JP2006113322A - 透明電極付きバリアフィルム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明プラスチックフィルム17の片面上に、酸化珪素(SiOx)または窒化珪素(SiNy)もしくはこれらの混合物(SiNnOm)からなるバリア層2、アクリル保護層3を順次に積層し、他面上に密着層4、酸化珪素または窒化珪素もしくはこれらの混合物からなるバリア層5、アクリル保護層6、透明電極層7を順次に積層したこと。アクリル保護層が、アクリルフラッシュ蒸着で形成されたこと。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明による透明電極付きバリアフィルムの一実施例を示す断面図である。本発明に用いる透明プラスチックフィルムは、ポリエチレンテレフタレートフィルム(PET)、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム(PEN)、ポリカーボネートフィルム、ポリアリレートフィルム、ポリエーテルスルホンフィルム(PES)、ポリスルホンフィルム、アモルファスポリオレフィンフィルムなどがあげられる。透明プラスチックフィルムの厚みは任意であるが、一般的には数十μmから数百μmである。
本発明ではバリア層として酸化珪素(SiOx)または窒化珪素(SiNy)もしくはこれらの混合物(SiNnOm)を用いるため、組成のコントロールには上記に挙げた成膜法の内、プラズマCVD法が特に好ましいと考えられる。また、透明プラスチックフィルムがロールで支給されることを考えると巻き取り式の真空成膜装置を用いることが好ましい。
さらに、アクリル保護層はバリア層を成膜する真空蒸着機と同一の真空層内で成膜される
ことが好ましい。また、真空中でポリマー層を成膜する利点としては生産性の向上だけでなく、成膜面が非常に平滑であることや、成膜後の大気開放による膜表面の汚染がないために密着性が向上する点などがあげられる。
それだけでなく内部応力の高い透明電極層を成膜した場合、それまでは問題のなかったバリア層と透明プラスチックフィルム間の密着性が低下してしまい、膜剥がれや、クラックの原因となる可能性があるので、これらの発生を防止する有効な手段である。この密着層は、予めバリア層を成膜する前にウェットコーティング等で成膜しておくことも可能であるが、上述のアクリルフラッシュ蒸着で成膜することも可能である。
スッパッタリングによるITOの成膜は、DC(直流)スパッタリング法、高周波スパッ
タリング法、マグネトロンスパッタリング法、デュアルマグネトロンスパッタリング法等があり、従来の公知の技術を用いることができる。
スパッタリング法による成膜は、ターゲットにアルミニウムを用いチャンバー内にアルゴンガス等の不活性ガスを導入し、ターゲットのアルミニウムを表面に設置した電極にDC、高周波、又はパルス電圧を印可することにより成膜が可能である。また、ターゲットを設置する電極内部に永久磁石又は電磁石を設置し、磁界を利用したマグネトロンスパッタリングを用いて成膜しても良い。
また、巻き取り室12内には、反転可能な巻き取り/巻出し軸15、16が設置されており、透明プラスチックフィルムの双方向の巻取りが可能である。
本発明による透明電極付きバリアフィルムでは、保護層及び密着層を設けることにより、これら透明電極のパターニング工程からバリア層を保護して耐エッチング耐性を付与し、バリア劣化のないフィルムを得ることが可能となる。
。
上述した巻き取り式の真空成膜装置8を用いて、第一巻き取り/巻出し軸15に厚さ200μmのロール状のポリエーテルスルホン(PES)フィルムをセットし、まず、プラズマCVD成膜部9において、有機珪素化合物としてヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)を50℃で気化させたものを、HMDSO/酸素=5/50の流量比で真空成膜装置の電極へと導入し、RF電源を用いてプラズマを発生させ、100nmの膜厚の酸化珪素層をフィルムの表面上に作製した。
予め、Caを蒸着しないでガラス基板とフィルムを張り合わせた場合の光線透過率を測定する。この値をTfとする。次に得られた水蒸気バリア性評価用サンプルを60℃、90%Rhの環境下に保存し、光線透過率を測定する。この値をTとする。初期の光線透過率をT0とすると、消費されたCa層の膜厚の割合は次の式で与えられる。
この消費されたCa層の割合から、反応した水分量を求め、水蒸気バリア性を測定する。この方法によると、光線透過率10%変化で約7.0×10-3g/m2の水分の透過量となる。
水蒸気バリア性については上述したCa法にて実施例1及び比較例1について評価を行った。測定サンプルについてはCa層を50nm蒸着した場合のT0の値は40%、ガラス基板とフィルムを張り合わせたTfの値は90%であった。得られた測定サンプルを60℃、90%Rhの環境下に保存し、その水蒸気バリア性を算出した結果を図3、図4に示す。
2、5・・・バリア層
3、6・・・アクリル保護層
4・・・密着層
7・・・透明電極層
8・・・巻き取り式の真空成膜装置
9・・・プラズマCVD成膜部
10・・・アクリルフラッシュ蒸着成膜部
11・・・スパッタリング成膜部
12・・・巻き取り室
13・・・成膜室
14・・・温調入りドラム
15・・・第一巻き取り/巻出し軸
16・・・第二巻き取り/巻出し軸
17・・・ロール状の透明プラスチックフィルム
Claims (3)
- 透明プラスチックフィルムの片面上に、酸化珪素(SiOx)または窒化珪素膜(SiNy)もしくはこれらの混合物(SiNnOm)からなるバリア層、アクリル保護層を順次に積層し、他面上に密着層、酸化珪素または窒化珪素もしくはこれらの混合物からなるバリア層、アクリル保護層、透明電極層を順次に積層したことを特徴とする透明電極付きバリアフィルム。
- 前記片面上のアクリル保護層及び他面上のアクリル保護層が、アクリルフラッシュ蒸着で形成されたアクリル保護層であることを特徴とする請求項1記載の透明電極付きバリアフィルム。
- 前記透明電極層をパターニングした後の水蒸気バリア性が0.01g/m2 /day(60℃、90%Rh)以下であり、酸素バリア性が0.001cm3 /m2 /day(30℃、70%Rh)以下であることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の透明電極付きバリアフィルム。
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