JP2009004006A - Optical assist magnetic recording head, optical assist magnetic recording device - Google Patents

Optical assist magnetic recording head, optical assist magnetic recording device Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical assist magnetic recording head in which use efficiency of light is high and thickness is thin, and an optical assist magnetic recording device. <P>SOLUTION: The optical assist magnetic recording head performs information recording for a recording medium using light. The head has a slider moving relatively for the recording medium, and an optical waveguide guiding light from a light source to the slider. The optical waveguide has a core waveguide which is formed in a L-shape and propagates light, a slant reflecting light propagated from the light source and guiding it to the slider is formed at a bent part of the L-shape of the core waveguide. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、光アシスト磁気記録ヘッド、及び光アシスト磁気記録装置に関する。   The present invention relates to an optically assisted magnetic recording head and an optically assisted magnetic recording apparatus.

磁気記録方式では、記録密度が高くなると磁気ビットが外部温度等の影響を顕著に受けるようになる。このため高い保磁力を有する記録媒体が必要になるが、そのような記録媒体を使用すると記録時に必要な磁界も大きくなる。記録ヘッドによって発生する磁界は飽和磁束密度によって上限が決まるが、その値は材料限界に近づいており飛躍的な増大は望めない。そこで、記録時に局所的に加熱して磁気軟化を生じさせ、保磁力が小さくなった状態で記録し、その後に加熱を止めて自然冷却することにより、記録した磁気ビットの安定性を保証する方式が提案されている。この方式は熱アシスト磁気記録方式と呼ばれている。   In the magnetic recording method, when the recording density increases, the magnetic bit is significantly affected by the external temperature and the like. For this reason, a recording medium having a high coercive force is required. However, when such a recording medium is used, the magnetic field required for recording also increases. The upper limit of the magnetic field generated by the recording head is determined by the saturation magnetic flux density, but its value approaches the material limit and cannot be expected to increase dramatically. Therefore, a method of guaranteeing the stability of the recorded magnetic bit by locally heating at the time of recording, causing magnetic softening, recording with a reduced coercive force, and then stopping the heating and naturally cooling Has been proposed. This method is called a heat-assisted magnetic recording method.

熱アシスト磁気記録方式では、記録媒体の加熱を瞬間的に行うことが望ましい。また、加熱する機構と記録媒体とが接触することは許されない。このため、加熱は光の吸収を利用して行われるのが一般的であり、加熱に光を用いる方式は光アシスト式と呼ばれている。   In the heat-assisted magnetic recording method, it is desirable to instantaneously heat the recording medium. Further, the heating mechanism and the recording medium are not allowed to contact each other. For this reason, heating is generally performed using absorption of light, and a method using light for heating is called a light assist method.

光アシスト磁気記録方式では、記録媒体に情報を読み書きする磁気記録部、磁気再生部等を備えて記録媒体の上を浮上して相対移動するスライダ、光源からの光を結合する光ファイバー、光ファイバーから出射された光を偏向させてスライダに導光する光学素子等を備えた構成の光アシスト磁気記録ヘッドが種々提案されている。   In the optically assisted magnetic recording system, a magnetic recording unit that reads and writes information on a recording medium, a magnetic reproducing unit, etc., a slider that floats and moves relative to the recording medium, an optical fiber that couples light from a light source, and an optical fiber Various optically assisted magnetic recording heads having an optical element or the like for deflecting the emitted light and guiding it to a slider have been proposed.

例えば、スライダの先端に、プリズムと透明誘電体からなる光学素子が設けられ、光ファイバーを介して光源から導かれた光をプリズムで90度偏向させて透明誘電体の記録媒体と対抗する面に設けられたプラズモンプローブに導光する構成の光アシスト磁気記録ヘッドが知られている(特許文献1参照)。
特開2002−298302号公報
For example, an optical element composed of a prism and a transparent dielectric is provided at the tip of the slider, and the light guided from the light source via the optical fiber is deflected by 90 degrees by the prism and provided on the surface facing the recording medium of the transparent dielectric. An optically assisted magnetic recording head configured to guide light to a plasmon probe is known (see Patent Document 1).
JP 2002-298302 A

ところで、近年、例えばHDD(Hard Disk Drive)の様な記録装置の高密度情報記録が進むに伴い、再生記録を行うヘッドの小型化、ヘッドを構成するスライダの小型化が望まれている。スライダのサイズは、国際ディスクドライブ協会(IDEMA、International Disk Drive Equipment and Materials Association)スタンダードとして標準化されている。サイズの大きい順からミニ・スライダ、マイクロ・スライダ、ナノ・スライダ、ピコ・スライダ、フェムト・スライダと命名されている。これらのスライダの中で、大きさの観点から現在注目されているスライダは、ナノ・スライダ、ピコ・スライダ、フェムト・スライダである。これらのスライダの大きさ(サイズ)と質量を表1に示す。   Incidentally, in recent years, with the progress of high-density information recording in a recording apparatus such as an HDD (Hard Disk Drive), for example, it is desired to reduce the size of a head that performs reproduction recording and the size of a slider that constitutes the head. The size of the slider is standardized as an International Disk Drive Association and Materials Association (IDEMA) standard. In order of size, they are named mini slider, micro slider, nano slider, pico slider, and femto slider. Among these sliders, the sliders currently attracting attention from the viewpoint of size are the nano slider, pico slider, and femto slider. Table 1 shows the size (size) and mass of these sliders.

