Tvisが40%≦Tvis≦80%であり、好ましくは、高屈折率透明導電層の総厚みをdDE、金属薄膜層の総厚みをdとした場合、dDE/dが7.0以上であり、かつ、(B)/(C)の繰り返し積層数をnとすると、透明基板(A)側より1およびn番目の金属薄膜層(C)の厚みが他の金属薄膜層厚み平均値に対し、60〜80%の厚みで成膜されており、好ましくは、透明材層側から測定した波長700nmの2°反射率が10%以下であり、上記の透明導電性積層体を用いた、または上記の透明導電性積層体と色素を組み合わせたディスプレイ用フィルタまたはそれを用いたプラズマディスプレイである。
In order to solve the above problems, the present inventors have conducted intensive studies, and as a result, a transparent conductive laminate in which a high refractive index transparent thin film layer and a metal thin film layer containing at least silver as a main component are laminated in a specific configuration is obtained. The inventors have found that both low surface resistivity and good reflection characteristics can be achieved, thereby completing the present invention.
That is, the present invention provides (1) a high refractive index transparent thin film layer (B) and a metal thin film layer (C) containing at least silver on one main surface of the transparent substrate (A), and (B) / (C) as repeating units. 4 to 7 times, and a high refractive index transparent thin film layer (B) is laminated thereon to form a transparent conductive laminate, and at least one transparent material layer is further laminated on the transparent conductive layer. When the standard light source C is incident at an incident angle of 60 ° from the transparent material layer side, the L * a * b * color system C * value measured from the transparent material layer side is 20 It is a transparent electroconductive laminated body characterized by the following, It is a preferable aspect that the cap layer is formed in the single side | surface or both surfaces of the said metal thin film layer (C).
(2) Preferably, when the standard light source C is incident from the transparent material layer side at an incident angle of 2 °, the chromaticity coordinates a * and b * values measured from the transparent material layer side are −15 ≦ a * ≦ 15, respectively. And −40 ≦ b * ≦ 0,
(3) Preferably, the surface resistance value R of the transparent conductive layer is 0.1Ω / □ ≦ R ≦ 2.5Ω / □, and the visible region transmittance Tvis is 40% ≦ Tvis ≦ 80%, preferably Where d DE / d M is 7.0 or more when the total thickness of the high refractive index transparent conductive layer is d DE and the total thickness of the metal thin film layer is d M , and (B) / (C) Where n is the number of repeated layers, the thickness of the first and nth metal thin film layers (C) from the transparent substrate (A) side is 60 to 80% of the average thickness of the other metal thin film layers. Preferably, the 2 ° reflectance at a wavelength of 700 nm measured from the transparent material layer side is 10% or less, and the above transparent conductive laminate or the above transparent conductive laminate and dye are used. A combined display filter or a plasma display using the filter.

本発明における透明導電性積層体を用いると、従来の透明導電性フィルムと同等の表面抵抗率を保ち、斜め入射光に対する反射特性を両立出来るため、プラズマディスプレイ(PDP)、ブラウン管(CRT)、液晶表示装置(LCD)等の表示装置に適用する場合、表示装置の演色性、意匠性、電磁波遮蔽に優れるフィルタを実現することができる。   When the transparent conductive laminate of the present invention is used, the same surface resistivity as that of the conventional transparent conductive film can be maintained and the reflection characteristics against obliquely incident light can be achieved. Therefore, plasma display (PDP), cathode ray tube (CRT), liquid crystal When applied to a display device such as a display device (LCD), it is possible to realize a filter that is excellent in color rendering, design, and electromagnetic shielding of the display device.

本発明の透明導電性積層体およびそれを用いたディスプレイ用フィルタは従来の透明導電性フィルムに比べ斜め入射光に対する反射特性が良好なだけでなく、従来と同等の透過率、電磁波シールド能を有している。そのため、プラズマディスプレイ(PDP)、ブラウン管(CRT)、液晶表示装置(LCD)等のディスプレイの電磁波シールド用フィルタとして好適に使用することができる。   The transparent conductive laminate of the present invention and the display filter using the same have not only good reflection characteristics with respect to oblique incident light, but also have the same transmittance and electromagnetic wave shielding ability as those of conventional transparent conductive films. is doing. Therefore, it can be suitably used as an electromagnetic wave shielding filter for displays such as a plasma display (PDP), a cathode ray tube (CRT), and a liquid crystal display (LCD).

本発明の透明導電性積層体は、透明基板(A)、高屈折率透明薄膜層(B)、少なくとも銀を含む金属薄膜層(C)、透明材層からなり、これらの層が特定の構成を有することを特徴とする。   The transparent conductive laminate of the present invention comprises a transparent substrate (A), a high refractive index transparent thin film layer (B), a metal thin film layer (C) containing at least silver, and a transparent material layer, and these layers have a specific configuration. It is characterized by having.

本発明に用いる透明基板(A)としては、ガラス板、透明プラスチック板、透明プラスチックフィルムなどが用いられる。透明導電層をロールトゥロールで連続して形成できる透明プラスチックフィルムが最も好ましく用いられる。また、透明プラスチックフィルム上に透明導電層を形成した場合、ガラス板や透明プラスチック板、更には直接PDPモジュールに貼合することもできる。   As the transparent substrate (A) used in the present invention, a glass plate, a transparent plastic plate, a transparent plastic film or the like is used. A transparent plastic film capable of continuously forming the transparent conductive layer by roll-to-roll is most preferably used. Moreover, when a transparent conductive layer is formed on a transparent plastic film, it can be bonded to a glass plate, a transparent plastic plate, and further directly to a PDP module.

