JP2006080210A - Work feeder and work feeding method, and work storing apparatus and method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、パッケージ用の基板などの板状のワークを取り出してダイボンディング装置などの作業装置に供給するワーク供給装置およびワーク供給方法ならびに作業装置からワークを受け取って収納するワーク収納装置およびワーク収納方法に関するものである。 The present invention relates to a workpiece supply device and a workpiece supply method for taking out a plate-shaped workpiece such as a package substrate and supplying it to a work device such as a die bonding device, and a work storage device for receiving and storing a work from the work device and a work storage It is about the method.
半導体ウェハから切り出された個片の半導体素子をパッケージ用の基板に接合するダイボンディング装置には、板状のワークである基板を供給するためのワーク供給装置やダイボンディング後の基板を収納するワーク収納装置が付設されている(例えば特許文献1参照)。この特許文献例においてはワーク供給・収納は、基板を多段に収納するマガジンをリフタによって昇降させる構成のマガジン装置によって行われる。 A die bonding apparatus for bonding individual semiconductor elements cut out from a semiconductor wafer to a substrate for a package includes a work supply apparatus for supplying a substrate, which is a plate-shaped work, and a work for storing a substrate after die bonding A storage device is attached (see, for example, Patent Document 1). In this patent document example, workpiece supply / storage is performed by a magazine apparatus configured to lift and lower a magazine for storing substrates in multiple stages by a lifter.
このマガジン装置をワーク供給に用いる場合には、基板が収納された状態のマガジンを所定の供給位置までリフタによって移動させる。そしてマガジン内の基板は下流側装置に備えられた引き出し機構によってマガジンから引き出され、下流側装置の搬送コンベアなどの搬送機構に渡される。またワーク収納に用いる場合には空のマガジンを所定の受取位置までリフタによって移動させ、上流側装置の搬送機構から渡される基板をマガジン内に収納する。
上記構成のワーク供給装置や収納装置において基板の供給・収納を確実に行うためには、マガジンを下流側装置への供給位置や上流側装置からの受取位置に正しく位置合わせして保持する必要がある。しかしながら、上述のマガジン装置においては、リフタによるマガジンの昇降移動時に装置の振動によってマガジンが位置ずれすることによる基板の供給・収納ミスを生じたり、基板に付着していた異物が下段に位置する基板の上に落下・付着して汚染するなどの不具合を生じる場合があった。 In order to reliably supply and store the substrate in the workpiece supply device and storage device having the above-described configuration, the magazine needs to be correctly aligned and held at the supply position to the downstream device and the reception position from the upstream device. is there. However, in the above-described magazine apparatus, a substrate supply / storage error occurs due to the magazine being displaced due to the vibration of the apparatus when the magazine is moved up and down by the lifter, or a foreign substance attached to the substrate is located in the lower stage. In some cases, such as falling and adhering to the top and contaminating it.
そこで本発明は、マガジンの位置ずれや落下異物の付着によるワーク汚染を防止することができるワーク供給装置およびワーク供給方法ならびにワーク収納装置およびワーク収納方法を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a workpiece supply device, a workpiece supply method, a workpiece storage device, and a workpiece storage method that can prevent workpiece contamination due to magazine misalignment or fallen foreign matter adhesion.
本発明のワーク供給装置は、マガジンに垂直方向に複数段収納された板状のワークを下流側装置へ供給するワーク供給装置であって、前記マガジンを複数載置する第1載置部と、前記第1載置部の上方に配置されマガジンを水平方向に複数載置する第2載置部と、前記第2載置部から前記第1のワークを収納したマガジンを取り出して前記下流側装置への供給位置を経由して移動させ前記第1載置部に載置するマガジン取り出し移動手段と、前記第2載置部に載置されたマガジンを前記マガジン取り出し移動手段による取り出し位置に移動させるマガジン送り手段とを備え、前記マガジン取り出し移動手段は、前記マガジンを挟持する挟持機構と、前記挟持機構を水平方向および垂直方向に移動させる移動機構とを備えた。 The workpiece supply device of the present invention is a workpiece supply device that supplies a plate-like workpiece stored in a plurality of stages in a vertical direction in a magazine to a downstream device, and a first placement unit that places a plurality of the magazines; A second placement unit disposed above the first placement unit and placing a plurality of magazines in a horizontal direction; and a magazine storing the first work is taken out of the second placement unit and the downstream device The magazine take-out movement means that moves through the supply position to the first placement portion and moves to the take-out position by the magazine removal movement means. A magazine feeding means, and the magazine take-out moving means comprises a holding mechanism for holding the magazine and a moving mechanism for moving the holding mechanism in a horizontal direction and a vertical direction.
本発明のワーク供給方法は、上流側装置から送り出される板状のワークを受け取ってマガジンに垂直方向に複数段収納するワーク収納装置であって、前記マガジンを複数載置す
る第1載置部と、前記第1載置部の上方に配置されマガジンを水平方向に複数載置する第2載置部と、前記第1載置部から前記第1のワークを収納したマガジンを取り出して前記上流側装置からの受取位置を経由して移動させ前記第2載置部に載置するマガジン取り出し移動手段と、前記第1載置部に載置されたマガジンを前記マガジン取り出し移動手段による取り出し位置に移動させるマガジン送り手段とを備え、前記マガジン取り出し移動手段は、前記マガジンを挟持する挟持機構と、前記挟持機構を水平方向および垂直方向に移動させる移動機構を備えた。
The workpiece supply method of the present invention is a workpiece storage device that receives a plate-shaped workpiece fed from an upstream device and stores the plate-shaped workpiece in a plurality of stages in a vertical direction in a magazine, and a first mounting portion that mounts a plurality of the magazines; A second placement unit that is disposed above the first placement unit and places a plurality of magazines in the horizontal direction; and a magazine storing the first workpiece is removed from the first placement unit and the upstream side A magazine take-out moving means that moves via the receiving position from the apparatus and places it on the second placement section, and moves the magazine placed on the first placement section to the take-out position by the magazine take-out movement means Magazine feeding means, and the magazine take-out moving means comprises a holding mechanism for holding the magazine, and a moving mechanism for moving the holding mechanism in the horizontal direction and the vertical direction.
