JP2006114914A - リソグラフィ・システム、リソグラフィ・システム内の光路の透過特性を調整するための方法、半導体デバイス、リソグラフィ・システムに使用するための反射エレメントを製造する方法、およびそれによって製造される反射エレメント - Google Patents
リソグラフィ・システム、リソグラフィ・システム内の光路の透過特性を調整するための方法、半導体デバイス、リソグラフィ・システムに使用するための反射エレメントを製造する方法、およびそれによって製造される反射エレメント Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明のリソグラフィ・システムは、放射線ビームを提供する放射線システムと、放射線ビームの状態を整えるように構成された照明システムと、投影ビームの断面にパターンを付与するパターン化デバイスを支持するように構成されたサポートと、基板を保持する基板テーブルと、パターン化されたビームを基板のターゲット部分に投射する投影システムと、光路に沿って配置された透過アダプタとを有している。放射線システムは、放射線ビームを生成する放射線源を含む。放射線ビームおよび/またはパターン化されたビームの波長の関数である強度プロファイルが、透過アダプタによって、所定の強度プロファイルに等しくなるように調整される。
【選択図】図5
Description
(1)ステップ・モード
ステップ・モードでは、マスク・テーブルMTおよび基板テーブルWTが基本的に静止状態に維持され、投影ビームに付与されたパターン全体がターゲット部分Cに1回で投影される(すなわち単一静止露光)。次に、基板テーブルWTがXおよび/またはY方向にシフトされ、異なるターゲット部分Cが露光される。ステップ・モードでは、露光視野の最大サイズによって、単一静止露光で画像化されるターゲット部分Cのサイズが制限される。
(2)走査モード
走査モード(スキャン・モード)では、投影ビームに付与されたパターンがターゲット部分Cに投影されている間に、マスク・テーブルMTおよび基板テーブルWTが同期走査される(すなわち単一動的露光)。マスク・テーブルMTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPLの倍率(縮小率)および画像反転特性によって決定される。走査モードでは、露光視野の最大サイズによって、単一動的露光におけるターゲット部分の非走査方向の幅が制限され、また走査運動の長さによってターゲット部分の高さ(走査方向の高さ)が決定される。
(3)その他のモード
その他モードでは、プログラム可能パターン化デバイスを保持するためにマスク・テーブルMTが基本的に静止状態に維持され、また投影ビームに付与されたパターンがターゲット部分Cに投影されている間に基板テーブルWTが移動もしくは走査される。このモードでは通常、パルス放射線源が使用され、走査中、基板テーブルWTが移動する毎に、あるいは連続する放射線パルスと放射線パルスの間に、必要に応じてプログラム可能パターン化デバイスが更新される。この動作モードは、上述したタイプのプログラム可能ミラー・アレイなどのプログラム可能パターン化デバイスを利用しているマスクレス・リソグラフィに容易に適用することができる。
2 放射線システム
4 照明光学系ユニット
7 ソース・チャンバ(放射線源チャンバ)
8 コレクタ・チャンバ
9 汚染トラップ(ガス障壁)
10 放射線コレクタ
11 回折格子スペクトル・フィルタ
12 仮想ソース・ポイント
13、14 垂直入射リフレクタ
16 コレクタ・チャンバから入射するビーム
17 パターン化されたビーム(パターンを付与されたビーム)
18、19 反射エレメント
29 外部コンピュータ・システム
30 調整システム(透過アダプタ)
31 測定デバイス
32 制御ユニット
34 放射線コレクタを介して到達する放射線
35 波長がλIの放射線成分
36 波長がλIIの放射線成分
37 波長がλIIIの放射線成分
38、39、40 調整エレメント
45 光学エレメント
46 多層コーティング
47 キャッピング層
BP ベース・プレート
C 基板のターゲット部分
IF1、IF2 位置センサ
