JP2006099938A - Near-field optical head - Google Patents

Near-field optical head Download PDF

Info

Publication number
JP2006099938A
JP2006099938A JP2005212408A JP2005212408A JP2006099938A JP 2006099938 A JP2006099938 A JP 2006099938A JP 2005212408 A JP2005212408 A JP 2005212408A JP 2005212408 A JP2005212408 A JP 2005212408A JP 2006099938 A JP2006099938 A JP 2006099938A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical head
substrate
field optical
field
optical fiber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005212408A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masakazu Hirata
雅一 平田
Manabu Omi
学 大海
Koichi Shibata
浩一 柴田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Instruments Inc filed Critical Seiko Instruments Inc
Priority to JP2005212408A priority Critical patent/JP2006099938A/en
Publication of JP2006099938A publication Critical patent/JP2006099938A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
  • Optical Head (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a constitution for making a near-field light-generating element adjacent to a recording medium, by securing reliability of connection of a near-field optical head and an optical fiber with each other. <P>SOLUTION: The near-field optical head 106 consists of a mirror substrate 202 having a V groove 208 for fixing an optical fiber 103; and a slider substrate 201 having the near-field light generating element 205. The area of the mirror substrate 202 is larger than that of the slider substrate 201. Thus, the mirror substrate 202 has a first projecting part 210 on the insertion side of an optical fiber 103 and a second projecting part 211 on the side of a flow outlet end 204. The V groove 208 and a mirror 209 are formed on the first projecting part 210 and the second projecting part 211, as well. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

この発明は、光の回折限界を超える記録密度での情報の記録再生を行う近視野光ヘッドに関する。   The present invention relates to a near-field optical head that records and reproduces information at a recording density exceeding the diffraction limit of light.

大容量化・小型化の進む情報記録再生装置のため、より高い記録密度が得られる記録再生技術が求められている。近視野光を利用した情報記録再生技術は、光の回折限界を超える微小領域の光学情報を扱うことが出来るため、従来の光による記録再生技術では到達し得ない、高い記録密度を得られると期待されている。   For information recording / reproducing apparatuses that are increasing in capacity and downsizing, a recording / reproducing technique capable of obtaining a higher recording density is required. Information recording / reproducing technology using near-field light can handle optical information in a minute area exceeding the diffraction limit of light, so that it is possible to obtain a high recording density that cannot be achieved by conventional recording / reproducing technology using light. Expected.

一般に近視野光を利用した記録再生装置の構成は、磁気ディスク装置(HDD)とほぼ同様であるが、GMR素子やコイルといった磁気素子の代わりに、光学的微小開口や微小突起などから構成される近視野光発生素子を、浮上ヘッドスライダーに搭載し、また電気配線の代わりに、光ファイバや光導波路を組み込む点が異なる。(例えば、特許文献1参照。)電気配線に比べて配線の自由度が低い光ファイバや光導波路を用いて、いかに効率よく光を近視野光発生素子および記録媒体に導くかが、近視野光記録再生技術の重要な要素である
このような近視野光ヘッドにおいて、光ファイバもしくは光導波路をヘッド側面に接続し、メディア面に水平な方向に伝搬している光ファイバもしくは光導波路からの光を反射させて伝搬方向を開口方向に向ける光反射面をもちいて、微小なビームスポットを光学的微小開口に入射させる手法が考案されている。(特許文献1参照。)
図7は従来技術による近視野光ヘッド1000の代表的な構造の三面図である。近視野光ヘッド1000はミラー基板1001とスライダ基板1002が接着された構造であり、光ファイバ103が上記2枚の基板の間に挟まれている。ミラー基板1001はシリコンから成り、V溝1003とミラー1004を持つ。V溝1003とミラー1004はともにシリコンの結晶異方性エッチングによって形成された、基板表面から約55度の角度を持つ面から成る。光ファイバ103はV溝1003に固定され、接着される。スライダ基板1002はガラスから成り、上面にレンズ1005を持ち、下面にエアベアリングサーフェス(ABS)1006と、近視野光発生素子1007を持つ。
In general, the configuration of a recording / reproducing apparatus using near-field light is almost the same as that of a magnetic disk apparatus (HDD), but it is composed of optical minute apertures, minute protrusions, etc. instead of magnetic elements such as GMR elements and coils. The difference is that the near-field light generating element is mounted on the flying head slider and an optical fiber or an optical waveguide is incorporated instead of the electric wiring. (See, for example, Patent Document 1.) How to efficiently guide light to the near-field light generating element and the recording medium using an optical fiber or an optical waveguide having a lower degree of freedom of wiring than electrical wiring. In such a near-field optical head, which is an important element of recording / reproducing technology, an optical fiber or optical waveguide is connected to the side of the head, and light from the optical fiber or optical waveguide propagating in the horizontal direction to the media surface is transmitted. A technique has been devised in which a minute beam spot is made incident on an optical minute aperture by using a light reflecting surface that reflects and directs the propagation direction to the aperture direction. (See Patent Document 1.)
FIG. 7 is a three-view diagram of a typical structure of a near-field optical head 1000 according to the prior art. The near-field optical head 1000 has a structure in which a mirror substrate 1001 and a slider substrate 1002 are bonded, and an optical fiber 103 is sandwiched between the two substrates. The mirror substrate 1001 is made of silicon and has a V-groove 1003 and a mirror 1004. Both the V-groove 1003 and the mirror 1004 are formed of a surface formed by silicon crystal anisotropic etching and having an angle of about 55 degrees from the substrate surface. The optical fiber 103 is fixed to the V groove 1003 and bonded. The slider substrate 1002 is made of glass, has a lens 1005 on its upper surface, and has an air bearing surface (ABS) 1006 and a near-field light generating element 1007 on its lower surface.

