JP2006113067A - ガス測定センサ - Google Patents
ガス測定センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006113067A JP2006113067A JP2005299180A JP2005299180A JP2006113067A JP 2006113067 A JP2006113067 A JP 2006113067A JP 2005299180 A JP2005299180 A JP 2005299180A JP 2005299180 A JP2005299180 A JP 2005299180A JP 2006113067 A JP2006113067 A JP 2006113067A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffusion barrier
- gas
- chamber
- measurement
- sensor element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4071—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases using sensor elements of laminated structure
- G01N27/4072—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases using sensor elements of laminated structure characterized by the diffusion barrier
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Abstract
【課題】センサエレメントの測定機能が圧力脈動によって損なわれない、またはごく僅かしか損なわれないようなガス測定センサを提供する。
【解決手段】特に測定ガスの物理的特性を検出するための、有利には内燃機関の排ガスの酸素濃度を検出するためのガス測定センサであって、層状に形成されたセンサエレメント10が設けられており、該センサエレメントには測定ガス室44が設けられており、該測定ガス室内では固体電解質21,22に電極31,32が配置されている形式のものにおいて、センサエレメントが第1の拡散バリア41、第2の拡散バリア42、これら第1の拡散バリアと第2の拡散バリアとの間に配置された中空室43を有しており、測定ガス室44が、第1の拡散バリア、中空室43、第2の拡散バリアを介して、センサエレメントの外側にある測定ガスに接続されている。
【選択図】図2
【解決手段】特に測定ガスの物理的特性を検出するための、有利には内燃機関の排ガスの酸素濃度を検出するためのガス測定センサであって、層状に形成されたセンサエレメント10が設けられており、該センサエレメントには測定ガス室44が設けられており、該測定ガス室内では固体電解質21,22に電極31,32が配置されている形式のものにおいて、センサエレメントが第1の拡散バリア41、第2の拡散バリア42、これら第1の拡散バリアと第2の拡散バリアとの間に配置された中空室43を有しており、測定ガス室44が、第1の拡散バリア、中空室43、第2の拡散バリアを介して、センサエレメントの外側にある測定ガスに接続されている。
【選択図】図2
Description
本発明は、特に測定ガスの物理的特性を検出するための、有利には内燃機関の排ガスの酸素濃度を検出するためのガス測定センサであって、層状に形成されたセンサエレメントが設けられており、該センサエレメントには測定ガス室が設けられており、該測定ガス室内では固体電解質に電極が配置されている形式のものに関する。
測定ガス、例えば内燃機関の排ガス内の酸素濃度を検出するために働くこのような形式のガス測定センサはドイツ連邦共和国特許出願公開第10154869号明細書により公知である。このガス測定センサは、いわゆる広帯域ラムダセンサであって、その機能は例えば、オートモティブ・エレクトロニクス・ハンドブック(Automotive Electronics Handbook, Editor in chief : Ronald K. Jurgen, Second Edition, 1999, McGraw-Hill)に記載されている。
ガス測定センサは、扁平で縦長の層状に形成されたセンサエレメントを有していて、このセンサエレメントはガス測定センサのケーシングに気密に固定されている。センサエレメントは、第1の固体電解質層と第2の固体電解質層とを有していて、これらの固体電解質層の間には測定ガス室と拡散バリアとが配置されている。センサエレメントの外側に位置する測定ガスは、第1の固体電解質層に設けられたガス流入開口と、拡散バリアとを通って測定ガス室へと到る。測定ガス室には電極が配置されていて、この電極は第1の固体電解質シートによって、例えばセンサエレメントの外面上に配置されている別の電極に電気的に接続されている。電極間のポンプ電圧の印加により、酸素は一方の電極から他方の電極へと、ひいてはポンピング方向に応じて、測定ガス室へと、または測定ガス室からポンピングされ、これにより測定ガス室ではラムダ=1酸素分圧が生じる。測定ガスがラムダ=1よりも大きいまたは小さい酸素分圧を有するならば、拡散バリアにおいて酸素分圧に関して勾配が生じる。