本発明のワーク収納装置は、板状のワークを垂直方向に複数段収納するマガジンを複数載置する第1載置部と、前記第1載置部の上方に配置され前記マガジンを水平方向に複数載置する第2載置部と、前記第2載置部から前記ワークを収納したマガジンを取り出して前記下流側装置への供給位置を経由して移動させ前記第1載置部に載置するマガジン取り出し移動手段と、前記第2載置部に載置されたマガジンを前記マガジン取り出し移動手段による取り出し位置に移動させるマガジン送り手段とを備えたワーク供給装置によって、前記ワークを下流側装置へ供給するワーク供給方法であって、前記第2載置部から取り出した前記マガジンをマガジン取り出し移動手段によって前記供給位置に移動させ、マガジンに収納された複数のワークを下段側から上段側に向かって順次送り出し、送り出し後の空のマガジンを前記第1載置部に載置する。 A workpiece storage device according to the present invention includes a first mounting portion for mounting a plurality of magazines that store a plurality of stages of plate-shaped workpieces in a vertical direction, and the magazine placed in the horizontal direction above the first mounting portion. A plurality of second placement units, and a magazine storing the workpiece from the second placement unit are taken out and moved via a supply position to the downstream device and placed on the first placement unit. The workpiece is moved to the downstream device by a workpiece supply device comprising: a magazine take-out moving means that moves the magazine placed on the second placement portion to a take-out position by the magazine take-out move means. A workpiece supply method for supplying, wherein the magazine taken out from the second mounting portion is moved to the supply position by a magazine take-out moving means, and a plurality of workpieces stored in the magazine are moved. Sequentially feeding toward the upper side from the stage, placing an empty magazine to the first loading portion after delivery.
本発明のワーク収納方法は、板状のワークを垂直方向に複数段収納するマガジンを複数載置する第1載置部と、前記第1載置部の上方に配置され前記マガジンを水平方向に複数載置する第2載置部と、前記第1載置部から空の前記マガジンを取り出して前記上流側装置からの受取位置を経由して移動させ前記第2載置部に載置するマガジン取り出し移動手段と、前記第1載置部に載置されたマガジンを前記マガジン取り出し移動手段による取り出し位置に移動させるマガジン送り手段とを備えたワーク収納装置によって、上流側装置から受け取ったワークを前記マガジン内に収納するワーク収納方法であって、前記第1載置部から取り出した前記マガジンをマガジン取り出し移動手段によって前記受取位置に移動させ、上流側装置から受け取ったワークをマガジンの上段側から下段側に向かって順次収納し、収納後のマガジンを前記第2載置部に載置する。 The work storage method of the present invention includes a first placement unit for placing a plurality of magazines for storing a plurality of plate-like workpieces in a vertical direction, and a magazine placed in a horizontal direction above the first placement unit. A plurality of second placement units, and a magazine that is removed from the first placement unit, moved through a receiving position from the upstream device, and placed on the second placement unit The workpiece received from the upstream side device by the workpiece storage device comprising the removal movement means and the magazine feeding means for moving the magazine placed on the first placement portion to the removal position by the magazine removal movement means A workpiece storage method for storing in a magazine, wherein the magazine taken out from the first mounting portion is moved to the receiving position by a magazine take-out moving means and is received from an upstream device. It was sequentially housed toward the lower side of the workpiece from the upper side of the magazine, placing the magazine after accommodated in the second loading portion.
本発明によれば、ワークを収納したマガジンをマガジン取り出し移動手段によって挟持して下流側装置への供給位置に移動させ、マガジンに収納された複数のワークを下段側から上段側に向かって順次送り出すことにより、また空のマガジンを同様にマガジン取り出し移動手段によって挟持して上流側装置からの受け取り位置に移動させ、上流側装置から受け取ったワークをマガジンの上段側から下段側に向かって順次収納することにより、マガジンの位置ずれや落下異物の付着によるワーク汚染を防止することができる。 According to the present invention, the magazine storing the workpieces is clamped by the magazine take-out moving means and moved to the supply position to the downstream apparatus, and a plurality of workpieces stored in the magazine are sequentially sent out from the lower side to the upper side. In this manner, the empty magazine is similarly held by the magazine take-out moving means and moved to the receiving position from the upstream device, and the workpieces received from the upstream device are sequentially stored from the upper side to the lower side of the magazine. As a result, it is possible to prevent workpiece contamination due to magazine misalignment and falling foreign matter adhesion.