近視野光発生素子1007は光学的微小開口、微小突起、厚さ数nmから数百nmの金属薄膜、微小散乱体といった要素を1つ以上、有している。図示を略したレーザからの光は光ファイバ103によって近視野光ヘッド1000内部に導入され、光ファイバ103端面から、ミラー面1004で反射した後、レンズ1005で集光され、近視野光発生素子1007に至る。光エネルギーの一部は近視野光発生素子1007から近視野光となって分布する。この近視野光を、図示を略した記録媒体表面のデータマークと相互作用させ、その結果発生した散乱光を検出することで、高密度な情報の記録再生を可能とする。
国際特許公開第00/28536号パンフレット(第41−46頁、第5-6図)
The near-field light generating element 1007 has one or more elements such as an optical minute aperture, a minute protrusion, a metal thin film having a thickness of several to several hundreds nm, and a minute scatterer. Light from a laser (not shown) is introduced into the near-field optical head 1000 by the optical fiber 103, reflected by the mirror surface 1004 from the end face of the optical fiber 103, condensed by the lens 1005, and near-field light generating element 1007. To. A part of the light energy is distributed as near-field light from the near-field light generating element 1007. This near-field light is allowed to interact with a data mark on the surface of the recording medium (not shown), and the scattered light generated as a result is detected, thereby enabling high-density information recording / reproduction.
International Patent Publication No. 00/28536 pamphlet (pages 41-46, Fig. 5-6)

しかしながら、上述した従来技術による近視野光ヘッドでは、光ファイバ103とV溝1003は接着されているが、接着しろが必ずしも十分でなく、特に近視野光ヘッドのサイズを小さくした場合には深刻な問題となる。図7に示す近視野光ヘッド1000においては、接着しろは近視野光ヘッド1000の一辺に対して半分以下である。接着しろが十分でないと、光ファイバ103が近視野光ヘッド1000から剥がれやすく、その場合、情報記録再生装置の動作に致命的な影響を与える。   However, in the near-field optical head according to the above-described prior art, the optical fiber 103 and the V-groove 1003 are bonded, but the bonding margin is not always sufficient, which is serious particularly when the size of the near-field optical head is reduced. It becomes a problem. In the near-field optical head 1000 shown in FIG. 7, the bonding margin is less than half of one side of the near-field optical head 1000. If the bonding margin is not sufficient, the optical fiber 103 is easily peeled off from the near-field optical head 1000, and in this case, the operation of the information recording / reproducing apparatus is fatally affected.

また、回転するディスクからの空気浮上力によって浮上する近視野光ヘッドは実際にはわずかに傾いており、空気の流入端よりも流出端の方がディスク表面に近接している。近視野光は開口からの距離によって指数関数的に減衰するので、近視野光発生素子1007はなるべくディスク表面に近接させることが望ましい。つまり、近視野光発生素子1007を流出端に近づけると良い。近視野光発生素子1007がディスク表面から離れた位置にあると、近視野光発生素子1007からの近視野光が記録媒体であるディスク上では弱く広がってしまい、検出信号S/Nが劣化する、また高密度化が困難になる、という問題点を生む。   In addition, the near-field optical head that floats by the air flying force from the rotating disk is actually slightly inclined, and the outflow end is closer to the disk surface than the inflow end of air. Since the near-field light attenuates exponentially with the distance from the opening, it is desirable that the near-field light generating element 1007 be as close to the disk surface as possible. That is, the near-field light generating element 1007 is preferably brought closer to the outflow end. When the near-field light generating element 1007 is at a position away from the disk surface, the near-field light from the near-field light generating element 1007 spreads weakly on the disk that is the recording medium, and the detection signal S / N deteriorates. Moreover, the problem that density increase becomes difficult is produced.

しかしながら、従来技術による近視野光ヘッドでは、近視野光発生素子1007を流出端に近づけることは困難であった。図7で示したように、V溝1003およびミラー1004はミラー基板1002内の構造であるから、それらは近視野光ヘッド1000に内包されている。そのため、V溝1003に固定された光ファイバ103から、ミラー1004およびレンズ1005を介して開口基板1001表面に至る光のスポットは、近視野光ヘッド1000の端部からは、少なくともV溝1003の半幅程度は離れており、そのスポットに設ける近視野光発生素子1007を流出端に近づけることは出来ない。   However, with the near-field optical head according to the prior art, it is difficult to bring the near-field light generating element 1007 close to the outflow end. As shown in FIG. 7, since the V-groove 1003 and the mirror 1004 are structures in the mirror substrate 1002, they are included in the near-field optical head 1000. Therefore, the light spot from the optical fiber 103 fixed to the V-groove 1003 to the surface of the aperture substrate 1001 via the mirror 1004 and the lens 1005 is at least half the width of the V-groove 1003 from the end of the near-field optical head 1000. The near field light generating element 1007 provided at the spot cannot be brought close to the outflow end.

上記課題を解決する本発明の第1の態様は、近視野光を発生する近視野光発生素子を有する第1の基板と、第1の基板上に設けられ、光ファイバを固定する支持溝を有する第2の基板とからなる近視野光ヘッドであって、第2の基板は第1の基板から張り出している張り出し部を有することを特徴とする近視野光ヘッドにある。   A first aspect of the present invention that solves the above problems includes a first substrate having a near-field light generating element that generates near-field light, and a support groove provided on the first substrate and fixing an optical fiber. A near-field optical head comprising a second substrate having the second substrate, wherein the second substrate has a projecting portion projecting from the first substrate.

このような張り出し部は、第2の基板の第1の基板と対向する面の面積を第1の基板の第2の基板と対向する面の面積より大きくする、第1の基板と第2の基板をオフセットして固定する、第1の基板の第2の基板と対向する面の輪郭形状と第2の基板の第1の基板と対向する面の輪郭形状とを異なったものにする、といった手法を用いて構成することを特徴とする。   Such an overhanging portion makes the area of the surface of the second substrate facing the first substrate larger than the area of the surface of the first substrate facing the second substrate. The substrate is offset and fixed, the contour shape of the surface of the first substrate facing the second substrate is made different from the contour shape of the surface of the second substrate facing the first substrate, etc. It is characterized by using a technique.