Figure 2009004006
Figure 2009004006

高密度情報記録においては、上記のスライダの大きさから分かるように1枚のディスク上の情報の高密度化は勿論であり、更にディスクを多層配置する、又はできるだけ小型の筐体に収納することで空間的に高密度化することも必要である。例えば、多層のディスク配置を想定した場合、ディスク同士の間隔はできるだけ小さいことが要望され、表1で示したスライダの厚みを含めた光ヘッドの厚みは、1.5mm程度以下とすることが望まれている。   In high-density information recording, as can be seen from the size of the slider described above, not only the information on one disk is increased in density, but also the disks are arranged in multiple layers or housed in as small a housing as possible. It is also necessary to increase the spatial density. For example, assuming a multi-layer disk arrangement, the distance between the disks is required to be as small as possible, and the thickness of the optical head including the slider thickness shown in Table 1 should be about 1.5 mm or less. It is rare.

しかしながら、特許文献1に記載の光アシスト磁気記録ヘッドは、プリズムを用いて光ファイバーから出射された光を偏向させてスライダに導光している。このプリズムの通常用いられる製造方法からすると、スライダを除いた光学系の厚みは、数100μm程度は必要になると想定される。この為、光ヘッドの薄型化を阻害するといった問題がある。   However, the optically assisted magnetic recording head described in Patent Document 1 deflects the light emitted from the optical fiber using a prism and guides it to the slider. From the manufacturing method of this prism that is usually used, it is assumed that the thickness of the optical system excluding the slider needs to be about several hundred μm. For this reason, there is a problem that the thinning of the optical head is hindered.

また、特許文献1に記載の光アシスト磁気記録ヘッドは、光ファイバーから出射された光がプリズムで反射され、透明誘電体ブロックを透過してプラズモンプローブのギャップ付近を照射する構成としている。この場合、光ファイバーから放出される光は、記録素子のギャップ付近に到達するまでに回折により広がってしまい、ギャップ付近での近接場光の発生に寄与する光の利用効率が低下するといった問題がある。   The optically assisted magnetic recording head described in Patent Document 1 is configured such that light emitted from an optical fiber is reflected by a prism, passes through a transparent dielectric block, and irradiates near the gap of a plasmon probe. In this case, the light emitted from the optical fiber spreads by diffraction before reaching the vicinity of the gap of the recording element, and there is a problem that the utilization efficiency of light contributing to the generation of near-field light near the gap is reduced. .

本発明は、上記の課題を鑑みてなされたものであって、光の利用効率が高く厚みの薄い光アシスト磁気記録ヘッド、及び光アシスト磁気記録装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide an optically assisted magnetic recording head and an optically assisted magnetic recording apparatus that have high light utilization efficiency and are thin.

上記目的は、下記の1乃至5のいずれか1項に記載の発明によって達成される。   The above object is achieved by the invention described in any one of 1 to 5 below.

1.記録媒体に光を用いて情報記録を行う光アシスト磁気記録ヘッドにおいて、
前記記録媒体に対して相対移動するスライダと、
前記スライダに光源からの光を導く光導波路と、を有し、
前記光導波路は、L字状に形成された光を伝搬するコア導波路を有するものであって、
前記コア導波路のL字の屈曲部には、前記光源から伝搬した光を反射させて前記スライダに導く斜面が形成されていることを特徴とする光アシスト磁気記録ヘッド。
1. In an optically assisted magnetic recording head that records information using light on a recording medium,
A slider that moves relative to the recording medium;
An optical waveguide for guiding light from a light source to the slider,
The optical waveguide has a core waveguide that propagates light formed in an L shape,
An optically assisted magnetic recording head, wherein an inclined surface that reflects light propagated from the light source and guides it to the slider is formed at an L-shaped bent portion of the core waveguide.

2.前記コア導波路は、略90度の角度で屈曲されてL字状に形成され、
前記斜面は、前記コア導波路の光軸に対し略45度の角度をなして形成されることを特徴とする前記1に記載の光アシスト磁気記録ヘッド。
2. The core waveguide is bent at an angle of approximately 90 degrees and formed in an L shape,
2. The optically assisted magnetic recording head as described in 1 above, wherein the inclined surface is formed at an angle of approximately 45 degrees with respect to the optical axis of the core waveguide.

3.前記スライダには、溝が形成され、
前記光導波路は、前記溝に埋設されていることを特徴とする前記1または2に記載の光アシスト磁気記録ヘッド。
3. The slider is formed with a groove,
3. The optically assisted magnetic recording head as described in 1 or 2 above, wherein the optical waveguide is embedded in the groove.

4.前記溝の一端には、壁が形成され、
前記光導波路の一端は、前記溝に形成された壁に当接されていることを特徴とする前記3に記載の光アシスト磁気記録ヘッド。
4). A wall is formed at one end of the groove,
4. The optically assisted magnetic recording head as described in 3 above, wherein one end of the optical waveguide is in contact with a wall formed in the groove.

5.前記1乃至4のいずれか1項に記載の光アシスト磁気記録ヘッドと、
前記光アシスト磁気記録ヘッドにより情報記録される記録媒体と、を有することを特徴とする光アシスト磁気記録装置。
5). 5. The optically assisted magnetic recording head according to any one of 1 to 4,
And a recording medium on which information is recorded by the optically assisted magnetic recording head.