透明基板(A)の全光線透過率は特に制限を受けることではないが、70%以上であることが好ましく、75%以上であることが更に好ましく、特に80%以上であることが好ましい。全光線透過率の上限値は当然100%である。しかし、一般的には基板表面での反射等により光線透過率が低下することが多いので、全光線透過率は92%以下でも実質上充分な透明性を有している。   The total light transmittance of the transparent substrate (A) is not particularly limited, but is preferably 70% or more, more preferably 75% or more, and particularly preferably 80% or more. The upper limit of the total light transmittance is naturally 100%. However, in general, the light transmittance often decreases due to reflection on the surface of the substrate, and therefore, even if the total light transmittance is 92% or less, it has substantially sufficient transparency.

本発明の透明基板(A)は無色である必要はない。例えば、後述する高屈折率透明薄膜層(B)、金属薄膜層(C)の種類などによっては透明導電性フィルムの透過色が好ましくない色になる場合、その色の補正を目的として、着色した透明プラスチックフィルムを使用することも可能である。     The transparent substrate (A) of the present invention does not need to be colorless. For example, depending on the type of the high refractive index transparent thin film layer (B) and metal thin film layer (C) described later, when the transparent color of the transparent conductive film becomes an unfavorable color, it is colored for the purpose of correcting the color. It is also possible to use a transparent plastic film.

着色の方法としては、前記プラスチックフィルムを形成する際に色素と前もって混合してからフィルム化する方法、色素をバインダー樹脂中に分散させてインキ化し、これを塗布乾燥させる方法、着色したプラスチックフィルムを貼り合わせる方法等が挙げられる。   As a coloring method, when forming the plastic film, a method of forming a film after mixing with a pigment in advance, a method of dispersing a pigment in a binder resin to make an ink, and applying and drying this, a colored plastic film Examples include a method of bonding.

本発明の透明基板(A)は、透明導電層との密着性を向上させることを目的として、透明導電層を形成する面に、例えば水性ポリウレタン系、シリコン系コート剤等の下地層を形成したり、コロナ処理等をしたりすることも可能である。       In the transparent substrate (A) of the present invention, for the purpose of improving the adhesion to the transparent conductive layer, a base layer such as an aqueous polyurethane-based or silicon-based coating agent is formed on the surface on which the transparent conductive layer is formed. Or corona treatment or the like.

本発明で用いる透明プラスチックフィルムとしては透明であれば特に限定されないが、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルサルフォン、ポリアリレート、ポリアクリレート、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエチレン、ポリエステル、ポリプロピレン、ポリアミド、ポリイミド等の樹脂からなるプラスチックフィルムが挙げられる。上記の樹脂は、透明であれば、他のコモノマーを用いた共重合体であっても勿論構わない。     The transparent plastic film used in the present invention is not particularly limited as long as it is transparent. For example, polyethylene terephthalate, polyethersulfone, polyarylate, polyacrylate, polycarbonate, polyetheretherketone, polyethylene, polyester, polypropylene, polyamide, polyimide A plastic film made of a resin such as Of course, the resin may be a copolymer using another comonomer as long as it is transparent.

透明基板(A)として用いられる透明プラスチックフィルムの成形法としては、Tダイ成形法、インフレーション成形法等の各種溶融押し出し法、キャスト法、カレンダー法等、公知のプラスチックフィルムの製造法を用いることが可能である。また、透明プラスチックフィルムの厚みには特に規定を設けないが、ハンドリング性の観点から25〜250μmが好ましく、更には30〜200μmである。   As a method for molding the transparent plastic film used as the transparent substrate (A), a known plastic film production method such as various die-extrusion methods such as a T-die molding method and an inflation molding method, a casting method, and a calendar method may be used. Is possible. The thickness of the transparent plastic film is not particularly specified, but is preferably 25 to 250 μm and more preferably 30 to 200 μm from the viewpoint of handling properties.

本発明の透明導電性積層体は、透明基板(A)上に少なくとも高屈折率透明薄膜層(B)、金属層(C)からなるいわゆる透明導電層が形成され、その上に透明材層を少なくとも一層積層したものである。透明導電層の形成は、透明プラスチックフィルムの場合、片面上に形成することが好ましい。両面に形成すると積層時にかかる熱が透明プラスチックフィルムを熱収縮させることにより成膜が困難になる場合や、透明導電層の両面ともアースを取ることが困難な場合がある。   In the transparent conductive laminate of the present invention, a so-called transparent conductive layer comprising at least a high refractive index transparent thin film layer (B) and a metal layer (C) is formed on a transparent substrate (A), and a transparent material layer is formed thereon. At least one layer is laminated. In the case of a transparent plastic film, the transparent conductive layer is preferably formed on one side. When it is formed on both sides, it may be difficult to form a film by heat shrinking the transparent plastic film when laminated, or it may be difficult to ground both sides of the transparent conductive layer.

本発明で用いる高屈折率透明薄膜層(B)は、金属酸化物および/または金属硫化物が好ましい。好ましくは屈折率が1.8以上の材料が好ましい。このような高屈折率透明薄膜層(B)を形成しうる具体的な材料としては、インジウム、チタン、ジルコニウム、ビスマス、錫、亜鉛、アンチモン、タンタル、セリウム、ネオジウム、ランタン、トリウム、マグネシウム、ガリウム、タングステン等の酸化物、これらの酸化物の混合物、複合酸化物や硫化亜鉛等が挙げられる。これらの材料の中で酸化インジウムや酸化インジウム−錫(ITO)、酸化錫は透明性が高く、屈折率が高いことに加えて、成膜速度が速く、後述する金属薄膜層(C)との密着性が良好であることから好ましく用いることができる。   The high refractive index transparent thin film layer (B) used in the present invention is preferably a metal oxide and / or a metal sulfide. A material having a refractive index of 1.8 or more is preferable. Specific materials that can form such a high refractive index transparent thin film layer (B) include indium, titanium, zirconium, bismuth, tin, zinc, antimony, tantalum, cerium, neodymium, lanthanum, thorium, magnesium, and gallium. And oxides such as tungsten, mixtures of these oxides, composite oxides and zinc sulfide. Among these materials, indium oxide, indium oxide-tin (ITO), and tin oxide have high transparency and a high refractive index. In addition, the film forming speed is high, and the metal thin film layer (C) described later is used. It can be preferably used because of its good adhesion.