本発明の第2の態様は、第1の態様において、張り出し部に支持溝が一部もしくは全部設けられていることを特徴とする近視野光ヘッドにある。   According to a second aspect of the present invention, there is provided a near-field optical head according to the first aspect, wherein a part or all of a support groove is provided in the projecting portion.

本発明の第3の態様は、第1または第2の態様において、支持溝と光ファイバが接着剤を用いて固定されていることを特徴とする近視野光ヘッドにある。   According to a third aspect of the present invention, there is provided a near-field optical head according to the first or second aspect, wherein the support groove and the optical fiber are fixed using an adhesive.

本発明の第4の態様は、第1から第3のいずれかの態様において、支持溝がV溝であることを特徴とする近視野光ヘッドにある。   A fourth aspect of the present invention is the near-field optical head according to any one of the first to third aspects, wherein the support groove is a V-groove.

本発明の第5の態様は、第1から第4のいずれかの態様において、支持溝の1側面が反射面であることを特徴とする近視野光ヘッドにある。   A fifth aspect of the present invention is a near-field optical head according to any one of the first to fourth aspects, wherein one side surface of the support groove is a reflecting surface.

本発明の第6の態様は、第5の態様において、反射面の一部もしくは全部が、張り出し部に設けられていることを特徴とする近視野光ヘッドにある。   According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a near-field optical head according to the fifth aspect, wherein a part or all of the reflecting surface is provided on the projecting portion.

本発明の第7の態様は、第1から第6のいずれかの態様において、空気浮上する近視野光ヘッドであって、流出端と流入端を結ぶ線と支持溝が略直交することを特徴とする近視野光ヘッドにある。   According to a seventh aspect of the present invention, in any one of the first to sixth aspects, the near-field optical head that floats on air, wherein a line connecting the outflow end and the inflow end and the support groove are substantially orthogonal to each other. It is in the near-field optical head.

本発明の第8の態様は、第1から第6のいずれかの態様において、空気浮上する近視野光ヘッドであって、流出端と流入端を結ぶ線と支持溝が略平行であることを特徴とする近視野光ヘッドにある。   According to an eighth aspect of the present invention, in any one of the first to sixth aspects, the near-field optical head that floats in air, wherein a line connecting the outflow end and the inflow end and the support groove are substantially parallel. It is in the characteristic near-field optical head.

本発明の第9の態様は、第1から第8のいずれかの態様において、光ファイバの端面が、光ファイバの軸方向に略直角であることを特徴とする近視野光ヘッドにある。   A ninth aspect of the present invention is the near-field optical head according to any one of the first to eighth aspects, wherein the end face of the optical fiber is substantially perpendicular to the axial direction of the optical fiber.

本発明の第10の態様は、第1から第8のいずれかの態様において、光ファイバの端面が、光ファイバの軸方向に対して傾斜していることを特徴とする近視野光ヘッドにある。   A tenth aspect of the present invention is the near-field optical head according to any one of the first to eighth aspects, wherein the end face of the optical fiber is inclined with respect to the axial direction of the optical fiber. .

以上説明したように、本発明によれば、近視野光ヘッドが張り出し部を有することで、支持溝の長さを十分に確保、つまり支持溝と光ファイバの固定しろを十分に確保することが出来る。これにより、特に近視野光ヘッドを小型化した場合に問題となる、近視野光ヘッドと光ファイバの接続の信頼性を、容易に確保することが出来る。   As described above, according to the present invention, since the near-field optical head has the overhanging portion, it is possible to sufficiently secure the length of the support groove, that is, sufficiently secure the margin for fixing the support groove and the optical fiber. I can do it. Thereby, it is possible to easily ensure the reliability of the connection between the near-field optical head and the optical fiber, which becomes a problem particularly when the near-field optical head is downsized.

また、本発明によれば、近視野光ヘッドが張り出し部を有し、支持溝が張り出し部にかかることで、光ファイバを流出端に近づけることができる。これにより、近視野光発生素子を流出端近傍に設けることができるため、近視野光発生素子を記録ディスク表面により近接させることが可能となり、高い強度でしかも微細に局在化された近視野光を介して記録ディスクと相互作用させることで、検出信号のS/Nが良好で、高い記録密度に対応した近視野光ヘッドを実現できる。   Further, according to the present invention, the near-field optical head has the projecting portion, and the support groove is applied to the projecting portion, whereby the optical fiber can be brought close to the outflow end. As a result, the near-field light generating element can be provided in the vicinity of the outflow end, so that the near-field light generating element can be brought closer to the surface of the recording disk, and the near-field light with high intensity and fine localization can be obtained. By interacting with the recording disk via the, a near-field optical head having a good S / N of the detection signal and corresponding to a high recording density can be realized.

また、反射面の一部もしくは全部を張り出し部に設けることができる。これによっても近視野光発生素子を流出端近傍におくことができる。   Moreover, a part or all of the reflecting surface can be provided on the projecting portion. This also makes it possible to place the near-field light generating element in the vicinity of the outflow end.

また、本発明によれば、支持溝と光ファイバの固定に接着剤を用いることができるため、容易に近視野光ヘッドが作製できる。   Further, according to the present invention, an adhesive can be used for fixing the support groove and the optical fiber, so that a near-field optical head can be easily manufactured.

また、本発明によれば、支持溝をV溝とすることで、高い位置精度で光ファイバの固定を容易におこなうことができる。   In addition, according to the present invention, the support groove is a V-groove, so that the optical fiber can be easily fixed with high positional accuracy.