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態のワーク供給・収納装置の正面図、図2は本発明の一実施の形態のワーク供給・収納装置の側面図、図3は本発明の一実施の形態のワーク供給・収納装置の作業対象となるワークを収納するマガジンおよびワーク治具の斜視図、図4、図5は本発明の一実施の形態のワーク供給・収納装置の正面図、図6は本発明の一実施の形態のワーク供給・収納装置によるワーク供給方法の動作説明図、図7は本発明の一実施の形態のワーク供給・収納装置によるワーク収納方法の動作説明図である。 Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a front view of a workpiece supply / storage device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view of the workpiece supply / storage device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an embodiment of the present invention. FIG. 4 and FIG. 5 are front views of a workpiece supply / storage device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a perspective view of a magazine and a work jig for storing workpieces to be processed by the workpiece supply / storage device. FIG. 7 is an operation explanatory diagram of the workpiece supply method by the workpiece supply / storage device according to the embodiment of the present invention. FIG.
まず図1、図2を参照して、ワーク供給・収納装置の構造を説明する。このワーク供給・収納装置は、ダイボンディング装置などの作業装置にワークを供給するワーク供給装置としての機能と、作業装置から作業後のワークを受け取って収納するワーク収納装置とし
ての機能とを、同一構造の装置によって兼務可能としたものである。さらにここでは、供給形態の異なる2種類のワークを対象として、ワークの供給・収納が可能となっている。
First, the structure of the workpiece supply / storage device will be described with reference to FIGS. This workpiece supply / storage device has the same function as a workpiece supply device that supplies a workpiece to a work device such as a die bonding device and a function as a workpiece storage device that receives and stores a work after work from the work device. It can be combined with the structural device. Furthermore, supply and storage of workpieces are possible for two types of workpieces with different supply forms.
すなわち、作業装置の上流側にこのワーク供給・収納装置を配置することにより、マガジンに所定間隔で垂直方向に複数段収納された板状の第1ワークおよびワーク治具に積層状態で収納された板状の第2ワークのうちのいずれかを作業装置である下流側装置へ供給するワーク供給装置として機能する。さらにこのワーク供給・収納装置を作業装置の下流側に配置することにより、上流側装置である作業装置から送り出される前述の第1ワークまたは第2ワークを受け取って、マガジンまたはワーク治具に収納するワーク収納装置として機能する。 That is, by disposing the workpiece supply / storage device upstream of the working device, the workpiece is stored in a stacked state on a plate-shaped first workpiece and a workpiece jig stored in a plurality of stages in the vertical direction at predetermined intervals in the magazine. It functions as a workpiece supply device that supplies any one of the plate-shaped second workpieces to a downstream device that is a working device. Further, by disposing the work supply / storage device on the downstream side of the work device, the first work or the second work sent out from the work device which is the upstream device is received and stored in the magazine or the work jig. Functions as a work storage device.
図1、図2において、ベース部1上にはマガジン載置部2が配設されている。ワーク供給装置として機能させる場合には、マガジン載置部2には供給対象の第1ワークを複数段収納した状態のマガジンが載置されるとともに、後述するように第2ワークを対象とする場合には第2ワークを積層収納するワーク治具が装着される。またワーク収納装置として機能させる場合にもマガジン載置部2には同様にマガジンやワーク治具が装着されるが、この場合には上流側装置から受け取ったワークがこれらのマガジンやワーク治具に収納される。なお、第2ワーク18を収納する際には、ワーク治具でなく、マガジンに収納してもよい。
In FIGS. 1 and 2, a
マガジン載置部2の右側方には、マガジン載置部2からマガジンを上下から挟み込むチャック機構3が、水平移動機構4Y、昇降移動機構4Zによって水平方向および垂直方向に移動可能に配設されている。またベース部1の上面には垂直な垂直フレーム5aが立設されており、垂直フレーム5aの上端部から水平方向に延出して設けられた水平フレーム5bには、ワーク移載ヘッド6がヘッド昇降機構7およびヘッド水平移動機構8によって昇降および水平移動可能に設けられている。
A
チャック機構3およびワーク移載ヘッド6が移動可能な位置には、供給・受取りコンベア9が設けられている。ワーク供給装置として機能する場合には、供給・受取りコンベア9は、供給対象のワークを下流側装置へ搬送して供給する。すなわち供給・受取りコンベア9が配設された位置は、下流側装置へワークを供給する供給位置となっている。またワーク収納装置として機能する場合には、供給・受取りコンベア9は、収納対象のワークを上流側装置から受け取る。この場合には供給・受取りコンベア9が配設された位置は、上流側装置からワークを受け取る受取位置となっている。
A supply /