高屈折率透明薄膜層(B)の厚みは、要求する光学特性によって異なるので特に制限されるものではないが、2〜600nmが好ましく、20〜200nmが更に好ましい。高屈折率透明薄膜層(B)の成膜方法としてはスパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームアシスト法、真空蒸着法、湿式塗工法など公知の手法を用いることができる。これらの内、スパッタリング法が最も好ましい。   The thickness of the high refractive index transparent thin film layer (B) is not particularly limited because it varies depending on the required optical properties, but is preferably 2 to 600 nm, and more preferably 20 to 200 nm. As a method for forming the high refractive index transparent thin film layer (B), a known method such as sputtering, ion plating, ion beam assist, vacuum deposition, or wet coating can be used. Of these, the sputtering method is most preferable.

本発明の金属薄膜層(C)の材料は、少なくとも銀を含む金属であり、特には銀金属単体や銀合金であることが好ましい。銀合金としては、公知の物を用いることが出来る。銀以外の金属とは、公知の金、パラジウム、銅等を挙げることが出来、その含有率は、好ましくは合金中の20質量%以下、より好ましくは10質量%以下である。銀はその表面抵抗率の低さ、赤外反射特性が良好なこと、高屈折率透明薄膜層(B)と積層した場合の可視光線透過特性が優れるために好ましく用いることができる。   The material of the metal thin film layer (C) of the present invention is a metal containing at least silver, and is particularly preferably a silver metal simple substance or a silver alloy. A well-known thing can be used as a silver alloy. Examples of the metal other than silver include known gold, palladium, copper and the like, and the content thereof is preferably 20% by mass or less, more preferably 10% by mass or less in the alloy. Silver is preferably used because of its low surface resistivity, good infrared reflection characteristics, and excellent visible light transmission characteristics when laminated with a high refractive index transparent thin film layer (B).

金属薄膜層(C)の厚みは要求される光学特性と表面抵抗率によって異なるので一概に規定できないが4nm以上が連続層を形成するために好ましく、透明性の観点からは30nm以下が好ましい。厚さが4nm未満では、金属が島状構造となり導電性が低下することがある。一方、厚さが30nmを越えると全光線透過率が不十分となることがある。金属薄膜層の成膜方法としてはスパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームアシスト法、真空蒸着法、湿式塗工法など公知の手法を用いることができる。これらの内、スパッタリング法が最も好ましい。   The thickness of the metal thin film layer (C) varies depending on the required optical properties and surface resistivity and cannot be defined unconditionally. However, 4 nm or more is preferable for forming a continuous layer, and 30 nm or less is preferable from the viewpoint of transparency. If the thickness is less than 4 nm, the metal may have an island structure and conductivity may be reduced. On the other hand, if the thickness exceeds 30 nm, the total light transmittance may be insufficient. As a method for forming the metal thin film layer, a known method such as a sputtering method, an ion plating method, an ion beam assist method, a vacuum deposition method, or a wet coating method can be used. Of these, the sputtering method is most preferable.

金属薄膜層(C)の形成直後の変質および物理的損傷の保護を目的として、キャップ層を設ける場合がある。キャップ層の形成は金属薄膜層(C)の上部のみまたは下部のみでもよいし、両面でもよい。キャップ層を設けた場合、キャップ層と金属薄膜層をまとめて金属薄膜層(C)とみなすことができ、本発明の好ましい態様の一つである。但し、金属薄膜層の総厚みdを計算する場合はキャップ層の厚みを含めない。キャップ層の材料は、金属および/または金属酸化物であり、高屈折率透明薄膜層(B)とは異なるものを使用する。好ましくは薄膜とした時にガスバリア性に優れた金属および/または金属酸化物である。特に屈折率が高屈折率透明薄膜層(B)に近いものが好ましい。このような金属および金属酸化物として具体的にはアルミニウム、シリコン、チタン、ニッケル、銅、亜鉛、ガリウム、ジルコニウム、ニオブ、タンタルおよびその酸化物が挙げられる。特に好ましくは、チタンおよび酸化チタンである。 A cap layer may be provided for the purpose of protecting the alteration and physical damage immediately after the formation of the metal thin film layer (C). The cap layer may be formed only on the upper part or the lower part of the metal thin film layer (C), or on both sides. When the cap layer is provided, the cap layer and the metal thin film layer can be collectively regarded as the metal thin film layer (C), which is one of the preferred embodiments of the present invention. However, when calculating the total thickness d M of the metal thin film layer does not include the thickness of the cap layer. The material of the cap layer is a metal and / or metal oxide, and is different from the high refractive index transparent thin film layer (B). Metals and / or metal oxides that are excellent in gas barrier properties when formed into a thin film are preferable. In particular, those having a refractive index close to that of the high refractive index transparent thin film layer (B) are preferred. Specific examples of such metals and metal oxides include aluminum, silicon, titanium, nickel, copper, zinc, gallium, zirconium, niobium, tantalum and oxides thereof. Particularly preferred are titanium and titanium oxide.

キャップ層は、金属および/または金属酸化物からなるので、高屈折率透明薄膜層(B)や金属薄膜層(C)との密着性に優れている。     Since a cap layer consists of a metal and / or a metal oxide, it is excellent in adhesiveness with a high refractive index transparent thin film layer (B) and a metal thin film layer (C).