(酸素濃度が同じ高さの場合に)測定ガスの圧力が高まると、測定ガス室におけるガスの圧力も高まる。このような圧力上昇の際に、拡散バリアの内側にあるガスは測定ガス室へと押し出される。しかしながら圧力上昇の前には、拡散バリア内にあるガスは、測定ガス室に面した側でのみ約ラムダ=1の酸素分圧を有している。逆の側では、酸素分圧は、センサエレメントの外側に位置する測定ガスの(高い)酸素分圧にほぼ相当する。高い酸素濃度(即ちラムダ>1)を有する測定ガスの場合、圧力上昇により拡散バリアから測定ガス室へと押し出された測定ガスはラムダ=1よりも大きい酸素分圧を有する。これにより、測定ガス室における突然の圧力上昇の際に、酸素分圧の突然の上昇が生じるが、この場合、センサエレメントの外側の測定ガスの酸素濃度は実際には上昇していない。
従ってこのような形式のセンサエレメントでは、いわゆる圧力脈動の際に、即ちセンサエレメントの外側で突然著しく圧力が上昇した際に、拡散バリア内の測定ガスが測定ガス室へと押し出され、これによりセンサエレメントの測定機能は悪化してしまう。
ドイツ連邦共和国特許出願公開第10154869号明細書
オートモティブ・エレクトロニクス・ハンドブック(Automotive Electronics Handbook, Editor in chief : Ronald K. Jurgen, Second Edition, 1999, McGraw-Hill)
そこで本発明の課題は、冒頭で述べた形式のガス測定センサを改良して、センサエレメントの測定機能が圧力脈動によって損なわれない、またはごく僅かしか損なわれないようなガス測定センサを提供することである。
この課題を解決するために本発明の構成では、センサエレメントが第1の拡散バリア、第2の拡散バリア、これら第1の拡散バリアと第2の拡散バリアとの間に配置された中空室を有しており、測定ガス室が、第1の拡散バリア、中空室、第2の拡散バリアを介して、センサエレメントの外側にある測定ガスに接続されているようにした。
本発明によれば、センサエレメントの測定機能が圧力脈動によって損なわれない、またはごく僅かしか損なわれないという利点が得られる。
このために、センサエレメントは第1の拡散バリアと第2の拡散バリアとを有しており、これら両拡散バリアの間に中空室が設けられている。測定ガスは(拡散抵抗D2を有する)第2の拡散バリア、中空室、(拡散抵抗D1を有する)第1の拡散バリアを介して測定ガス室と該測定ガス室内に配置された電極へと到る。中空室には、静止した状態でD2/D1の商により規定される平均的な酸素分圧を有する測定ガスが均衡を保って存在している。センサエレメントの外側に存在する測定ガスにおける圧力脈動の際には、測定ガスが第2の拡散バリアから中空室へと押し出され、これにより中空室において圧力が上昇する。このことは第1の拡散バリアを介して測定ガス室にまで続けられる。
この場合、主に測定ガスは中空室から測定ガス室へと押し出される。これにより、測定ガスが第2の拡散バリアから、極めて高い酸素分圧をもって測定ガス室に到る恐れが回避される。さらに中空室は貯え容積として働き、これにより測定ガス室の方向での圧力波の伝播を遅延させられる。圧力脈動に続いて排ガスにおける圧力減少が生じると、中空室の貯え機能に基づき、次の圧力減少による圧力脈動が少なくともほぼ補償される。
従属請求項に記載の手段により、独立請求項で記載したガス測定センサの有利な別の構成が得られる。
有利には第1の拡散バリアはリング状であって、リング状の測定ガス室によって取り囲まれている。この場合、第1の拡散バリアの内側に第2の拡散バリアが配置されており、第1の拡散バリアと第2の拡散バリアとの間にリング状の中空室が形成されている。測定ガス室と第1の拡散バリアと中空室と第2の拡散バリアとは、第1の固体電解質層と第2の固体電解質層との間に配置されている。排ガスは例えば、第1の固体電解質層に設けられたガス流入開口を介して第2の拡散バリアと到る。円筒状に配置されていることにより、測定ガス室へと拡散する測定ガスのために拡散横断面が拡大する。これにより、圧力脈動のために提供される貯え容積も第2の拡散バリアから測定ガス室へと増大する。これにより、センサエレメントの外側に存在する測定ガスから、ガス流入開口と第2の拡散バリアと、中空室と、第1の拡散バリアとを介して測定ガス室へと伝播する圧力脈動は円筒状のジオメトリにより付加的に弱められる。