ここで図3を参照して、対象となるワークの種類およびこれらのワークの供給形態について説明する。図3(a)は、板状の第1ワーク15および第1ワーク15を垂直方向に複数段収納するために用いられるマガジン14を示している。マガジン14にはワーク収納用のワーク収納スリット14aが所定間隔で垂直方向に複数段に設けられており、各ワーク収納スリット14aには第1ワーク15が1枚づつ収納される。そしてワーク収納スリット14aには開口部14bが形成されており、第1ワーク15はその両端部でワーク収納スリット14aに保持されている。なお、図4,図6,図7においては、マガジン14を簡略化して図示している。
Here, with reference to FIG. 3, the kind of object workpiece | work and the supply form of these workpiece | work are demonstrated. FIG. 3A shows a plate-like
第1ワーク15は部品の性質上、ワーク表裏面を他のワークと接触させることが好ましくないような種類のワークであり、このようなマガジン14を用いる取扱いにより、収納状態におけるワークダメージの発生を防いでいる。第1ワーク15をダイボンディング装置などの下流側装置に対して供給する場合には、マガジン載置部2に載置されたマガジン14をチャック機構3によって挟み込んで保持して移動させて、対象となるワーク収納スリット14aを供給・受取コンベア9に位置合わせし、下流側装置に備えられたワーク引
出・送込機構10によってワーク収納スリット14a内の第1ワーク15を引き出す。また上流側装置によって作業終了後に供給・受取コンベア9を介して送り出された第1ワーク15は、ワーク引出・送込機構10によってマガジン14のワーク収納スリット14a内に送り込まれて収納される。
The
図3(b)は、板状の第2ワーク18を収納するワーク治具17を示している。ワーク治具17は、ベース部17aに立設された複数のワークガイドポスト17bによって、第2ワーク18の端面を位置保持する構造となっており、これにより第2ワーク18は積層状態でベースプレート16a上の所定位置に保持される。第2ワーク18は、第1ワーク15と異なりワーク相互を積層状態で取り扱っても差し支えないような種類のワークであり、各ワークの間に層間紙18aを挟んで積層される。このように積層状態で収納することにより、簡単な構造のワーク治具で収納することができ、取り扱いを簡略化することが可能となっている。ワーク治具17としては、ワークガイドポスト17bを直接ベースプレート16aに植設した構成としてもよい。
FIG. 3B shows a
第2ワーク18を下流側装置に対して供給する場合には、複数のワーク治具17が設けられたワーク治具ユニット16(図5参照)をマガジン載置部2の上部に装着し、ワーク移載ヘッド6の吸着ノズル55によって第2ワーク18を吸着保持して取り出し、供給・受取コンベア9を介して下流側装置に供給する。また上流側装置によって作業終了後に供給・受取コンベア9を介して送り出された第2ワーク18は、ワーク移載ヘッド6によって吸着保持されて、ワーク治具ユニット6上の各ワーク治具17に移載収納される。
When the
次に、各部の詳細構造を説明する。まずマガジン載置部2の構造を説明する。図2に示すように、ベース部1の上面には保持部材11が立設されており、保持部材11の側面にはそれぞれマガジン14を水平方向に複数載置する第1載置部12A、第2載置部12Bが2段に設けられている。下段に位置する第1載置部12Aには第1ワーク15が取り出された後の空のマガジン14が載置され、第1載置部12Aの上方に配置された第2載置部12Bには、各ワーク収納スリット14aに第1ワーク15が収納されたマガジン14が載置される。
Next, the detailed structure of each part will be described. First, the structure of the
第1載置部12A、第2載置部12Bはそれぞれマガジン送りコンベア13を備えており、いずれも載置された第1ワーク15を水平方向に移動させることができるようになっている。これにより、第1載置部12A、第2載置部12Bに載置されたマガジン14を、以下に説明するチャック機構3による取り出し位置まで移動させることができるようになっている。なお、ワーク供給装置においては、第1載置部12Aにおけるマガジン送りコンベア13は必須のものではない。同様に後述するワーク収納装置においては、第2載置部12Bにおけるマガジン送りコンベア13は必須のものではない。チャック機構3によってマガジン14を順次押し込むことによってマガジンを送れば足りるからである。
Each of the first placement portion 12A and the second placement portion 12B includes a
次にマガジン載置部2からマガジン14を挟み込んで取り出すチャック機構3の構造を説明する。昇降プレート20の側面には、スライダ22がスライド自在に嵌着したガイドレール21が垂直に配設されており、スライダ22はナット24と結合された昇降ブロック23に固着されている。ナット24にはチャック開閉モータ26によって回転駆動される送りねじ25が螺合しており、チャック開閉モータ26を駆動することにより、可動チャック27Aがナット24とともに昇降する。
Next, the structure of the
昇降プレート20には可動チャック27Aと上下方向に対向する位置に固定チャック27Bが固定されており、可動チャック27Aが昇降することにより、可動チャック27A、固定チャック27Bは相接近・離隔する。これによりチャック機構3は可動チャック27A、固定チャック27Bによってマガジン14を上下方向に挟み込んで取り出すことが
できる。したがってチャック機構3は、マガジン14を挟時してマガジン載置部2から取り出す挟持機構となっている。
A fixed chuck 27B is fixed to the elevating
次にチャック機構3を昇降・水平移動させる昇降移動機構4Z、水平移動機構4Yについて説明する。昇降プレート20の右側面にはスライダ32が固着されており、スライダ32は垂直プレート30に垂直方向に配設されたガイドレール31にスライド自在に嵌着している。昇降プレート20の側面に結合されたナット34には、チャック昇降モータ36によって回転駆動される送りねじ35が螺合しており、チャック昇降モータ36を駆動することにより、昇降プレート20が昇降する。
Next, the up-and-down moving mechanism 4Z and the horizontal moving mechanism 4Y for moving the
垂直プレート30の下端部は水平な移動プレート43に固着されており、移動プレート43の下面に固着されたスライダ42は、ベース部1の上面にY方向に配設されたガイドレール41にスライド自在に嵌着している。移動プレート43の下面に結合されたナット44には、チャック水平移動モータ46によって回転駆動される送りねじ45が螺合しており、チャック水平移動モータ46を駆動することにより、移動プレート43を介して垂直プレート30がY方向に水平移動する。したがってチャック機構3は、昇降移動機構4Z、水平移動機構4Yにより昇降および水平移動を行い、マガジン載置部2からマガジン14を取り出して所定経路で移動させるマガジン移動動作を行うことができる。
The lower end of the
次にワーク移載ヘッド6およびワーク移載ヘッド6を移動させるヘッド昇降機構7、ヘッド水平移動機構8の構造を説明する。ワーク移載ヘッド6は水平なノズルプレート54の下面に複数の吸着ノズル55を装着して構成されており、真空吸引源(図示省略)によって吸着ノズル55から吸引することにより、第2ワーク18を吸着保持する。ノズルプレート54に連結された昇降軸53はスライダ52に固着されており、スライダ52は移動ブロック50に垂直に配設されたガイドレール51にスライド自在に嵌着している。
