JP2006100475A - 半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】MQW構造の活性層5は膜厚約3.5nmのIn0.30Ga0.70Nから成る井戸層51と膜厚約7nmのGaNから成るバリア層52とが交互に合計5層積層することにより形成されている。この活性層5の上には、Mgドープのp型Al0.15Ga0.85Nから成る膜厚約50nmのp型クラッド層6が形成されている。更に、p型クラッド層6の上にはMgドープのp型In0.03Ga0.97Nから成る膜厚約200nmのp型コンタクト層7が形成されている。このp型コンタクト層7の上面(c面)には、所定の結晶成長条件下で実施されるp型コンタクト層7自身の結晶成長によって、凹凸形状が故意に形成されている。この凹部は6つのファセット面からなる逆六角錘形状の多数の穴(ピット)から形成されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体発光素子における光取り出し効率(外部量子効率)の向上と、その高発光効率の半導体発光素子の生産性の確保の両方に大いに有用なものである。
これらの従来技術は、生成された光が非鏡面(凹凸面)に入射する場合には、光が臨界角よりも小さい法線角で入射する確率が鏡面(平面)の場合よりも大きくなることを利用して、光取り出し効率(外部量子効率)の向上を図ったものである。
また、特許文献1でも言及されている様に、従来のエッチング技法を採用する限り、半導体層を構成する結晶をエッチング時に傷める恐れがあり、よって、素子の発光強度や歩留りが低下する恐れを十分には払拭することができない。これらの事情は、製品の性能や信頼性の点でも明らかに不利である。
即ち、本発明の第1の手段は、 III族窒化物系化合物半導体の結晶成長によって生成される半導体層を複数積層することにより形成される半導体発光素子において、1%以上のインジウム(In)を含むInGaN結晶から形成され、かつ表面に電極が形成された電極形成層を設け、この電極形成層の表面に、穴であるピットを105 個/cm2 以上の点在密度で形成することである。
この点在密度は高い場合程、電極形成層が薄くてもその表面を密にピットで覆い尽くすことができる。ただし、ピットの点在密度の上限値は、結晶の転位密度に略比例して拘束される傾向が強いので、結晶の転位密度を抑制する上で、ピットの点在密度には、上記の様に自ずと限界が生じる。結晶の転位密度は、内部量子効率の観点より勿論低い方が望ましいためである。
また、上記の電極形成層は、p型半導体層から形成することが望ましいが、勿論n型の半導体層から形成しても良い。また、上記の電極形成層は、コンタクト層から形成することが望ましいが、勿論その他の半導体層から形成しても良い。
なお、上記のピットは、InGaN結晶のc面成長過程において、その半導体結晶中に1%以上のインジウム(In)を含ませることにより、所定の結晶成長条件下でc面上に自然に形成されるものである。
この様なピットの直径の好適化或いは最適化は、例えば電極形成層を形成するInGaN結晶のインジウム組成比や膜厚などの調整パラメータを適当に選択することなどによって実施することも可能である。
また、本発明の第5の手段は、上記の第1乃至第4の何れか1つの手段において、上記の半導体発光素子を青色半導体発光素子とし、その電極形成層をpコンタクト層から形成し、そのpコンタクト層のIn組成比xを0.01以上、0.20以下にすることである。
また、本発明の第7の手段は、上記の第1乃至第4の何れか1つの手段において、上記の半導体発光素子を緑色半導体発光素子とし、その電極形成層をpコンタクト層から形成し、そのpコンタクト層のIn組成比xを0.01以上、0.30以下にすることである。
この気相エッチングは、生産性の観点から言えば、非選択的に実施することが望ましく、更には、電極形成層を結晶成長させた結晶成長炉内からその半導体ウェハを取り出すことなく、同一炉内にて実施することが望ましい。この様な非選択的なエッチングは、例えばH2 ガスや水素化ハロゲンガスや或いは任意の混合比によるこれらの混合ガスを用いた気相エッチングによって同一の結晶成長炉内にて極めて容易に実施することも可能である。
以上の本発明の手段により、前記の課題を効果的、或いは合理的に解決することができる。