また、本発明によれば、光ファイバの端面を加工の容易な垂直面とすることができるため、容易に高性能な近視野光ヘッドを実現できる。   In addition, according to the present invention, since the end face of the optical fiber can be a vertical surface that can be easily processed, a high-performance near-field optical head can be easily realized.

以下に、この発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。
(実施の形態1)
図1に本発明の実施の形態1における近視野光ヘッドを用いた情報記録再生装置の概略を示す。本実施の形態における情報記録再生装置は、従来の磁気ディスク装置と基本構成は類似であり、近視野光を発生する近視野光発生素子(図示略)を有する近視野光ヘッド106を記録媒体107の表面に数nmから数十nm程度まで近接した状態で記録媒体107を高速に回転させ、近視野光ヘッド106が記録媒体107と常に一定の相対配置で浮上するために、フレクシャ105をサスペンションアーム104の先端部に形成している。サスペンションアーム104はボイスコイルモータ(図示略)によって記録媒体107の半径方向に移動可能である。ここで、近視野光ヘッド106は、記録媒体107に近視野光発生素子が対面するように配置されている。
The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings.
(Embodiment 1)
FIG. 1 shows an outline of an information recording / reproducing apparatus using a near-field optical head in Embodiment 1 of the present invention. The information recording / reproducing apparatus in the present embodiment is similar in basic structure to a conventional magnetic disk apparatus, and a near-field optical head 106 having a near-field light generating element (not shown) that generates near-field light is used as a recording medium 107. In order for the near-field optical head 106 to always float with the recording medium 107 at a fixed relative position, the flexure 105 is suspended from the suspension arm. It is formed at the tip of 104. The suspension arm 104 is movable in the radial direction of the recording medium 107 by a voice coil motor (not shown). Here, the near-field light head 106 is disposed so that the near-field light generating element faces the recording medium 107.

レーザ101からの光束を近視野光ヘッド106まで導く光伝搬部は、レンズ102とサスペンションアーム104に固定された光ファイバ103から構成されている。   The light propagation unit that guides the light beam from the laser 101 to the near-field optical head 106 includes an optical fiber 103 fixed to the lens 102 and the suspension arm 104.

必要に応じて、レーザ101は回路系108により強度変調などをかけることもできる。概略をわかりやすくするために、サスペンションアーム104とフレクシャ105と近視野光ヘッド106はそれぞれ分解した形で示してあるが、実際には、それぞれは接続され必要に応じて固定されている。   If necessary, the laser 101 can be intensity-modulated by the circuit system 108. In order to make the outline easy to understand, the suspension arm 104, the flexure 105, and the near-field optical head 106 are shown in an exploded form, but in actuality, they are connected and fixed as necessary.

図2に本発明の実施の形態1における近視野光ヘッド106と、それに固定された光ファイバ103およびフレクシャ105の三面図を示す。近視野光ヘッド106は、ガラスからなるスライダ基板201と、シリコンからなるミラー基板202によって構成される。   FIG. 2 shows a three-view diagram of the near-field optical head 106 and the optical fiber 103 and the flexure 105 fixed thereto in the first embodiment of the present invention. The near-field optical head 106 includes a slider substrate 201 made of glass and a mirror substrate 202 made of silicon.

スライダ基板201は長方形の基板であり、その下面の一辺を流入端203とし、これと対向する一辺を流出端204とする。また、スライダ基板201は、その下面に、近視野光発生素子205と、平行に並んだ2本の短冊形状のABS(エアベアリングサーフェス)206を有している。ABS206の長手方向と、流入端203および流出端204は直交している。ABS204の形状は、2本の短冊形状に限るものではなく、トライパッド形状などでも良い。近視野光発生素子102は光学的微小開口、微小突起、厚さ数nmから数百nmの金属薄膜、微小散乱体といった要素を1つ以上、有している。さらにスライダ基板201は、その上面に、近視野光発生素子203と対置したレンズ207を有する。   The slider substrate 201 is a rectangular substrate. One side of the lower surface of the slider substrate 201 is an inflow end 203 and the opposite side is an outflow end 204. The slider substrate 201 has a near-field light generating element 205 and two strip-shaped ABS (air bearing surface) 206 arranged in parallel on the lower surface thereof. The longitudinal direction of the ABS 206 is orthogonal to the inflow end 203 and the outflow end 204. The shape of the ABS 204 is not limited to two strip shapes, but may be a try pad shape. The near-field light generating element 102 has one or more elements such as an optical minute aperture, a minute protrusion, a metal thin film having a thickness of several to several hundreds nm, and a minute scatterer. Further, the slider substrate 201 has a lens 207 disposed on the upper surface thereof so as to face the near-field light generating element 203.

ミラー基板202は、その下面にV溝208を有する。V溝208はミラー基板202の1側面を起点とし、ミラー基板202内に終端を有しており、この終端の面がミラー209となっている。V溝206およびミラー207は結晶異方性エッチングにより形成されているため、ミラー基板202面に対して、ミラー207は約55度の角度をなしている。V溝208には光ファイバ103が固定されている。流入端203および流出端204が、光ファイバ103と平行となるように、スライダ基板201の上面とミラー基板202の下面が接合されている。光ファイバ103の端面は、光ファイバ103の軸に対して約55度の平面をなしている。そのため、光ファイバ103より出射した光は、ミラー209により曲げられて、ミラー基板202に対して垂直に出射する。ミラー209で曲げられた光は、レンズ207を介して、近視野光発生素子205に導かれる。
また、ミラー基板202の上面にはフレクシャ105が接合されている。
The mirror substrate 202 has a V-groove 208 on its lower surface. The V groove 208 starts from one side surface of the mirror substrate 202 and has an end in the mirror substrate 202, and this end surface is a mirror 209. Since the V-groove 206 and the mirror 207 are formed by crystal anisotropic etching, the mirror 207 forms an angle of about 55 degrees with respect to the mirror substrate 202 surface. The optical fiber 103 is fixed to the V groove 208. The upper surface of the slider substrate 201 and the lower surface of the mirror substrate 202 are bonded so that the inflow end 203 and the outflow end 204 are parallel to the optical fiber 103. The end face of the optical fiber 103 forms a plane of about 55 degrees with respect to the axis of the optical fiber 103. Therefore, the light emitted from the optical fiber 103 is bent by the mirror 209 and emitted perpendicularly to the mirror substrate 202. The light bent by the mirror 209 is guided to the near-field light generating element 205 through the lens 207.
A flexure 105 is bonded to the upper surface of the mirror substrate 202.