Next, the structure of the
移動ブロック50には、駆動プーリ58および従動プーリ59が上下に配設されており、駆動プーリ58と従動プーリ59に調帯されたベルト57は、結合部材56を介して昇降軸53と結合されている。駆動プーリ58をヘッド昇降モータ(図示省略)によって駆動することにより、昇降軸53を介してワーク移載ヘッド6が昇降する。
A driving pulley 58 and a driven
水平フレーム5bの側面にはY方向にガイドレール61が配設されており、ガイドレール61にスライド自在に嵌着したスライダ62は、移動ブロック50の裏面に固着されている。水平フレーム5bには駆動プーリ65および従動プーリ66が水平に配設されており、駆動プーリ65と従動プーリ66に調帯されたベルト64は、結合部材63を介して移動ブロック50と結合されている。駆動プーリ65をヘッド水平移動モータ(図示省略)によって駆動することにより、ワーク移載ヘッド6は移動ブロック50と一体的に水平移動する。したがってワーク移載ヘッド6は、ヘッド昇降機構7およびヘッド水平移動機構8によって昇降および水平移動し、吸着ノズル55によって第2ワーク18を吸着保持して移載するワーク移載動作を行うことができるようになっている。
A guide rail 61 is disposed in the Y direction on the side surface of the horizontal frame 5 b, and a
図4は、第1ワーク15を下流側装置へ供給する際の状態を示している。第1ワーク15を供給する場合には、ワーク移載手段のワーク移載ヘッド6およびヘッド昇降機構7をマガジン載置部2の上方から退避させ、複数のマガジン14をマガジン載置部2に載置する。この場合には、後述するワーク治具載置部とワーク受渡部とをマガジン載置部2から取り外した状態でマガジン14を載置する。ワーク供給動作においては、マガジン送りコンベア13によってマガジン14をチャック機構3による取り出し位置、すなわち可動チャック27A、固定チャック27Bによってマガジン14を上下から挟持可能な端部側へ移動させる。
FIG. 4 shows a state when the
そしてマガジン14を可動チャック27A、固定チャック27Bによって挟み込んで取り出し、水平移動機構4Y、昇降移動機構4Zによってチャック機構3を移動させて、マガジン14を供給・受取コンベア9に位置合わせする。これによりマガジン14の各ワーク収納スリット14a内の第1ワーク15は、下流側装置のワーク引出・送込機構10によって順次引き出され、この後空になったマガジン14は第1載置部12Aに載置される。
Then, the
したがって、チャック機構3および水平移動機構4Y、昇降移動機構4Zは、マガジン載置部2から第1ワーク15を収納したマガジン14を取り出して、下流側装置への供給位置に移動させるマガジン取り出し移動手段となっており、さらにこのマガジン取り出し移動手段は、マガジン14を挟持するチャック機構3と、チャック機構3を水平方向および垂直方向に移動させる移動機構(水平移動機構4Y、昇降移動機構4Z)とを備えた構成となっている。
Therefore, the
そしてマガジン載置部2は、マガジン14を水平方向に複数個載置する第1載置部12Aと、第1載置部12Aの上方に配置されマガジン14を水平方向に複数載置する第2載置部12Bと、第2載置部12Bに載置されたマガジン14をマガジン取り出し移動手段による取り出し位置に移動させるマガジン送り手段(マガジン送りコンベア13)とを備えた構成となっており、マガジン取り出し移動手段は、第2載置部12Bから取り出したマガジン14を、供給位置(供給・受取コンベア9)を経由して、第1載置部12Aに載置するように動作する。
The
図5は、同一のワーク供給・収納装置を用いて、第2ワーク18を下流側装置へ供給する状態を示している。第2ワーク18を供給する場合には、マガジン取り出し移動手段のチャック機構3をマガジン載置部2から退避させて右下方位置まで移動させる。そして第2載置部12B上にワーク治具ユニット16を装着する。ワーク治具ユニット16は水平なベースプレート16a上に複数のワーク治具17(図3(b)参照)を載置し、両端部に層間紙回収箱16bおよびワーク受渡ユニット19を配設した構成となっている。
FIG. 5 shows a state in which the
ワーク受渡ユニット19は第2ワーク18を載置して搬送するワーク受渡コンベア19aを備えており、ワーク治具ユニット16を第2載置部12Bに装着した状態では、ワーク受渡コンベア19aは供給・受取コンベア9と連結される位置にある。したがって、ワーク治具からワーク移載ヘッド6によって取り出された第2ワーク18をワーク受渡ユニット19のワーク受渡コンベア19a上に載置することにより、第2ワーク18は供給位置に配設された供給・受取コンベア9を介して下流側装置に供給される。層間紙回収箱16bは、ワーク治具17において第2ワーク18の間に挟まれた層間紙18aを回収するために設けられている。なお、ワーク受渡ユニット19は、単なるレールでもよく、ワーク受渡コンベア19aは必須のものではない。
The
上記構成において、ベースプレート16aはワーク治具17を複数載置するワーク治具載置部となっており、ベースプレート16a上に設けられたワーク受渡ユニット19は、供給位置に配設された供給・受取コンベア9へ第2ワーク18を受け渡すワーク受渡部となっている。またワーク移載ヘッド6およびヘッド昇降機構7、ヘッド水平移動機構8は、ワーク治具載置部に載置されたワーク治具17から第2ワーク18を取り出してワーク受渡部に移載するワーク移載手段を構成する。そして第2ワーク18を対象とする場合には、ワーク治具載置部とワーク受渡部とをマガジン載置部2の上部の第2載置部12Bに着脱自在に装着し、ワーク治具17をワーク治具載置部に載置する。
In the above configuration, the base plate 16a serves as a work jig placing portion for placing a plurality of work jigs 17, and the
なお、ここでは共通のベースプレート16a上にワーク受渡ユニット19とワーク治具17とを設けて一体的にマガジン載置部2に装着する替わりに、ワーク受渡ユニット19
をワーク治具ユニット16から分離し、複数のワーク治具17が載置されたワーク治具ユニット16とワーク受渡ユニット19とを、個別にマガジン載置部2に装着するようにしてもよい。ただし、本実施の形態に示すようにワーク受渡ユニット19と複数のワーク治具17とを共通のベースプレート16a上に設けて一体的に装着するようにした方が、ワーク切替時の作業を簡略化することができる。
In this case, instead of providing the
May be separated from the
次に本実施の形態に示すワーク供給・収納装置によるワーク供給動作およびワーク収納動作の例について説明する。前述のように、このワーク供給・収納装置は、供給形態の異なる2種類のワークを対象として、ワーク供給およびワーク収納の2つの用途に供することができるようになっている。 Next, an example of the workpiece supply operation and workpiece storage operation by the workpiece supply / storage device shown in the present embodiment will be described. As described above, the workpiece supply / storage device can be used for two applications of workpiece supply and workpiece storage for two types of workpieces having different supply forms.