本発明によれば、光導波路は、L字状に形成された光を伝搬するコア導波路を有し、コア導波路のL字の屈曲部には斜面を設け、該斜面で光源から伝搬した光を反射させてスライダに導く構成とした。すなわち光源からの光をコア導波路に閉じ込めたまま反射させてスライダに導くようにした。したがって、スライダの所定の位置に光を集光させるレンズ等の光学系を必要とせず、光アシスト磁気記録ヘッドを薄型化することができる。また、光の広がりを抑えることができ、光の利用効率を高めることができる。   According to the present invention, the optical waveguide has a core waveguide that propagates light formed in an L shape, and the L-shaped bent portion of the core waveguide is provided with a slope, and propagated from the light source on the slope. The light is reflected and guided to the slider. That is, the light from the light source is reflected while being confined in the core waveguide and guided to the slider. Therefore, an optical system such as a lens for condensing light at a predetermined position of the slider is not required, and the optically assisted magnetic recording head can be thinned. Moreover, the spread of light can be suppressed and the light utilization efficiency can be increased.

以下図面に基づいて、本発明に係る光アシスト磁気記録ヘッド、光アシスト磁気記録装置の実施の形態を説明する。尚、本発明を図示の実施の形態に基づいて説明するが、本発明は該実施の形態に限られない。また、各実施の形態の相互で同一の部分や相当する部分には同一の符号を付して重複の説明を適宜省略する。
〔実施形態1〕
図1に、本発明の実施形態1に係る光アシスト磁気記録ヘッド(以下、光ヘッドとも記する。)を搭載した光アシスト磁気記録装置(例えば、ハードディスク装置)の概略構成を示す。
Embodiments of an optically assisted magnetic recording head and an optically assisted magnetic recording apparatus according to the present invention will be described below with reference to the drawings. In addition, although this invention is demonstrated based on embodiment of illustration, this invention is not limited to this embodiment. In addition, the same or corresponding parts in the embodiments are denoted by the same reference numerals, and repeated description is appropriately omitted.
Embodiment 1
FIG. 1 shows a schematic configuration of an optically assisted magnetic recording device (for example, a hard disk device) equipped with an optically assisted magnetic recording head (hereinafter also referred to as an optical head) according to Embodiment 1 of the present invention.

光アシスト磁気記録装置1Aは、記録用のディスク(磁気記録媒体)2、支軸5を支点として矢印Aの方向(トラッキング方向)に回転可能に設けられたサスペンション4、サスペンション4に取り付けられたトラッキング用アクチュエータ6、サスペンション4の先端に取り付けられた光ヘッド3、及びディスク2を矢印Bの方向に回転させる図示しないモータ等を筐体1の中に備えており、光ヘッド3がディスク2の上で浮上しながら相対的に移動しうるように構成されている。   The optically assisted magnetic recording apparatus 1A includes a recording disk (magnetic recording medium) 2, a suspension 4 that is rotatably provided in the direction of arrow A (tracking direction) with a support shaft 5 as a fulcrum, and a tracking attached to the suspension 4. Actuator 6, an optical head 3 attached to the tip of suspension 4, and a motor (not shown) that rotates disk 2 in the direction of arrow B are provided in housing 1. It can be moved relatively while floating.

図2は、光ヘッド3の構成を示す断面図である。光ヘッド3は、ディスク2に対する情報記録に光を利用する光ヘッドである。光ヘッド3は、図示しない光源からの光を光ヘッド3に導光する光ファイバー11、ディスク2の被記録部分をレーザー光でスポット加熱するための光アシスト部として機能する光導波路16、光ファイバー11から出射されたレーザー光LD1を光導波路16に導く光導波路12、また、先の光導波路16、ディスク2の被記録部分に対して磁気情報の書き込みを行う磁気記録部17、ディスク2に記録されている磁気情報の読み取りを行う磁気再生部18を有するスライダ15等を備えている。また、光導波路12には、光ファイバー11からのレーザー光LD1を伝搬し、光導波路16に導く図示しない後述のコア導波路12aが設けられている。   FIG. 2 is a cross-sectional view showing the configuration of the optical head 3. The optical head 3 is an optical head that uses light for recording information on the disk 2. The optical head 3 includes an optical fiber 11 that guides light from a light source (not shown) to the optical head 3, an optical waveguide 16 that functions as a light assist unit for spot-heating a recording portion of the disk 2 with laser light, and an optical fiber 11. An optical waveguide 12 that guides the emitted laser light LD 1 to the optical waveguide 16, a magnetic recording unit 17 that writes magnetic information to the optical waveguide 16, the recorded portion of the disk 2, and the disk 2. A slider 15 having a magnetic reproducing unit 18 for reading the magnetic information. The optical waveguide 12 is provided with a core waveguide 12a (not shown) that propagates the laser light LD1 from the optical fiber 11 and guides it to the optical waveguide 16.

なお、図2ではディスク2の記録領域の進入側から退出側(図の←方向)にかけて、磁気再生部18、光導波路16、磁気記録部17の順に配置されているが、配置順はこれに限らない。光導波路16の退出側直後に磁気記録部17が位置すればよいので、例えば、光導波路16、磁気記録部17、磁気再生部18の順に配置してもよい。   In FIG. 2, the magnetic reproducing section 18, the optical waveguide 16, and the magnetic recording section 17 are arranged in this order from the entry side to the withdrawal side (← direction in the figure) of the recording area of the disk 2. Not exclusively. Since the magnetic recording unit 17 only needs to be positioned immediately after the exit side of the optical waveguide 16, for example, the optical waveguide 16, the magnetic recording unit 17, and the magnetic reproducing unit 18 may be arranged in this order.