キャップ層の厚みとしては要求する光学特性によって異なるので、特に制限されるものではないが、好ましい下限値は2nm、より好ましくは3nmであり、好ましい上限値は20nm、より好ましくは10nmである。厚さが2nm未満だと金属薄膜層(C)の形成直後の変質および物理的損傷の保護力の低下が起こることがあり、20nmを越えると透明性が不十分になることがある。金属でキャップ層を形成した場合、透明導電層成膜後にキャップ層は金属酸化物として観察される場合がある。これはキャップ層の酸化防止効果の現れで好ましい形態のひとつである。キャップ層の成膜方法としてはスパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームアシスト法、真空蒸着法、湿式塗工法など公知の手法を用いることができる。これらの内、スパッタリング法が最も好ましい。   The thickness of the cap layer is not particularly limited because it varies depending on the required optical properties, but the preferred lower limit is 2 nm, more preferably 3 nm, and the preferred upper limit is 20 nm, more preferably 10 nm. When the thickness is less than 2 nm, deterioration immediately after the formation of the metal thin film layer (C) and the protection of physical damage may be reduced, and when it exceeds 20 nm, transparency may be insufficient. When the cap layer is formed of metal, the cap layer may be observed as a metal oxide after forming the transparent conductive layer. This is one of the preferred forms because of the antioxidation effect of the cap layer. As a method for forming the cap layer, a known method such as a sputtering method, an ion plating method, an ion beam assist method, a vacuum deposition method, or a wet coating method can be used. Of these, the sputtering method is most preferable.

本発明の透明導電性フィルムの透明導電層は、少なくとも高屈折率透明導電層(B)、金属薄膜層(C)からなり、透明基板(A)の少なくとも一方の主面上に形成される。更に高屈折率透明薄膜層(B)と金属薄膜層(C)とは、(B)/(C)の積層構成を単位として4単位〜7単位積層された構成を有する。且つ高屈折率透明薄膜層(B)、金属薄膜層(C)のうち、透明基板(A)と反対側の最外層は、高屈折率透明薄膜層(B)である。上記最外層が金属薄膜層(C)である場合、金属層(C)が酸化されやすく、光線透過率が大幅に低下することがある。また、表面反射率が高くなり過ぎることもある。上記最外層は、特に高屈折率透明薄膜層(B)であることが好ましい。   The transparent conductive layer of the transparent conductive film of the present invention comprises at least a high refractive index transparent conductive layer (B) and a metal thin film layer (C), and is formed on at least one main surface of the transparent substrate (A). Furthermore, the high refractive index transparent thin film layer (B) and the metal thin film layer (C) have a structure in which 4 to 7 units are laminated with the (B) / (C) laminated structure as a unit. Of the high refractive index transparent thin film layer (B) and the metal thin film layer (C), the outermost layer opposite to the transparent substrate (A) is the high refractive index transparent thin film layer (B). When the said outermost layer is a metal thin film layer (C), a metal layer (C) is easy to be oxidized and light transmittance may fall significantly. Also, the surface reflectance may become too high. The outermost layer is particularly preferably a high refractive index transparent thin film layer (B).

本発明の透明導電層断面構成の具体例としては、
(A)/[(B)/(C)/](B)、
(A)/[(B)/(C)/](B)、
(A)/[(B)/(C)/](B)、
(A)/[(B)/(C)/](B)、

が挙げられる。(B)/(C)の積層単位数は、好ましくは4単位〜7単位、より好ましくは5単位〜6単位である。上記積層単位数が6単位を越えると、各層の膜厚の誤差が全体の光学特性の精度におよぼす影響が大きく製品品質制御が困難になることがあり、また生産性の低下によるコストアップになることがある。
As a specific example of the transparent conductive layer cross-sectional configuration of the present invention,
(A) / [(B) / (C) /] 4 (B),
(A) / [(B) / (C) /] 5 (B),
(A) / [(B) / (C) /] 6 (B),
(A) / [(B) / (C) /] 7 (B),

Is mentioned. The number of stacked units (B) / (C) is preferably 4 units to 7 units, more preferably 5 units to 6 units. If the number of stacked units exceeds 6 units, the error of the film thickness of each layer has a great influence on the accuracy of the overall optical characteristics, and it may be difficult to control the product quality, resulting in an increase in cost due to a decrease in productivity. Sometimes.

透明導電層上に積層する透明材層は、可視領域における屈折率が1.4から1.7の範囲にある材料が好ましく、具体的には機能性フィルムを貼り合わせる為の粘着材(接着材)層、機能性透明層、ハードコート層、機能性フィルム等が挙げられる。これらの層またはフィルムを1層以上積層してもよい。   The transparent material layer laminated on the transparent conductive layer is preferably a material having a refractive index in the visible range of 1.4 to 1.7. Specifically, an adhesive (adhesive) for bonding a functional film. ) Layer, functional transparent layer, hard coat layer, functional film and the like. One or more of these layers or films may be laminated.

本発明の透明導電性積層体の光学特性、特に反射特性は主に透明導電層の膜厚構成によって決まる。つまり、所望の反射特性を得るには、透明基板(A)、高屈折率薄膜層(B)、金属薄膜層(C)、透明材層の材料の光学定数を用い、ベクトル法、アドミッタンス図を用いる方法等による光学設計を行い、所望の電磁波シールド能を確保するための導電性、すなわち金属薄膜層(C)の材料、総厚みを合わせて考慮して、各層の薄膜材料、層数、膜厚を決める必要がある。   The optical characteristics, particularly the reflection characteristics, of the transparent conductive laminate of the present invention are mainly determined by the film thickness configuration of the transparent conductive layer. In other words, in order to obtain desired reflection characteristics, the optical constants of the transparent substrate (A), high refractive index thin film layer (B), metal thin film layer (C), and transparent material layer are used, and the vector method and the admittance diagram are Conducting optical design according to the method used, etc., and taking into account the conductivity to ensure the desired electromagnetic shielding ability, that is, the material of the metal thin film layer (C) and the total thickness, the thin film material of each layer, the number of layers, the film It is necessary to determine the thickness.