すなわちこのワーク供給・収納装置は、マガジン14に垂直方向に複数段収納された板状の第1ワーク15またはワーク治具17に積層状態で収納された第2ワーク18を下流側装置へ供給するワーク供給装置として機能し、また上流側装置から送り出される板状の第1ワーク15または第2ワーク18を受け取って、それぞれマガジン14に垂直方向に多段収納またはワーク治具17に積層状態で収納するワーク収納装置として機能する。
That is, this workpiece supply / storage device supplies the plate-shaped
このような構成を採用することにより、単一のワーク供給・収納装置によって供給形態の異なる複数種類のワークを対象とすることが可能となり、各供給形態毎に専用設備を必要としていた従来装置と比較して、装置占有面積を減少させることができる。 By adopting such a configuration, it becomes possible to target multiple types of workpieces with different supply forms by a single work supply / storage device, and a conventional apparatus that requires dedicated equipment for each supply form In comparison, the area occupied by the apparatus can be reduced.
なお図4、図5においては、このワーク供給・収納装置がワーク供給装置として用いられている例を示したが、この装置をワーク収納装置として用いる場合には以下のように動作する。まず第1ワーク15を対象としたワーク収納装置として用いる場合には、図4における説明と異なり、チャック機構3は第1載置部12Aから第1ワーク15が存在しない空のマガジン14を取り出す。次いで水平移動機構4Y、昇降移動機構4Zによってチャック機構3を移動させることにより、マガジン14を上流側装置からの第1ワーク15の受取位置を経由して移動させ第2載置部12Bに載置する。そして第1載置部12Aに設けられたマガジン送りコンベア13は、第1載置部12Aに載置されたマガジン14をマガジン取り出し移動手段による取り出し位置に移動させる。
4 and 5 show an example in which the workpiece supply / storage device is used as a workpiece supply device. However, when this device is used as a workpiece storage device, it operates as follows. First, when the
また第2ワーク18を対象としたワーク収納装置として用いる場合には、図5における説明と異なり、ワーク移載ヘッド6は上流側装置から供給・受取コンベア9によって搬送された第2ワーク18を受取位置にて吸着保持する。次いでヘッド昇降機構7,ヘッド水平移動機構8によってワーク移載ヘッド6を移動させることにより、第2ワーク18をマガジン載置部2に装着されたワーク治具ユニット16上のワーク治具17に移載する。
When the
次に図6を参照して、本実施の形態のワーク供給装置を用いて第1ワーク15を下流側装置に供給するワーク供給方法について説明する。図6(a)において、マガジン載置部2の第2載置部12B上には、第1ワーク15を収納した状態のマガジン14が複数載置されており、マガジン送りコンベア13によってマガジン送り動作を行うことにより、これらのマガジン14のうち、右端部のマガジン14はチャック機構3による取り出し位置に送られる。
Next, with reference to FIG. 6, a work supply method for supplying the
この後図6(b)、(c)に示すように、チャック機構3が移動して、取り出し対象のマガジン14を可動チャック27A、固定チャック27Bによって上下から挟持する。そしてマガジン14を取り出したチャック機構3は、下流側装置への供給位置に配設された供給・受取コンベア9へ移動し、各ワーク収納スリット14a内に収納された第1ワーク15を供給・受取コンベア9を介して下流側装置へ供給する。
Thereafter, as shown in FIGS. 6B and 6C, the
このとき、図6(d)に示すように、まず最下段のワーク収納スリット14aを起点として、マガジン14の下段側から上段側に向って順次第1ワーク15を送り出し、図6(e)に示すように最上段のワーク収納スリット14aから第1ワーク15を送り出してマガジン14が空になったならば、図6(f)に示すように、マガジン14を挟持したチャック機構3を第1載置部12Aへ移動させる。
At this time, as shown in FIG. 6D, first, the
そして図6(g)に示すように、空になったマガジン14を第1載置部12A上に載置した後、チャック機構3は再び上述の動作を反復実行し、第1ワーク15を全て送り出した後の空のマガジン14は、図6(h)に示すように、チャック機構3によって第1載置部12A上に載置され、以降同様の動作が反復される。上述のワーク供給動作においては、第2載置部12Bから取り出したマガジン14をマガジン取り出し移動手段によって供給位置に移動させ、マガジン14を所定間隔で順次下降させることにより収納された複数の第1ワーク15を下段側から上段側に向かって順次送り出し、送り出し後の空のマガジン14を第1載置部12Aに載置するようにしている。
Then, as shown in FIG. 6G, after the
このような方法を用いることにより、従来装置のようにリフタでマガジンを移動させる場合にマガジンの位置ずれによって生じるワーク送り出し動作の不具合を防止できるとともに、マガジンの下段側からワークを送り出すことにより、ワーク収納スリット14aとの摺動によってワークに付着した異物が開口部14bを通じて落下して、下段側に位置するワークに付着することによる汚染を防止することができる。 By using such a method, when the magazine is moved by the lifter as in the conventional apparatus, it is possible to prevent the problem of the work feeding operation caused by the positional deviation of the magazine, and by feeding the work from the lower side of the magazine, It is possible to prevent contamination due to the foreign matter adhering to the work by sliding with the storage slit 14a falling through the opening 14b and adhering to the work located on the lower side.