光ファイバー11により導光される光は、例えば、半導体レーザーより出射される光である。光ファイバー11の端面から出射したレーザー光LD1は、光導波路12に設けられたコア導波路12aによって、スライダ15に設けられた光導波路16の上面に集光され、この光アシスト部を成す光導波路16を導波して光ヘッド3からディスク2に向けて出射する。   The light guided by the optical fiber 11 is, for example, light emitted from a semiconductor laser. The laser beam LD1 emitted from the end face of the optical fiber 11 is condensed on the upper surface of the optical waveguide 16 provided in the slider 15 by the core waveguide 12a provided in the optical waveguide 12, and the optical waveguide 16 constituting this optical assist portion. Is emitted from the optical head 3 toward the disk 2.

スライダ15は浮上しながら磁気記録媒体であるディスク2に対して相対的に移動するが、媒体に付着したごみや、媒体に欠陥がある場合には接触する可能性がある。その場合に発生する摩耗を低減するため、スライダ15の材質には耐摩耗性の高い硬質の材料を用いることが望ましい。例えば、Al23を含むセラミック材料、例えばAlTiCやジルコニア、TiNなどを用いれば良い。また、摩耗防止処理として、スライダ15のディスク2側の面に耐摩耗性を増すために表面処理を行っても良い。例えば、DLC(Diamond Like Carbon)被膜を用いると、光の透過率も高く、ダイヤモンドに次ぐHv=3000以上の硬度が得られる。 The slider 15 moves relative to the disk 2 which is a magnetic recording medium while flying, but there is a possibility of contact if there is dust attached to the medium or a defect in the medium. In order to reduce wear generated in that case, it is desirable to use a hard material having high wear resistance as the material of the slider 15. For example, a ceramic material containing Al 2 O 3 , such as AlTiC, zirconia, TiN, or the like may be used. Further, as a wear prevention treatment, a surface treatment may be performed on the surface of the slider 15 on the disk 2 side in order to increase wear resistance. For example, when a DLC (Diamond Like Carbon) film is used, the light transmittance is high, and a hardness of Hv = 3000 or higher after diamond is obtained.

また、スライダ15のディスク2と対峙する面には、浮上特性向上のための空気ベアリング面(ABS(Air Bearing Surface)面とも称する。)を有している。スライダ15の浮上はディスク2に近接した状態で安定させる必要があり、スライダ15に浮上力を抑える圧力を適宜加える必要がある。このため、スライダ15を支持するサスペンション4は、光ヘッド3のトラッキングを行う機能の他、スライダ15の浮上力を抑える圧力を適宜加える機能を有している。   Further, the surface of the slider 15 that faces the disk 2 has an air bearing surface (also referred to as an ABS (Air Bearing Surface) surface) for improving the flying characteristics. The flying of the slider 15 needs to be stabilized in the state of being close to the disk 2, and it is necessary to appropriately apply a pressure for suppressing the flying force to the slider 15. For this reason, the suspension 4 that supports the slider 15 has a function of appropriately applying a pressure that suppresses the flying force of the slider 15 in addition to the function of tracking the optical head 3.

光ヘッド3から出射したレーザー光が微小なスポットとしてディスク2に照射されると、ディスク2の照射された部分の温度が一時的に上昇してディスク2の保持力が低下する。その保持力の低下した状態の照射された部分に対して、磁気記録部17により磁気情報が書き込まれる。   When the laser beam emitted from the optical head 3 is irradiated to the disk 2 as a minute spot, the temperature of the irradiated part of the disk 2 temporarily rises and the holding power of the disk 2 decreases. Magnetic information is written by the magnetic recording unit 17 to the irradiated portion in a state where the holding force is reduced.

図3は、光導波路12の構成を示す断面図である。図3(a)に示すように、光導波路12は、光を伝搬するコア導波路12a、コア導波路12aを覆い光の漏洩を遮断するクラッド12bから構成される。また、コア導波路12aは、L字状に略90度屈曲され、屈曲部には、コア導波路12aの光軸K1に対し略45度傾斜した斜面12cが形成されている。   FIG. 3 is a cross-sectional view showing the configuration of the optical waveguide 12. As shown in FIG. 3A, the optical waveguide 12 includes a core waveguide 12a that propagates light and a clad 12b that covers the core waveguide 12a and blocks light leakage. The core waveguide 12a is bent into an L shape by approximately 90 degrees, and an inclined surface 12c inclined by approximately 45 degrees with respect to the optical axis K1 of the core waveguide 12a is formed at the bent portion.