即ち、本発明の第1の手段によれば、電極形成層の結晶成長に伴い、その電極形成層の表面に多数のピットが形成されるので、電極形成層を結晶成長させるだけで電極形成層の表面に所望の非鏡面を形成することができる。電極形成層にインジウム(In)を1%以上含ませることにより、ピットが形成され易くなる理由は今のところ明確には判明していないが、我々の検証により少なくともインジウム組成比の上昇と共にこれらのピットが形成され易くなる傾向があることが判っている。そして、これらの各ピットは電極形成層の結晶成長と共に拡大していく。また、ピットを構成する傾斜面の傾斜角は十分に大きく確保することができるので、光の透過率も大きく確保することができる。
したがって、本発明の第1の手段によれば、半導体発光素子における光取り出し効率(外部量子効率)の向上と、その高発光効率の半導体発光素子の生産性の確保とを容易に両立することができる。
また、この様なピットは上記の通り電極形成層をc面成長させることによって得ることができるため、本発明の第2の手段は、極めて多くの半導体発光素子に対して適用することができる。
ピットの点在密度は、電極形成層またはその直下の半導体層の結晶品質を劣化させる程高くできるが、その様な設定によって必要以上に電極形成層の結晶品質を劣化させると、内部量子効率の点で不利となる。また、電極形成層を厚く積む程ピットの半径を大きくすることができるが、必要以上に電極形成層を厚く積むと、抵抗、透光性、生産性の点で不利となる。これらの事情から、ピットの点在密度や電極形成層の膜厚などには、自ずと適正な拘束条件が現れる。
しかしながら、本発明の第3の手段によれば、これらの諸条件(例:ピットの点在密度や電極形成層の膜厚など)を実用性の高い範囲内に納めつつ、電極形成層の表面広範に渡って凹凸を形成することができる。
また、本発明の第6乃至第8の何れかの手段によれば、内部量子効率と外部量子効率とを両立させる様に、pコンタクト層のインジウム組成比xを最適化することができるので、何れの発光色の場合にも、高い発光効率を得ることができる。
ただし、電極形成層の表面にピットを良好に形成するには、上記の第3の手段を取り入れることがより望ましい。
また、上記の電極形成層の材料ガスを運ぶフローガスは、希ガス、N2 の何れでも良く、これらを任意の比で混合した混合ガスでも良い。
また、上記のn型の不純物(ドナー)としては、例えば、シリコン(Si)や、硫黄(S)、セレン(Se)、テルル(Te)、或いはゲルマニウム(Ge)等の公知のn型不純物を添加することができる。
また、これらの不純物(アクセプター又はドナー)は、同時に2元素以上を添加しても良いし、同時に両型(p型とn型)を添加しても良い。
ただし、本発明の実施形態は、以下に示す個々の実施例に限定されるものではない。
上記発光ダイオード10は、有機金属気相成長法(以下「MOVPE」と略す)による気相成長により製造された。用いられたガスは、アンモニア(NH3) 、キャリアガス( H2 , N2 ) 、トリメチルガリウム( Ga(CH3)3) (以下「TMG」と記す)、トリメチルアルミニウム( Al(CH3)3) (以下「TMA」と記す)、トリメチルインジウム( In(CH3)3) (以下「TMI」と記す)、シラン( SiH4) とシクロペンタジエニルマグネシウム( Mg(C5H5)2)(以下「CP2 Mg」と記す)である。
次に、サファイア基板1の温度を1150℃に保持し、H2 を20リットル/分、NH3 を10リットル/分、TMGを1.7 ×10-4 mol/分、H2 ガスにより0.86ppmに希釈されたシランを2×10-7 mol/分で供給し、膜厚約4.0μm、電子濃度2×1018/cm3 、Si濃度4 ×1018/cm3 のGaNから成るn型コンタクト層3を形成した。
即ち、まず最初に、サファイア基板1の温度を730℃まで低下させ、それと同時にH2 からN2 にキャリアガスを変更し、このキャリアガスとNH3 の供給量を維持しながら、TMGを3.1×10-6 mol/分、TMIを0.7×10-5 ol/分で供給することにより、膜厚約3.5nmのIn0.30Ga0.70Nから成る井戸層51をn型クラッド層4の上に形成した。
以下、これを繰り返して、井戸層51とバリア層52とを交互に積層し、合計5層(井戸層51、バリア層52、井戸層51、バリア層52、最後の井戸層51)から成る前記の活性層5を形成した。