さらに上述のワーク供給動作においては、マガジン載置部2において上方に位置する第2載置部12Bから取り出したマガジン14を供給位置を経由して下方の第1載置部12Aに移動させるようにしていることから、マガジン14の第2の載置部12Bからの取り出しから、供給位置でのワーク送り出しにおけるマガジン14の下降、ワーク取り出し後のマガジン14の第1載置部12Aまでの移動に至る一連のマガジン移動動作において昇降動作が錯綜することによる無駄を極力排除することができ、効率的なワーク供給動作が実現されている。
Further, in the above-described workpiece supply operation, the
次に図7を参照して、本実施の形態のワーク収納装置を用いて第1ワーク15を上流側装置から受け取るワーク収納方法について説明する。図7(a)において、マガジン載置部2の第2載置部12B上には空のマガジン14が複数載置されている。マガジン送りコンベア13によってマガジン送り動作を行うことにより、図7(b)に示すようにこれらのマガジン14のうちの右端部のマガジン14がチャック機構3による取り出し位置に送られる。
Next, with reference to FIG. 7, a workpiece storage method for receiving the
次いでチャック機構3が移動して、図7(c)に示すように、取り出し対象のマガジン14を可動チャック27A、固定チャック27Bによって上下から挟持し、図7(d)に示すように、上流側装置からの受取位置に配設された供給・受取コンベア9へ移動する。そして空状態の各ワーク収納スリット14aに、供給・受取コンベア9から受け取った第1ワーク15を収納する。
Next, the
このとき、図7(d)に示すように、マガジン14の上段側から下段側に向って順次第1ワーク15を収納し、図7(e)に示すように、最下段のワーク収納スリット14aに第1ワーク15を収納してマガジン14が満杯になったならば、図7(f)に示すようにマガジン14を挟持したチャック機構3を第2載置部12Bへ移動させる。そして図7(g)に示すように、満杯のマガジン14を第2載置部12Bに載置した後、第1載置部12Aに載置された次のマガジン14を対象として、上述と同様の動作が反復実行される。
At this time, as shown in FIG. 7 (d), the
上述のワーク収納動作においては、第1載置部12Aから取り出したマガジン14をマ
ガジン取り出し移動手段によって受取位置に移動させ、マガジン14を所定間隔で順次上昇させることにより上流側装置から受け取った第1ワーク15を下段側から上段側に向かって順次収納し、収納後に満杯となったマガジン14を第2載置部12Bに載置するようにしている。
In the above-described work storing operation, the
この場合においてもワーク供給と同様に、マガジンの位置ずれによって生じるワーク収納動作の不具合を防止できるとともに、マガジンの上段側からワークを収納することにより、ワーク収納スリット14aとの摺動によってワークに付着した異物が開口部14bを通じて落下して、下段側に位置するワークに付着することによる汚染を防止することができる。 Also in this case, similarly to the workpiece supply, it is possible to prevent the problem of the workpiece storage operation caused by the positional deviation of the magazine, and the workpiece is stored from the upper side of the magazine, so that it adheres to the workpiece by sliding with the workpiece storage slit 14a. It is possible to prevent contamination caused by the foreign matter falling through the opening 14b and adhering to the workpiece located on the lower side.
さらに上述のワーク収納動作においては、マガジン載置部2において下方に位置する第1載置部12Aから取り出したマガジン14を受取位置を経由して上方の第2載置部12Bに移動させるようにしていることから、マガジン14の第1の載置部12Aからの取り出しから、受取位置でのワーク受け取りにおけるマガジン14の上昇、ワーク収納後のマガジン14の第2載置部12Bまでの移動に至る一連のマガジン移動動作において、昇降動作が錯綜することによる無駄を極力排除することができ、効率的なワーク収納動作が実現されている。
Further, in the above-described work storage operation, the
本発明のワーク供給装置およびワーク供給方法ならびにワーク収納装置およびワーク収納方法は、マガジンの位置ずれや落下異物の付着によるワーク汚染を防止することができるという効果を有し、板状のワークを垂直方向の所定間隔毎に複数段に収納するマガジンによってワークを供給する用途に有用である。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The workpiece supply device, workpiece supply method, workpiece storage device and workpiece storage method of the present invention have the effect of preventing workpiece contamination due to magazine misalignment and fallen foreign matter adhering. This is useful for applications in which workpieces are supplied by magazines stored in a plurality of stages at predetermined intervals in the direction.