ミラー基板202は、スライダ基板201よりも面積が大きく、そのためにミラー基板202は、光ファイバ103の挿入側に第1の張り出し部210と、流出端204側に第2の張り出し部211を有する。V溝208およびミラー209は、第1の張り出し部210上および第2の張り出し部211上にも形成されていることが重要な点である。   The mirror substrate 202 has a larger area than the slider substrate 201. For this reason, the mirror substrate 202 has a first projecting portion 210 on the insertion side of the optical fiber 103 and a second projecting portion 211 on the outflow end 204 side. It is important that the V groove 208 and the mirror 209 are also formed on the first projecting portion 210 and the second projecting portion 211.

本実施の形態では、近視野光ヘッド106が第1の張り出し部210を有することで、V溝208の長さを十分に確保、つまりV溝208と光ファイバ103の接着しろを十分に確保することが出来る。これにより、特に近視野光ヘッド106を小型化した場合に問題となる、近視野光ヘッド106と光ファイバ103の接続の信頼性を、容易に確保することが出来る。   In the present embodiment, the near-field optical head 106 has the first projecting portion 210, so that the length of the V-groove 208 is sufficiently secured, that is, the margin for bonding the V-groove 208 and the optical fiber 103 is sufficiently secured. I can do it. As a result, the reliability of the connection between the near-field optical head 106 and the optical fiber 103, which becomes a problem particularly when the near-field optical head 106 is downsized, can be easily ensured.

また、近視野光ヘッド106が第2の張り出し部211を有し、V溝208が第2の張り出し部211にかかることで、光ファイバ103を流出端204に近づけることができる。これにより、近視野光発生素子205を流出端204近傍に設けることができるため、近視野光発生素子205を記録ディスク表面により近接させることが可能となり、高い強度でしかも微細に局在化された近視野光を介して記録ディスクと相互作用させることで、検出信号のS/Nが良好で、高い記録密度に対応した近視野光ヘッドを実現できる。
(実施の形態2)
図3は本発明の実施の形態2にかかわる近視野光ヘッドの構成を示す図である。上図が本近視野光ヘッドの側面図、下図が平面図である。
Further, the near-field optical head 106 has the second projecting portion 211, and the V-groove 208 is applied to the second projecting portion 211, whereby the optical fiber 103 can be brought closer to the outflow end 204. As a result, the near-field light generating element 205 can be provided in the vicinity of the outflow end 204, so that the near-field light generating element 205 can be brought closer to the surface of the recording disk, and has high strength and is finely localized. By interacting with the recording disk via near-field light, a near-field optical head having a good S / N of the detection signal and corresponding to a high recording density can be realized.
(Embodiment 2)
FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a near-field optical head according to Embodiment 2 of the present invention. The upper figure is a side view of the near-field optical head, and the lower figure is a plan view.

ここでの近視野光ヘッドは、実施の形態1にかかわる近視野光ヘッドとほぼ同一なものである。ただし、ミラー基板301を構成する第1の張り出し部302が、V溝208、ミラー209およびその近傍を残して切り欠かれている点が異なる。   The near-field optical head here is almost the same as the near-field optical head according to the first embodiment. However, the difference is that the first projecting portion 302 constituting the mirror substrate 301 is notched except for the V groove 208, the mirror 209, and the vicinity thereof.

本実施の形態では、実施の形態1の効果に加えて、第1の張り出し部302が小さくなっていることにより、近視野光ヘッド全体の質量が小さくなる。そのため、高速に近視野光ヘッドを移動させることができ、より高いデータ転送速度を有する情報記録再生装置を実現できる。
(実施の形態3)
図4は本発明の実施の形態3にかかわる近視野光ヘッドの構成を示す図である。上図が本近視野光ヘッドの側面図、下図が平面図である。
In the present embodiment, in addition to the effects of the first embodiment, the mass of the entire near-field optical head is reduced because the first overhanging portion 302 is reduced. Therefore, the near-field optical head can be moved at high speed, and an information recording / reproducing apparatus having a higher data transfer rate can be realized.
(Embodiment 3)
FIG. 4 is a diagram showing the configuration of a near-field optical head according to Embodiment 3 of the present invention. The upper figure is a side view of the near-field optical head, and the lower figure is a plan view.

本実施の形態における近視野光ヘッドは、実施の形態1と同様に、ガラスからなるスライダ基板401と、シリコンからなるミラー基板402によって構成される。   As in the first embodiment, the near-field optical head in the present embodiment includes a slider substrate 401 made of glass and a mirror substrate 402 made of silicon.

また、実施の形態1と同様に、スライダ基板401は長方形の基板であり、流入端403および流出端404を有し、さらに同様に、近視野光発生素子205と、平行に並んだ2本の短冊形状のABS406と、レンズ205を有している。   Similarly to the first embodiment, the slider substrate 401 is a rectangular substrate, has an inflow end 403 and an outflow end 404, and similarly, two near-field light generating elements 205 are arranged in parallel. A strip-shaped ABS 406 and a lens 205 are provided.