第2の拡散バリアの外径が、0.5〜1.5mmの範囲、特に1.0mmであって、第1の拡散バリアの内径が0.7〜2.0mmの範囲、特に1.5mmであって、及び/又は第1の拡散バリアの外径が1.5〜3.0mmの範囲、特に2.3mmであると、特に効果的に圧力脈動の伝播が減じられる。第2の拡散バリアは円筒状であって良く、真ん中に内径が0.25〜0.7mmの範囲、特に0.5mmの切欠を有していて良い。
第1の拡散バリアと第2の拡散バリアの孔もしくは層厚さが、ガス分子の2つの衝突の間の平均自由行程よりも小さいならば壁衝突が生じる。これにより、気相拡散からクヌーセン拡散へと拡散メカニズムは変化する。粒子衝突しかパルスの伝達を生ぜしめないので、粒子衝突しか圧力脈動の伝播のために作用しない。従って、クヌーセン拡散への移行は流れ抵抗を高め、圧力脈動の作用を低下させる。従って有利には多孔質の拡散バリアの平均的な孔直径は最大で5μm、特に最大で3μmである。このような形式の多孔質の拡散バリアの有利な層厚さは、少なくとも15μm、特に少なくとも25μmである。選択的に第1の拡散バリア及び/又は第2の拡散バリアは、高さの低い中空室(即ち多孔質の充填物を有さない)によっても実現される。この場合、中空室として形成された拡散バリアの高さは最大で10μm、特に最大で5μmである。
中空室によって圧力脈動の伝播が減じられ、中空室自体において圧力脈動なお存在するので、センサエレメントの測定信号に直接的にまたは間接的に生ぜしめる電極は中空室内にではなく、中空室に後置されて、即ち測定ガス室内に配置されている。相応に中空室内には、触媒として活性の材料を含む電極は設けられていない。
この明細書では中空室とは、ガス循環もしくはガス拡散がこの室の内側で多孔質の材料によって、多量ではなく特に拡散バリアの内側におけるよりも僅かに防止されるならば、多孔質の材料が充填された室とも理解される。極めて僅かなガス循環は例えば、中空室内に配置された多孔質の材料の孔の割合が、拡散バリアの多孔質の材料の少なくとも3倍であれば存在する。
次に図面につき本発明の実施例を詳しく説明する。
図1及び図2には本発明の実施例として、扁平な層状に形成されたセンサエレメント10が示されている。このセンサエレメント10はケーシング内にシール装置によって気密に配置されていて、内燃機関の排ガス中の酸素分圧を検出するために働く。図1には、センサエレメント10の、測定エレメントを有する測定側の区分が示されている。センサエレメント10の、図示されていない接続側の区分は導線領域とコンタクト領域とを有している。センサエレメントの構成と、ガス測定センサのケーシングにおけるセンサエレメントの取り付けとは、例えば、オートモティブ・エレクトロニクス・ハンドブック(Automotive Electronics Handbook, Editor in chief : Ronald K. Jurgen, Second Edition, 1999, McGraw-Hill)に記載されている。
センサエレメント10は、第1の固体電解質層21と第2の固体電解質層22と第3の固体電解質層23とを有している。センサエレメント10には、第1の固体電解質層21と第2の固体電解質層22との間にリング状(中空円筒状)の測定ガス室44が設けられている。この測定ガス室44の真ん中には第1のリング状(中空円筒状)の拡散バリア41が配置されており、その中心にはさらに1つの第2の拡散バリア42が配置されている。両拡散バリア41,42は中空室43によって分離されている。第1の固体電解質層21にはガス流入開口45が設けられており、このガス流入開口45は第2の拡散バリア42の中央に開口している。センサエレメント10の外側に位置する排ガスは、ガス流入開口45、第2の拡散バリア42、中空室43、第1の拡散バリア41を介して測定ガス室44に到る。測定ガス室44は側方でシールフレーム25によって取り囲まれていて、シールされている。
第1の固体電解質層21と第2の固体電解質層22との間にはさらに基準ガス室46が設けられている。この基準ガス室46は測定ガス室44とは気密に分離されていて、センサエレメント10の長手方向軸線の方向で延びている。基準ガス室46は基準ガスとして高い酸素含有率をもったガス、例えば周囲の空気を有している。
第2の固体電解質層22と第3の固体電解質層23との間には加熱エレメント51が設けられている。この加熱エレメント51は加熱回路を有しており、この加熱回路は加熱絶縁体52によって周囲の固体電解質層22,23から分離されている。加熱エレメント51は側方で加熱フレーム26によって取り囲まれていて、この加熱フレーム26は加熱エレメント51をガス密にシールする。
測定ガス室44では、第1の固体電解質層21にリング状の第1電極31が、第2の固体電解質層22に、この第1電極31に向かい合って位置するリング状の第2電極32が取り付けられている。第1の固体電解質層21の外面には、リング状の第3電極33が設けられていて、その中央にはガス流入開口45が位置している。第3電極33は多孔質の保護層35によってカバーされている。第4電極34は基準ガス室46内に設けられている。