2 マガジン載置部
3 チャック機構
4Y 水平移動機構
4Z 昇降移動機構
6 ワーク移載ヘッド
7 ヘッド昇降機構
8 ヘッド水平移動機構
9 供給・受取コンベア
10 ワーク引出・送込機構
12A 第1載置部
12B 第2載置部
13 マガジン送りコンベア
14 マガジン
15 第1ワーク
16 ワーク治具ユニット
17 ワーク治具
18 第2ワーク
19 ワーク受渡ユニット
2
Claims (4)
前記マガジンを複数載置する第1載置部と、前記第1載置部の上方に配置されマガジンを水平方向に複数載置する第2載置部と、前記第2載置部から前記第1のワークを収納したマガジンを取り出して前記下流側装置への供給位置を経由して移動させ前記第1載置部に載置するマガジン取り出し移動手段と、前記第2載置部に載置されたマガジンを前記マガジン取り出し移動手段による取り出し位置に移動させるマガジン送り手段とを備え、前記マガジン取り出し移動手段は、前記マガジンを挟持する挟持機構と、前記挟持機構を水平方向および垂直方向に移動させる移動機構とを備えたことを特徴とするワーク供給装置。 A workpiece supply device that supplies plate-shaped workpieces stored in a plurality of stages in a vertical direction in a magazine to a downstream device,
A first placement portion for placing a plurality of magazines; a second placement portion for placing a plurality of magazines in a horizontal direction above the first placement portion; and a second placement portion from the second placement portion. A magazine taking out a magazine storing one workpiece, moving it through the supply position to the downstream device, and placing it on the first placement portion; and placing on the second placement portion. Magazine feeding means for moving the magazine to a take-out position by the magazine take-out movement means, the magazine take-out movement means for holding the magazine, and for moving the holding mechanism in the horizontal and vertical directions. And a workpiece supply device.
前記マガジンを複数載置する第1載置部と、前記第1載置部の上方に配置されマガジンを水平方向に複数載置する第2載置部と、前記第1載置部から前記第1のワークを収納したマガジンを取り出して前記上流側装置からの受取位置を経由して移動させ前記第2載置部に載置するマガジン取り出し移動手段と、前記第1載置部に載置されたマガジンを前記マガジン取り出し移動手段による取り出し位置に移動させるマガジン送り手段とを備え、前記マガジン取り出し移動手段は、前記マガジンを挟持する挟持機構と、前記挟持機構を水平方向および垂直方向に移動させる移動機構を備えたことを特徴とするワーク収納装置。 A workpiece storage device that receives a plate-like workpiece fed from an upstream device and stores the workpiece in a plurality of stages in a vertical direction in a magazine,
A first placement portion for placing a plurality of magazines; a second placement portion for placing a plurality of magazines in a horizontal direction above the first placement portion; and the first placement portion to the first placement portion. A magazine take-out moving means for taking out a magazine storing one workpiece and moving it through a receiving position from the upstream device and placing it on the second placement portion; and placing on the first placement portion Magazine feeding means for moving the magazine to a take-out position by the magazine take-out movement means, the magazine take-out movement means for holding the magazine, and for moving the holding mechanism in the horizontal and vertical directions. A work storage device comprising a mechanism.
前記第2載置部から取り出した前記マガジンをマガジン取り出し移動手段によって前記供給位置に移動させ、マガジンに収納された複数のワークを下段側から上段側に向かって順次送り出し、送り出し後の空のマガジンを前記第1載置部に載置することを特徴とするワーク供給方法。 A first placement part for placing a plurality of magazines for storing a plurality of stages of plate-like workpieces in the vertical direction, and a second placement for placing a plurality of magazines in the horizontal direction arranged above the first placement part. And a magazine take-out moving means for taking out the magazine storing the workpiece from the second placement portion and moving it through the supply position to the downstream device and placing it on the first placement portion, A workpiece supply method for supplying a workpiece to a downstream device by a workpiece supply device including a magazine feeding means for moving a magazine placed on a second placement portion to a removal position by the magazine removal movement means. ,
The magazine taken out from the second placement section is moved to the supply position by the magazine take-out movement means, and a plurality of workpieces stored in the magazine are sequentially sent out from the lower stage side to the upper stage side, and an empty magazine after the delivery Is mounted on the first mounting portion.
前記第1載置部から取り出した前記マガジンをマガジン取り出し移動手段によって前記受取位置に移動させ、上流側装置から受け取ったワークをマガジンの上段側から下段側に向かって順次収納し、収納後のマガジンを前記第2載置部に載置することを特徴とするワーク収納方法。
A first placement part for placing a plurality of magazines for storing a plurality of stages of plate-like workpieces in the vertical direction, and a second placement for placing a plurality of magazines in the horizontal direction arranged above the first placement part. And a magazine take-out moving means for taking out the empty magazine from the first placement unit and moving it through the receiving position from the upstream device and placing it on the second placement unit, A workpiece storage method for storing a workpiece received from an upstream device in the magazine by a workpiece storage device including a magazine feeding means for moving the magazine placed on the placement portion to a removal position by the magazine removal movement means. Because
The magazine taken out from the first placement portion is moved to the receiving position by the magazine take-out moving means, and the workpieces received from the upstream device are sequentially stored from the upper side to the lower side of the magazine, and the magazine after storage. Is mounted on the second mounting portion.
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-
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