矢印P方向から伝搬されてきたレーザー光は、コア導波路12aに閉じ込められており、一定の導波モード(ビーム形状)を保っている。このような構成では、レーザー光は、斜面12cで90度偏向された後でも、導波モードを一定に保つことができるので光の利用効率を高めることができる。具体的には、この導波モードの大きさは、FWHMで3μm〜10μm程度に設定される。一方、図3(b)に示すように、単に光ファイバーの端面に斜面12cを設けるような構成では、斜面12cで偏向されたレーザー光を閉じ込める構造がない為、レーザー光は、自由空間を伝搬することになる。この場合、斜面12cで偏向されたレーザー光は、回折により広げられる。光ヘッド3からディスク2に照射されるレーザー光は、前述のように微小なスポットとして絞られる必要があるが、この回折によるレーザー光の広がりによりスライダ15に設けられた光導波路16(光アシスト部)に入射する光の量が低下し、光の利用効率の低下を招くことになる。   The laser light propagated from the direction of the arrow P is confined in the core waveguide 12a and maintains a constant waveguide mode (beam shape). In such a configuration, even after the laser light is deflected 90 degrees on the inclined surface 12c, the waveguide mode can be kept constant, so that the light use efficiency can be increased. Specifically, the size of this guided mode is set to about 3 μm to 10 μm by FWHM. On the other hand, as shown in FIG. 3B, in the configuration in which the inclined surface 12c is simply provided on the end face of the optical fiber, there is no structure for confining the laser light deflected by the inclined surface 12c, so the laser light propagates in free space. It will be. In this case, the laser beam deflected by the inclined surface 12c is spread by diffraction. The laser light emitted from the optical head 3 to the disk 2 needs to be focused as a fine spot as described above, but the optical waveguide 16 (light assist portion) provided in the slider 15 by the spread of the laser light by this diffraction. ) Decreases in the amount of light incident on the light source), leading to a decrease in light utilization efficiency.

次に、図4を用いて光導波路12のサイズについて説明する。最初に、光導波路として、例えば、光ファイバーを用いた場合、図4(a)に示すように、コア13aの径が5μmの光ファイバー13を用いても、通常、クラッド13bの径は128μmである。クラッド13bの幅は、光の漏洩だけを考慮すれば、コア13aの幅程度あれば良いが、光ファイバー13は、強度や取り扱い、また曲げる必要があることを考慮してこのようなサイズに設定されている。これをエッチングなどの手法を用いて小径化することは可能であるが、多大な手間が必要であり、また、非常に折れやすくなり、扱いが困難である。   Next, the size of the optical waveguide 12 will be described with reference to FIG. First, when an optical fiber is used as the optical waveguide, for example, as shown in FIG. 4A, even if the optical fiber 13 having a core 13a diameter of 5 μm is used, the diameter of the clad 13b is usually 128 μm. The width of the clad 13b may be about the width of the core 13a in consideration of only light leakage, but the optical fiber 13 is set to such a size in consideration of strength, handling, and bending. ing. Although it is possible to reduce the diameter by using a technique such as etching, a great deal of labor is required, and it becomes very easy to break and is difficult to handle.

一方、図4(b)に、本実施形態による光導波路12の基本形状を示す。光導波路12は、後述のように、基板上に複数の材料を積層して作製し、所望の幅に切断する。切断時に任意にクラッド12bの径を設定することが可能であり(本実施形態では、例えば30μmの幅に設定している。)、作製も容易である。図4(b)では、光導波路12は、基板から剥離されているが、後述のように、基板から剥離しない構成をとることもできる。また、基板から剥離された場合も、光導波路12を樹脂系材料、例えば、ポリイミドな等を用いて作製すると、可とう性に優れ、取り扱いが容易である。この場合は、後述のように、スライダ15の表面に溝を設け、該溝に光導波路12を埋め込むことにより、光ヘッド3全体の厚さを極めて薄くすることが可能となる。この様に、本実施形態による光導波路12においては、クラッド12bの径を光ファイバー13の場合に比べ、大きく細くすることができるので、光ヘッド3の薄型化を実現することができる。   On the other hand, FIG. 4B shows a basic shape of the optical waveguide 12 according to the present embodiment. As will be described later, the optical waveguide 12 is produced by laminating a plurality of materials on a substrate, and is cut to a desired width. It is possible to arbitrarily set the diameter of the clad 12b at the time of cutting (in this embodiment, for example, the width is set to 30 μm), and the production is easy. In FIG. 4B, the optical waveguide 12 is peeled off from the substrate, but may be configured not to peel off from the substrate as will be described later. Even when the optical waveguide 12 is peeled off from the substrate, it is excellent in flexibility and easy to handle if the optical waveguide 12 is made of a resin material such as polyimide. In this case, as will be described later, by providing a groove on the surface of the slider 15 and embedding the optical waveguide 12 in the groove, the entire thickness of the optical head 3 can be made extremely thin. Thus, in the optical waveguide 12 according to the present embodiment, the diameter of the clad 12b can be made larger and thinner than that of the optical fiber 13, so that the optical head 3 can be made thinner.

次に、このような構成の光導波路12の製造方法を図5を用いて説明する。図5(a1)乃至図5(a5)は、図5(b4)に示す光導波路12をA−A’方向から見た工程断面図である。図5(b1)乃至図5(b5)は、工程平面図である。   Next, a method for manufacturing the optical waveguide 12 having such a configuration will be described with reference to FIG. 5A1 to 5A5 are process cross-sectional views of the optical waveguide 12 shown in FIG. 5B4 when viewed from the A-A ′ direction. 5 (b1) to 5 (b5) are process plan views.