ミラー基板402は、実施の形態1と同様に、V溝408およびミラー409を有し、V溝408には光ファイバ400が固定されている。   The mirror substrate 402 has a V-groove 408 and a mirror 409 as in the first embodiment, and the optical fiber 400 is fixed to the V-groove 408.

ここで、流入端403および流出端404が、光ファイバ400と直交するように、スライダ基板401の上面とミラー基板402の下面が接合されている点が、実施の形態1と異なっている。   Here, the point that the upper surface of the slider substrate 401 and the lower surface of the mirror substrate 402 are joined so that the inflow end 403 and the outflow end 404 are orthogonal to the optical fiber 400 is different from the first embodiment.

光ファイバ400の端面は、光ファイバ400の軸に対して垂直である。また、V溝408およびミラー409は結晶異方性エッチングにより形成されているため、ミラー基板402面に対して、ミラー409は約55度の角度をなしている。そのため、光ファイバ400より出射した光は、ミラー409により曲げられると、垂直よりも約20度ファイバ401方向に傾斜する。ミラー409で曲げられた光は、レンズ407を介して、近視野光発生素子405に導かれる。
また、実施の形態1と同様に、ミラー基板402の上面にはフレクシャ105が接合されている。
The end face of the optical fiber 400 is perpendicular to the axis of the optical fiber 400. Further, since the V groove 408 and the mirror 409 are formed by crystal anisotropic etching, the mirror 409 forms an angle of about 55 degrees with respect to the mirror substrate 402 surface. Therefore, when the light emitted from the optical fiber 400 is bent by the mirror 409, the light is inclined about 20 degrees toward the fiber 401 from the vertical. The light bent by the mirror 409 is guided to the near-field light generating element 405 through the lens 407.
As in the first embodiment, the flexure 105 is bonded to the upper surface of the mirror substrate 402.

ミラー基板402は、スライダ基板401よりも面積が大きく、そのためにミラー基板402は、流出端404側に張り出し部410を有する。ここで、V溝408およびミラー409、またはその近傍が、張り出し部410上にあることが重要な点である。   The mirror substrate 402 has a larger area than the slider substrate 401, and therefore, the mirror substrate 402 has an overhanging portion 410 on the outflow end 404 side. Here, it is important that the V groove 408 and the mirror 409 or the vicinity thereof are on the projecting portion 410.

また、実施の形態2と同様に、張り出し部410が、V溝408、ミラー409およびその近傍を残して切り欠かれた形状であってもよい。   Further, similarly to the second embodiment, the protruding portion 410 may have a shape that is cut away leaving the V groove 408, the mirror 409, and the vicinity thereof.

本実施の形態では、近視野光ヘッドが張り出し部410を有し、V溝408およびミラー409、またはそれらの近傍が張り出し部410にかかることで、光ファイバ400を流出端404に近づけることができる。これにより、近視野光発生素子405を流出端404近傍に設けることができるため、近視野光発生素子405を記録ディスク表面により近接させることが可能となり、高い強度でしかも微細に局在化された近視野光を介して記録ディスクと相互作用させることで、検出信号のS/Nが良好で、高い記録密度に対応した近視野光ヘッドを実現できる。   In the present embodiment, the near-field optical head has the protruding portion 410, and the V-groove 408 and the mirror 409, or their vicinity, are applied to the protruding portion 410, so that the optical fiber 400 can be brought close to the outflow end 404. . As a result, the near-field light generating element 405 can be provided in the vicinity of the outflow end 404, so that the near-field light generating element 405 can be brought closer to the surface of the recording disk, and has high strength and is finely localized. By interacting with the recording disk via near-field light, a near-field optical head having a good S / N of the detection signal and corresponding to a high recording density can be realized.

また、光ファイバ400の端面を、加工の容易な垂直面としていることから、容易に高性能な近視野光ヘッドを実現できる。
(実施の形態4)
図5は本発明の実施の形態4にかかわる近視野光ヘッドの構成を示す図である。上図が本近視野光ヘッドの側面図、下図が平面図である。
Further, since the end surface of the optical fiber 400 is a vertical surface that can be easily processed, a high-performance near-field optical head can be easily realized.
(Embodiment 4)
FIG. 5 is a diagram showing the configuration of a near-field optical head according to Embodiment 4 of the present invention. The upper figure is a side view of the near-field optical head, and the lower figure is a plan view.

ここでの近視野光ヘッドは、実施の形態1にかかわる近視野光ヘッドとほぼ同一なものであるが、より小さいヘッドサイズを実現している点が異なる。本実施の形態におけるスライダ501は実施の形態1におけるスライダ201よりも小さい
近視野光発生素子505は、平行に並んだ2本の短冊形状のABS506aおよびABS506bの間、それも一方のABS506aにより近く設けられている。このため、スライダ501は実施の形態1におけるスライダ201よりも小さいにもかかわらず、V溝508の長さを十分に確保、つまりV溝508と光ファイバ103の接着しろを十分に確保することが出来る。
この場合においても、近視野光ヘッド506が第1の張り出し部510を有することから、上記の構成に加えて、V溝508と光ファイバ103の接着しろを十分に確保することに貢献していることはもちろんである。
(実施の形態5)
図6は本発明の実施の形態5にかかわる近視野光ヘッドの構成を示す図である。上図が本近視野光ヘッドの側面図、下図が平面図である。
The near-field optical head here is substantially the same as the near-field optical head according to the first embodiment, but differs in that a smaller head size is realized. The slider 501 in the present embodiment is smaller than the slider 201 in the first embodiment. The near-field light generating element 505 is provided between two strip-shaped ABSs 506a and ABS 506b arranged in parallel and closer to one ABS 506a. It has been. Therefore, although the slider 501 is smaller than the slider 201 in the first embodiment, the length of the V groove 508 can be sufficiently secured, that is, the margin for bonding the V groove 508 and the optical fiber 103 can be sufficiently secured. I can do it.
Also in this case, since the near-field optical head 506 has the first projecting portion 510, in addition to the above-described configuration, it contributes to sufficiently securing a bonding margin between the V groove 508 and the optical fiber 103. Of course.
(Embodiment 5)
FIG. 6 is a diagram showing a configuration of a near-field optical head according to the fifth embodiment of the present invention. The upper figure is a side view of the near-field optical head, and the lower figure is a plan view.