IL 照明システム(イルミネータ)
MA パターン化デバイス(マスク)
MT サポート(マスク・テーブル)
M1、M2 マスク・アライメント・マーク
O 光軸
PB 放射線ビーム
PL 投影システム(投影レンズ系)
PM 第1の位置決めデバイス
PW 第2の位置決めデバイス
P1、P2 基板アライメント・マーク
SO 放射線源
W 基板
WT 基板テーブル
Claims (29)
- 放射線ビームを提供するように構成された放射線システムと、
前記放射線ビームの状態を整えるように構成された照明システムと、
パターン化デバイスを支持するように構成されたサポートであって、前記パターン化デバイスは、パターン化された放射線ビームを提供するために前記放射線ビームの断面にパターンを付与するように構成されているサポートと、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
パターン化された前記放射線ビームを前記基板のターゲット部分に投射するように構成された投影システムと、
前記放射線ビームの波長の関数としての前記放射線ビームの第1の強度プロファイルを調整して、所定の強度プロファイルに実質的に等しくなるようにする透過アダプタと
を有するリソグラフィ・システム。 - 前記所定の強度プロファイルが、等化されたプロファイルである、請求項1に記載のリソグラフィ・システム。
- 前記透過アダプタが動的構成のエレメントである、請求項1に記載のリソグラフィ・システム。
- 前記動的構成が、
前記第1の強度プロファイルまたは第2の強度プロファイルのいずれかを測定して、測定強度プロファイル信号を提供するように構成された測定デバイスと、
前記測定強度プロファイル信号に基づいて少なくとも1つの制御信号を決定し、且つ前記少なくとも1つの制御信号を前記透過アダプタに提供することによって、前記透過アダプタを制御するように構成された制御ユニットと
を有している、請求項3に記載のリソグラフィ・システム。 - 前記測定デバイスが、前記放射線源と前記透過アダプタの間の光路に沿って配置されており、また前記制御ユニットによって提供される前記少なくとも1つの制御信号がフィードフォワード信号である、請求項4に記載のリソグラフィ・システム。
- 前記測定デバイスが、前記透過アダプタと前記基板テーブルの間の光路に沿って配置されており、また前記制御ユニットによって提供される前記少なくとも1つの制御信号がフィードバック信号である、請求項4に記載のリソグラフィ・システム。
- 前記透過アダプタが少なくとも1つの光変調器を有し、該少なくとも1つの光変調器は、前記制御ユニットによって提供される前記少なくとも1つの制御信号を受けて、前記放射線ビームの一部の少なくとも1つの光学特性を動的に変調するように構成されている、請求項4に記載のリソグラフィ・システム。
- 前記少なくとも1つの光学特性が、ビームの方向、波長毎のビームの方向、ビームの強度および波長毎のビームの強度を含む群から選択される、請求項7に記載のリソグラフィ・システム。
- 前記透過アダプタが静的構成のエレメントである、請求項1に記載のリソグラフィ・システム。
- 前記リソグラフィ・システムが前記パターン化デバイスを有し、前記透過アダプタが、前記パターン化デバイスのdスペーシング、前記パターン化デバイスのキャッピング層、および交換可能フィルタを含む群のうちのいずれか1つであるように選択される、請求項9に記載のリソグラフィ・システム。
- 前記静的構成における前記透過アダプタが、ミラー基板と第1の厚さを有する第1の層と第2の厚さを有する第2の層とを含む反射エレメントを有しており、また各層は、前記リソグラフィ・システムに使用される放射線に対して異なる透過性を有している、請求項9に記載のリソグラフィ・システム。
- 前記反射エレメントが、第3の厚さを有するキャッピング層をさらに含む、請求項11に記載のリソグラフィ・システム。
- 前記放射線システムが放射線源をさらに有し、該放射線源は、気体混合物が充填された放射線源チャンバを有し、前記透過アダプタは、前記放射線源チャンバ内の前記気体混合物の密度、圧力および組成のうちの少なくとも1つを調整するように構成されている、請求項1に記載のリソグラフィ・システム。