上記のように光学設計を行うことにより検討を重ねた結果、本発明を実現する膜厚構成の具体例としては、高屈折率透明導電層(B)の総厚みをdDE、金属薄膜層(C)の総厚みをdとするとdDE/dが7.0以上、より好ましくは、7.5以上とすることが好ましいことを見出した。さらに、(B)/(C)を繰り返し単位として繰り返し積層数をnとすると、透明基板(A)側より1およびn番目の金属薄膜層(C)の各膜厚は他の金属薄膜層(C)の厚み平均値に対し、60〜80%、更に好ましくは65〜75%の厚みとすることが好ましいことを見出した。 As a result of repeated studies by performing optical design as described above, as a specific example of the film thickness configuration that realizes the present invention, the total thickness of the high refractive index transparent conductive layer (B) is d DE , a metal thin film layer ( When the total thickness of the C) to d M d DE / d M is 7.0 or more, more preferably, it has been found that it is preferable to set 7.5 or more. Further, assuming that (B) / (C) is a repeating unit and the number of repeated stacks is n, each of the first and nth metal thin film layers (C) from the transparent substrate (A) side has other metal thin film layers ( It has been found that the thickness is preferably 60 to 80%, more preferably 65 to 75% with respect to the average thickness of C).

本発明の透明導電性積層体は、標準光源Cを透明材層側から60°入射した場合、透明材層側から測定したL*a*b*表色系C*値が20以下である。より好ましくは、15以下である。これは透明材層側から斜めに見た反射色が無彩色であることを示し、斜め入射光に対する反射特性として好ましい特性である。更に、本発明の透明導電性積層体は、標準光源Cを透明材層側から2°入射した場合、透明材層側から測定した色度座標a*およびb*値が、それぞれ−15≦a*≦15および−40≦b*≦0であることが好ましく、更に好ましくは、0≦a*≦15および−15≦b*≦−35である。これは透明材層側から見た反射色が薄青色であることを示し、垂直入射光に対する反射特性として好ましい特性である。
本願発明において、透明材層とは、光線を透過する材料で構成される層を意味し、後述の機能性透明層、透明な粘着剤層、接着剤層等が挙げられる。
When the standard light source C is incident at 60 ° from the transparent material layer side, the L * a * b * color system C * value measured from the transparent material layer side is 20 or less. More preferably, it is 15 or less. This indicates that the reflection color viewed obliquely from the transparent material layer side is an achromatic color, which is a preferable characteristic as a reflection characteristic for obliquely incident light. Further, in the transparent conductive laminate of the present invention, when the standard light source C is incident at 2 ° from the transparent material layer side, the chromaticity coordinates a * and b * values measured from the transparent material layer side are respectively −15 ≦ a * ≦ 15 and −40 ≦ b * ≦ 0 are preferable, and more preferably, 0 ≦ a * ≦ 15 and −15 ≦ b * ≦ −35. This indicates that the reflected color viewed from the transparent material layer side is a light blue color, which is a preferable characteristic as a reflection characteristic for normal incident light.
In this invention, a transparent material layer means the layer comprised with the material which permeate | transmits a light ray, and the below-mentioned functional transparent layer, a transparent adhesive layer, an adhesive bond layer, etc. are mentioned.

本発明に係る透明導電層の表面抵抗率は、0.1Ω/□〜2.5Ω/□であることが好ましく、0.7Ω/□〜1.5Ω/□であることが更に好ましい。表面抵抗率が上記の範囲内である場合、良好なシールド特性と光学特性とを両立することが可能となるので好ましい。表面抵抗率が上記の範囲よりも低い場合、光線透過率が低下し過ぎたり、良好な反射特性が得られないことがある。また、表面抵抗率が上記の範囲よりも高い場合は、電磁波シールド特性が低下し過ぎることがある。 上記透明導電性積層体の可視光線透過率(Tvis)は40%以上であることが好ましく、50%以上であることが更に好ましく、55%以上であることが最も好ましい。可視光線透過率が上記の値よりも低い透明導電性フィルムを用いた電磁波フィルタをディスプレイに組み付けると画面の輝度が不十分となることがある。   The surface resistivity of the transparent conductive layer according to the present invention is preferably 0.1Ω / □ to 2.5Ω / □, and more preferably 0.7Ω / □ to 1.5Ω / □. When the surface resistivity is within the above range, it is possible to achieve both good shielding characteristics and optical characteristics, which is preferable. When the surface resistivity is lower than the above range, the light transmittance may be excessively lowered or good reflection characteristics may not be obtained. Further, when the surface resistivity is higher than the above range, the electromagnetic wave shielding characteristics may be deteriorated excessively. The visible light transmittance (Tvis) of the transparent conductive laminate is preferably 40% or more, more preferably 50% or more, and most preferably 55% or more. When an electromagnetic wave filter using a transparent conductive film having a visible light transmittance lower than the above value is assembled to a display, the brightness of the screen may be insufficient.

好ましい可視光線透過率は100%が理想ではあるが、上記の各層の光の吸収・反射があるので一般的には80%以下である。   The ideal visible light transmittance is ideally 100%, but is generally 80% or less because of the light absorption / reflection of each layer described above.

上記透明導電性積層体において、標準光源を透明材層側から2°で入射した場合、波長700nmの2°反射率が10%以下であることが好ましく、5%以下であることが更に好ましい。2°反射率が上記の値よりも高くなると、斜めから見た反射色が赤色になり、良好な反射特性が得られないことがある。   In the transparent conductive laminate, when a standard light source is incident at 2 ° from the transparent material layer side, the 2 ° reflectance at a wavelength of 700 nm is preferably 10% or less, and more preferably 5% or less. When the 2 ° reflectance is higher than the above value, the reflected color viewed from an oblique direction becomes red, and good reflection characteristics may not be obtained.

本発明において、各薄膜層形成に用いられる成膜装置は一般にいうロールコーター装置が望ましい。ロールコーターはターゲット、成膜用ガスなどのリソース、成膜条件、基板搬送、真空ポンプ制御などのアプリケーション、雰囲気分離のための隔壁などが1組になった成膜室を2個以上有することが好ましく、5個以上有することが最も好ましい。   In the present invention, a film coater used for forming each thin film layer is preferably a generally called roll coater. A roll coater may have two or more film forming chambers, each of which includes a target, resources such as a film forming gas, film forming conditions, substrate transfer, vacuum pump control, and a partition for atmosphere separation. It is preferable to have 5 or more.