光導波路12は、図5(b1)に示すようなウェハ上に製作される。最初に、ガラス、シリコン、セラミックス等からなる基板121の上に、石英、あるいはポリイミド等の樹脂材料からなるクラッド層122、及びコア層123を順次積層する(図5(a1))。積層にはCVD、スパッタ、スピンコート法等を用いる。コア材料はクラッド材料よりも屈折率が高く設定されている。次に、コア層123をフォトリソグラフィ法などを用いてコア導波路12aの形状にパターニングし(図5(a2))、その上からオーバークラッド層124を積層する(図5(a3))。   The optical waveguide 12 is manufactured on a wafer as shown in FIG. First, a clad layer 122 made of a resin material such as quartz or polyimide and a core layer 123 are sequentially laminated on a substrate 121 made of glass, silicon, ceramics or the like (FIG. 5 (a1)). For lamination, CVD, sputtering, spin coating, or the like is used. The core material is set to have a higher refractive index than the cladding material. Next, the core layer 123 is patterned into the shape of the core waveguide 12a by using a photolithography method or the like (FIG. 5 (a2)), and the over clad layer 124 is laminated thereon (FIG. 5 (a3)).

このようにしてウェハ上に光動波路アレイ12Aが完成する(図5(b1))。次に、ウェハ上にできた光動波路アレイ12Aをダイシングにより分離し(図5(b2))、さらにダイシング研磨などにより傾斜面12cを形成する(図5(b3))。次に、基板121を剥離して、光導波路12Dのみにする(図5(a4))。   In this way, the optical waveguide array 12A is completed on the wafer (FIG. 5 (b1)). Next, the optical waveguide array 12A formed on the wafer is separated by dicing (FIG. 5 (b2)), and an inclined surface 12c is formed by dicing polishing or the like (FIG. 5 (b3)). Next, the substrate 121 is peeled off to make only the optical waveguide 12D (FIG. 5 (a4)).

最後に、例えば、幅30μmになるようにダイシングし(図5(a5)、図5(b4))、光導波路12を得る。尚、ここでは,幅が小さくなることを強調するために図5(a5)、図5(b4)に示す工程を設けたが、これはもちろん、図5(b1)から図5(b2)に示す工程に移行する際に、幅を30μmにしてもよい。また、後述のように基板121付きの構成も考えられ、その場合には基板121の剥離工程を省略する。   Finally, for example, the optical waveguide 12 is obtained by dicing so as to have a width of 30 μm (FIG. 5A5, FIG. 5B4). Here, in order to emphasize that the width is reduced, the steps shown in FIGS. 5 (a5) and 5 (b4) are provided. Of course, this is changed from FIGS. 5 (b1) to 5 (b2). When shifting to the process shown, the width may be 30 μm. Further, as described later, a configuration with a substrate 121 is also conceivable.

次に、光ヘッド3の実施形態1による構成例、及びその組立工程を図6を用いて説明する。図6(a)乃至図6(d)は、本発明の実施形態1による光ヘッド3の構成、及び光ヘッド3の組立工程を示す模式図である。   Next, a configuration example according to the first embodiment of the optical head 3 and an assembly process thereof will be described with reference to FIG. 6A to 6D are schematic views showing the configuration of the optical head 3 according to the first embodiment of the present invention and the assembly process of the optical head 3. FIG.

最初に、図6(a)に示すように、スライダ15の上面前部には内部の図示しない磁気記録部17、磁気再生部18に接続された4つの電極15Dが設けられている。また、スライダ15の前部には、光導波路16が設けられている。   First, as shown in FIG. 6A, four electrodes 15 </ b> D connected to an internal magnetic recording unit 17 and a magnetic reproducing unit 18 (not shown) are provided on the front surface of the slider 15. In addition, an optical waveguide 16 is provided at the front portion of the slider 15.

次に、図6(b)に示すように、スライダ15の前部に設けられた光導波路16の光の入射位置に、光導波路12の光の出射する位置を合わせて、光導波路12をスライダ15に接着する。   Next, as shown in FIG. 6 (b), the light waveguide 12 is placed in the slider by aligning the light emitting position of the optical waveguide 12 with the light incident position of the optical waveguide 16 provided at the front of the slider 15. Adhere to 15.

次に、図6(c)に示すように、スライダ15の上にサスペンション4を接着する。サスペンション4の内部には、外部の制御回路とスライダ15の磁気記録部17、磁気再生部18との間で電気信号の伝搬を行う為の図示しないリード線等の配線部材が設けられ、サスペンションの前面には、該リード線と接続された4つの電極4Dが設けられている。そして、スライダ15に設けられた電極15Dとサスペンション4に設けられた電極4Dを半田にて接続することで、図示しない制御回路と、スライダ15の磁気記録部17、磁気再生部18とが電気的に接続される。また、図6(d)に示すように、光導波路12には、光ファイバー11が結合されており、図示しない光源から光ファイバー11を介して導かれた光LD1を、スライダ15に設けられた光導波路16に導く。尚、図6(d)は、図6(c)の側断面図である。   Next, the suspension 4 is bonded onto the slider 15 as shown in FIG. The suspension 4 is provided with a wiring member such as a lead wire (not shown) for propagating electrical signals between an external control circuit and the magnetic recording unit 17 and the magnetic reproducing unit 18 of the slider 15. Four electrodes 4D connected to the lead wires are provided on the front surface. Then, by connecting the electrode 15D provided on the slider 15 and the electrode 4D provided on the suspension 4 with solder, a control circuit (not shown) and the magnetic recording unit 17 and the magnetic reproducing unit 18 of the slider 15 are electrically connected. Connected to. Further, as shown in FIG. 6D, an optical fiber 11 is coupled to the optical waveguide 12, and an optical waveguide provided on the slider 15 with the light LD 1 guided through the optical fiber 11 from a light source (not shown). Lead to 16. FIG. 6D is a side sectional view of FIG.