第1電極31と第3電極33と、これら両電極31,33の間に位置する固体電解質層21は1つの電気化学的なセルを形成しており、この電気化学的なセルはセンサエレメント10の外側に配置された回路によってポンプセルとして働く。第2電極32と第4電極34と、これら両電極32,34の間に位置する固体電解質層22とは、ネルンストセルとして働く別の電気化学的なセルを形成している。ネルンストセルは測定ガス室44における酸素分圧を測定する。ポンプセルは、測定ガス室44における酸素分圧がラムダ=1であるように、酸素を測定ガス室44へとポンピングし、または測定ガス室44からポンピングする。このような形式のセンサエレメントは当業者には広域ラムダプローブとして公知である。
第2の拡散バリア42の内径は0.5mm、外径は1.0mmである。第1の拡散バリア41の内径は1.5mm、外径は2.3mmである。中空室43が直接第1の拡散バリア41と第2の拡散バリア42に隣接しているので、第2の拡散バリア42の外径は中空室43の内径に相応し、第1の拡散バリア41の内径は中空室43の外径に相応する。さらに、第1の拡散バリア41の外径は測定ガス室44の内径に相応する。
測定ガス室44、第1の拡散バリア41、第2の拡散バリア42、中空室43の層厚さ、即ち第1の固体電解質層21と第2の固体電解質層22の間隔は30μmである。
選択的な図示していない実施例では、第2の拡散バリア42は円筒状に成形されており、第2の拡散バリア42へのガス流入開口45は真ん中に配置されていて、第1の固体電解質層21と第2の拡散バリア42との間の層平面で終わっている。
図3に示した本発明の第2実施例の一部は、図2に示したセンサエレメント10の横断面に相応し、第1の実施例との相違点は、第1の拡散バリア41aと、第2の拡散バリア42aとが、高さの低い中空室(即ちセンサエレメント10の大面積側に対して垂直方向での拡がりが小さい中空室)として形成されていることにある。第2の固体電解質層22と、第1の固体電解質層21上に取り付けられた狭隘部材48,49との間に位置する第1の拡散バリア41aと第2の拡散バリア42aとは、2.5μmの高さを有する。狭隘部材48,49は勿論(個々にまたは一緒に)第2の固体電解質層22に設けることもできる。
本発明は勿論、拡散方向で相前後して配置された、中空室によって分離される2つ以上の拡散バリアに転用することもできる。
10 センサエレメント、 21 第1の固体電解質層、 22 第2の固体電解質層、 23 第3の固体電解質層、 25 シールフレーム、 26 加熱フレーム、 31 第1電極、 32 第2電極、 33 第3電極、 34 第4電極、 35 保護層、 41 第1の拡散バリア、 42 第2の拡散バリア、 43 中空室、 44 測定ガス室、 45 ガス流入開口、 46 基準ガス室、 48,49 狭隘エレメント、 51 加熱エレメント、 52 加熱絶縁体
Claims (13)
- 特に測定ガスの物理的特性を検出するための、有利には内燃機関の排ガスの酸素濃度を検出するためのガス測定センサであって、層状に形成されたセンサエレメント(10)が設けられており、該センサエレメント(10)には測定ガス室(44)が設けられており、該測定ガス室(44)内では固体電解質(21,22)に電極(31,32)が配置されている形式のものにおいて、
センサエレメント(10)が第1の拡散バリア(41)、第2の拡散バリア(42)、これら第1の拡散バリア(41)と第2の拡散バリア(42)との間に配置された中空室(43)を有しており、測定ガス室(44)が、第1の拡散バリア(41)、中空室(43)、第2の拡散バリア(42)を介して、センサエレメント(10)の外側にある測定ガスに接続されていることを特徴とするガス測定センサ。 - 第1の拡散バリア(41)がリング状であって、第2の拡散バリア(42)が第1の拡散バリア(41)の内側に配置されている、請求項1記載のガス測定センサ。
- 第2の拡散バリア(42)が円筒状の外周面を有しており、該外周面が中空室(43)に隣接している、請求項1または2記載のガス測定センサ。
- 第1の拡散バリア(41)が中空円筒状であって、内周面と外周面とを有しており、第1の拡散バリア(41)の内周面が中空室(43)に隣接しており、第1の拡散バリア(41)の外周面が測定ガス室(44)に隣接している、請求項1または2記載のガス測定センサ。
- 第1の拡散バリア(41)と中空室(43)と第2の拡散バリア(42)とが、第1の固体電解質層(21)と第2の固体電解質層(22)との間の層平面に配置されている、請求項1から4までのいずれか1項記載のガス測定センサ。
- 第2の拡散バリア(42)の内径が0.25〜0.7mmの範囲、特に0.5mmであって、及び/又は第2の拡散バリア(42)の外径が、0.5〜1.5mmの範囲、特に1.0mmであって、及び/又は第1の拡散バリア(41)の内径が0.7〜2.0mmの範囲、特に1.5mmであって、及び/又は第1の拡散バリア(41)の外径が1.5〜3.0mmの範囲、特に2.3mmである、請求項2から5までのいずれか1項記載のガス測定センサ。