本発明の透明導電層は、メッシュフィルムの場合と異なり、電磁波シールド面全体を覆っており、ディスプレイの表示分解能を落とすことがない。また、近赤外線の反射能も兼ね備えており、更に生産性の高いロール・トゥー・ロールプロセスで生産することが可能であり、各種用途へ適用する際にロール・トゥ・シート加工が可能であるなど多くの優れた特徴を有しており、本発明の目的に良く合致する。   Unlike the case of the mesh film, the transparent conductive layer of the present invention covers the entire electromagnetic shielding surface and does not degrade the display resolution of the display. It also has near-infrared reflectivity, can be produced with a more productive roll-to-roll process, and can be rolled to sheet when applied to various applications. It has many excellent features and meets the objectives of the present invention.

本発明の透明導電性積層体をディスプレイ用フィルタとして使用する場合は、上記の透明導電層上に機能性透明層を積層する。機能性透明層は、透明導電層の上に直接形成された機能膜そのものを指す場合や機能膜を設けたフィルムを指す場合がある。機能性透明層がフィルムの場合は、透明導電性積層体上に透明な粘着剤、接着剤を介して貼り合せればよい。機能性透明層の機能としては、反射防止機能、防眩機能、調色機能、粘着機能、防汚機能、静電防止機能、赤外線カット機能、紫外線カット機能等が挙げられる。好ましい例として具体的には、特願平9−132343号公報に記載された機能性透明層を用いることが出来る。   When the transparent conductive laminate of the present invention is used as a display filter, a functional transparent layer is laminated on the transparent conductive layer. The functional transparent layer may indicate a functional film itself directly formed on the transparent conductive layer or a film provided with a functional film. When the functional transparent layer is a film, it may be bonded to the transparent conductive laminate via a transparent pressure-sensitive adhesive or adhesive. Examples of the function of the functional transparent layer include an antireflection function, an antiglare function, a toning function, an adhesive function, an antifouling function, an antistatic function, an infrared cut function, and an ultraviolet cut function. Specifically, a functional transparent layer described in Japanese Patent Application No. 9-132343 can be used as a preferred example.

本発明のディスプレイ用フィルタは、ニュートラルグレーまたはニュートラルブルーの透過色が好ましく、透明導電性フィルムの光学設計による調色と可視領域に吸収のある色素を用いてことによる調色を併用することがある。ここでいう調色とは、ディスプレイの色純度を向上させたり、コントラストを向上させたりすることである。その場合、ディスプレイの要求性能によって変わるので特に制限は受けないが、調色後の可視光線透過率(Tvis)は30%以上70%以下が好ましい。   The display filter of the present invention preferably has a neutral gray or neutral blue transmission color, and may use a combination of toning by optical design of the transparent conductive film and toning by using a dye having absorption in the visible region. . Toning as used herein refers to improving the color purity of the display or improving the contrast. In that case, since it varies depending on the required performance of the display, it is not particularly limited, but the visible light transmittance (Tvis) after toning is preferably 30% or more and 70% or less.

調色に用いる色素は可視域に所望の吸収波長を有する一般の染料または顔料でよく、特にその種類は限定されるものではないが、ディスプレイ自体の特性およびディスプレイの使用される目的・環境に応じた耐熱性、耐湿性、耐光性等を有する色素を用いることが肝要である。色素を含有させる方法としては、透明基板(A)に含有させたり、機能性透明層(F)の形成材料に含有させたり、貼りあわせに使用される透明粘着材に含有させたりする。     The dye used for toning may be a general dye or pigment having a desired absorption wavelength in the visible range, and the type is not particularly limited, but it depends on the characteristics of the display itself and the purpose and environment of the display. It is important to use a pigment having heat resistance, moisture resistance, light resistance and the like. As a method of containing a pigment, it is contained in the transparent substrate (A), contained in the functional transparent layer (F) forming material, or contained in a transparent adhesive used for bonding.

以下、実施例により本発明を説明する。
なお、評価項目・評価方法に関しては以下のようにして行なった。
(1)可視光線透過率(%)分光光度計[(株)日立製、製品名:U−3500型]を用いて、得られた分光特性より、JIS R 3106に準じて計算した。評価サンプルは実際に表示装置に応用される電磁波フィルタと同じ構造に加工した。構造はガラス/透明粘着材/透明導電性積層体/透明粘着材/無反射フィルムとした。透明粘着材は屈折率が1.5のものを使用した。
(2)表面抵抗率(Ω/□)
4探針式表面抵抗率測定装置[三菱化学(株)製、製品名:ロレスタSP]を用いて得られた各試料の任意の13点を測定し、その平均値を用いた。
(3)2°反射色度、60°反射色度
分光光度計[PerkinElmer製、製品名:Lambda900]を用いて(1)のサンプル構造にて2°反射は全反射測定により、60°反射はVN法による角度固定絶対反射率測定より得られた分光特性より、JIS Z 8729に準じてL*a*b*値を計算した。計算にはC光源を用いた。
Hereinafter, the present invention will be described by way of examples.
The evaluation items and evaluation methods were performed as follows.
(1) Visible light transmittance (%) Using a spectrophotometer [manufactured by Hitachi, Ltd., product name: U-3500 type], calculation was performed according to JIS R 3106 from the obtained spectral characteristics. The evaluation sample was processed into the same structure as the electromagnetic wave filter actually applied to the display device. The structure was glass / transparent adhesive / transparent conductive laminate / transparent adhesive / non-reflective film. A transparent adhesive having a refractive index of 1.5 was used.
(2) Surface resistivity (Ω / □)
Arbitrary 13 points of each sample obtained by using a 4-probe type surface resistivity measuring device [product name: Loresta SP, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation] were measured, and the average value was used.
(3) 2 ° reflection chromaticity, 60 ° reflection chromaticity Using a spectrophotometer [manufactured by PerkinElmer, product name: Lambda900], the sample structure of (1) is 2 ° reflection by total reflection measurement, 60 ° reflection is L * a * b * values were calculated according to JIS Z 8729 from the spectral characteristics obtained from the fixed angle absolute reflectance measurement by the VN method. A C light source was used for the calculation.