ここでの近視野光ヘッドは、実施の形態1にかかわる近視野光ヘッドとほぼ同一なものであるが、ミラー基板602の面積とスライダ基板601の面積が等しい点が異なる。ミラー基板602とスライダ基板601はオフセットして接着されているために、ミラー基板602は、光ファイバ103の挿入側に第1の張り出し部610と、流出端604側に第2の張り出し部611を有する。これにより、V溝608と光ファイバ103の接着しろを十分に確保することができる。   The near-field optical head here is almost the same as the near-field optical head according to the first embodiment except that the area of the mirror substrate 602 and the area of the slider substrate 601 are equal. Since the mirror substrate 602 and the slider substrate 601 are bonded with an offset, the mirror substrate 602 has a first projecting portion 610 on the insertion side of the optical fiber 103 and a second projecting portion 611 on the outflow end 604 side. Have. As a result, a sufficient margin for bonding the V groove 608 and the optical fiber 103 can be secured.

本発明の実施の形態1にかかわる近視野光ヘッドを用いた情報記録再生装置の概略図である。It is the schematic of the information recording / reproducing apparatus using the near-field optical head concerning Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1にかかわる近視野光ヘッド、それに固定された光ファイバおよびフレクシャの三面図である。It is a three-view figure of the near-field optical head concerning Embodiment 1 of this invention, the optical fiber fixed to it, and a flexure. 本発明の実施の形態2にかかわる近視野光ヘッドの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the near-field optical head concerning Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態3にかかわる近視野光ヘッドの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the near-field optical head concerning Embodiment 3 of this invention. 本発明の実施の形態4にかかわる近視野光ヘッドの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the near-field optical head concerning Embodiment 4 of this invention. 本発明の実施の形態5にかかわる近視野光ヘッドの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the near-field optical head concerning Embodiment 5 of this invention. 従来技術による近視野光ヘッドの構成を示す三面図である。It is a trihedral view showing the configuration of a near-field optical head according to the prior art.

符号の説明Explanation of symbols

101 レーザ
102 レンズ
103 光ファイバ
104 サスペンションアーム
105 フレクシャ
106 近視野光ヘッド
107 記録媒体
108 回路系
201 スライダ基板
202 ミラー基板
203 流入端
204 流出端
205 近視野光発生素子
206 ABS
207 レンズ
208 V溝
209 ミラー
210 第1の張り出し部
211 第2の張り出し部
301 ミラー基板
302 第1の張り出し部
400 光ファイバ
401 スライダ基板
402 ミラー基板
403 流入端
404 流出端
405 近視野光発生素子
406 ABS
407 レンズ
408 V溝
409 ミラー
410 張り出し部
501 スライダ基板
502 ミラー基板
503 流入端
504 流出端
505 近視野光発生素子
506a、b ABS
507 レンズ
508 V溝
509 ミラー
510 第1の張り出し部
511 第2の張り出し部
601 スライダ基板
602 ミラー基板
603 流入端
604 流出端
605 近視野光発生素子
606 ABS
607 レンズ
608 V溝
609 ミラー
610 第1の張り出し部
611 第2の張り出し部
1000 近視野光ヘッド
1001 ミラー基板
1002 スライダ基板
1003 V溝
1004 ミラー
1005 レンズ
1006 ABS
1007 近視野光発生素子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 101 Laser 102 Lens 103 Optical fiber 104 Suspension arm 105 Flexure 106 Near field optical head 107 Recording medium 108 Circuit system 201 Slider substrate 202 Mirror substrate 203 Inflow end 204 Outflow end 205 Near field light generation element 206 ABS
207 Lens 208 V groove 209 Mirror 210 First overhanging portion 211 Second overhanging portion 301 Mirror substrate 302 First overhanging portion 400 Optical fiber 401 Slider substrate 402 Mirror substrate 403 Inflow end 404 Outflow end 405 Near-field light generating element 406 ABS
407 Lens 408 V groove 409 Mirror 410 Overhang portion 501 Slider substrate 502 Mirror substrate 503 Inflow end 504 Outflow end 505 Near-field light generating element 506a, b ABS
507 Lens 508 V groove 509 Mirror 510 First overhanging portion 511 Second overhanging portion 601 Slider substrate 602 Mirror substrate 603 Inflow end 604 Outflow end 605 Near-field light generating element 606 ABS
607 Lens 608 V-groove 609 Mirror 610 First overhang 611 Second overhang 1000 Near-field optical head 1001 Mirror substrate 1002 Slider substrate 1003 V-groove 1004 Mirror 1005 Lens 1006 ABS
1007 Near-field light generating element

Claims (13)

