JP2006116633A - 硬質被膜被覆工具、コーティング被膜、および被膜のコーティング方法 - Google Patents
硬質被膜被覆工具、コーティング被膜、および被膜のコーティング方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 スパッタリング法により硬質被膜をコーティングする際の前処理として、工具母材20に−200Vのバイアス電圧を印加してエッチング(表面荒し処理)を行う際に、そのバイアス電圧を250kHzの周波数で周期的に印加するとともに、1周期毎の負電圧の非印加時間(パルスリバースタイム)を500nsec程度としたため、工具母材20に対する硬質被膜の付着強度が向上し、スクラッチ試験における臨界荷重で100N以上の優れた付着強度が得られるようになり、剥離等による脱落が抑制されて、切削工具として実用上満足できる耐久性が得られる。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明が適用されたボールエンドミル10を示す図で、(a) は軸心と直角方向から見た正面図、(b) は先端側から見た底面図、(c) は表面近傍の拡大断面図である。このボールエンドミル10は、円柱形状のシャンク12と、そのシャンク12と同軸上に設けられた刃部14とを一体に備えており、刃部14には、先端の半球状部に軸心に対して対称的に一対のボール刃16が設けられているとともに、そのボール刃16に連続して軸心まわりに捩じれた外周刃18が溝に沿って設けられている。そして、軸心まわりに回転駆動されつつ被削材に対して相対移動させられることにより、上記ボール刃16および外周刃18によって切削加工が行われる。
(加工条件)
被加工部材:S45C
盛上げ加工速度:10m/min
下穴形状:通り穴、φ2.55×6mm
有効長さ:6mm
切削油剤:塩素フリータイプ水溶性
使用機械:立型マシニングセンタ
(加工条件)
被削材:S50C
加工方法:側面切削(ダウンカット)
切削速度:200m/min
送り速度:0.05mm/t
切込み:aa=10mm、ar=0.1mm
切削油剤:エアブロー
(加工条件)
被削材:SUS304
加工方法:側面切削(ダウンカット)
切削速度:50m/min
送り速度:0.03mm/t
切込み:aa=10mm、ar=0.1mm
切削油剤:エアブロー
Claims (5)
- 工具母材の表面に硬質被膜がコーティングされている硬質被膜被覆工具において、
前記硬質被膜はスパッタリング法によって設けられているとともに、前記工具母材に対する該硬質被膜の付着強度はスクラッチ試験における臨界荷重で80N以上であり、
該硬質被膜の表面に存在するマクロパーティクルの最大径は10μm以下で、且つ、該硬質被膜を垂直方向から見た平面視において該マクロパーティクルが占める面積の割合は10%以下である
ことを特徴とする硬質被膜被覆工具。 - 所定の母材の表面にスパッタリング法によって設けられるコーティング被膜であって、
前記母材に対する付着強度はスクラッチ試験における臨界荷重で80N以上であるとともに、
被膜表面に存在するマクロパーティクルの最大径は10μm以下で、且つ、該硬質被膜を垂直方向から見た平面視において該マクロパーティクルが占める面積の割合は10%以下である
ことを特徴とするコーティング被膜。 - 母材に負のバイアス電圧を印加することにより該母材の表面に正イオンを衝突させて表面荒し処理を行った後に、スパッタリング法により該母材の表面に被膜をコーティングする方法であって、
前記表面荒し処理を行う際に前記バイアス電圧を周期的に変化させる
ことを特徴とする被膜のコーティング方法。 - 前記負のバイアス電圧を、0より大きく且つ350kHz以下の所定の周波数で周期的に印加する
ことを特徴とする請求項3に記載の被膜のコーティング方法。 - 前記負のバイアス電圧を、150〜350kHzの範囲内の周波数で周期的に印加するとともに、1周期毎の負電圧の非印加時間は50〜2000nsecの範囲内である
ことを特徴とする請求項4に記載の被膜のコーティング方法。
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2004
- 2004-10-20 JP JP2004305663A patent/JP2006116633A/ja active Pending
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