- 前記気体混合物が、Ar、Xe、Kr、Li、N2、O2およびH2を含む気体の群と、SnおよびInを含む蒸気の群とから選択される少なくとも1つの元素を含有している、請求項13に記載のリソグラフィ・システム。
- 前記透過アダプタは、前記放射線ビームがパターン化される前に前記第1の強度プロファイルを調整するように構成されている、請求項1に記載のリソグラフィ・システム。
- 前記透過アダプタは、前記放射線ビームがパターン化された後に前記第1の強度プロファイルを調整するように構成されている、請求項1に記載のリソグラフィ・システム。
- リソグラフィ・システム内の光路の透過特性を調整するための方法であって、
放射線ビームを提供するステップと、
前記放射線ビームの断面をパターン化するステップと、
パターン化された前記放射線ビームを基板のターゲット部分に投射するステップと、
前記放射線ビームの波長の関数としての前記放射線ビームの第1の強度プロファイルを、所定の強度プロファイルに実質的に等しくなるように調整するステップと
を含む透過特性調整方法。 - 前記所定の強度プロファイルが、等化されたプロファイルである、請求項17に記載の方法。
- 前記第1の強度プロファイルまたは第2の強度プロファイルのいずれかを測定するステップと、
測定強度プロファイル信号を提供するステップと、
前記第1の強度プロファイルを調整するために前記測定強度プロファイル信号を使用するステップと
をさらに含む、請求項17に記載の方法。 - 前記第1の強度プロファイルは、前記放射線ビームがパターン化される前に調整される、請求項17に記載の方法。
- 前記第1の強度プロファイルは、前記放射線ビームがパターン化された後に調整される、請求項17に記載の方法。
- 請求項17に記載の方法に従って製造された半導体デバイス。
- リソグラフィ・システムに使用するための反射エレメントを製造する方法であって、該反射エレメントが、ミラー基板と、第1の厚さを有する第1の層と、第2の厚さを有する第2の層とを有し、各層は、前記リソグラフィ・システムに使用される放射線に対して異なる透過性を有している反射エレメントの製造方法において、
所定の放射線源によって放出される放射線の波長の関数として強度プロファイルを測定するステップと、
前記測定した強度プロファイルに基づいて前記第1の厚さおよび第2の厚さの少なくともいずれか一方の個別値を計算し、それによって前記強度プロファイルが、前記反射エレメントに衝突する際の前記放射線の所定の帯域幅内の所定のプロファイルに実質的に等しくなるように、前記強度プロファイルを調整するステップと、
前記ミラー基板を提供するステップと、
前記第1の厚さを有する前記第1の層を提供するステップと、
前記第2の厚さを有する前記第2の層を提供するステップと
を含む反射エレメントの製造方法。 - 前記第1の層が、Mo、Nbおよびそれらの組み合わせを含む群から選択された材料を含有している、請求項23に記載の方法。
- 前記第2の層が、Be、B、C、B4C、SiC、Siおよびそれらの組み合わせを含む群から選択された材料を含有している、請求項23に記載の方法。
- 前記測定した強度プロファイルに基づいてキャッピング層の第3の厚さを計算するステップと、
前記第3の厚さを有する前記キャッピング層を前記第1および第2の層の上に提供するステップと
をさらに含む、請求項23に記載の方法。 - 前記キャッピング層が、Au、Pt、RuおよびSiO2を含む群から選択された材料を含有している、請求項26に記載の方法。
- 請求項23に記載の方法に従って製造された反射エレメント。
- 自身に衝突する放射線ビームを複数のビームレットに分割するように構成された回折光学エレメントであって、各ビームレットは異なる方向に回折され、また各ビームレットは、前記放射線ビームの帯域幅より狭い別個の所定の波長帯域幅の光を有している回折光学エレメントと、
前記複数のビームレットを変調するようになされた光変調器と
を有する、リソグラフィ・システムに使用するためのアセンブリ。
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