(実施例1)
厚み50μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(帝人株式会社製、製品名:OX)の一方の主面上にPETフィルム側から酸化インジウム薄膜/銀薄膜/チタン薄膜/酸化インジウム薄膜/銀薄膜/チタン薄膜/酸化インジウム薄膜/銀薄膜/チタン薄膜/酸化インジウム薄膜/銀薄膜/チタン薄膜/酸化インジウム薄膜/銀薄膜/チタン薄膜/酸化インジウム薄膜の積層構造からなり、それぞれの厚みが35/8/3/80/11/3/80/11/3/80/11/3/80/8/3/35nmである透明導電性フィルムを得た。dDE/dは約7.9であり、透明基板側より1および5番目の銀薄膜層の厚みは、他の銀薄膜層厚みの平均値に対し、約73%である。
なお、酸化インジウム薄膜の形成は、ターゲットにインジウムを用い、圧力が0.01Paとなるように排気した後、スパッタリングガス流量比をアルゴンガス:酸素ガス=1:1とし、全圧が0.5Paになるまで導入した。この状態でマグネトロンDCスパッタリング法により成膜した。
また、銀薄膜の形成は、ターゲットに銀を用い、圧力が0.01Paとなるように排気した後、全圧が0.5Paになるまでアルゴンガスを導入した。この状態でマグネトロンDCスパッタリング法により成膜した。
チタン薄膜の形成は、ターゲットにチタンを用い、圧力が0.01Paとなるように排気した後、全圧が0.5Paになるまでアルゴンガスを導入した。この状態でマグネトロンDCスパッタリング法により成膜した。
実際ディスプレイに応用される形態にするためガラス/透明粘着材/透明導電性フィルム/透明粘着材/無反射フィルムの構造に加工し、全光線透過率、表面抵抗率、2°反射色度、60°反射色度を上記方法により測定し、結果を表1にまとめた。波長700nmの2゜反射率は3%であった。
Example 1
An indium oxide thin film / silver thin film / titanium thin film / indium oxide thin film / silver thin film / titanium thin film from the PET film side on one main surface of a polyethylene terephthalate (PET) film (product name: OX manufactured by Teijin Limited) having a thickness of 50 μm / Indium oxide thin film / silver thin film / titanium thin film / indium oxide thin film / silver thin film / titanium thin film / indium oxide thin film / silver thin film / titanium thin film / indium oxide thin film, each having a thickness of 35/8/3 / A transparent conductive film having a thickness of 80/11/3/80/11/3/80/11/3/80/8/3/35 nm was obtained. d DE / d M is about 7.9, and the thicknesses of the first and fifth silver thin film layers from the transparent substrate side are about 73% with respect to the average value of the other silver thin film layer thicknesses.
The indium oxide thin film is formed by using indium as a target and exhausting the pressure so that the pressure becomes 0.01 Pa. Then, the sputtering gas flow rate ratio is set to argon gas: oxygen gas = 1: 1, and the total pressure is 0.5 Pa. Introduced until. In this state, a film was formed by magnetron DC sputtering.
In forming the silver thin film, silver was used as a target, and after evacuating the pressure to 0.01 Pa, argon gas was introduced until the total pressure reached 0.5 Pa. In this state, a film was formed by magnetron DC sputtering.
The titanium thin film was formed by using titanium as a target, evacuating the pressure to 0.01 Pa, and then introducing argon gas until the total pressure reached 0.5 Pa. In this state, a film was formed by magnetron DC sputtering.
In order to make it into a form that is actually applied to a display, it is processed into a structure of glass / transparent adhesive material / transparent conductive film / transparent adhesive material / non-reflective film, total light transmittance, surface resistivity, 2 ° reflection chromaticity, 60 The reflection chromaticity was measured by the above method, and the results are summarized in Table 1. The 2 ° reflectance at a wavelength of 700 nm was 3%.

(比較例1)
厚み75μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(帝人株式会社製、製品名:OGX)の一方の主面上にPETフィルム側から酸化インジウム薄膜/銀薄膜/酸化インジウム薄膜/銀薄膜/酸化インジウム薄膜/銀薄膜/酸化インジウム薄膜/銀薄膜/酸化インジウム薄膜の積層構造からなり、それぞれの厚みが40/10/75/13/75/13/75/13/40nmである透明導電性フィルムを得た。dDE/d は6.2であり、透明基板側より1番目の銀薄膜層の厚みは、他の銀薄膜層厚みの平均値に対し約77%であり、4番目の銀層の厚みは、他の銀薄膜層厚みの平均値に対し100%であった。
(Comparative Example 1)
A 75 μm thick polyethylene terephthalate (PET) film (manufactured by Teijin Limited, product name: OGX) on one main surface, from the PET film side, indium oxide thin film / silver thin film / indium oxide thin film / silver thin film / indium oxide thin film / silver A transparent conductive film having a laminated structure of a thin film / indium oxide thin film / silver thin film / indium oxide thin film having a thickness of 40/10/75/13/75/13/75/13/40 nm was obtained. d DE / d M is 6.2, and the thickness of the first silver thin film layer from the transparent substrate side is about 77% with respect to the average thickness of the other silver thin film layers, and the thickness of the fourth silver layer is Was 100% of the average value of the other silver thin film layer thicknesses.