- 第1の拡散バリア(41)及び/又は第2の拡散バリア(42)が多孔質の材料を有している、請求項1から6までのいずれか1項記載のガス測定センサ。
- 第1の拡散バリア(41)及び/又は第2の拡散バリア(42)の多孔質の材料の平均孔直径が最大で5μm、特に最大で3μmである、請求項7記載のガス測定センサ。
- 第1の拡散バリア(41)及び/又は第2の拡散バリア(42)及び/又は中空室(43)及び/又は測定ガス室(44)の層厚さが少なくとも15μm、特に少なくとも25μmである、請求項6または7記載のガス測定センサ。
- 第1の拡散バリア(41)及び/又は第2の拡散バリア(42)が、最大10μmの、特に最大5μmの高さを有した中空室である、請求項1から5までのいずれか1項記載のガス測定センサ。
- 第1の固体電解質層(21)にガス流入開口(45)が、排ガスがこのガス流入開口(45)を介して第2の拡散バリア(42)へと到るように設けられている、請求項1から10までのいずれか1項記載のガス測定センサ。
- 中空室(44)に隣接する材料が触媒として不活性である、請求項1から11までのいずれか1項記載のガス測定センサ。
- 中空室(44)には電極が配置されていない、請求項1から12までのいずれか1項記載のガス測定センサ。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004049874A DE102004049874A1 (de) | 2004-10-13 | 2004-10-13 | Gasmessfühler |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006113067A true JP2006113067A (ja) | 2006-04-27 |
Family
ID=36120462
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005299180A Withdrawn JP2006113067A (ja) | 2004-10-13 | 2005-10-13 | ガス測定センサ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060081472A1 (ja) |
JP (1) | JP2006113067A (ja) |
DE (1) | DE102004049874A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006062056A1 (de) * | 2006-12-29 | 2008-07-03 | Robert Bosch Gmbh | Sensorelement mit unterdrückter Fettgasreaktion |
DE102006061955A1 (de) * | 2006-12-29 | 2008-07-03 | Robert Bosch Gmbh | Sensorelement mit brenngassensitiver Anode |
DE102007062733A1 (de) * | 2007-12-27 | 2009-07-02 | Robert Bosch Gmbh | Sensorelement mit verbesserter Vergiftungsresistenz |
DE102009029415A1 (de) * | 2009-09-14 | 2011-03-24 | Robert Bosch Gmbh | Sensorelement mit mehrteiliger Diffusionsbarriere |
DE102015223642B4 (de) * | 2015-11-30 | 2017-09-28 | Robert Bosch Gmbh | Gassensor und Verfahren zur Herstellung eines Gassensors |
DE102016213933B4 (de) * | 2016-07-28 | 2023-01-26 | Robert Bosch Gmbh | Sensorelement zur Erfassung wenigstens einer Eigenschaft eines Messgases |
DE202019002164U1 (de) * | 2019-05-17 | 2019-06-21 | Heraeus Nexensos Gmbh | Verbesserter Hochtemperaturchip |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4333232B4 (de) * | 1993-09-30 | 2004-07-01 | Robert Bosch Gmbh | Meßfühler zur Bestimmung des Sauerstoffgehaltes von Gasgemischen |