近視野光を発生する近視野光発生素子を有する第1の基板と、前記第1の基板上に設けられ、光ファイバを固定する支持溝を有する第2の基板とからなる近視野光ヘッドであって、前記第2の基板は前記第1の基板から張り出している張り出し部を有することを特徴とする近視野光ヘッド。   A near-field optical head comprising a first substrate having a near-field light generating element for generating near-field light, and a second substrate provided on the first substrate and having a support groove for fixing an optical fiber. The near-field optical head according to claim 1, wherein the second substrate has a projecting portion projecting from the first substrate. 前記張り出し部に、前記支持溝が一部もしくは全部設けられていることを特徴とする請求項1に記載の近視野光ヘッド。   The near-field optical head according to claim 1, wherein a part or all of the support groove is provided in the projecting portion. 前記支持溝と前記光ファイバが接着剤を用いて固定されていることを特徴とする請求項1または2に記載の近視野光ヘッド。   The near-field optical head according to claim 1, wherein the support groove and the optical fiber are fixed using an adhesive. 前記支持溝がV溝であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の近視野光ヘッド。   The near-field optical head according to claim 1, wherein the support groove is a V-groove. 前記支持溝の1側面が反射面であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の近視野光ヘッド。   5. The near-field optical head according to claim 1, wherein one side surface of the support groove is a reflection surface. 前記反射面の一部もしくは全部が、前記張り出し部に設けられていることを特徴とする請求項5に記載の近視野光ヘッド。   6. The near-field optical head according to claim 5, wherein a part or all of the reflecting surface is provided on the projecting portion. 空気浮上する近視野光ヘッドであって、流出端と流入端を結ぶ線と前記支持溝が略直交することを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の近視野光ヘッド。   7. The near-field optical head according to claim 1, wherein the near-field optical head floats in air, and the line connecting the outflow end and the inflow end is substantially orthogonal to the support groove. 空気浮上する近視野光ヘッドであって、流出端と流入端を結ぶ線と前記支持溝が略平行であることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の近視野光ヘッド。   The near-field optical head according to claim 1, wherein the near-field optical head floats on the air, and the line connecting the outflow end and the inflow end is substantially parallel to the support groove. 前記光ファイバの端面が、前記光ファイバの軸方向に略直角であることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の近視野光ヘッド。   9. The near-field optical head according to claim 1, wherein an end face of the optical fiber is substantially perpendicular to an axial direction of the optical fiber. 前記光ファイバの端面が、前記光ファイバの軸方向に対して傾斜していることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の近視野光ヘッド。   The near-field optical head according to claim 1, wherein an end face of the optical fiber is inclined with respect to an axial direction of the optical fiber. 前記第2の基板の前記第1の基板と対向する面の面積が、前記第1の基板の前記第2の基板と対向する面の面積より大きいことを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載の近視野光ヘッド。   11. The area of the surface of the second substrate facing the first substrate is larger than the area of the surface of the first substrate facing the second substrate. The near-field optical head described in the above. 前記第1の基板の前記第2の基板と対向する面の輪郭形状と、前記第2の基板の前記第1の基板と対向する面の輪郭形状が略同一で、前記第1の基板と前記第2の基板はオフセットして固定されていることを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載の近視野光ヘッド。   The contour shape of the surface of the first substrate facing the second substrate is substantially the same as the contour shape of the surface of the second substrate facing the first substrate, and the first substrate and the The near-field optical head according to claim 1, wherein the second substrate is offset and fixed. 前記第1の基板の前記第2の基板と対向する面の輪郭形状と、前記第2の基板の前記第1の基板と対向する面の輪郭形状が異なることを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載の近視野光ヘッド。   The contour shape of the surface of the first substrate facing the second substrate is different from the contour shape of the surface of the second substrate facing the first substrate. The near-field optical head according to any one of the above.
JP2005212408A 2004-08-31 2005-07-22 Near-field optical head Pending JP2006099938A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005212408A JP2006099938A (en) 2004-08-31 2005-07-22 Near-field optical head

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004253192 2004-08-31
JP2005212408A JP2006099938A (en) 2004-08-31 2005-07-22 Near-field optical head

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006099938A true JP2006099938A (en) 2006-04-13

Family

ID=36239545

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005212408A Pending JP2006099938A (en) 2004-08-31 2005-07-22 Near-field optical head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006099938A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012084230A (en) * 2006-06-14 2012-04-26 Samsung Electronics Co Ltd Head gimbal assembly for hard disk and assembly method of the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012084230A (en) * 2006-06-14 2012-04-26 Samsung Electronics Co Ltd Head gimbal assembly for hard disk and assembly method of the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4482485B2 (en) Head module
US7483229B2 (en) Optical coupling to data recording transducer
JP5441184B2 (en) Head gimbal assembly and information recording / reproducing apparatus including the same
JP5804487B2 (en) RECORDING HEAD, RECORDING HEAD MANUFACTURING METHOD, AND INFORMATION RECORDING / REPRODUCING DEVICE
JP5055641B2 (en) Information recording / reproducing device
WO2008013101A1 (en) Head gimbal mechanism and information recording/playback device
JP2006053978A (en) Near field optical head and information reproducing apparatus using the near field optical head
JP4850017B2 (en) Manufacturing method of near-field optical head
JP5943417B2 (en) Near-field light generating element, near-field light head, and information recording / reproducing apparatus
JP2006099938A (en) Near-field optical head
JP2010129141A (en) Flexure and method of manufacturing the same
JP5692797B2 (en) Near-field optical element, recording head, information recording / reproducing apparatus, manufacturing method of near-field optical element, and manufacturing method of recording head
JP5200273B2 (en) Head gimbal assembly and information recording / reproducing apparatus including the same
JP5550049B2 (en) Recording head and information recording / reproducing apparatus
JP4515244B2 (en) Near-field optical head
JP5780630B2 (en) Recording head and information recording / reproducing apparatus
WO2009154043A1 (en) Head gimbal assembly with optical guide structure, and information recording/reproducing device
JP6029185B2 (en) Recording head and information recording / reproducing apparatus
JP2006053979A (en) Near field optical head
JP5462122B2 (en) Head gimbal assembly, information recording / reproducing apparatus, head gimbal assembly manufacturing method, and head gimbal assembly manufacturing apparatus
JP5740769B2 (en) Recording head and information recording / reproducing apparatus
JP5550048B2 (en) Recording head and information recording / reproducing apparatus
JP5596997B2 (en) Head gimbal assembly
JP2011096351A (en) Flexure for recording, head gimbal assembly provided with the same and method for manufacturing flexure for recording
JP2009004006A (en) Optical assist magnetic recording head, optical assist magnetic recording device