このように、本発明の実施形態に係る光ヘッド3においては、光導波路12は、L字状に形成された光を伝搬するコア導波路12aを有し、コア導波路12aのL字の屈曲部には斜面12cを設け、該斜面12cで光源から伝搬した光を反射させてスライダ15に導く構成とした。すなわち光源からの光をコア導波路12aに閉じ込めたまま反射させてスライダ15に導くようにした。したがって、スライダ15の所定の位置に光を集光させるレンズ等の光学系を必要とせず、光ヘッド3を薄型化することができる。また、光の広がりを抑えることができ、光の利用効率を高めることができる。
〔実施形態2〕
図7に光ヘッド3の実施形態2による構成例、及びその組立工程を示す。図7(a)乃至図7(d)は、本発明の実施形態2による光ヘッド3の構成、及び光ヘッド3の組立工程を示す模式図である。実施形態2による構成例、及びその組立工程は、実施形態1の場合と略同様であり、光導波路12の形態のみ異なる。
As described above, in the optical head 3 according to the embodiment of the present invention, the optical waveguide 12 includes the core waveguide 12a that propagates light formed in an L shape, and the L-shaped bending of the core waveguide 12a. A slope 12c is provided at the portion, and the light propagated from the light source is reflected by the slope 12c and guided to the slider 15. That is, the light from the light source is reflected while being confined in the core waveguide 12 a and guided to the slider 15. Therefore, an optical system such as a lens for condensing light at a predetermined position of the slider 15 is not required, and the optical head 3 can be thinned. Moreover, the spread of light can be suppressed and the light utilization efficiency can be increased.
[Embodiment 2]
FIG. 7 shows a configuration example of the optical head 3 according to the second embodiment and an assembly process thereof. FIGS. 7A to 7D are schematic views showing the configuration of the optical head 3 according to the second embodiment of the present invention and the assembly process of the optical head 3. The configuration example according to the second embodiment and the assembly process thereof are substantially the same as those in the first embodiment, and only the form of the optical waveguide 12 is different.

実施形態2による光導波路12は、図7(b)に示すように、基板121を剥離せずに用いた構成である。尚、図7は概念図であり、縮尺などは実際とは異なる。スライダ15の実際のサイズは、例えば、1.25mm(長さ)×1.0mm(幅)×0.3mm(厚み)であり、光導波路12の幅は前述のように30μm、基板121の幅(厚さ)は350μmである。このような構成にすることにより、光導波路12の製造工程を簡略化すると伴に、光導波路12の剛性を高めることができる。
〔実施形態3〕
図8に光ヘッド3の実施形態3による構成例、及びその組立工程を示す。図8(a)乃至図8(c)は、本発明の実施形態3による光ヘッド3の構成、及び光ヘッド3の組立工程を示す模式図である。
As shown in FIG. 7B, the optical waveguide 12 according to the second embodiment has a configuration in which the substrate 121 is used without being peeled off. FIG. 7 is a conceptual diagram, and the scale and the like are different from actual ones. The actual size of the slider 15 is, for example, 1.25 mm (length) × 1.0 mm (width) × 0.3 mm (thickness), and the width of the optical waveguide 12 is 30 μm as described above, and the width of the substrate 121. (Thickness) is 350 μm. With this configuration, the manufacturing process of the optical waveguide 12 can be simplified, and the rigidity of the optical waveguide 12 can be increased.
[Embodiment 3]
FIG. 8 shows a configuration example of the optical head 3 according to the third embodiment and an assembly process thereof. FIG. 8A to FIG. 8C are schematic views showing the configuration of the optical head 3 according to Embodiment 3 of the present invention and the assembly process of the optical head 3.

図8(a)に示すように、実施形態3によるスライダ15には、溝15mが形成され、この溝15mに光導波路12を埋設される。   As shown in FIG. 8A, a groove 15m is formed in the slider 15 according to the third embodiment, and the optical waveguide 12 is embedded in the groove 15m.

溝15mの幅を光導波路12の幅と略同一にしておけば、光導波路12を溝15mに沿って移動させることで、スライダ15の所定の位置に容易に位置合わせを行うことができる。また更に、図8(a)に示すように、光導波路12の端部を当接することで位置合わせができるように溝15mの端部に壁15kを設けると、更に位置合わせが容易になる。位置合わせに高い精度が要求される場合には、当接させるだけではその精度を出すのは困難な場合も生じるが、その際にもまず突き当てた上で調整を行えば、短時間に位置合わせ行うことが可能となる。また、このような構成にすることにより、図8(b)に示すように、サスペンション4を固定する際に、光導波路12を避ける必要がなくなり好ましい。また、スライダ15の溝15mに光導波路12を埋設する様にしたので、光ヘッド3全体の厚さを極めて薄くすることが可能となる。   If the width of the groove 15m is made substantially the same as the width of the optical waveguide 12, it is possible to easily align the slider 15 with a predetermined position by moving the optical waveguide 12 along the groove 15m. Furthermore, as shown in FIG. 8A, if a wall 15k is provided at the end of the groove 15m so that the end can be aligned by contacting the end of the optical waveguide 12, the alignment can be further facilitated. When high accuracy is required for alignment, it may be difficult to achieve accuracy by simply abutting them. It is possible to combine them. Further, such a configuration is preferable because it is not necessary to avoid the optical waveguide 12 when fixing the suspension 4 as shown in FIG. 8B. Further, since the optical waveguide 12 is embedded in the groove 15m of the slider 15, the entire thickness of the optical head 3 can be extremely reduced.

