JP2006093251A - 寸法計測方法及びその装置 - Google Patents
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Abstract
寸法計測法方及びその装置において、パターンの走査型電子顕微鏡画像から得られる画像プロファイルを用いて,パターンの断面形状上の所望の位置におけるパターン寸法を計測できるようにする。
【解決手段】
走査型電子顕微鏡で撮像して得た試料の二次電子画像を用いて試料上に形成されたパターンの寸法を計測する方法において、走査型電子顕微鏡を用いて試料の二次電子画像を取得し、この取得した二次電子画像の中で寸法を計測するパターンの画像プロファイルを二次電子画像を用いて作成し、予め記憶しておいた断面の形状と寸法とが既知で形状が異なる複数のパターンのそれぞれの二次電子画像から得られた複数のパターンのそれぞれに対応する複数のモデルプロファイルの中から作成した画像プロファイルと最も一致するモデルプロファイルを検索し、この検索して得たモデルプロファイルの情報を用いてパターンの寸法を求めるようにした。
【選択図】図2
Description
まず,図4を用いて説明したステップ0401〜0405までと同様に、図2に示すステップ0201〜0205において,寸法計測対象パターン部の画像をその視野に含んだ走査型電子顕微鏡画像0501を取得する。
これまでの説明により,本発明による一連の処理の流れを示したが,各処理において他にもいくつかの代替案が考えられる。
Claims (10)
- 走査型電子顕微鏡で撮像して得た試料の二次電子画像を用いて前記試料上に形成されたパターンの寸法を計測する方法であって、
走査型電子顕微鏡を用いて試料を撮像して該試料の二次電子画像を取得し、
該取得した二次電子画像の中で寸法を計測するパターンの画像プロファイルを前記二次電子画像を用いて作成し、
予め記憶しておいた断面の形状と寸法とが既知で形状が異なる複数のパターンのそれぞれの二次電子画像から得られた前記複数のパターンのそれぞれに対応する複数のモデルプロファイルの中から前記作成した画像プロファイルと最も一致するモデルプロファイルを検索し、
該検索して得たモデルプロファイルの情報を用いて前記パターンの寸法を求めることを特徴とする寸法計測方法。 - 該求めたパターンの寸法を、該パターンの二次電子画像と前記画像プロファイル及び前記モデルプロファイルを画面上に表示することを特徴とする請求項1記載の寸法計測方法。
- 前記パターンの寸法を、前記検索して得たモデルプロファイルに対応する断面の形状と寸法とが既知のパターンの断面プロファイル上で指定して該指定した箇所に対応する前記モデルプロファイルから求めることを特徴とする請求項1記載の寸法計測方法。
- 走査型電子顕微鏡で撮像して得た試料の二次電子電子画像を用いて前記試料上に形成されたパターンの寸法を計測する方法であって、
走査型電子顕微鏡を用いて試料を撮像して得た該試料の二次電子画像から寸法を計測するパターンの画像プロファイルを作成し、
断面の寸法が既知のパターンの該断面の二次電子画像から得られたモデルプロファイルを形状の異なる複数のパターンについて求めて記憶したデータベースの中から前記画像プロファイルと最も一致するモデルプロファイルを求め、
該求めたモデルプロファイルに対応する前記断面の寸法が既知のパターンの断面プロファイル上で寸法を計測する箇所を指定し、
該断面プロファイル上で指定された寸法を計測する箇所に対応する前記モデルプロファイル上の箇所から前記パターンの所望の箇所の寸法を求め、
該求めた所望の箇所の寸法を前記求めたモデルプロファイルと前記画像プロファイル及び前記パターンの二次電子画像とを同一の画面上に表示する
ことを特徴とする寸法計測方法。 - 前記断面の寸法が既知のパターンの断面プロファイル上で寸法を計測する箇所を複数指定し、該断面プロファイル上で指定された複数の寸法を計測する箇所のそれぞれに対応する前記モデルプロファイル上の箇所から前記パターンの複数の箇所の寸法を求めることを特徴とする請求項4記載の寸法計測方法。
- 前記データベースの中から前記画像プロファイルと最も一致するモデルプロファイルを求めるステップにおいて、前記パターンの左右の側面のそれぞれに対してフィッティングにより最も一致するモデルプロファイルを求めることを特徴とする請求項4記載の寸法計測方法。
- 走査型電子顕微鏡で撮像して得た試料の二次電子画像を用いて前記試料上に形成されたパターンの寸法を計測する装置であって、
試料に収束させた電子ビームを照射して走査して該試料の二次電子画像を取得する走査型電子顕微鏡手段と、
該走査型電子顕微鏡手段で取得した二次電子画像の中で寸法を計測するパターンの画像プロファイルを前記二次電子画像を用いて作成する画像プロファイル作成手段と、
断面の形状と寸法とが既知で形状が異なる複数のパターンのそれぞれの断面プロファイルと該複数のパターンのそれぞれの二次電子画像から得られた複数のモデルプロファイルを記憶しておく記憶手段と、
該記憶手段に記憶した複数のモデルプロファイルの中から前記画像プロファイル作成手段で作成した画像プロファイルと最も一致するモデルプロファイルを検索するモデルプロファイル検索手段と、
該モデルプロファイル検索手段で検索して得たモデルプロファイルを用いて前記パターンの寸法を求める寸法算出手段と
を備えたことを特徴とする寸法計測装置。 - 前記寸法計測装置は更に画面を有する表示手段を備え、該表示手段の画面上に、前記走査型電子顕微鏡手段で取得したパターンの二次電子画像と、前記画像プロファイル作成手段で作成した画像プロファイルと、前記モデルプロファイル検索手段で検索して得たモデルプロファイルとを、前記寸法算出手段で算出した前記パターンの寸法と一緒に表示することを特徴とする請求項7記載の寸法計測装置。
- 前記寸法算出手段は、前記記憶手段に記憶した前記断面の寸法が既知のパターンの断面プロファイル上で寸法を計測する箇所を指定する計測個所指定部と、該計測個所指定部において断面プロファイル上で指定された寸法を計測する箇所に対応する前記モデルプロファイル検索手段で検索した前記モデルプロファイル上の箇所を決定する計測個所決定部と、該計測個所決定部で決定した前記モデルプロファイル上の計測個所から前記パターンの寸法を求めるパターン寸法算出部とを有することを特徴とする請求項7記載の寸法計測装置。
- 前記モデルプロファイル検索手段は、前記パターンの左右のそれぞれの側面に対してフィッティングにより最も一致するモデルプロファイルを求めることを特徴とする請求項7記載の寸法計測装置。
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