以上に示した工程が、 III族窒化物系化合物半導体から成る各半導体層の結晶成長工程である。
以上の様な発光ダイオードの製造方法により、p型コンタクト層7の表面に適切かつ簡単に凹凸(:多数のピット)を形成することができるので、これにより、外部量子効率の高い発光ダイオードを実現しつつ、その生産性や信頼性を確保することができる。
この電極形成層は、上記の実施例1のp型コンタクト層7に対応するものであり、実施例1の発光ダイオード10のp型コンタクト層7とは、以下の特徴点だけが異なっている。
電極形成層の膜厚 :600[nm]
ピットの直径 :440[nm]
ピットの点在密度 :106 〜107 [個/cm2 ]
(2)結晶成長条件における特徴点
結晶成長温度 :850[℃]
結晶成長時間 : 20[分]
TMI流量 :500[μmol/min]
本発明の実施形態は、上記の形態に限定されるものではなく、その他にも以下に例示される様な変形を行っても良い。この様な変形や応用によっても、本発明の作用に基づいて本発明の効果を得ることができる。
例えば、pコンタクト層を備えない構成を採用する場合であっても、同様にして、p型層の最上層の上面に凹凸形状を形成することができ、この様な構成によっても、前記の本発明の手段に基づく本発明の作用により本発明の効果を得ることができる。例えば、p型クラッド層をn層構造(n≧2)とし、そのn層の最上層の上面に、上記と同様の方法で凹凸形状を形成しても良い。
1 : サファイア基板
2 : バッファ層
3 : n型コンタクト層(n型の高キャリア濃度層)
4 : n型クラッド層(ノンドープ低キャリア濃度層)
5 : 活性層
51: 井戸層
52: バリア層
6 : p型クラッド層
7 : p型コンタクト層
8 : 電極
9 : 透光性電極
Claims (8)
- III族窒化物系化合物半導体の結晶成長によって生成される半導体層を複数積層することにより形成される半導体発光素子において、
1%以上のインジウム(In)を含むInGaN結晶から形成され、かつ、表面に電極が形成されている電極形成層を有し、
前記電極形成層の前記表面に、
穴であるピットが105 個/cm2 以上の点在密度で形成されている
ことを特徴とする半導体発光素子。 - 前記電極形成層の前記表面は、
結晶c面から成り、
前記ピットの形状は、
結晶構造上同等な6つのファセット面から構成された逆六角錐形状である
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。 - 前記ピットの直径は、
1nm以上、600nm以下である
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体発光素子。 - 前記電極形成層は、
マグネシウム(Mg)が添加されたp型のInGaN結晶から形成されている
ことを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載の半導体発光素子。 - 前記半導体発光素子は、青色半導体発光素子であり、
前記電極形成層は、pコンタクト層から形成されており、
前記pコンタクト層のIn組成比xは、0.01以上、0.20以下である
ことを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載の半導体発光素子。 - 前記半導体発光素子は、青緑色半導体発光素子であり、
前記電極形成層は、pコンタクト層から形成されており、
前記pコンタクト層のIn組成比xは、0.01以上、0.25以下である
ことを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載の半導体発光素子。 - 前記半導体発光素子は、緑色半導体発光素子であり、
前記電極形成層は、pコンタクト層から形成されており、
前記pコンタクト層のIn組成比xは、0.01以上、0.30以下である
ことを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載の半導体発光素子。 - 前記電極形成層の前記表面は、
気相エッチングによる被浸食面から構成されている
ことを特徴とする請求項1乃至請求項7の何れか1項に記載の半導体発光素子。
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