JP3671109B2 (ja) * | 1998-02-19 | 2005-07-13 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ |
DE19857471A1 (de) * | 1998-12-14 | 2000-06-15 | Bosch Gmbh Robert | Sensorelement für Grenzstromsonden zur Bestimmung des Lambda-Wertes von Gasgemischen und Verfahren zu dessen Herstellung |
DE10035036C1 (de) * | 2000-07-19 | 2001-11-22 | Bosch Gmbh Robert | Elektrochemisches Sensorelement |
CA2385816A1 (en) * | 2001-05-15 | 2002-11-15 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Gas sensor and method for measuring gas concentration using the same |
-
2004
- 2004-10-13 DE DE102004049874A patent/DE102004049874A1/de not_active Withdrawn
-
2005
- 2005-10-13 US US11/250,266 patent/US20060081472A1/en not_active Abandoned
- 2005-10-13 JP JP2005299180A patent/JP2006113067A/ja not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20060081472A1 (en) | 2006-04-20 |
DE102004049874A1 (de) | 2006-04-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006113067A (ja) | ガス測定センサ | |
EP0880025B1 (en) | Gas sensor | |
US20060137979A1 (en) | Sensor element for determining gas components in gas mixtures and method for manufacturing the same | |
JP4981075B2 (ja) | NOxセンサ | |
JP2014174178A (ja) | 微細電子化学センサおよび微細電子化学センサの動作方法 | |
EP2469274B1 (en) | Gas sensor | |
JP4865572B2 (ja) | ガスセンサ素子、ガスセンサ及びNOxセンサ | |
JP4532113B2 (ja) | ガス測定感知器 | |
JP4773036B2 (ja) | 電気化学式のセンサ部材 | |
JP6836928B2 (ja) | ガスセンサ素子 | |
JP4314198B2 (ja) | センサ素子 | |
US20080229804A1 (en) | Gas sensor | |
JP2007506948A (ja) | センサエレメント | |
JP2008298781A (ja) | 測定ガスの物理的な特性を測定するためのセンサ素子 | |
JP2004163432A (ja) | ガス測定センサ | |
JP2022147914A (ja) | ガスセンサ | |
US11467120B2 (en) | Gas sensor | |
US11867659B2 (en) | Sensor element and gas sensor | |
JP7396917B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP4758325B2 (ja) | ガスセンサ素子、ガスセンサ及びNOxセンサ | |
JP6974249B2 (ja) | センサ素子及びガスセンサ | |
US20070000779A1 (en) | Sensor element | |
JP3565520B2 (ja) | 酸素濃度センサ | |
JP7391638B2 (ja) | センサ素子及びガスセンサ | |
JP2023148444A (ja) | ガスセンサおよびセンサ素子収容ケーシング |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081009 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20091009 |