なお、酸化インジウム―錫薄膜の形成は、ターゲットに酸化インジウム―錫を用い、圧力が0.01Paとなるように排気した後、スパッタリングガス流量比をアルゴンガス:酸素ガス=100:7とし、全圧が0.5Paになるまで導入した。この状態でマグネトロンDCスパッタリング法により成膜した。
また、銀薄膜の形成は、ターゲットに銀を用い、圧力が0.01Paとなるように排気した後、全圧が0. 5Paになるまでアルゴンガスを導入した。この状態でマグネトロンDCスパッタリング法により成膜した。
The indium oxide-tin thin film was formed by using indium-tin oxide as a target, exhausting the pressure to 0.01 Pa, setting the sputtering gas flow ratio to argon gas: oxygen gas = 100: 7, It was introduced until the pressure reached 0.5 Pa. In this state, a film was formed by magnetron DC sputtering.
The silver thin film is formed by using silver as a target and exhausting the pressure so that the pressure becomes 0.01 Pa. Argon gas was introduced until the pressure reached 5 Pa. In this state, a film was formed by magnetron DC sputtering.

実際ディスプレイに応用される形態にするためガラス/透明粘着材/透明導電性フィルム/透明粘着材/無反射フィルムの構造に加工し、全光線透過率、表面抵抗率、2°反射色度、60°反射色度を実施例1と同様にして測定した。結果を表1に示す。
波長700nmの2゜反射率は40%であった。
In order to make it into a form that is actually applied to a display, it is processed into a structure of glass / transparent adhesive material / transparent conductive film / transparent adhesive material / non-reflective film, total light transmittance, surface resistivity, 2 ° reflection chromaticity, 60 The reflection chromaticity was measured in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.
The 2 ° reflectance at a wavelength of 700 nm was 40%.

Figure 2006120916
Figure 2006120916

Claims (9)

透明基板(A)の一方の主面上に高屈折率透明薄膜層(B)と少なくとも銀を含む金属薄膜層(C)を(B)/(C)を繰り返し単位として4回から7回繰り返し積層し、その上に高屈折率透明薄膜層(B)を積層して透明導電層を形成したのち、さらに該透明導電層上に透明材層を少なくとも一層形成した透明導電性積層体であって、標準光源Cを該透明材層側から入射角60°で入射した場合、透明材層側から測定したL*a*b*表色系C*値が20以下であることを特徴とする透明導電性積層体。 A high refractive index transparent thin film layer (B) and a metal thin film layer (C) containing at least silver on one main surface of the transparent substrate (A) are repeated 4 to 7 times with (B) / (C) as a repeating unit. A transparent conductive laminate in which a high refractive index transparent thin film layer (B) is laminated thereon to form a transparent conductive layer, and at least one transparent material layer is further formed on the transparent conductive layer. When the standard light source C is incident from the transparent material layer side at an incident angle of 60 °, the L * a * b * color system C * value measured from the transparent material layer side is 20 or less. Conductive laminate. 前記金属薄膜層(C)の片面または両面にキャップ層が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の透明導電性積層体。 The transparent conductive laminate according to claim 1, wherein a cap layer is formed on one side or both sides of the metal thin film layer (C). 標準光源Cを透明材層側から入射角2°で入射した場合、透明材層側から測定した色度座標a*およびb*値が、それぞれ−15≦a*≦15および−40≦b*≦0であることを特徴とする請求項1に記載の透明導電性積層体。 When the standard light source C is incident from the transparent material layer side at an incident angle of 2 °, the chromaticity coordinates a * and b * values measured from the transparent material layer side are −15 ≦ a * ≦ 15 and −40 ≦ b *, respectively. The transparent conductive laminate according to claim 1, wherein ≦ 0. 透明導電層の表面抵抗値Rが0.1Ω/□≦R≦2.5Ω/□であり、かつ、可視域透過率Tvisが40%≦Tvis≦80%であることを特徴とする請求項1または2に記載の透明導電性積層体。 2. The surface resistance value R of the transparent conductive layer is 0.1Ω / □ ≦ R ≦ 2.5Ω / □, and the visible region transmittance Tvis is 40% ≦ Tvis ≦ 80%. Or the transparent conductive laminated body of 2. 高屈折率透明薄膜層(B)の総厚みをdDE、金属薄膜層(C)の総厚みをdとした場合、dDE/dが7.0以上であり、かつ、(B)/(C)の繰り返し積層数をnとすると、透明基板側より1およびn番目の金属薄膜層(C)の厚みが他の金属薄膜層(C)の厚みの平均値に対し、60〜80%の厚みで成膜されていることを特徴とする請求項1〜3いずれかに記載の透明導電性積層体。 When the total thickness of the high refractive index transparent thin film layer (B) is d DE and the total thickness of the metal thin film layer (C) is d M , d DE / d M is 7.0 or more, and (B) When the number of repeated layers of / (C) is n, the thickness of the first and nth metal thin film layers (C) from the transparent substrate side is 60 to 80 with respect to the average value of the thicknesses of the other metal thin film layers (C). The transparent conductive laminate according to claim 1, wherein the transparent conductive laminate is formed with a thickness of about 1%. 透明材層側から測定した波長700nmの2°反射率が10%以下であることを特徴とする請求項1に記載の透明導電性積層体。 The transparent conductive laminate according to claim 1, wherein the 2 ° reflectance at a wavelength of 700 nm measured from the transparent material layer side is 10% or less. 請求項1〜6いずれかに記載の透明導電性積層体を含むディスプレイ用フィルタ。 A display filter comprising the transparent conductive laminate according to claim 1. 色素を含有することを特徴とする請求項7記載のディスプレイ用フィルタ。 The display filter according to claim 7, further comprising a dye. 請求項7または8に記載のフィルタを用いたプラズマディスプレイ。 A plasma display using the filter according to claim 7 or 8.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2015172803A (en) * 2014-03-11 2015-10-01 コニカミノルタ株式会社 Transparent electro-conductor, manufacturing method for the same, and electro-conductive paste
JP2015228363A (en) * 2014-05-07 2015-12-17 Tdk株式会社 Laminated transparent conductive film
CN111285620A (en) * 2020-03-25 2020-06-16 四川猛犸半导体科技有限公司 Thin film device

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