本発明の実施形態1に係る光アシスト磁気記録装置の概略構成を示す斜視図である。1 is a perspective view showing a schematic configuration of an optically assisted magnetic recording apparatus according to Embodiment 1 of the present invention. 本発明の実施形態1に係る光ヘッドの構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the optical head which concerns on Embodiment 1 of this invention. 光導波路の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of an optical waveguide. 光導波路のサイズを説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining the size of an optical waveguide. 光導波路の製造工程の概略を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the outline of the manufacturing process of an optical waveguide. 実施形態1による光ヘッドの構成、及び製造工程の概略を示す模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram illustrating the configuration of an optical head according to Embodiment 1 and an outline of a manufacturing process. 実施形態2による光ヘッドの構成、及び製造工程の概略を示す模式図である。FIG. 6 is a schematic diagram illustrating a configuration of an optical head according to Embodiment 2 and an outline of a manufacturing process. 実施形態3による光ヘッドの構成、及び製造工程の概略を示す模式図である。FIG. 10 is a schematic diagram illustrating the configuration of an optical head according to Embodiment 3 and an outline of a manufacturing process.

符号の説明Explanation of symbols

1A 光アシスト磁気記録装置
1 筐体
2 ディスク
3 光アシスト磁気記録ヘッド(光ヘッド)
4 サスペンション
4D、15D 電極
5 支軸
6 アクチュエータ
11 光ファイバー
12 光導波路
12a コア導波路
12b クラッド
12c 斜面
121 基板
122 クラッド層
123 コア層
124 オーバークラッド層
13 光ファイバー
13a コア
13b クラッド
15 スライダ
15m 溝
16 光導波路(光アシスト部)
17 磁気記録部
18 磁気再生部
1A Optically Assisted Magnetic Recording Device 1 Housing 2 Disk 3 Optically Assisted Magnetic Recording Head (Optical Head)
4 Suspension 4D, 15D Electrode 5 Support shaft 6 Actuator 11 Optical fiber 12 Optical waveguide 12a Core waveguide 12b Cladding 12c Slope 121 Substrate 122 Cladding layer 123 Core layer 124 Over cladding layer 13 Optical fiber 13a Core 13b Cladding 15 Slider 15m Groove 16 Optical waveguide Light assist part)
17 Magnetic recording part 18 Magnetic reproducing part

Claims (5)

記録媒体に光を用いて情報記録を行う光アシスト磁気記録ヘッドにおいて、
前記記録媒体に対して相対移動するスライダと、
前記スライダに光源からの光を導く光導波路と、を有し、
前記光導波路は、L字状に形成された光を伝搬するコア導波路を有するものであって、
前記コア導波路のL字の屈曲部には、前記光源から伝搬した光を反射させて前記スライダに導く斜面が形成されていることを特徴とする光アシスト磁気記録ヘッド。
In an optically assisted magnetic recording head that records information using light on a recording medium,
A slider that moves relative to the recording medium;
An optical waveguide for guiding light from a light source to the slider,
The optical waveguide has a core waveguide that propagates light formed in an L shape,
An optically assisted magnetic recording head, wherein an inclined surface that reflects light propagated from the light source and guides it to the slider is formed at an L-shaped bent portion of the core waveguide.
前記コア導波路は、略90度の角度で屈曲されてL字状に形成され、
前記斜面は、前記コア導波路の光軸に対し略45度の角度をなして形成されることを特徴とする請求項1に記載の光アシスト磁気記録ヘッド。
The core waveguide is bent at an angle of approximately 90 degrees and formed in an L shape,
The optically assisted magnetic recording head according to claim 1, wherein the inclined surface is formed at an angle of approximately 45 degrees with respect to the optical axis of the core waveguide.
前記スライダには、溝が形成され、
前記光導波路は、前記溝に埋設されていることを特徴とする請求項1または2に記載の光アシスト磁気記録ヘッド。
The slider is formed with a groove,
The optically assisted magnetic recording head according to claim 1, wherein the optical waveguide is embedded in the groove.
前記溝の一端には、壁が形成され、
前記光導波路の一端は、前記溝に形成された壁に当接されていることを特徴とする請求項3に記載の光アシスト磁気記録ヘッド。
A wall is formed at one end of the groove,
The optically assisted magnetic recording head according to claim 3, wherein one end of the optical waveguide is in contact with a wall formed in the groove.
請求項1乃至4のいずれか1項に記載の光アシスト磁気記録ヘッドと、
前記光アシスト磁気記録ヘッドにより情報記録される記録媒体と、を有することを特徴とする光アシスト磁気記録装置。
The optically assisted magnetic recording head according to any one of claims 1 to 4,
And a recording medium on which information is recorded by the optically assisted magnetic recording head.
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